DE202007019184U1

DE202007019184U1 - Vorrichtung zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen

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Publication number: DE202007019184U1
Application number: DE202007019184U
Authority: DE
Original assignee: Maschinenfabrik Reinhausen GmbH; Maschinenfabrik Reinhausen Gebrueder Scheubeck GmbH and Co KG
Current assignee: Maschinenfabrik Reinhausen GmbH; Scheubeck GmbH and Co
Priority date: 2007-09-11
Filing date: 2007-09-11
Publication date: 2010-12-30
Anticipated expiration: 2017-09-12
Also published as: ES2373502T3; ATE524953T1; DE102007043291A1; CN101810060A; KR20100051594A; WO2009033522A1; MY147170A; CN101810060B; US20100304045A1; EP2206417A1; EP2206417B1; JP2010539644A

Abstract

Vorrichtung zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen mittels eines Plasma-Jets, wobei eine Einrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets (7) unter Zufuhr eines Prozessgases (6) vorgesehen ist, derart, dass der Plasma-Jet (7) in Jet- oder Strahlform aus einem Plasmakopf (5) der Einrichtung austritt,
dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens eine räumlich getrennt angeordnete geschlossene Reaktionskammer (8) vorgesehen ist, die eine Einlassöffnung (9) für den Plasma-Jet (7), mindestens eine weitere Einlassöffnung (10) und eine Auslassöffnung (13) aufweist,
dass der Plasmakopf (5) mit der Einlassöffnung (9) der Reaktionskammer (8) in Verbindung steht,
dass durch die mindestens eine weitere Einlassöffnung (10) mindestens ein Trägergas (11) zuführbar ist
und dass die Auslassöffnung (13) hin zur Oberfläche des zu behandelnden oder zu beschichtenden Werkstücks (15) gerichtet ist.

Description

Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen mittels eines Plasma-Jets.
Als Plasma-Jet werden im Stand der Technik Plasmaströmungen bezeichnet, die eine Jet- oder Strahlform aufweisen, aus der diese Plasmaströmung erzeugenden Vorrichtung heraus extrahiert sind und sich bis zur Oberfläche eines in gewissem Abstand von der Vorrichtung angeordneten Substrates bzw. Werkstückes erstrecken. Die Erzeugung des eigentlichen Plasmas in Jet-Form kann prinzipiell auf zweierlei Weise erfolgen: Entweder durch eine dielektrisch behinderte Entladung oder eine Bogenentladung.
Eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets, die mit einer dielektrisch behinderten Entladung, auch als Atmosphärendruck-Glimmentladung bezeichnet, arbeitet, ist aus der WO 2005/125286 A2 bekannt. Bei dieser Vorrichtung sind zwei Elektroden durch ein als dielektrische Barriere wirkendes Isolierrohr voneinander getrennt. Weiterhin wird durch die Vorrichtung hindurch ein Trägergas geführt. Auf diese Weise entsteht beim Anlegen einer Wechselspannung zwischen den Elektroden am freien Ende der Vorrichtung ein Plasmastrahl.
Eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets, die mit einer direkten Bogenentladung arbeitet, ist aus der EP 0 761 415 bekannt. Bei dieser Vorrichtung bildet sich zwischen zwei sich direkt gegenüberstehenden Elektroden ein direkter Lichtbogen aus, wobei ebenfalls ein Trägergas durch die Vorrichtung geführt wird.
Zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen wird bei allen bekannten Vorrichtungen versucht, den erzeugten Plasmastrahl und ein zusätzliches Prozessgas, das zur Behandlung bzw. Beschichtung dient, unmittelbar vor oder erst nach dem Austreten des Plasmastrahls aus dem Plasmakopf zu vermischen, um Ablagerungen an den Begrenzungswänden bzw. an der Austrittsdüse der Vorrichtung selbst zu vermeiden oder wenigstens zu verringern. Nachteilig ist dabei stets die parallele Strömungsrichtung von Prozessgas und Plasmastrahl und die daraus resultierende schlechte Aktivierung. Zusätzlich wird durch den aus dem Düsenkopf austretenden Plasmastrahl die Umgebungsluft radikalisiert, wodurch es zu Abbruchprozessen im eigentlich aktivierten Prozessgas kommt.
