DE202005019644U1 - Turbo molecular pump, with a main inflow and at least one intermediate inflow, has a floating rotor supported by active magnet radial and radial-axial bearings - Google Patents

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Abstract

The turbo molecular pump (10), with a main inflow (18) and at least one intermediate inflow (20), has a turbo section (12) in front of the intermediate inflow and a pump section (14) after it. The floating rotor (30) is supported by a radial bearing (42) and a radial-axial bearing (44,50) as active magnet bearings. The bearings and an electromotor (40) are contained within a bearing cartridge (38).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe mit einem Haupteinlass und mindestens einem Zwischeneinlass.The The invention relates to a turbomolecular pump having a main inlet and at least one intermediate intake.

Eine Turbomolekularpumpe mit einem Haupteinlass und mindestens einem Zwischeneinlass weist einen Turbo-Abschnitt vor und mindestens einen Pump-Abschnitt hinter dem Zwischeneinlass auf. Der Pumpenrotor wird durch ein mechanisches Radial-Lager und ein mechanisches Radial-Axial-Lager gelagert. Es besteht der Wunsch, derartige Turbomolekularpumpen mit immer höheren Gasdurchsätzen und mit immer höheren Kompressionsvermögen zu betreiben.A Turbomolecular pump with a main inlet and at least one Intermediate inlet has a turbo section and at least one Pump section behind to the intermediate inlet. The pump rotor is powered by a mechanical radial bearing and a mechanical radial-axial bearing stored. It consists of Desire to such turbomolecular pumps with ever higher gas flow rates and with ever higher compressibility to operate.

Durch die hierdurch zwangsläufig zunehmende Reibung in den mechanischen Lagern erhöht sich die Eigenerwärmung und damit die Betriebstemperatur der Turbomolekularpumpe. Es wird dadurch die Gefahr erhöht, dass das tribologische System der mechanisch gelagerten Turbomolekularpumpe durch den temperaturbedingt erhöhten Verschleiß relativ früh versagt. Hinzu tritt, dass die Pumpenrotoren und Pumpenstatoren einer Turbomolekularpumpe zur Erhaltung eines günstigen Wirkungsgrades ausgesprochen engspaltig konstruiert sind, was eine Minimierung der Eigenerwärmung erfordert.By the inevitable increasing friction in the mechanical bearings increases the self-heating and thus the operating temperature of the turbomolecular pump. It will thereby increasing the risk that the tribological system of the mechanically stored turbomolecular pump increased by the temperature Wear failed relatively early. In addition, the pump rotors and pump stators of a turbomolecular pump to maintain a favorable Effizienzes are designed extremely narrow column, what a Minimization of self-heating requires.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Zuverlässigkeit einer Turbomolekularpumpe mit einem Haupteinlass und mindestens einem Zwischeneinlass zu erhöhen.task The invention is the reliability a turbomolecular pump having a main inlet and at least to increase an intermediate intake.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.These Task is according to the invention with the Characteristics of claim 1 solved.

Bei der erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe sind sowohl das Radial-Lager als auch das Radial-Axial-Lager als aktive Magnet-Lager ausgebildet. Die gesamte 5-achsige Lagerung des Rotors erfolgt im Normalfall berührungslos, nur bei Störungen übernehmen mechanische Fanglager vorübergehend die Lagerung. Hierdurch wird gerade bei zunehmenden Gasdurchsätzen und höheren Kompressionen und damit höheren Drücken die lagerungsbedingte Erwärmung auf ein technisch unvermeidbares Minimum reduziert. Zum einen wird die durch überhöhte Temperaturen bedingte Alterung und Schwächung aller Bauteile der Turbomolekularpumpe erheblich reduziert. Zum anderen unterliegen die aktiven Magnet-Lager keiner mit mechanischen Wälzlagern vergleichbaren Alterung bzw. Abnutzung. Die Zuverlässigkeit und die Lebensdauer einer Turbomolekularpumpe mit einem Haupteinlass und einem Nebeneinlass werden auf diese Weise erheblich erhöht.at the turbomolecular pump according to the invention are both the radial bearing and the radial-axial bearing as formed active magnetic bearing. The entire 5-axis storage The rotor is usually contactless, only take over in case of faults mechanical fishing camp temporarily warehousing. This is just with increasing gas flow rates and higher Compressions and thus higher To press the storage-related warming reduced to a technically unavoidable minimum. For one thing due to excessive temperatures conditional aging and weakening all components of the turbomolecular pump significantly reduced. To the Others, the active magnetic bearings are not subject to any mechanical roller bearings comparable aging or wear. The reliability and the life of a turbomolecular pump with a main inlet and a sideline are significantly increased in this way.

