DE19804768A1 - Thermal expansion compensation system for rotor bearings in a gas friction pump - Google Patents
Thermal expansion compensation system for rotor bearings in a gas friction pumpInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe nach dem Oberbegriff des ersten Patentanspruches.The invention relates to a rotor bearing for a gas friction pump according to the preamble of the first claim.
Gasreibungspumpen werden in verschiedenen Ausführungsformen in der Vakuumtechnik eingesetzt. Am bekanntesten sind Turbomolekularpumpen und Molekularpumpen z. B. nach der Bauart von Holweck. Für die Beschreibung der vorliegenden Erfindung wird die Turbomolekularpumpe als Beispiel herangezogen. Alle im folgenden aufgeführten Eigen schaften und Konstruktionsmerkmale, welche den Stand der Technik betreffen, die auftre tenden Schwierigkeiten und deren Beseitigung im Rahmen der Erfindung treffen genausogut für andere Gasreibungspumpen zu.Gas friction pumps are used in various embodiments in vacuum technology used. The best known are turbomolecular pumps and molecular pumps z. B. based on the Holweck design. For the description of the present invention, the Turbomolecular pump used as an example. All of the properties listed below and design features that relate to the state of the art that arise tend difficulties and their elimination within the scope of the invention as well for other gas friction pumps too.
Wesentlich für einen guten Wirkungsgrad einer solchen Pumpe sind eine hohe Drehzahl des Rotors und sehr enge, genau definierte Spalte zwischen rotierenden und feststehenden Bauteilen. Diese beiden Erfordernisse bedeuten für die Konstruktion zwei Bedingungen, die schwer miteinander vereinbar sind. Je höher die Drehzahl ist, um so größer muß der minimale Abstand zwischen rotierenden und feststehenden Teilen sein, um ein Anlaufen zu verhindern. Die Wärmeentwicklung, welche durch den elektrischen Antrieb, Lagerung, Reibungsverluste, Kompressionsarbeit und evtl. durch Ausheizen der Pumpe verursacht wird, führt zu einer thermischen Ausdehnung des Rotors. Dadurch werden die aufgezählten Probleme noch erheblich verstärkt und die Einhaltung von definierten engen Spalten zusätzlich erschwert. Als Folge kann es leicht zum Anlaufen des Rotors am Stator kommen, was im schlimmsten Fall zur Zerstörung der Pumpe führt.A high speed is essential for the good efficiency of such a pump of the rotor and very narrow, precisely defined gaps between rotating and fixed Components. These two requirements mean two conditions for the construction are difficult to reconcile. The higher the speed, the greater the minimum distance between rotating and fixed parts to prevent tarnishing prevent. The heat generated by the electrical drive, storage, Loss of friction, compression work and possibly caused by heating the pump leads to thermal expansion of the rotor. This will enumerate the Problems intensified considerably and compliance with defined narrow columns additionally difficult. As a result, the rotor on the stator can easily start up, in the worst case, the destruction of the pump.
Dies macht deutlich, daß die durch die unvermeidliche Erwärmung des Rotors bedingte thermische Ausdehnung unerwünschte Folgen mit sich bringt.This makes it clear that the caused by the inevitable heating of the rotor thermal expansion has undesirable consequences.
Auch auf einen ruhigen und stabilen Lauf des Rotors wirkt sich dessen Wärmeausdehnung je nach Art der Lagerung mehr oder weniger nachteilig aus. Am Beispiel einer Hybrid lagerung, welche bei Gasreibungspumpen erfolgreich eingesetzt wird und die zum bewährten Stand der Technik gehört, wird dies deutlich. Solche Lager sind z. B. auf der Hochvakuumseite mit einem passiven magnetischen Lager versehen und auf der Vorvaku umseite befindet sich eine mechanische Abstützung, welche in der Regel durch ein konventionelles Kugellager gebildet wird. Die axiale Position des Rotors im Magnetlager ist für eine stabile Lagerung sehr kritisch. Je nach Art des Permanent-Magnetlagers befindet sich der Rotor in einer axial labilen Position, d. h. es wirken bei Verschiebung aus der neutralen Lage Kräfte, die den Rotor weiter aus der neutralen Lage drängen und die mit der Verschiebung anwachsen.The thermal expansion also affects smooth and stable running of the rotor depending on the type of storage more or less disadvantageous. Using the example of a hybrid storage, which is successfully used in gas friction pumps and for belongs to the proven state of the art, this becomes clear. Such bearings are e.g. B. on the The high vacuum side is provided with a passive magnetic bearing and on the fore vacuum There is a mechanical support on the reverse, which is usually supported by a conventional ball bearing is formed. The axial position of the rotor in the magnetic bearing is very critical for stable storage. Depending on the type of permanent magnetic bearing the rotor is in an axially unstable position, d. H. they work when moved out of the neutral position Forces that push the rotor further out of the neutral position and that with the Shift increase.