Bei der in der bereits genannten WO 2005/125286 beschriebenen Vorrichtung, die mit einer dielektrisch behinderten Entladung arbeitet, wird zusätzlich zum plasmabildenden Trägergas ein Prozessgas durch ein innerhalb der Innenelektrode liegendes Innenrohr zugeführt. Die Vermischung von Plasma und Prozessgas erfolgt dabei erst nach dem Verlassen der Austrittsdüse der Vorrichtung im räumlichen Bereich zwischen Substrat und Plasmakopf. Nachteilig ist hierbei die bereits angesprochene unzureichende Aktivierung des Prozessgases, da, wie erläutert, Plasmastrahl und Prozessgas im Wesentlichen parallel auf das Substrat strömen und somit eine Aktivierung des Prozessgases nur unzureichend erfolgt.
In der WO 99/20809 wird eine weitere Vorrichtung beschrieben, die einen Plasma-Jet erzeugt, wobei hier die Zuführung des Prozessgases unmittelbar vor der Austrittsdüse erfolgt. Dadurch vermeidet man die chemischen Reaktionen im Bereich der Elektroden. Das Berührungsvolumen zwischen Plasma-Jet und Prozessgas ist bei dieser Vorrichtung konstruktiv auf ein Minimum beschränkt, um Ablagerungen des bereits aktivierten Prozessgases im Plasmakopf der Vorrichtung zu vermeiden.
Bei den bekannten Vorrichtungen ist es weiterhin nachteilig, dass der Plasmastrahl, der nur unvollständig mit dem Prozessgas reagiert, zum wesentlichen Teil ungehindert auf die zu behandelnde oder beschichtende Oberfläche trifft. Durch die Sekundärstrahlung des Plasmas im UV-Bereich und die direkte physische Berührung des Plasmas mit der Oberfläche kommt es dort zu unverwünschten chemischen und physikalischen Prozessen. So kann es etwa zur Aufspaltung von Polymeren sowie zur unerwünschten Einlagerung von Sauerstoff in die Oberfläche kommen.
Aufgabe der Neuerung ist es, eine Vorrichtung anzugeben, bei der zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen ein Plasmastrahl in Form eines Plasma-Jets und mindestens ein Prozessgas möglichst vollständig durchmischt werden und ein möglichst vollständiger Energietransfer vom Plasma hin zum Prozessgas erfolgen kann, so dass ein optimal aktiviertes Gemisch aus Träger- und Prozessgas auf die entsprechende Oberfläche trifft. Dabei soll kein direkter Kontakt zwischen dem Plasma-Jet und der Oberfläche möglich sein.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des ersten Schutzanspruches gelöst. Die Unteransprüche betreffen jeweils besonders vorteilhafte Weiterbildungen der Neuerung.
Die Neuerung geht von der allgemeinen Idee aus, eine erzeugte Plasmaströmung in Form eines Plasma-Jets und mindestens ein Prozessgas unter Ausschluss der Umgebungsluft in einem separaten räumlichen Bereich miteinander zu durchmischen. Dazu wird das Prozessgas in eine der Austrittsdüse eines bekannten Plasma-Jets nachfolgend angeordnete Reaktionskammer geführt, wobei in dieser Reaktionskammer durch eine geeignete Strahlführung und entsprechende Strömungsgeometrie eine möglichst vollständige Durchmischung von Plasmastrahl einerseits und Prozessgas andererseits erfolgt. Erst danach wird das auf diese Weise aktivierte Prozessgas über eine Austrittsdüse in direkten Kontakt mit der Oberfläche des Werkstückes gebracht, um diese Oberfläche zu konditionieren oder auf ihr Schichten abzuschneiden.
Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform sind die Strömungsrichtungen des Plasmastrahls einerseits sowie des Prozessgases andererseits beim Eintritt in die Reaktionskammer senkrecht oder nahezu senkrecht zueinander. Hierdurch kommt es zu einer besonders intensiven Vermischung der beiden Medien.
