DE202005019260U1

DE202005019260U1 - Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung

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Publication number: DE202005019260U1
Application number: DE200520019260
Authority: DE
Original assignee: Ruhr Universitaet Bochum
Current assignee: Ruhr Universitaet Bochum
Priority date: 2005-12-09
Filing date: 2005-12-09
Publication date: 2007-04-19
Anticipated expiration: 2015-12-10

Abstract

Vorrichtung (22) zum Aussenden ionisierender Strahlung (28) mit einer Strahlenquelle (26), die ein Alpha-, Beta-, Gamma- und/oder Röntgenstrahlung aussendendes Material (34) umfasst, und mit einer Vorrichtung (30) zur Kollimation der von der Strahlenquelle (26) ausgesandten Strahlung (28).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung.
Bekannte Vorrichtungen der eingangs genannten Art umfassen Teilchenbeschleuniger, in denen Teilchen derart beschleunigt und/oder zur Kollision gebracht werden, dass dabei α-, β-, γ- und/oder Röntgenstrahlung erzeugt wird, die beispielsweise zu Therapie- oder Analysezwecken aus dem Teilchenbeschleuniger ausgekoppelt werden kann. Als nachteilig erweist sich bei diesen Vorrichtungen, dass nicht nur die Herstellung bzw. Anschaffung, sondern auch der Betrieb eines Teilchenbeschleunigers mit einem erheblichen wirtschaftlichen Aufwand verbunden ist, so dass solche Vorrichtungen nur sehr beschränkt für Untersuchungen im Bereich der Medizin, der Biologie und/oder in der Halbleitertechnologie geeignet sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung zu schaffen, die eine einfachere und kostengünstigere Bestrahlung einer zu untersuchenden Probe ermöglicht.
Zur Lösung der Aufgabe ist eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 vorgesehen.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung umfasst eine Strahlenquelle, die ein α-, β-, γ- und/oder Röntgen strahlung aussendendes Material aufweist, und eine Vorrichtung zur Kollimation der von der Strahlenquelle ausgesandten Strahlung.
Dadurch, dass die Strahlenquelle erfindungsgemäß ein α-, β-, γ- und/oder Röntgenstrahlung aussendendes Material umfasst, handelt es sich bei der Strahlenquelle gewissermaßen um eine natürliche Strahlungsquelle, bei der die Aussendung der ionisierenden Strahlung spontan erfolgt und somit keiner äußeren Anregung bedarf. Bei dem die ionisierende Strahlung aussendenden Material kann es sich beispielsweise um radioaktives Material handeln.
Aufgrund der Verwendung einer natürlichen Strahlenquelle anstelle eines Teilchenbeschleunigers weist die erfindungsgemäße Vorrichtung gegenüber einer herkömmlichen Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung nicht nur eine wesentlich einfachere Konstruktion, sondern auch eine wesentlich kleinere Baugröße auf. Dadurch sind die Kosten zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung erheblich reduziert und die Betriebskosten im Vergleich zu einer einen Teilchenbeschleuniger aufweisenden Vorrichtung im Wesentlichen vernachlässigbar.
Die Kollimationsvorrichtung ermöglicht es, die von der Strahlenquelle ausgesandte Strahlung zumindest annähernd parallel auszurichten, d.h. einen Strahl mit einer minimalen Aufweitung zu erzeugen. Bei einer entsprechenden Ausbildung der Kollimationsvorrichtung ist es somit möglich, einen Strahldurchmesser von wenigen Mikrometern zu erreichen. Dies ermöglicht die Bestrahlung einer zu untersuchenden Probe mit einer besonders hohen Ortsauflösung.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich somit besonders gut für einen Einsatz in der Krebsforschung, z.B. für Zelltoduntersuchungen im Bereich der Strahlentherapie, zur Untersuchung der Empfindlichkeit von Halbleiterbauelementen, wie z.B. Thyristoren und Speicherchips, gegenüber kosmischer Strahlung oder zur ortsaufgelösten Dickenmessung von Halbleitermaterialschichten, z.B. Siliziumschichten, nach Art einer Ellipsometriemessung.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Strahlenquelle im Wesentlichen punktförmig ausgebildet. Der Begriff "punktförmig" ist dabei nicht im geometrischen bzw. mathematischen Sinne, sondern vielmehr als Hinweis darauf zu verstehen, dass die Strahlenquelle eine besonders kleine Ausdehnung aufweist. Beispielsweise kann die Ausdehnung der Strahlenquelle im Mikrometerbereich und insbesondere im Bereich von wenigen Mikrometern bis einigen hundert Mikrometern liegen. Aufgrund ihrer geringen Ausdehnung kann die Strahlenquelle besonders nahe an eine zu bestrahlende Probe angenähert werden, wodurch eine Bestrahlung mit einer besonders hohen Intensität möglich ist.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Kollimationsvorrichtung eine Blende und insbesondere eine Lochblende auf, welche aus einem die Strahlung absorbierenden Material gebildet ist. Eine derartige Kollimationsvorrichtung ermöglicht auf besonders einfache und wirksame Weise eine Kollimation der von der Strahlenquelle ausgesandten Strahlung, wobei sich die Strahlweite durch eine entsprechende Einstellung des Durchmessers einer Blendenöffnung der Blende einstellen lässt.