Vorzugsweise ist der Rotor fliegend gelagert. Der fliegend angeordnete Teil des Rotors sind vorzugsweise die beiden Turbo-Abschnitte des Rotors. Mit dieser Anordnung wird unter anderem vermieden, dass der Einlassquerschnitt des Haupteinlasses durch ein relativ viel Bauraum erforderndes Magnet-Lager verkleinert wird.Preferably the rotor is cantilevered. The flying part of the Rotors are preferably the two turbo sections of the rotor. With This arrangement is avoided, inter alia, that the inlet cross-section the main inlet by a relatively large amount of space requiring magnetic bearing is reduced.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung sind zwei weitere Pump-Abschnitte vorgesehen, und sind die Lager zwischen den ersten beiden und den beiden folgenden Pump-Abschnitten angeordnet. Zu beiden Längsseiten der Lager sind also jeweils zwei oder mehr Pump-Abschnitte des Rotors fliegend gelagert. Auf diese Weise kann mit relativ geringem Lagerungsaufwand eine Turbomolekularpumpe mit vier oder mehr Pump-Abschnitten realisiert werden.According to one preferred embodiment, two further pump sections are provided, and are the bearings between the first two and the two following Arranged pumping sections. On both sides of the bearings are so each two or more pumping sections of the rotor stored on the fly. In this way, with a relatively low storage costs a Turbomolecular pump realized with four or more pump sections become.

Vorzugsweise sind alle Lager, also die beiden Axiallager sowie das Radial-Lager, in einer Lagerkartusche angeordnet. Die Lagerkartusche erleichtert die Montage der Turbomolekularpumpe, da die gesamte Lagerung sowie der elektrische Antrieb in der Lagerkartusche komplett vormontiert sind, bevor die Lagerkartusche zusammen mit dem Rotor in das Turbomolekularpumpen-Gehäuse eingebaut wird.Preferably are all bearings, so the two thrust bearings and the radial bearing, arranged in a storage cartridge. The storage cartridge facilitates the assembly of the turbomolecular pump, since the entire storage as well the electric drive in the bearing cartridge is completely pre-assembled before the bearing cartridge is installed in the turbomolecular pump housing together with the rotor.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung folgt dem letzten Turbo-Abschnitt ein Pump-Abschnitt, der nicht nach dem Axialverdichter-Prinzip arbeitet. Dieser Pump-Abschnitt kann beispielsweise ein Holweck-Abschnitt sein und hat im Bereich des Vorvakuums gegenüber Turbo-Abschnitten bessere Verdichtungseigenschaften, so dass mit einer einzigen Pumpe auf relativ hohe Auslass-Drücke komprimiert wird.According to one preferred embodiment follows the last turbo section Pump section that does not work on the axial compressor principle. For example, this pump section may be a Holweck section and has better compression properties in the area of the fore-vacuum compared to turbo-sections, so that with a single pump compressed to relatively high outlet pressures becomes.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist zwischen allen Pump-Abschnitten jeweils ein Zwischeneinlass vorgesehen. Auf diese Weise wird eine Turbomolekularpumpe geschaffen, die zwei oder mehr Druckniveaus an ihren Einlässen zur Verfügung stellen kann.According to one preferred embodiment is between all pump sections respectively an intermediate inlet provided. In this way, a turbomolecular pump created two or more pressure levels at their inlets Make available can.

Im Folgenden werden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert.in the Two embodiments will now be described with reference to the drawings closer to the invention explained.

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine Turbomolekularpumpe im Längsschnitt mit zwei Turbo-Abschnitten und einem Holweck-Abschnitt sowie zwei Zwischeneinlässen, und 1 a turbomolecular pump in longitudinal section with two turbo sections and a Holweck section and two intermediate inlets, and

2 eine zweite Ausführungsform einer Turbomolekularpumpe im Längsschnitt mit vier Turbo-Abschnitten und einem Holweck-Abschnitt sowie vier Zwischeneinlässen. 2 a second embodiment of a turbomolecular pump in longitudinal section with four turbo sections and a Holweck section and four intermediate inlets.

