DE202012103006U1

DE202012103006U1 - Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung

Info

Publication number: DE202012103006U1
Application number: DE202012103006U
Authority: DE
Original assignee: Manz Taiwan Ltd
Current assignee: Nice Solar Energy GmbH
Priority date: 2011-08-10
Filing date: 2012-08-09
Publication date: 2013-01-07
Anticipated expiration: 2022-08-10
Also published as: TWM418398U; JP3180463U; US20130036971A1

Abstract

Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung, umfassend: einen Badbehälter (5), der zum Aufnehmen einer Lösung (51) dient; eine Transporteinheit (3), die mindestens eine Vielzahl von Transportrollen (31) umfasst, die im Badbehälter (5) angeordnet sind, und ausgebildet ist, um einen Reaktionsbehälter (7), der mit mindestens einem Substrat (71) ausgebildet ist, zu transportieren, wobei sich die Transportrollen (31) abwechselnd vorwärts und rückwärts drehen, um den Reaktionsbehälter (7) hin und her zu transportieren; und einen Hubmechanismus (4), der unter der Transporteinheit (3) angeordnet ist und ausgebildet ist, um die Transporteinheit (3) zum Anheben bzw. Absenken zu bringen.

Description

Technisches Gebiet
Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung betreffen eine chemische Badabscheidungsanlage (CBD chemical bath deposition), insbesondere eine chemische Badabscheidungsanlage (CBD), bei der ein Reaktionsbehälter durch Heben und Senken und Hin- und Herbewegung transportiert wird, um eine chemische Lösung schön gleichmäßig auf ein Substrat zu verteilen und aufzutragen, um eine Dünnschicht mit einheitlicher Dicke auf dem Substrat zu erzeugen.
Stand der Technik
Bei der gegenwärtigen schnellen Entwicklung der Elektronikindustrie werden physikalische oder chemische Abscheidungstechniken häufig bei vielen elektronischen Vorrichtungen/Produkten eingesetzt. Aufgrund der begrenzten Erdölreserven, der hohen Kosten und der Umweltverschmutzungen nimmt gleichzeitig der Bedarf an Solarenergie und Wasserstoff-Brennstoffzellen zu. Beim Herstellen der Solarzellen werden vielfach auch physikalische oder chemische Abscheidungstechniken bei der Herstellung von mindestens einer Abscheidungsschicht (Dünnschicht) auf einem Substrat verwendet, um die Solarzellen bereit zustellen. Deshalb ist die Abscheidungstechnik offensichtlich eine zentrale Technik, die in der Elektronikindustrie und der Unterhaltungsindustrie verwendet wird.
Bei einer herkömmlichen Abscheidungstechnik beim chemischen Badabscheidungsverfahren und der entsprechenden Anlage wird ein Substrat mit einer vorbehandelten Fläche (z. B. ein Monokristall-, ein Polykristall- oder ein Nichtkristall-Silicium-Substrat) eine Zeit lang in eine chemische Lösung eingetaucht, um eine Halbleiterschicht (Dünnschicht) auf der Oberfläche des Substrats auszubilden. Bei der herkömmlichen chemischen Badabscheidung (CBD) wird das Substrat üblicherweise vollständig in die chemische Lösung eingetaucht, das Substrat wird doppelseitig beschichtet und verursacht so eine Ressourcenverschwendung und eine Kostenerhöhung.
Mit Bezug auf 1, ist 1 eine schematische Darstellung einer weiteren herkömmlichen chemischen Badabscheidungsanlage. Die Anlage umfasst eine Transporteinheit 20 und ein Wärmebad 30. Die Transporteinheit 20 dient zum Transportieren eines Behälters für chemische Lösungen 40 und umfasst eine Vielzahl von Transportrollen 201. Der Behälter für chemische Lösungen 40 ist durch Abdichten eines Substrats 401 mit einer Abdeckung für chemische Lösungen 403 hergestellt und wird mit einer chemischen Lösung 50 befüllt, um das Substrat 401 zu bedecken. Diese Anlage ist in der Lage, die Bedeckung einer Fläche des Substrats 401 mit der chemischen Lösung 50 zu erzielen.