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird der Plasmastrahl im Wesentlichen parallel zur Oberfläche des zu behandelnden oder zu beschichtenden Werkstücks in die Reaktionskammer geführt und das Prozessgas im wesentlich senkrecht zur Oberfläche zugeführt. Bei dieser Ausführungsform werden beide Medien optimal miteinander vermischt, ohne dass der Plasmastrahl selbst durch die Reaktionskammer hindurch laufen könnte. Dies ermöglicht eine kleine Baugröße der Reaktionskammer.
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist die Reaktionskammer zusätzlich mit einem Kühl-/Heizsystem versehen, um die bei der Vermischung von Plasmastrahl und Prozessgas ablaufenden chemischen und physikalischen Prozesse kontrollieren zu können. Es ist beispielsweise möglich, durch Temperierkanäle in den Begrenzungswänden der Reaktionskammer ein flüssiges, temperiertes Medium zu leiten. Eine Temperierung kann ebenso auch mit einem elektrischen Heizsystem erfolgen.
Schließlich ist es gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung auch möglich, mehrere Plasma-Jets an der Reaktionskammer anzuordnen, derart, dass eine Vermischung mehrerer Plasmastrahlen mit dem Prozessgas möglich ist.
Es ist auch möglich, nacheinander verschiedene Prozessgase zuzuführen und dazu mehrere Reaktionskammern oder auch eine zwei- oder mehrstufig ausgebildete kombinierte Reaktionskammer vorzusehen.
Alle Ausführungsformen der Neuerung weisen eine Reihe von Vorteilen gegenüber dem Stand der Technik auf:
Zunächst einmal wird die Plasmaenergie fast vollständig in die Aktivierung des Prozessgases umgesetzt.
Weiterhin werden durch Ausschluss von Luftsauerstoff in der Reaktionskammer unerwünschte Nebenreaktionen zwischen Umgebungsluft, Plasma und Prozessgas vermieden. Nur das aktivierte Prozessgas und nicht der Plasmastrahl selbst werden mit der Oberfläche des zu behandelnden oder zu beschichtenden Werkstückes in Kontakt gebracht.
Durch die Vermeidung dieses direkten Kontaktes zwischen Plasma und Werkstückoberfläche wird der schädigende Einfluss der sekundären UV-Strahlung vermieden. Durch die Vermeidung dieses direkten Kontaktes werden weiterhin andere Effekte, die das Plasma auf der Werkstückoberfläche hervorrufen könnte, wie eine Änderung der Oberflächenspannung, ein Einbringen von reaktiven Sauerstoffgrupper in diese Oberfläche usw., vermieden.
Die Neuerung soll nachfolgend an Hand von Zeichnungen beispielhaft noch näher erläutert werden.
Es zeigen:
1 einen schematischen Ablaufplan der Funktion einer neuerungsgemäßen Vorrichtung
2 eine erste Vorrichtung zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen
3 eine zweite derartige Vorrichtung
4 eine dritte derartige Vorrichtung
5 eine vierte derartige Vorrichtung
6 eine fünfte derartige Vorrichtung.
Zunächst soll die in 1 schematisch dargestellte Wirkungsweise näher erläutert werden. Bei diesem Beispiel wird von der Erzeugung eines Plasma-Jets mittels dielektrisch behinderter Entladung ausgegangen. Dazu wird an die durch ein Dielektrikum voneinander getrennten Elektroden eine Spannung angelegt. Bei der bereits eingangs erläuterten Vorrichtung gemäß der WO 2005/125286 ist dies ein Isolierrohr, wobei, konzentrisch aufgebaut, innerhalb und außerhalb dieses Isolierrohres die Elektroden vorgesehen sind. Dabei entsteht eine Glimmentladung; durch Zufuhr eines Prozessgases, das die Vorrichtung durchströmt, entsteht ein Plasma-Jet, der aus der Vorrichtung austritt.