In der 1 ist eine Hochvakuum-Turbomolekularpumpe 10 dargestellt, die als sogenannte Multiple-Inlet-Pumpe ausgebildet ist. Die Turbomolekularpumpe 10 weist mehrere Pump-Abschnitte 12, 14, 16 und neben einem Haupteinlass 18 zwei Zwischeneinlässe 20, 22 auf.In the 1 is a high vacuum turbomolecular pump 10 represented as so-called Mul Tiple-inlet pump is formed. The turbomolecular pump 10 has several pump sections 12 . 14 . 16 and next to a main inlet 18 two intermediate inlets 20 . 22 on.

Die Turbomolekularpumpe 10 besteht im Wesentlichen aus einem Gehäuse 24, in dem zwei Pumpenstatoren 26, 28 sitzen, einem Rotor 30, der von einer Rotorwelle 32 und zwei Pumpenrotoren 34, 36 gebildet wird, sowie einer Lagerkartusche 38.The turbomolecular pump 10 consists essentially of a housing 24 in which two pump stators 26 . 28 sit, a rotor 30 from a rotor shaft 32 and two pump rotors 34 . 36 is formed, as well as a storage cartridge 38 ,

Die Lagerkartusche 38 enthält sowohl die komplette Rotorlagerung als auch einen elektrischen bürstenlosen Antriebsmotor 40.The storage cartridge 38 contains both the complete rotor bearing and an electric brushless drive motor 40 ,

Die Lagerung wird gebildet von zwei aktiven magnetischen Radial-Lagern 42, 44, zwei Radialsensoren 46, 48, einem axialen aktiven Magnet-Lager 50, einem Axialsensor 52 sowie mehreren als Wälzlager ausgebildeten Fanglagern 54, 56. Die Lagerung des Rotors 30 ist bei störungsfreiem Betrieb berührungslos und wird vollständig durch die aktiv geregelten Magnet-Lager 42, 44, 50 gebildet.The bearing is formed by two active magnetic radial bearings 42 . 44 , two radial sensors 46 . 48 , an axial active magnetic bearing 50 an axial sensor 52 and several trained as a rolling bearing bearings 54 . 56 , The storage of the rotor 30 is non-contact in trouble-free operation and is completely controlled by the actively controlled magnetic bearings 42 . 44 . 50 educated.

Die beiden Pump-Abschnitte 12, 14 sind als Turbo-Abschnitte und jeweils mehrstufig ausgebildet, d.h. werden von mehreren Paaren einer Statorflügelscheibe und einer Rotorflügelscheibe gebildet. Zwischen dem haupteinlassseitigen distalen Turbo-Abschnitt 12 und dem darauffolgenden proximalen Turbo-Abschnitt 14 ist der erste Zwischeneinlass 20 vorgesehen, dessen Einlassquerschnitt möglichst groß ausgebildet ist. Der folgende zweite Zwischeneinlass 22 ist ungefähr in der axialen Mitte des folgenden Pump-Abschnittes 16, eines Holweck-Abschnittes 16, angeordnet. Axial hinter dem Holweck-Abschnitt 16 ist ein radialer Vorvakuum-Auslass 60 angeordnet, durch den das verdichtete Gas ausgestoßen wird.The two pump sections 12 . 14 are formed as turbo sections and each multi-stage, ie are formed by multiple pairs of a Statorflügelscheibe and a rotor blade disk. Between the main inlet-side distal turbo section 12 and the subsequent proximal turbo section 14 is the first interim intake 20 provided, the inlet cross-section is formed as large as possible. The following second intermediate intake 22 is approximately in the axial center of the following pump section 16 , a Holweck section 16 arranged. Axial behind the Holweck section 16 is a radial pre-vacuum outlet 60 arranged, through which the compressed gas is ejected.