Zumindest ein Abschnitt einer Blendenöffnung der Blende kann sich in Ausbreitungsrichtung der Strahlung gesehen verjüngen. Bevorzugt ist die Blendenöffnung zumindest abschnittsweise konisch ausgebildet.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Strahlenquelle in einer Trägerschicht ausgebildet. Eine derartige Strahlenquelle lässt sich z.B. durch eine Implantation von radioaktivem Material in der Trägerschicht oder durch einen Beschuss der Trägerschicht mit beschleunigten Teilchen erzeugen. Beispielsweise kann eine aus Eisen 56 (⁵⁶Fe) gebildete Trägerschicht mit einem beschleunigten Protonenstrahl derart beaufschlagt werden, dass eine lokale Umwandlung des Eisen 56 (⁵⁶Fe) in Eisen 57 (⁵⁷Fe) erfolgt, welches β-Strahlung aussendet.
Vorzugsweise ist die Trägerschicht mit der Kollimationsvorrichtung verbunden. Im Falle einer als Blende ausgebildeten Kollimationsvorrichtung kann die Trägerschicht z.B. unmittelbar an der Blende angebracht sein.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist das die ionisierende Strahlung aussendende Material auf eine Oberfläche der Kollimationsvorrichtung aufgebracht. Bei dieser Ausführungsform ist die Strahlenquelle also nicht in eine Trägerschicht eingebettet, sondern direkt auf der Kollimationsvorrichtung vorgesehen. Die Anbringung der Strahlenquelle an der Kollimationsvorrichtung kann beispielsweise durch Aufkonzentration des strahlenden Materials auf der Oberfläche der Kollimationsvorrichtung erfolgen.
Denkbar ist auch die Verwendung zweier Strahlenquellen, von denen die eine direkt auf die Oberfläche der Kollimationsvorrichtung aufgebracht und die andere in eine mit der Kollimationsvorrichtung verbundene Trägerschicht eingebettet ist.
Vorteilhafterweise ist die Strahlenquelle im Bereich einer Blendenöffnung und insbesondere in der Blendenöffnung angeordnet. Hierdurch ist ge währleistet, dass eine maximale Menge der von der Strahlenquelle ausgesandten Strahlung durch die Blende hindurch treten kann.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Strahlenquelle in einem sich in Ausbreitungsrichtung der Strahlung verjüngenden, insbesondere konischen, Abschnitt der Blendenöffnung angeordnet. Diese Anordnung der Strahlenquelle erleichtert zum einen die Aufkonzentration des strahlenden Materials zu einer im Wesentlichen punktförmigen Strahlenquelle. Zum anderen bedeutet diese Anordnung, dass sich die Strahlenquelle zumindest teilweise in der Blende befindet, wodurch die Strahlenquelle dichter an eine zu bestrahlende Probe angenähert und die Intensität der Bestrahlung noch weiter erhöht werden kann.
Vorteilhafterweise ist ein betätigbarer Verschluss vorgesehen, durch den der Austritt der Strahlung aus der Vorrichtung steuerbar ist. Durch den Verschluss kann die Vorrichtung gewissermaßen ein- oder ausgeschaltet werden, wodurch die Handhabung der Vorrichtung erheblich vereinfacht ist.