Im Wärmebad 30 ist heißes Wasser 301 vorhanden und das heiße Wasser 301 weist eine Lösungsoberfläche 3011 auf. Die Transportrollen 201 sind unter der Lösungsoberfläche 3011 des heißen Wasser 301 angeordnet. Während der Behälter für chemische Lösungen 40 durch die Transportrollen 201 transportiert wird, ist ein unterer Bereich des Behälters für chemische Lösungen 40 in das Wärmebad 30 eingetaucht. Die chemische Lösung 50 wird dann beim Transportieren durch das heiße Wasser 301 für die Reaktion des chemischen Abscheidens erhitzt.
Jedoch besteht bei der oben beschriebenen Abscheidungstechnik der Nachteil, dass die abgeschiedene Dünnschicht nicht gleichmäßig dick ist, da die chemische Lösung beim Einfüllen in den Behälter für chemische Lösungen nicht gleichmäßig auf das Substrat verteilt wird. Die Menge an eingefüllter chemischer Lösung zu erhöhen, kann bei der Verteilung auf dem Substrat helfen, aber zu viel eingefüllte chemische Lösung kann das Substrat verformen oder beschädigen. Daher besteht ein Bedarf nach einer Herangehensweise, um eine Vorrichtung oder Mittel für eine chemische Badabscheidung (CBD) bereit zu stellen, die in der Lage sind, die chemische Lösung ohne Dosierungserhöhung gleichmäßig auf das Substrat zu verteilen, um eine gleichmäßig dicke Dünnschicht zu erreichen.
Aufgabe der Erfindung
Diese und andere Aufgaben werden durch die vorliegende Erfindung gelöst, wobei ein Vorschlag für eine Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) offenbart wird, die einen Reaktionsbehälter durch Heben und Senken hin und her transportiert wird, um die chemische Lösung gleichmäßig auf ein Substrat zu verteilen und aufzutragen, damit unter optimalen Reaktionsbedingungen die Gleichmäßigkeit der Dicke der Dünnschicht erhöht wird.
Ein weiterer Ansatz wird durch eine Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) aufgezeigt, die in der Lage ist, eine stabilere chemische Reaktionstemperatur und -umgebung mithilfe des Mechanismus der Wärmeerhaltung und -steuerung bereitzustellen, indem Wärmedämmungsmaterial oder ein Umlauferhitzungssystemverwendet wird. Die stabile chemische Reaktionstemperatur und -umgebung ist für den Prozess der Dünnfilmabscheidung günstig.
Entsprechend einem Aspekt eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung umfasst eine Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) mindestens eine Transporteinheit und einen Badbehälter. Die Transporteinheit dient zum Empfangen und Transportieren eines Reaktionsbehälters und ist mindestens aus mehreren Transportrollen innerhalb des Badbehälters aufgebaut. Der Reaktionsbehälter ist aus mindestens einem Reaktionsdeckel aufgebaut, der ein Substrat abdichtet. Das Substrat weist eine obere Oberfläche auf und eine chemische Lösung ist in den Reaktionsbehälter eingefüllt, um die obere Oberfläche des Substrats zu bedecken. Die Transportrollen sind in der Lage, sich nach oben und unten und hin und her zu bewegen. Deshalb wird die chemische Lösung gleichmäßig auf jede Stelle der oberen Oberfläche des Substrats verteilt, während der Reaktionsbehälter in die Lösung abgesenkt und dann hin und her bewegt wird. Die Dünnschicht bildet sich folglich auf der oberen Oberfläche vollständig und gleichmäßig aus.
Dadurch, dass der Reaktionsbehälter in die Lösung eingetaucht wird und vor- und rückwärts hin und her verschoben wird, wird die chemische Lösung gleichmäßig und abwechselnd zum Substrat überall fließen, wodurch die Dünnschicht gleichmäßiger abgeschieden werden kann.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 zeigt eine schematische Darstellung einer herkömmlichen chemischen Badabscheidungsanlage,
2 zeigt eine schematische Darstellung einer Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD), der einen Reaktionsbehälters transportiert, entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
3A zeigt eine schematische Darstellung eines Hubmechanismus der Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
3B zeigt eine schematische Darstellung, die zeigt, wie der Reaktionsbehälter aus 3A mit der Transporteinheit in die Lösung eingeführt wird,
4 zeigt eine schematische Darstellung eines Reaktionsbehälters, der durch die Transportrollen hin und her transportiert wird, entsprechend einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
5 zeigt eine schematische Darstellung einer Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) mit einem Umlauferhitzungssystems entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Ausführungsbeispiele
Ausführungsbeispiele der Vorrichtung und/oder Verfahren werden dargestellt. Im der folgenden Beschreibung werden zum Zweck einer Erklärung verschiedene spezifische Details dargelegt, um ein umfangreiches Verständnis der Ausführungsbeispiele der Erfindung zu ermöglichen. Es ist jedoch für einen Fachmann offensichtlich, dass die vorliegende Erfindung auch ohne diese spezifischen Details oder mit einer äquivalenten Anordnung realisiert werden kann.