Der Pumpenrotor 30 ist fliegend gelagert, d.h. die Rotorwelle 32 ist nicht an beiden Enden gelagert, sondern ein Rotorende ist nicht radial abgestützt. Dieses Rotorende trägt im Wesentlichen die beiden Pumpenrotoren 34, 36 der beiden Turbo-Abschnitte 12, 14.The pump rotor 30 is cantilevered, ie the rotor shaft 32 is not supported at both ends, but a rotor end is not supported radially. This rotor end essentially carries the two pump rotors 34 . 36 the two turbo sections 12 . 14 ,

In 2 ist ein zweites Ausführungsbeispiel einer Turbomolekularpumpe 70 dargestellt, die vier Pump-Abschnitte 72, 74, 76, 78, die als Turbo-Abschnitte ausgebildet sind, sowie einen sich daran anschließenden Holweck-Abschnitt 80 als nicht nach dem Axialverdichter-Prinzip arbeitender Pump-Abschnitt 80 aufweist. Der Rotor 82 ist mit seinen beiden axialen Enden fliegend gelagert, d.h. nur in seinem Mittelbereich gelagert. Die Lagerung und der Antrieb befinden sich in der Lagerkartusche 38, die ungefähr in der axialen Mitte des Rotors 82 angeordnet ist.In 2 is a second embodiment of a turbomolecular pump 70 shown the four pump sections 72 . 74 . 76 . 78 , which are designed as turbo sections, and an adjoining Holweck section 80 as not working on the axial compressor principle pump section 80 having. The rotor 82 is stored with its two axial ends flying, ie stored only in its central region. The storage and the drive are located in the storage cartridge 38 which are approximately in the axial center of the rotor 82 is arranged.

Zwischen jedem der fünf Abschnitte 72-80 ist jeweils ein Zwischeneinlass 91, 92, 93, 94 vorgesehen, durch die verschiedene Drücke in einem angeschlossenen Behälter generiert werden können.Between each of the five sections 72 - 80 is in each case an intermediate intake 91 . 92 . 93 . 94 provided by the different pressures can be generated in a connected container.

Claims (6)

Turbomolekularpumpe (10) mit einem Haupteinlass (18) und mindestens einem Zwischeneinlass (20), mit jeweils einem Turbo-Abschnitt (12) vor und einem Pump-Abschnitt (14) hinter dem Zwischeneinlass (20), und einem Rotor (30), der durch ein Radial-Lager (42) und ein Radial-Axial-Lager (44, 50) gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Radial-Lager (42) und das Radial-Axial-Lager (44, 50) als aktive Magnet-Lager ausgebildet sind.Turbomolecular pump ( 10 ) with a main inlet ( 18 ) and at least one intermediate intake ( 20 ), each with a turbo section ( 12 ) in front of and a pump section ( 14 ) behind the intermediate intake ( 20 ), and a rotor ( 30 ) by a radial bearing ( 42 ) and a radial-axial bearing ( 44 . 50 ), characterized in that the radial bearing ( 42 ) and the radial-axial bearing ( 44 . 50 ) are designed as active magnetic bearings. Turbomolekularpumpe (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor (30) fliegend gelagert ist.Turbomolecular pump ( 10 ) according to claim 1, characterized in that the rotor ( 30 ) is cantilevered. Turbomolekularpumpe (70) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwei weitere Pump-Abschnitte (76, 78) vorgesehen sind, und die Lager zwischen den ersten beiden Abschnitten (72, 74) und den beiden folgenden Abschnitten (76, 78) angeordnet sind.Turbomolecular pump ( 70 ) according to claim 1 or 2, characterized in that two further pump sections ( 76 . 78 ) and the bearings between the first two sections ( 72 . 74 ) and the two following sections ( 76 . 78 ) are arranged. Turbomolekularpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Lager (42, 44, 50) und ein elektrischer Antriebsmotor (40) in einer Lagerkartusche (38) angeordnet sind.Turbomolecular pump ( 10 ) according to one of claims 1 to 3, characterized in that the bearings ( 42 . 44 . 50 ) and an electric drive motor ( 40 ) in a storage cartridge ( 38 ) are arranged. Turbomolekularpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass dem letzten Turbo-Abschnitt (14) ein Pump-Abschnitt (16) folgt, der nicht nach dem Axialverdichter-Prinzip arbeitet.Turbomolecular pump ( 10 ) according to one of claims 1 to 4, characterized in that the last turbo section ( 14 ) a pump section ( 16 ), which does not operate according to the axial compressor principle. Turbomolekularpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen allen Abschnitten (12, 14, 16; 72, 74, 76, 78, 80) jeweils ein Zwischeneinlass (20, 22; 91, 92, 93, 94) vorgesehen ist.Turbomolecular pump ( 10 ) according to one of claims 1 to 5, characterized in that between all sections ( 12 . 14 . 16 ; 72 . 74 . 76 . 78 . 80 ) each have an intermediate inlet ( 20 . 22 ; 91 . 92 . 93 . 94 ) is provided.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008024764A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Multi-stage vacuum pump
DE102008035891A1 (en) 2008-07-31 2010-02-04 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh vacuum pump
DE102008061805A1 (en) * 2008-12-11 2010-06-17 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vacuum pump e.g. turbomolecular pump, has rotor shaft part with set of individual shafts connected with each other by coupling device, where individual shafts are coaxially arranged and support pump elements
WO2010105908A1 (en) * 2009-03-19 2010-09-23 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Multi-inlet vacuum pump
DE102009055888A1 (en) 2009-11-26 2011-06-01 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh vacuum pump
EP2706237A2 (en) 2012-09-10 2014-03-12 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump
EP2295813A3 (en) * 2009-08-01 2015-08-19 Pfeiffer Vacuum GmbH Turbomolecular pump rotor
EP2902637A3 (en) * 2014-02-03 2015-09-02 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump
EP2886870B1 (en) 2013-12-18 2017-12-20 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump with improved inlet geometry
DE102013112185B4 (en) 2013-11-06 2022-04-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump and vacuum pump with at least one turbomolecular pump stage