Der Verschluss kann ein mechanischer Schutter sein, beispielsweise ein Materialstück aus einem die ionisierende Strahlung absorbierenden Material, welches zum Ausschalten der Vorrichtung vor die Kollimationsvorrichtung und insbesondere vor eine Blendenöffnung der Kollimationsvorrichtung bewegbar ist. Bevorzugt ist der Verschluss auf einer der Strahlenquelle abgewandten Seite der Kollimationsvorrichtung angeordnet. Der Verschluss kann manuell oder elektrisch betätigbar sein.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist die Vorrichtung in ein mikroskopobjektivartiges Gehäuse integriert. Dadurch ist zum einen die Handhabung der Vorrichtung noch weiter vereinfacht, zum anderen ist die Vorrichtung in eine Vielzahl von gängigen Mikroskopen, insbesondere Lichtmikroskopen, einsetzbar. Bereits vorhandene Mikroskope lassen sich somit auf besonders einfache Weise mit einer Strahlenquelle ausrüsten, wodurch eine Bestrahlung von mikroskopisch zu untersuchenden Proben mit ionisierender Strahlung von hoher Intensität und mit einer hohen Ortsauflösung möglich ist.
Vorzugsweise ist die Vorrichtung in einem Bereich des Gehäuses angeordnet, der zu einer zu bestrahlenden Probe weist. Dadurch wird ein minimaler Abstand zwischen Probe und Strahlenquelle und somit letztlich eine maximale Bestrahlungsintensität erreicht.
Um eine die Vorrichtung handhabende, beispielsweise einen Bestrahlungsversuch durchführende, Person vor der ionisierenden Strahlung zu schützen, ist das Gehäuse bevorzugt aus einem die Strahlung absorbierenden Material gebildet.
Weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Mikroskop mit mindestens einer Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung gemäß der voranstehend beschriebenen Art. Mit einem derartigen Mikroskop lässt sich auf besonders einfache und kostengünstige Weise eine Bestrahlung einer zu untersuchenden Probe mit ionisierender Strahlung von hoher Intensität und mit einer hohen Ortsauflösung durchführen.
Gemäß einer vorteilhaften Ausbildung des erfindungsgemäßen Mikroskops ist eine, insbesondere als Objektrevolver ausgebildete, Objektivhalterung des Mikroskops mit wenigstens einem optischen Objektiv und mindestens einer Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung bestückt. Eine derartige Ausbildung des Mikroskops ermöglicht sowohl eine optische Untersuchung als auch eine Bestrahlung der zu untersuchenden Probe mit ionisierender Strahlung.
Die Untersuchung ist dabei auf besonders einfache Weise durchführbar, indem die zu untersuchende Probe zunächst durch Betrachtung durch das optische Objektiv exakt positioniert, dann durch eine entsprechende Verdrehung der Objektivhalterung bestrahlt und anschließend nach erneuter Verdrehung der Objektivhalterung optisch untersucht werden kann, beispielsweise um die Auswirkung der Bestrahlung auf die Probe festzustellen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausbildung des Mikroskops sind mehrere Vorrichtungen zum Aussenden ionisierender Strahlung vorgesehen, wobei die Vorrichtungen jeweils unterschiedliche Strahlenquellen aufweisen. Dies ermöglicht auf besonders einfache Weise die Bestrahlung einer zu untersuchenden Probe mit unterschiedlichen Arten von Strahlungen. So kann eine der Vorrichtungen beispielsweise eine Strahlenquelle aufweisen, die α-Strahlung aussendet, wohingegen eine andere Vorrichtung eine Strahlenquelle für β-Strahlung, γ-Strahlung oder Röntgenstrahlung umfasst. Durch eine einfache Verstellung der Objektivhalterung ist es möglich, von einer Strahlungsquelle auf eine andere umzuschalten.
Das Mikroskop kann außerdem einen Teilchenzähler und/oder einen Szintillationszähler umfassen, um die ionisierende Strahlung nach dem Auftreffen auf eine zu bestrahlende Probe zu analysieren. Auf diese Weise lässt sich z.B. eine Information über eine mögliche Absorption der jeweils verwendeten ionisierenden Strahlung durch die zu untersuchende Probe gewinnen.