Mit Bezug auf 2 ist 2 eine schematische Darstellung einer Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD), der einen Reaktionsbehälters transportiert, entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. In diesem Ausführungsbeispiel kann die Vorrichtung 1 in einem Abscheidungsprozess von mindestens einer Dünnschicht auf einem Substrat einer Solarzelle und Transportiert durch Heben, Senken und Hin- und Hertransportieren das Substrats, so dass die chemische Lösung gleichmäßig und vollständig auf dem Substrat verteilt wird. Dann ist es möglich, dass sich eine Dünnschicht auf dem Substrat vollflächig und gleichmäßig ausbildet, wodurch eine gleichmäßig dicke Dünnschicht erzielt wird.
Wie in 2 gezeigt, umfasst die Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) mindestens eine Transporteinheit 3 und einen Badbehälter 5. Die Transporteinheit 3 dient zum Transportieren eines Reaktionsbehälters 7 und umfasst mindestens eine Vielzahl von Transportrollen 31. Die Transportrollen 31 sind horizontal angeordnet und aufeinander ausgerichtet. Der Reaktionsbehälter 7 ist aus mindestens einem Reaktionsdeckel 73 zusammengebaut, der ein Substrat bedeckt. Um es zu vermeiden, dass die Darstellung des Ausführungsbeispiels unklar wird, sind einige gut bekannte Komponenten nicht dargestellt oder beschrieben. Beispielsweise ist, obwohl bei dem Reaktionsdeckel 73 möglicherweise einige nebensächliche Komponenten weggelassen wurden, es für den Fachmann ein leichtes, die vorliegende Erfindung anhand des Folgenden zu verstehen.
Der Reaktionsdeckel 73 deckt eine obere Oberfläche 711 des Substrats 71 ab und umfasst mindestens eine Einfüllöffnung 731 und einer Ablassöffnung 733. Auf diese Art wird über die Einfüllöffnung 731 eine chemische Lösung 2 in den Reaktionsbehälter 7 eingefüllt, sodass die chemische Lösung 2 die obere Oberfläche 711 des Substrats bedecken kann. Die Ablassöffnung 733 ist als ein Ausgang vorgesehen und ist dafür ausgelegt, die chemische Lösung 2 in die Umgebung des Reaktionsbehälters 7 abzulassen. Zu beachten ist, dass der Reaktionsbehälter 7 lediglich ein Ausführungsbeispiel zum leichten Beschreiben der vorliegenden Erfindung darstellt. Der Ausdruck „Reaktionsbehälter 7” soll nicht als Beschränkung der vorliegenden Erfindung dienen Und es ist offensichtlich, das jede Struktur, die mit dem Substrat dicht abdichten kann, als eine äquivalente Anordnung betrachtet werden kann.
Der Badbehälter 5 kann ein verschlossener Behälter sein, der eine Lösung enthält. Die Lösung kann in diesem Ausführungsbeispiel eine Lösung 51 mit einer Temperatur größer als die Raumtemperatur sein. Je nach Bedarf des Herstellungsverfahrens kann alternativ die Temperatur der Lösung 51 niedriger als die Raumtemperatur sein. Die Transportrollen 31 sind im Badbehälter 5 und alternativ über oder unter der Oberfläche 511 der Lösung 51 angeordnet. In diesem Ausführungsbeispiel, wie es in 2 gezeigt ist, sind die Transportrollen 31 eigentlich über der Oberfläche 511 der Lösung 51 angeordnet. Der Badbehälter 5 weist eine Innen- und eine Außenfläche 513, 515 auf und kann ferner ein zwischen der Innen- und der Außenwand 513, 515 angeordneter Wärmedämmungsmaterial 8 umfassen. Das Wärmedämmungsmaterial 8 ist dafür ausgelegt, eine erhebliche Änderung der Temperatur der Lösung 51 im Badbehälter 5 zu verhindern. Alternativ kann der Badbehälter 5 ferner einen zwischen der Innen- und der Außenwand 513, 515 angeordneten Erhitzer oder Kühler (nicht dargestellt) umfassen, um die Temperatur des Badbehälters 5 zu regeln.