Dieser Plasma-Jet wird nachfolgend unter Ausschluss der Umgebungsluft mit einem zugeführten separaten Trägergas vermischt. Das Trägergas dient zur Behandlung der Oberfläche des Werkstückes oder enthält die Partikel zur späteren Beschichtung dieser Oberfläche des Werkstückes. Diese Vermischung unter Ausschluss der Umgebungsluft vollzieht sich in einer Reaktionszone außerhalb der den Plasma-Jet erzeugenden Vorrichtung, in der ein gegenüber der Umgebung erzeugter Druck herrschen kann. In dieser Reaktionszone erfolgt eine intensive Vermischung des Plasmastrahls einerseits und des im Trägergas enthaltenden Gas- und Partikelstroms andererseits. In diesem Bereich wird damit der größte Teil der im Plasma enthaltenen Energie an den Gas- und/oder Partikelstrom übertragen. Dazu ist es sinnvoll, durch geeignete technische Mittel in der Reaktionszone einen gegenüber der Umgebung erhöhten Druck zu erzeugen, wodurch das Eintreten von Umgebungsluft in diesem Bereich vermieden wird.
Insgesamt wird, wie erläutert, in diesem Reaktionsbereich das zugeführte Trägergas aktiviert bzw. ein Partikelstrahl erzeugt.
Es ist auch möglich, die beiden letzten dargestellten Verfahrensschritte zu wiederholen, d. h. nacheinander mehrere Aktivierungszonen vorzusehen, bei denen entweder jeweils dasselbe Trägergas oder auch unterschiedliche Trägergase zugeführt werden können. Ein solches Verfahren mit mehreren Aktivierungszonen ist besonders geeignet, um entweder eine besonders intensive Aktivierung des Trägergases zu erreichen oder ein Gemisch mit mehreren aktivierten Gasen zu erzeugen.
Nachfolgend wird das gemäß den bisher erläuterten Verfahrensschritten aktivierte Trägergas bzw. der Partikelstrahl in Kontakt mit der Oberfläche des zu behandelnden Werkstückes gebracht und die Oberfläche auf diese Weise behandelt bzw. beschichtet.
Charakteristisch für die neuerungsgemäße Vorrichtung ist, dass der Plasmastrahl im separaten Reaktionsbereich bzw. in den separaten Reaktionsbereichen die Plasmaenergie zum allergrößten Teil an den Gas- und/oder Partikelstrom überträgt und, dies ist besonders wichtig, dass der Plasmastrahl selbst nicht oder nur noch zu einem ganz geringen Teil mit der Oberfläche in direkten Kontakt kommt.
Weiterhin ist typisch, dass dadurch, dass in der Reaktionszone die Umgebungsluft ausgeschlossen wird, die bereits eingangs erwähnten unerwünschten Nebenreaktionen zwischen Umgebungsluft, Plasma und Prozessgas vermieden werden.
2 zeigt eine erste neuerungsgemäße Vorrichtung. Die Vorrichtung 1 zur Erzeugung eines Plasma-Jets weist eine dielektrische Barriere 2, hier ein Isolierrohr, auf. Konzentrisch darum ist eine äußere Elektrode 3 angeordnet, im Zentrum verläuft eine innere Elektrode 4. An ihrem freien Ende wird die Vorrichtung 1 von einem Plasmakopf 5 abgeschlossen. In der mit dem Pfeil angedeuteten Richtung wird ein Prozessgas 6 zugeführt; in der Folge entsteht ein Plasma-Jet 7, der durch eine Öffnung im Plasmakopf 5 nach außen tritt. In Verbindung mit der Vorrichtung 1 steht eine geschlossene Reaktionskammer 8, die eine Einlassöffnung 9 für den Plasma-Jet 7 aufweist. Besonders vorteilhaft ist diese Einlassöffnung 9 gegen die Öffnung des Plasmakopfes 5 abgedichtet, um den Eintritt von Umgebungsluft zu vermeiden. Die Reaktionskammer 8 besitzt eine weitere Einlassöffnung 10, durch die ein Trägergas 11 in einen Innenraum 12 der Reaktionskammer 8 geblasen wird. Weiterhin weist die Reaktionskammer 8 eine Austrittsöffnung 13 auf. Durch die Einlassöffnung 9 reicht der Plasma-Jet 7 bis ins Innere des Innenraumes 12. Dort erfolgt ein intensives Vermischen von Plasma-Jet 7 und Trägergas 11. Das auf diese Weise aktivierte Trägergas 14 tritt durch die Austrittsöffnung 13 aus der Reaktionskammer 8, trifft auf ein Werkstück 15 und behandelt oder beschichtet dessen Oberfläche. Bei dieser Ausführung ist eine Reaktionskammer 8 mit Innenmischung vorgesehen, dabei erfolgt der Eintritt des Plasma-Jets 7 senkrecht zum Strahl des aktivierten Trägergases 14, was zu einer besonders intensiven Durchmischung und intensivem Energieaustausch führt.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn Eintrittsöffnung 9 und Austrittsöffnung 13 an gegenüberliegenden Seiten der Reaktionskammer 8 liegen, so dass durch eine seitlich angeordnete Einlassöffnung 10 für das einzublasende Trägergas 11 eine Verwirbelung und/oder Ablenkung des Plasma-Jets 7 von der Geraden erfolgt.