Nachfolgend wird die Erfindung rein beispielhaft anhand einer vorteilhaften Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. Es zeigen:
1 ein Mikroskop mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung;
2 eine Strahlenquelle und eine Kollimationsvorrichtung der Vorrichtung zum Aussenden ionisierender Strahlung von 1; und
3 eine alternative Ausführungsform der Strahlenquelle und Kollimationsvorrichtung von 2.
In 1 ist ein Mikroskop 10 dargestellt, welches den an sich bekannten Aufbau eines Lichtmikroskops aufweist. Das Mikroskop 10 umfasst ein Okular 12 und einen in den drei Raumrichtungen verstellbaren Objektträger 14, auf dem eine mikroskopisch zu untersuchende Probe 16 platziert ist. Des Weiteren weist das Mikroskop 10 eine als Objektivrevolver ausgebildete Objektivhalterung 18 auf, in der mindestens ein optisches Objektiv 20 auswechselbar gehalten ist. Beispielsweise kann die Objektivhalterung 18 mit mehreren Schraubgewindefassungen versehen sein, in die jeweils ein Objektiv 20 eingeschraubt werden kann.
Wie 1 zeigt, ist in der Objektivhalterung 18 nicht nur ein optisches Objektiv 20, sondern auch eine Vorrichtung 22 zum Aussenden ionisierender Strahlung gehalten. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der ionisierenden Strahlung um einen kollimierten Strahl 28 von α-Teilchen.
Die Vorrichtung 22 ist entsprechend dem optischen Objektiv 20 an der Objektivhalterung 18 befestigt, beispielsweise in diese eingeschraubt, und umfasst ein Gehäuse 24, dessen äußere Form an die des optischen Objektivs 20 angepasst ist.
In der Objektivfassung 24 sind eine Strahlenquelle 26 zum Aussenden von ionisierender Strahlung 28, im dargestellten Ausführungsbeispiel von α-Strahlung, und eine Vorrichtung 30 zum Kollimieren der ausgesandten Strahlung 28 untergebracht.
Wie in 2 dargestellt ist, handelt es sich bei der Kollimationsvorrichtung 30 um eine Lochblende, die aus einem Material gebildet ist, welches die von der Strahlenquelle 26 ausgesandte Strahlung 28 absorbiert.
In der Lochblende 30 ist eine kreisförmige Blendenöffnung 32 vorgesehen, deren Durchmesser sich in Ausbreitungsrichtung der zu kollimierenden Strahlung 28 verkleinert. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Blendenöffnung 32 konisch ausgebildet.
Der Durchmesser der Blendenöffnung 32 an der zur Strahlenquelle 26 weisenden Seite der Blende 30 kann im Bereich von mehreren 10 μm bis einigen 100 μm liegen und beispielsweise etwa 100 μm betragen. Der Durchmesser der Blendenöffnung 32 an der zur Probe 16 weisenden Seite der Blende 30 definiert hingegen die Weite des von der Vorrichtung 22 ausgesandten Strahls 28 und kann beispielsweise im Bereich von 5 bis 10 μm liegen.
Die in 2 gezeigte Strahlenquelle 26 ist durch eine Anhäufung von ionisierende Strahlung 28 aussendendem Material 34 gebildet, welches in der Blendenöffnung 32 angeordnet ist. Die Strahlenquelle 26 kann bei spielsweise ein radioaktives Material 34 umfassen, welches in der Blendenöffnung 32 aufkonzentriert wird.
Aufgrund der geringen Ausdehnung der Strahlenquelle 26, die bevorzugt im Bereich von einigen Mikrometern bis wenigen 100 μm liegt, kann die Strahlenquelle 26 auch als punktförmig bezeichnet werden.
3 zeigt eine alternative Ausführungsform einer Strahlenquelle 26, bei der das die ionisierende Strahlung aussendende Material 34 in eine Trägerschicht 36 eingebettet ist. Diese Form der Strahlenquelle 26 kann durch Implantation von radioaktivem Material 34 in die Trägerschicht 36 oder durch Beschuss der Trägerschicht 36 mit einem Strahl beschleunigter Teilchen erzeugt werden. Beispielsweise ist es möglich, eine Trägerschicht 36, welche Eisen 56 (⁵⁶Fe) aufweist, mit einem Protonenstrahl so zu beschießen, dass das Eisen 56 (⁵⁶Fe) lokal in Eisen 57 (⁵⁷Fe) umgewandelt wird, welches β-Strahlung aussendet.