Weiter wird auf 3A und 3B verwiesen. 3A zeigt eine schematische Darstellung eines Hubmechanismus der Hebe- und Fördervorrichtung für chemische Badabscheidung (CBD) entsprechend einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. 3B zeigt eine schematische Darstellung, die zeigt, wie der Reaktionsbehälter 7 mit der Transporteinheit 3 in die Lösung eingeführt wird. In diesem Ausführungsbeispiel kann die Transporteinheit 3 kann senkrecht gehoben und gesenkt werden, was den Reaktionsbehälter 7 in die Lösung 51 hinein oder hinausbewegt. Wenn die Transporteinheit 3 den Reaktionsbehälter 7 in die Lösung 51 hinein führt, ist die minimale Höhe der Einfüllöffnung 731 und der Ablassöffnung 733 innerhalb des Reaktionsbehälters 7 auf einen Wert größer als die Höhe der Oberfläche 511 der Lösung 51 beschränkt, um einen Eintritt der Lösung 51 in den Reaktionsbehälter 7 zu verhindern. Der Grund dafür, die Höhe der Einfüllöffnung 731 und der Ablassöffnung 733 des Reaktionsbehälters größer als die Oberfläche 511 der Lösung 51 zu machen, liegt darin, dass die chemische Lösung 2 eine der Reagenzien sein kann, die in der Lage sind, mit dem Substrat 71 zu reagieren, und die Lösung 51 des Badbehälters 5 kann als ein Medium angesehen werden, dass die chemische Reaktion zwischen der chemischen Lösung 2 und dem Substrat 71 unterstützt und dass die Lösung 51 selbst nicht tatsächlich an der Abscheidung teilnimmt.
Weiter wird auf 3A in Verbindung mit 2 verwiesen. Wenn sich der Reaktionsbehälter 7 in die Lösung 51 eingeführt wird, ist die chemische Lösung 2 von der Lösung 51 nur durch das Substrat 71 getrennt. Die chemische Lösung 2 ist geeignet, Wärme von der Lösung 51 unterhalb des Substrats 71 zu empfangen, um eine stabile chemische Reaktion für die Dünnfilmabscheidung zu erzeugen.
In diesem Ausführungsbeispiel ist ein Hubmechanismus 4 unter der Transporteinheit 3 angeordnet und das Heben oder Senken der Transporteinheit 3 wird durch den Hubmechanismus gesteuert. Der Hubmechanismus 4 ist in der Lage, die Transporteinheit 3 in eine vertikale Richtung oder eine diagonale Richtung zu bewegen. Beim Absenken des Hubmechanismus 4 muss der Hubmechanismus mindestens das Substrat 71 auf den Transportrollen 31 in die Lösung 51 eintauchen.
In diesem Ausführungsbeispiel, wie es in 3A und 3B gezeigt ist, sind die Transportrollen 31 zwischen zwei einander gegenüber angeordneten Trägern 33 angeordnet. Der Hubmechanismus 4 umfasst mindestens einen Motor 41 und mindestens zwei Kugelumlaufspindeln 43. Die zwei Kugelumlaufspindeln 43 sind jeweils an einem Unterteil der beiden Träger 33 montiert sind, was die Träger 33 in einem horizontalen Zustand hält. Wie oben erwähnt ist die vorher beschriebene und in den Zeichnungen dargestellte Struktur des Hubmechanismus 4 dient nur dem Zweck des Erklärens der Eigenschaften der vorliegenden Erfindung, wobei weitere ausgelassene und gut bekannte Bauteile keine Schwierigkeit für Fachleute beim Verstehen der vorliegenden Erfindung sein werden.
Der Motor 41 dient dazu, die mindestens zwei Kugelumlaufspindeln 43 zum synchronen Anheben oder Absenken zu bringen, damit sich die beiden Träger 33 linear anheben oder absenken. Wenn sich die beiden Träger 33 anheben oder absenken, werden die Transportrollen 31 und der Reaktionsbehälter 7 folgen und werden durch die beiden Träger 33 geführt. Dies erreicht den Zweck, ein Anhaben oder Absenken des Reaktionsbehälters 7 aus oder in die Lösung zu bewirken. Zu beachten ist, dass die vorher beschriebene Struktur des Motors und der Kugelumlaufspindeln nur dem Zweck des Beschreibens des in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels dient. Der Hubmechanismus kann eine andere Struktur sein, nicht beschränkt auf die obigen Ausführungsbeispiele, die in der Lage ist, ein Heben und Senken des Reaktionsbehälters zu bewirken.