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4022523A1 (en) * 1990-07-16 1992-01-23 Pfeiffer Vakuumtechnik DEVICE FOR FLOODING FAST-ROTATING VACUUM PUMPS
DE19508566A1 (en) * 1995-03-10 1996-09-12 Balzers Pfeiffer Gmbh Molecular vacuum pump with cooling gas device and method for its operation
DE19804768A1 (en) * 1998-02-06 1999-08-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Thermal expansion compensation system for rotor bearings in a gas friction pump
DE19821634A1 (en) * 1998-05-14 1999-11-18 Leybold Vakuum Gmbh Friction vacuum pump with staged rotor and stator

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4022523A1 (en) * 1990-07-16 1992-01-23 Pfeiffer Vakuumtechnik DEVICE FOR FLOODING FAST-ROTATING VACUUM PUMPS
DE19508566A1 (en) * 1995-03-10 1996-09-12 Balzers Pfeiffer Gmbh Molecular vacuum pump with cooling gas device and method for its operation
DE19804768A1 (en) * 1998-02-06 1999-08-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Thermal expansion compensation system for rotor bearings in a gas friction pump
DE19821634A1 (en) * 1998-05-14 1999-11-18 Leybold Vakuum Gmbh Friction vacuum pump with staged rotor and stator

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008024764A1 (en) * 2008-05-23 2009-11-26 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Multi-stage vacuum pump
US8814542B2 (en) 2008-07-31 2014-08-26 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vacuum pump
DE102008035891A1 (en) 2008-07-31 2010-02-04 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh vacuum pump
DE102008061805A1 (en) * 2008-12-11 2010-06-17 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vacuum pump e.g. turbomolecular pump, has rotor shaft part with set of individual shafts connected with each other by coupling device, where individual shafts are coaxially arranged and support pump elements
WO2010105908A1 (en) * 2009-03-19 2010-09-23 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Multi-inlet vacuum pump
US8992162B2 (en) 2009-03-19 2015-03-31 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Multi-inlet vacuum pump
EP2295813A3 (en) * 2009-08-01 2015-08-19 Pfeiffer Vacuum GmbH Turbomolecular pump rotor
DE102009055888A1 (en) 2009-11-26 2011-06-01 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh vacuum pump
EP2333344A2 (en) 2009-11-26 2011-06-15 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Vacuum pump
DE102012108394A1 (en) 2012-09-10 2014-03-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh vacuum pump
US20140072408A1 (en) * 2012-09-10 2014-03-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump
EP2706237A2 (en) 2012-09-10 2014-03-12 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump
US9453514B2 (en) * 2012-09-10 2016-09-27 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump having fastening element for securing rotor part to rotor shaft and deformed safety element projecting in axial direction for preventing relative rotation between the rotor part and rotor shaft
DE102013112185B4 (en) 2013-11-06 2022-04-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump and vacuum pump with at least one turbomolecular pump stage
EP2886870B1 (en) 2013-12-18 2017-12-20 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump with improved inlet geometry
EP2902637A3 (en) * 2014-02-03 2015-09-02 Pfeiffer Vacuum GmbH Vacuum pump

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