Bei der Montage wird die Position des Rotors zum Magnetlager in Axialrichtung eingestellt und durch das Kugellager fixiert. Hierbei versucht man, die Änderung der Rotorlänge durch Wärmedehnung im Betrieb zu berücksichtigen, so daß der Rotor im Betriebszustand die optimale Position im Magnetlager einnimmt. Dies kann jedoch nur annähernd erreicht werden, da die Lage des Rotors durch eine Anzahl von Parametern bestimmt wird und eine reproduzierbare Einstellung somit schwer zu erreichen ist. Zudem ist diese Maßnahme nur auf den Betriebszustand bei Nenndrehzahl abgestimmt. Zwischenzustände, z. B. beim Hochlaufen oder beim Abbremsen oder der Betrieb bei abweichender Drehzahl werden nicht erfaßt.During assembly, the position of the rotor relative to the magnetic bearing is set in the axial direction and fixed by the ball bearing. Here you try to change the rotor length by Thermal expansion in operation must be taken into account so that the rotor in the operating state occupies the optimal position in the magnetic bearing. However, this can only be achieved approximately because the position of the rotor is determined by a number of parameters and a reproducible setting is difficult to achieve. In addition, this measure is only matched to the operating state at nominal speed. Intermediate states, e.g. B. at Run up or when braking or operating at a different speed not recorded.
Die Axiallage des Magnetlagerrotors gegenüber dem Magnetlagerstator beeinflußt die radiale Steifigkeit des Magnetlagers und die Kraft in axialer Richtung, die das Magnetlager auf den Rotor und somit auf das Kugellager ausübt. Diese axiale Kraft kann sehr groß werden, wenn die Magnetlagerkomponenten nicht optimal positioniert sind. Die Axialkraft wir zu Null, wenn das Magnetlager auf den neutralen Punkt eingestellt ist.The axial position of the magnetic bearing rotor in relation to the magnetic bearing stator influences the radial rigidity of the magnetic bearing and the force in the axial direction that the magnetic bearing exerts on the rotor and thus on the ball bearing. This axial force can be very large if the magnetic bearing components are not optimally positioned. The axial force we go to zero when the magnetic bearing is set to the neutral point.
Wenn sich in Folge der thermischen Dehnung die Lage der Magnetlagerkomponenten zu einander ändert, hat dies Auswirkungen auf die verschiedenen Bauteile der Lagerung. Ebenso wird die Unwucht des Rotors beeinflußt. Ein vorher gut ausgewuchteter Rotor kann infolge thermischer Dehnung dann in einen undefinierbaren Zustand der Unwucht übergehen.If the position of the magnetic bearing components increases as a result of the thermal expansion changes each other, this affects the various components of the storage. The imbalance of the rotor is also affected. A well balanced rotor can due to thermal expansion then into an indefinable state of unbalance pass over.
Um alle diese Nachteile , die durch thermische Dehnung des Rotors entstehen, auf ein akzeptables Maß zurückzuführen, sind bei der Fertigung und Montage der Pumpe sehr enge Toleranzen und äußerst präzise Vorgehen erforderlich. Dies ist mit großem Aufwand verbunden und wirkt sich somit nachteilig auf die Fertigungskosten aus.To address all of these disadvantages caused by thermal expansion of the rotor acceptable level, are very important in the manufacture and assembly of the pump tight tolerances and extremely precise procedures required. This is a big effort connected and thus has a negative impact on manufacturing costs.
Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, eine Vakuumpumpe zu konstruieren, so daß unter den extremen Bedingungen von sehr engen Spalten zwischen Rotor und Stator und hohen Drehzahlen auch bei der unvermeidlichen thermischen Ausdehnung des Rotors ein sicherer Betrieb gewährleistet ist. Aufbau der Pumpe, Fertigung und Montage sollen weniger aufwendig gestaltet werden. Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merk male des ersten Patentanspruches gelöst. Die Ansprüche 2 bis 5 stellen weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.The object of the invention is to construct a vacuum pump so that under the extreme conditions of very narrow gaps between rotor and stator and high speeds even with the inevitable thermal expansion of the rotor safe operation is guaranteed. Construction of the pump, manufacturing and assembly should be designed to be less complex. The task is marked by the characteristic male solved the first claim. Claims 2 to 5 provide further Embodiments of the invention.
Durch die erfindungsgemäße Anordnung wird erreicht, daß im Falle einer Erwärmung der Pumpe die axiale Fixierung des Rotors sich entgegengesetzt der Ausdehnungsrichtung des Rotors bewegt. Dadurch bleibt die Position von Stator und Rotorelementen des Radiallagers relativ zueinander unverändert und somit können in allen Betriebszuständen konstante Steifigkeitsverhältnisse eingehalten werden. Da die Baulänge des Lagerge häuses um ein Vielfaches kleiner ist als die des Rotors, wird jenes aus einem Werkstoff hergestellt, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient um ein Vielfaches größer ist als der des Rotors. Zur zusätzlichen Optimierung der Rotorposition kann das Lagergehäuse mit einer Heizeinrichtung, welche über Sensoren und eine Steuereinheit geregelt wird, ausgerüstet werden. Der Boden des Lagergehäuses kann durch seine Gestaltung zur Optimierung der Steifigkeit des Lagergehäuses genutzt werden.The arrangement according to the invention ensures that in the event of heating the Pump the axial fixation of the rotor opposite to the direction of expansion of the rotor. This keeps the stator and rotor elements in position Radial bearings unchanged relative to each other and thus can be used in all operating states constant rigidity conditions are maintained. Because the overall length of the Lagerge housing is many times smaller than that of the rotor, it is made of one material manufactured, whose coefficient of thermal expansion is many times greater than that of Rotors. For additional optimization of the rotor position, the bearing housing can be equipped with a Heating device, which is controlled by sensors and a control unit become. The bottom of the bearing housing can be optimized by its design Stiffness of the bearing housing can be used.
Anhand der einzigen Abbildung soll die Erfindung am Beispiel einer Turbomolekularpumpe näher erläutert werden.The invention is illustrated by the example of a turbomolecular pump using the single figure are explained in more detail.
Die Abbildung zeigt eine einflutige Turbomolekularpumpe. In dem Gehäuse 1 befinden sich die Pumpelemente bestehend aus den gehäusefesten Statorscheiben 4 und den Rotor scheiben 3, welche mit dem Rotor 2 verbunden sind. Mit 5 ist der vakuumseitige Anschluß flansch und mit 6 der Vorvakuumanschluß bezeichnet. Der Rotor wird durch die Motoran ordnung 7 angetrieben. Die Lagerung des Rotors 2 erfolgt im vorliegenden Beispiel durch ein passives Magnetlager mit den Rotor- und Statorelementen 9 und 10, welches den Rotor radial zentriert und durch ein Kugellager 11, welches die axiale Unterstützung und Fixierung bewirkt.The illustration shows a single-flow turbomolecular pump. In the housing 1 there are the pump elements consisting of the fixed stator disks 4 and the rotor disks 3 , which are connected to the rotor 2 . 5 with the vacuum-side connection flange and 6 with the fore-vacuum connection. The rotor is driven by the motor arrangement 7 . In the present example, the rotor 2 is supported by a passive magnetic bearing with the rotor and stator elements 9 and 10 , which centers the rotor radially, and by a ball bearing 11 , which provides the axial support and fixation.
