DE202007018482U1 - Transportvorrichtung mit einer Überwachungseinrichtung - Google Patents

Abstract

Transportvorrichtung mit mindestens einem um mindestens zwei Umlenkrollen (12) geführten endlosen Fördermittel, wobei an mindestens einer Umlenkrolle (12) eine Überwachungseinrichtung (92, 93) zur Überwachung der Bewegung der Umlenkrolle (12) vorgesehen ist.

Description

• Nachfolgend wird eine Transporteinrichtung mit einer Überwachungseinrichtung beschrieben.
• Die beschriebene Transporteinrichtung eignet sich dazu, Substrate durch eine Vakuumbeschichtungsanlage zu bewegen, um sie zu beschichten, zu ätzen oder anderweitig im Vakuum zu behandeln. Derartige Vakuumbeschichtungsanlagen weisen typischerweise Schleusenkammern sowie eine zwischen den Schleusenkammern angeordnete Vakuumkammer auf, die in Kompartments mit unterschiedlichen Funktionen, beispielsweise Pumpkompartments und Prozesskompartments, unterteilt sein kann.
• Eine Transporteinrichtung umfasst mindestens ein um mindestens zwei Umlenkrollen geführtes endloses Fördermittel, wobei an mindestens einer Umlenkrolle eine Überwachungseinrichtung zur Überwachung der Bewegung der Umlenkrolle vorgesehen ist.
• In einer Ausgestaltung umfasst die Überwachungseinrichtung ein auf der Umlenkrolle angeordnetes erstes Kontaktelement sowie ein nahe der Umlenkrolle angeordnetes zweites Kontaktelement, wobei das erste und das zweite Kontaktelement zueinander so angeordnet sind, dass bei jeder Umdrehung der Umlenkrolle eine Berührung zwischen dem ersten Kontaktelement und dem zweiten Kontaktelement stattfindet.
• Die Transporteinrichtung umfasst demzufolge mindestens einen Endlosförderer, d. h. eine Vorrichtung, die ein um mindestens zwei Umlenkrollen geführtes endloses Fördermittel aufweist. Das Fördermittel des Endlosförderers kann beispielsweise ein endloses Seil, ein endloser Riemen mit beliebigem Querschnitt (Kreis, Trapez usw.), ein endloser Gurt (Riemen mit flachem Rechteckquerschnitt) oder eine endlose Kette sein. Für den Einsatz in Hochtemperaturbereichen einer Vakuumbe schichtungsanlage kann das Fördermittel beispielsweise als endloses Edelstahlseil ausgeführt sein. Ein Endlosförderer der angegebenen Art kann auch mehrere Fördermittel, beispielsweise zwei über dieselben Umlenkrollen geführte endlose Edelstahlseile, umfassen. Dadurch kann einerseits die Stabilität des Endlosförderers erhöht werden und andererseits seine Zuverlässigkeit verbessert werden, da das Fördermittel redundant ausgeführt ist und bei Versagen eines Fördermittels immer noch das zweite Fördermittel bereitsteht.
• Nachfolgend wird die beschriebene Transporteinrichtung an Hand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigt die einzige 1 eine Überwachungseinrichtung der beschriebenen Art zur Erkennung von Defekten eines Endlosförderers.
• Eine Umlenkrolle 12 ist an einem Lagerbock 91 drehbar gelagert. Die Umlenkrolle 12 weist an ihrer dem Lagerbock 91 zugewandten Seite ein erstes Kontaktelement 92 auf, das im Ausführungsbeispiel ein an der Umlenkrolle angebrachtes Federblech ist. Elektrisch isoliert vom Lagerbock 91 und damit von der Umlenkrolle 12 ist am Lagerbock 91 ein zweites Kontaktelement 93 ortsfest angebracht. Das zweite Kontaktelement 93 ist im Ausführungsbeispiel als flexibler Stahlstift ausgeführt. Die Flexibilität wird dadurch erreicht, dass der Stahlstift 93 ein in eine Halterung eingepresstes Stück Edelstahlseil ist.
• Wird der Endlosförderer in Betrieb gesetzt, so beginnt die Umlenkrolle 12, sich zu drehen. Bei jeder Umdrehung wird das Federblech 92 einmal an dem flexiblen Stahlstift 93 vorbeigeführt. Dabei kommt es zu einer Berührung zwischen dem Federblech 92 und dem flexiblen Stahlstift 93. Auf diese Weise bilden die beiden Kontaktelemente 92; 93 einen einfachen mechanischen Schalter, der bei der Berührung der Kontaktelemente 92; 93 einen Stromkreis schließt. Wird trotz eingeschaltetem Endlosförderer kein Schaltvorgang mehr registriert, so deutet dies daraufhin, dass sich die Umlenkrolle 12 nicht mehr dreht, woraus geschlossen werden kann, dass das Fördermittel 2 des End losförderers defekt ist. Die beschriebene Überwachungseinrichtung ist robust, kann hohen Umgebungstemperaturen widerstehen und ist unempfindlich gegen eine möglicherweise ungewollt erfolgende Beschichtung der Kontaktelemente 92; 93, da sich diese bei jeder Umdrehung gegenseitig selbsttätig reinigen.

12

Umlenkrolle

91

Lagerbock

92

erstes Kontaktelement

93

zweites Kontaktelement

Claims (5)

1. Transportvorrichtung mit mindestens einem um mindestens zwei Umlenkrollen (12) geführten endlosen Fördermittel, wobei an mindestens einer Umlenkrolle (12) eine Überwachungseinrichtung (92, 93) zur Überwachung der Bewegung der Umlenkrolle (12) vorgesehen ist.
2. Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungseinrichtung ein auf der Umlenkrolle (12) angeordnetes erstes Kontaktelement (92) sowie ein nahe der Umlenkrolle (12) angeordnetes zweites Kontaktelement (93) umfasst, wobei das erste und das zweite Kontaktelement (92; 93) zueinander so angeordnet sind, dass bei jeder Umdrehung der Umlenkrolle (12) eine Berührung zwischen dem ersten Kontaktelement (92) und dem zweiten Kontaktelement (93) stattfindet.
3. Transportvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Kontaktelement (92) ein auf der Umlenkrolle angeordnetes Federstahlblech ist.
4. Transportvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Kontaktelement (93) ein in einer elektrisch von der Umlenkrolle (12) isolierten Halterung gelagerter, flexibler Stahlstift ist.
5. Transportvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der flexible Stahlstift ein Abschnitt von einem Edelstahlseil ist.