Weiter wird auf 4 in Verbindung mit 2 verwiesen. 4 zeigt eine schematische Darstellung eines Reaktionsbehälters 7, der sich mit den Transportrollen hin und her bewegt. Um die chemische Lösung 2 gleichmäßig auf die obere Oberfläche 711 des Substrats 71 zu verteilen, können die Transportrollen 31 abwechselnd den Reaktionsbehälter 7 hin und her transportieren. In einem Ausführungsbeispiel beginnen sich der Reaktionsbehälter Lösungen 7 sowie die Transportrollen 31 abwechselnd vor- und rückwärts zu bewegen, nachdem der Reaktionsbehälter 7 in die Lösung 51 eingetaucht wurde. Dann wird die chemische Lösung 2 auf jeden Bereich der oberen Oberfläche 711 des Substrats 71 und insbesondere an den Kanten der oberen Oberfläche 711 verteilt, die vollständig in die chemische Lösung 2 eingetaucht sind. Folglich kann der Unterschied der Dünnschichtdicke zwischen dem Umfang und der Mitte des Substrats 71 verringert werden.
Da sich die chemische Lösung 2 vollständig über die obere Oberfläche 711 des Substrats 71 verteilen kann, versorgt es das Substrat 71 mit einer ausreichenden Reaktionszeit für die Dünnfilmabscheidung in jedem Bereich der oberen Oberfläche, was die Dicke der Dünnschicht auf dem Substrat 71 vereinheitlicht. Zusätzlich begünstigt ein auf einem Substrat mit gleichmäßiger Dicke abgeschiedener Dünnfilm das nachfolgende Herstellungsverfahren.
Mit Bezug auf 5, zeigt 5 eine weiteres Ausführungsbeispiel einer Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) mit einem Umlauferhitzungssystem. In diesem Ausführungsbeispiel umfasst die Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) ferner ein Umlauferhitzungssystem. Das Umlauferhitzungssystem 10 umfasst mindestens einen Lösungszwischenlagerbehälter 101, eine Pumpe 103 und einen Erhitzer 105. Der Lösungszwischenlagerbehälter 101 ist mit dem Badbehälter 5 durch mindestens eine Recyclingleitung 107 verbunden. Ein Ende der Recyclingleitung 107 ist in der Lösung 51 platziert. Die Pumpe 103 ist mit dem Lösungszwischenlagerbehälter 101 und dem Erhitzer 105 durch jeweils eine Leitung 11 verbunden. Der Erhitzer 105 ist mit dem Badbehälter 5 durch mindestens eine Verteilungsleitung 109 verbunden, wobei ein Ende der Rücknahmeleitung 107 sich jeweils in der Lösung 51 über der Lösung 51 befindet.
Bei dieser Anordnung kann die Lösung 51 im Badbehälter 5 zu dem Lösungszwischenlagerbehälter 101 und dann durch die Leitungen 111 zu der Pumpe 103 und dem Erhitzer 105 fließen. Die Pumpe 103 ist darauf ausgelegt, einen Druck für den Transport der Lösung zu dem Erhitzer bereit zu stellen. Der Erhitzer 105 erhitzt die Lösung 51, die in den Erhitzer 105 fließt. Aufgrund der Kraft des durch die Pumpe 103 erzeugten Drucks wird die erhitzte Lösung 51 in dem Erhitzer 105 durch die Verteilungsleitung 109 zu dem Badbehälter zurückgeschickt.
Folglich wird die Lösung 51 im Badbehälter 5 zunächst zu dem Umlauferhitzungssystems 10 fließen und dann wird die erhitzte Lösung 51 durch die Verteilungsleitung 109 über die Pumpe 103 und den Erhitzer 105 in den Badbehälter 5 zurück fließen. Die Temperatur der Lösung 51 in dem Badbehälter 5 kann konstant sein, da der Badbehälter 5 kontinuierlich die erwärmte Lösung 51 empfängt. Die chemische Reaktion des Dünnfilms mit der chemischen Lösung 2 ist in der Lage bei einer stabilen Temperatur der Umgebung abzulaufen.