Das Kugellager 11 ist in dem Halterohr 12 montiert und durch den Stellring 13 befestigt. Das Halterohr 12 ist mit dem Boden 19 des Lagergehäuses 14 fest verbunden. Dieses Lagerge häuse ist seinerseits mit seinem radial überstehenden Flansch 16 an seinem oberen Teil mit dem Unterteil 15 des Pumpengehäuses fest verbunden. Der untere zylindrische Teil des Lagergehäuses 14 ist durch einen radialen Spalt 17 vom Unterteil 15 des Pumpengehäuses getrennt. Ebenso befindet sich ein Spalt 18 zwischen dem Boden 19 des Lagergehäuses und dem Unterteil des Pumpengehäuses. Durch die Gestalt des Bodens 19 des Lagerge häuses kann die Steifigkeit der Lagerfassung variiert werden. Im vorliegenden Beispiel wird die Steifigkeit durch Einstiche 20 verringert. Durch den Betriebsmittelspeicher 21 und die Bohrungen 22 wird die Ölversorgung des Lagers 11 sichergestellt. Das Lagergehäuse 14 kann zusätzlich mit einer Heizung 23 versehen sein. In Verbindung mit einem Sensor 24 und einer Steuereinheit 25 kann der Rotor entsprechend der axialen Dehnung durch Erwär mung des Lagergehäuses 14 in eine bestimmte Position gebracht werden.The ball bearing 11 is mounted in the holding tube 12 and fastened by the adjusting ring 13 . The holding tube 12 is fixed to the bottom 19 of the bearing housing 14 . This Lagerge housing is in turn firmly connected with its radially projecting flange 16 at its upper part to the lower part 15 of the pump housing. The lower cylindrical part of the bearing housing 14 is separated from the lower part 15 of the pump housing by a radial gap 17 . There is also a gap 18 between the bottom 19 of the bearing housing and the lower part of the pump housing. Due to the shape of the bottom 19 of the Lagerge housing, the rigidity of the bearing holder can be varied. In the present example, the stiffness is reduced by punctures 20 . The oil supply to the bearing 11 is ensured by the operating fluid reservoir 21 and the bores 22 . The bearing housing 14 can additionally be provided with a heater 23 . In conjunction with a sensor 24 and a control unit 25 , the rotor can be brought into a specific position in accordance with the axial expansion by heating the bearing housing 14 .
Die Kompensation der thermischen Ausdehnung des Rotors bedeutet im vorliegenden Beispiel, daß die axiale Lage des Rotors 9 gegenüber der des Stators 10 des passiven Magnetlagers in verschiedenen Betriebszuständen, welche unterschiedlichen Temperatur erhöhungen entsprechen, unverändert bleibt. Dies kann dann auch annähernd für die axiale Lage der Rotorscheiben 3 gegenüber den Statorscheiben 4 angenommen werden. Damit die Kompensation der thermischen Ausdehnung erreicht werden kann, muß die Summe der Ausdehnung ΔsR des Rotors (von der Mitte des Magnetlagers zur Mitte des Kugellagers) und der Ausdehnung ΔsH des Halterohres 12 durch die Summe der Ausdeh nung Δsp des Pumpengehäuses und der Ausdehnung ΔsL des Lagergehäuses kompensiert werden.The compensation of the thermal expansion of the rotor means in the present example that the axial position of the rotor 9 relative to that of the stator 10 of the passive magnetic bearing remains unchanged in different operating states, which correspond to different temperature increases. This can then also be assumed approximately for the axial position of the rotor disks 3 relative to the stator disks 4 . So that the compensation of the thermal expansion can be achieved, the sum of the expansion Δs R of the rotor (from the center of the magnetic bearing to the center of the ball bearing) and the expansion Δs H of the holding tube 12 by the sum of the expansion Δs p of the pump housing and the Expansion Δs L of the bearing housing can be compensated.