3 zeigt eine weitere Vorrichtung, bei der abweichend der Plasma-Jet 7 in gleicher Richtung in die Reaktionskammer 8 geführt wird, in der das aktive Trägergas 14 diese verlässt.
4 zeigt eine weitere Vorrichtung, bei der zwei identische Vorrichtungen 1, 1a zur Erzeugung jeweils eines Plasma-Jets 7, 7a seitlich vorgesehen sind. Hierbei weist die Reaktionskammer 8 zwei Einlassöffnungen 9, 9a auf durch die jeweils einer der beiden erzeugten Plasma-Jets 7, 7a in den Innenraum 12 geführt ist.
5 zeigt eine weitere Vorrichtung, bei der anschließend an die Austrittsöffnung 13 der Reaktionskammer 8, verbunden durch ein Verbindungsstück 16, eine weitere Reaktionskammer 17 vorgesehen ist. In den Innenraum 18 dieser weiteren Reaktionskammer 17 ist ein weiteres Trägergas 19 durch eine weitere Eintrittsöffnung 20 einblasbar. Beide Trägergase 11 und 19 können identisch oder auch verschieden sein. Es ist z. B. möglich, als erstes Trägergas 11 einen Plasmainitiator und als zweites Trägergas 19 ein Aerosol, z. B. mit Nanopartikeln und/oder Bindemitteln, vorzusehen. In jeder der beiden Reaktionskammern 8, 17 erfolgt ein Vermischen des jeweils zugeführten Mediums mit dem jeweils zugeführten Trägergas.
6 zeigt eine weitere Vorrichtung, bei der ebenso wie in der gerade erläuterten 5 eine zweistufige Reaktionskammer vorgesehen ist. Während beim in 5 dargestellten Ausführungsbeispiel jedoch zwei identische Reaktionskammern 8, 17 kaskadenartig hintereinander geschaltet sind – wobei natürlich diese Kaskadenanordnung auch noch mehr als zwei Reaktionskammern umfassen kann – ist bei dem jetzt zu erläuternden Ausführungsbeispiel eine kombinierte Reaktionskammer 20a vorgesehen, die einen ersten Innenraum 21 und einen zweiten Innenraum 22 besitzt. Im ersten Innenraum 21 erfolgt eine Durchmischung des zugeführten Plasma-Jets 7 mit dem ersten Trägergas 11. Im zweiten Innenraum 22 erfolgt eine weitere Durchmischung des den ersten Innenraum 21 verlassenden aktivierten Mediums mit dem weiteren Trägergas 19.
Es ist in vorteilhafter Weiterbildung möglich, die Reaktionskammer 8 bzw. die Reaktionskammern 8, 17 mittels elektrischer oder auch Flüssigkeitstemperierung zu beheizen oder zu kühlen. Durch Aufheizung der entsprechenden Reaktionskammer kann eine Kondensation des aktivierten Mediums vermieden werden. Weiterhin ist es auf diese Weise möglich, das ein in die jeweilige Reaktionskammer eingespeistes flüssiges Medium statt des Trägergases dort durch die Temperierung verdampft wird.