Entsprechend wird eine Lösung für ein Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung (CBD) bereitgestellt. Die Vorrichtung ist darauf ausgerichtet mindestens einen dünnen Film auf einem Substrat einer Solarzelle abzuscheiden und ist hergerichtet, um einen Reaktionsbehälter in einer Auf- und Abwärts und Hin- und Herbewegung zu transportieren, was dafür sorgt, dass die Lösung gleichmäßig und vollständig auf einem Substrat verteilt ist, um einen abgeschiedenen Dünnfilmmit einer gleichmäßigen Dicke unter geeigneten Reaktionsbedingungen zu produzieren.
Obwohl die Erfindung in Verbindung mit einer Anzahl von Ausführungsformen und Implementationen beschrieben worden ist, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt, sondern umfasst verschiedene offensichtliche Modifikationen und äquivalente Anordnungen, die in den Schutzbereich der beigefügten Ansprüche fallen. Obwohl die Merkmale der Erfindung in den Ansprüchen in bestimmten Kombinationen ausgedrückt sind, ist es beabsichtigt, dass diese Merkmale in jeglicher Kombination und Reihenfolge angeordnet werden können.

Claims

Hebe- und Fördervorrichtung für eine chemische Badabscheidung, umfassend: einen Badbehälter (5), der zum Aufnehmen einer Lösung (51) dient; eine Transporteinheit (3), die mindestens eine Vielzahl von Transportrollen (31) umfasst, die im Badbehälter (5) angeordnet sind, und ausgebildet ist, um einen Reaktionsbehälter (7), der mit mindestens einem Substrat (71) ausgebildet ist, zu transportieren, wobei sich die Transportrollen (31) abwechselnd vorwärts und rückwärts drehen, um den Reaktionsbehälter (7) hin und her zu transportieren; und einen Hubmechanismus (4), der unter der Transporteinheit (3) angeordnet ist und ausgebildet ist, um die Transporteinheit (3) zum Anheben bzw. Absenken zu bringen.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Hubmechanismus (4) die Transporteinheit (3) senkrecht und/oder diagonal anheben und absenken kann.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass beim Absenken des Hubmechanismus (4) mindestens das Substrat (71) von der Lösung (51) bedeckt ist.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass beim Absenken des Hubmechanismus (4) mindestens das Substrat (71) von der Lösung (51) bedeckt ist.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 1, die ferner ein Wärmedämmungsmaterial (8) umfasst, das zwischen einer Innen- und einer Außenwand (513, 515) des Badbehälters angeordnet ist.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 1, die ferner einen Erhitzer (105) oder einen Kühler umfasst, der zwischen einer Innen- und einer Außenwand (513, 515) des Badbehälters angeordnet ist und der die Temperatur des Badbehälters (5) und der Lösung (51) regelt.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 1, das ferner ein Umlauferhitzungssystem (10) umfasst, wobei das Umlauferhitzungssystem umfasst: einen Lösungszwischenlagerbehälter (101), das durch mindestens eine Recyclingleitung (107) mit dem Badbehälter (5) verbunden ist, eine Pumpe (103), die mit dem Lösungszwischenlagerbehälter (101) durch eine Leitung (111) verbunden ist und die darauf ausgelegt ist, einen Druck bereit zu stellen, um die Lösung (51) zu transportieren, und einen Erhitzer (105), der mit der Pumpe (103) durch eine Leitung (111) verbunden ist der durch die mindestens eine Recyclingleitung (107) mit dem Badbehälter (5) verbunden ist, wobei der Erhitzer (105) die durch den Erhitzer (105) fließende Lösung (51) erwärmt und wobei die erwärmte Lösung (51) mithilfe des Drucks der Pumpe (103) zu dem Badbehälter zurückkehrt.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 7, wobei sich ein Ende der Recyclingleitung (107) in der Lösung (51) platziert ist und sich ein Ende einer Verteilungsleitung (109) in der Lösung (51) und/oder über der Lösung (51) platziert ist.
Hebe- und Fördervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Transporteinheit (3) ferner zwei einander gegenüber angeordnete Träger (33) umfasst, zwischen denen die Transportrollen (31) entsprechend angeordnet sind, der Hubmechanismus (4) mindestens einen Motor (41) und mindestens zwei Kugelumlaufspindeln (43) umfasst, wobei die mindestens zwei Kugelumlaufspindeln (43) jeweils am Unterteil der beiden Träger (33) montiert sind und wobei sich die beiden Träger (33) und die Transportrollen (31) synchronen anheben oder absenken, wodurch der Motor (41) die mindestens zwei Kugelumlaufspindeln (43) zum synchronen Anheben oder Absenken antreibt.