Bei vorgegebenen geometrischen Verhältnissen von Rotor-, Stator- und Halterohr und be kannten Wärmeausdehnungskoeffizienten der Werkstoffe kann durch die Wahl der Länge des Lagergehäuses 14 und vor allem durch die Auswahl eines Werkstoffes mit dem erforderlichen Wärmeausdehnungskoeffizenten eine Kompensation der thermischen Ausdehnung des Rotors erreicht werden.Given the geometrical relationships of the rotor, stator and holding tube and known thermal expansion coefficients of the materials, the thermal expansion of the rotor can be compensated for by the choice of the length of the bearing housing 14 and, above all, by the selection of a material with the required thermal expansion coefficient.
Da die Temperatur des Pumpengehäuses 1 in der Regel niedriger ist als diejenige des Rotors 2 und des Halterohres 12, wird sich jenes weniger ausdehnen als Rotor- und Halte rohr zusammen. Die Kompensation erfolgt dann durch das Lagergehäuse 14, welches sich von der Ebene A aus gesehen in entgegengesetzter Richtung wie der Rotor 2 und das Halterohr 12 ausdehnt und über das Halterohr 12 das Kugellager 11 entgegen der Rotor ausdehnung so verschiebt, daß die Rotorausdehnung kompensiert wird. Durch die Wahl eines Werkstoffes für das Lagergehäuse mit geeignetem thermischen Ausdehnungs koeffizient kann die Kompensation optimiert werden. Normalerweise wird ein Kunststoff verwendet mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizient, welcher den des Rotormaterials um ein Vielfaches übersteigt. Dies ist schon deshalb notwendig, weil der Rotor um ein Vielfaches länger ist als das Lagergehäuse.Since the temperature of the pump housing 1 is generally lower than that of the rotor 2 and the holding tube 12 , that will expand less than the rotor and holding tube together. The compensation then takes place through the bearing housing 14 , which extends from the plane A in the opposite direction as the rotor 2 and the holding tube 12 and extends over the holding tube 12, the ball bearing 11 against the rotor expansion so that the rotor expansion is compensated. The compensation can be optimized by choosing a material for the bearing housing with a suitable thermal expansion coefficient. Usually a plastic is used with a coefficient of thermal expansion that exceeds that of the rotor material many times over. This is necessary because the rotor is many times longer than the bearing housing.
Zur weiteren Optimierung der Kompensation kann das Lagergehäuse 14 mit einer Heizung 23 versehen werden. Über Signale von Sensoren 24, die als Kraft- oder Wegaufnehmer dienen wird die Verschiebung des Rotors registriert. Diese Signale können einer Steuerein heit 15 zugeführt werden, welche die Heizung 23 regelt.To further optimize the compensation, the bearing housing 14 can be provided with a heater 23 . The displacement of the rotor is registered via signals from sensors 24 , which serve as force or displacement sensors. These signals can be supplied to a control unit 15 which controls the heater 23 .
Ebenso wie das Lagergehäuse 14 kann das ganze Unterteil 15 des Pumpengehäuses zur Kompensation der Rotordehnung entsprechend konstruiert sein.Like the bearing housing 14 , the entire lower part 15 of the pump housing can be constructed accordingly to compensate for the rotor expansion.
Die Rotorlagerung wurde für eine Gasreibungspumpe entwickelt und am Beispiel einer solchen beschrieben. Die erfindungsgemäße Anordnung ist jedoch ebenso für andere Anwendungsgebiete einsetzbar, bei denen es auf die exakte Einhaltung der axialen Position eines Rotors unter dem Einfluß thermischer Ausdehnung ankommt.The rotor bearing was developed for a gas friction pump and using the example of a described. However, the arrangement according to the invention is also for others Areas of application can be used in which it is on the exact adherence to the axial Position of a rotor under the influence of thermal expansion arrives.
Das gleiche gilt für das Beispiel der Lagerung. Anstelle der hier beschriebenen Hybridlage rung kann die Erfindung auch auf andere Arten von Lagerungen angewandt werden. Die erfindungsgemäße Anordnung kann gegebenenfalls auch auf beiden Seiten der Rotor lagerung angewandt werden.The same applies to the example of storage. Instead of the hybrid location described here tion, the invention can also be applied to other types of bearings. The The arrangement according to the invention can optionally also be on both sides of the rotor storage can be applied.
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