Durch entsprechende Gestaltung der der zu behandelnden oder zu beschichtenden Werkstückoberfläche zugewandten Austrittsöffnung der Vorrichtung in Düsenform ist es möglich, einen linearen Strahl des aktivierten Mediums auf die Werkstückoberfläche zu erzeugen; ebenso ist etwa ein fächerförmiger oder auch ein kegelförmiger Strahl durch eine geeignete Düsenausbildung im Rahmen der Neuerung möglich.
Weiterhin ist es möglich, alle oder auch einzeln Eintritts- und/oder Austrittsöffnungen der Vorrichtung über ein Düsensystem, eine verstellbare Blende oder andere, an sich bekannte Regelmöglichkeiten zu verstellen oder zu verschließen. Auf diese Weise ist durch eine einfache Regelung des Querschnittes der jeweiligen Eintritts- und/oder Austrittsöffnung die Verweilzeit der Plasma-, Gas- und/oder Partikelströme in der jeweiligen Reaktionskammer einstell- und veränderbar.
Die Vorrichtung nach der Neuerung lässt sich besonders vorteilhaft aus zwei separaten Baugruppen zusammensetzen. Als erste Baugruppe zur Erzeugung eines Plasma-Jets ist vorteilhaft das von der Anmelderin hergestellte und vertriebene Gerät plasmabrush^® verwendbar, bei dem der Plasma-Jet mittels einer dielektrisch behinderten Barrierenentladung erzeugt wird. Eine zweite Baugruppe kann dann eine oder auch mehrere Reaktionskammern mit den jeweiligen Einlass- und Auslassöffnungen umfassen. Besonders vorteilhaft ist dabei eine Einlassöffnung 9 so angepasst, dass sie mit dem Plasmakopf 5 des Gerätes plasmabrush^® direkt baukastenartig korrespondiert, so dass dieser Plasmakopf 5 direkt und abdichtend auf die Einlassöffnung 9 aufgesetzt werden kann.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- WO 2005/125286 A2 [0003]
- EP 0761415 [0004]
- WO 2005/125286 [0006, 0028]
- WO 99/20809 [0007]

Claims

Vorrichtung zur Behandlung oder Beschichtung von Oberflächen mittels eines Plasma-Jets, wobei eine Einrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets (7) unter Zufuhr eines Prozessgases (6) vorgesehen ist, derart, dass der Plasma-Jet (7) in Jet- oder Strahlform aus einem Plasmakopf (5) der Einrichtung austritt, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine räumlich getrennt angeordnete geschlossene Reaktionskammer (8) vorgesehen ist, die eine Einlassöffnung (9) für den Plasma-Jet (7), mindestens eine weitere Einlassöffnung (10) und eine Auslassöffnung (13) aufweist, dass der Plasmakopf (5) mit der Einlassöffnung (9) der Reaktionskammer (8) in Verbindung steht, dass durch die mindestens eine weitere Einlassöffnung (10) mindestens ein Trägergas (11) zuführbar ist und dass die Auslassöffnung (13) hin zur Oberfläche des zu behandelnden oder zu beschichtenden Werkstücks (15) gerichtet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung zwischen Plasmakopf (5) und Einlassöffnung (9) abgedichtet ist, derart, dass keine Umgebungsluft ins Innere der Reaktionskammer (8) dringt.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Reaktionskammern (8, 17) kaskadenartig hintereinander angeordnet sind, derart, dass jeweils die Austrittsöffnung (13) der ersten Reaktionskammer (8) mit einer Eintrittsöffnung der nachfolgenden weiteren Reaktionskammer (17) in Verbindung steht.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Reaktionskammer (8, 17, 20a) gezielt temperierbar, d. h. heiz- oder kühlbar ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Eintritts- und/oder Austrittsöffnung (9, 10, 13; 17, 20) regelbar oder verschließbar ist.