Wie 3 ferner zeigt, ist die Trägerschicht 36 auf eine Blende 30 aus einem die ionisierende Strahlung absorbierenden Material aufgebracht, wobei gegebenenfalls eine Zwischenschicht zwischen der Trägerschicht 36 und der Blende 30 vorgesehen sein kann. Im Unterschied zu der in 2 dargestellten Ausführungsform weist die Blendenöffnung 32 einen im Wesentlichen konstanten Durchmesser auf, der in Abhängigkeit von der gewünschten Weite des ionisierenden Strahls 28 gewählt ist und zum Beispiel im Bereich von einigen Mikrometern bis einigen 10 μm liegen kann.
Wie bereits erwähnt, weist die in den Figuren gezeigte Strahlenquelle 26 ein Material 34 auf, welches ausschließlich α-Strahlung aussendet. Bei der Strahlenquelle 26 handelt es sich mit anderen Worten um einen reinen α-Strahler.
Es ist jedoch auch möglich, eine Strahlenquelle 26 vorzusehen, welche mehr als einen Typ von ionisierender Strahlung aussendet. Zu diesem Zweck könnte die Strahlenquelle ein Material 34 umfassen, welches von Natur aus mehrere Arten von Strahlungen aussendet, welches also beispielsweise einen α- und γ-Strahler oder einen β- und γ-Strahler bildet. Alternativ oder zusätzlich wäre es möglich, die Strahlenquelle 26 aus mehreren strahlenden Materialien 34 zusammenzusetzen, die jeweils unterschiedliche Arten von Strahlungen aussenden.
Wie in 1 dargestellt ist, umfasst die Vorrichtung 22 zum Aussenden ionisierender Strahlung ferner einen Verschluss 38, durch welchen der Austritt der ionisierenden Strahlung 28 aus der Vorrichtung 22 gesteuert werden kann. Der Verschluss 38 weist ein die ionisierende Strahlung 28 absorbierendes Material auf und ist zwischen der Blende 30 und einer Austrittsöffnung 40 des Vorrichtungsgehäuses 24 angeordnet. Durch eine entsprechende manuelle oder elektrische Betätigung des Verschlusses 38 kann der Strahl 28 unterbrochen werden. Auf diese Weise lässt sich die Vorrichtung 22 gewissermaßen ausschalten, beispielsweise wenn die Objektivhalterung 18 verdreht wird, um die Probe 16 durch das optische Objektiv 20 hindurch zu betrachten.
Die Vorrichtung 22 dient der Bestrahlung der auf dem Objektträger 14 angeordneten Probe 16. Zur korrekten Positionierung der Probe 16 bezüglich des α-Strahls 28 wird die Objektivhalterung 18 zunächst so verdreht, dass die Probe 16 durch das Okular 12 und das optische Objektiv 20 betrachtet werden kann.
Mittels einer entsprechenden Bewegung des Objektträgers 14 lässt sich nicht nur ein zu untersuchender Ausschnitt der Probe 16 in den optischen Strahlengang des Mikroskops bringen, sondern auch die Abbildung der Probe 16 scharf stellen. Durch das Scharfstellen der Probe 16 wird ein definierter Abstand zwischen der Probe 16 und dem Objektiv 20 festgelegt.
Nach erfolgter Positionierung der Probe 16 wird die Objektivhalterung 18 verdreht und die Vorrichtung 22 über der Probe 16 in Position gebracht. Die Vorrichtung 22 wird also gewissermaßen anstelle des optischen Objektivs 20 in den Strahlengang des Mikroskops 10 geschaltet.
Durch den zuvor festgelegten Abstand zwischen der Probe 16 und dem Objektiv 20 weist auch die Strahlenquelle 26 der Vorrichtung 22 einen definierten Abstand zu der Probe 16 auf, so dass diese mit einer definierten Strahlungsintensität bestrahlt werden kann.
Nach erfolgter Bestrahlung wird das optische Objektiv 20 durch eine entsprechende Verdrehung der Objektivhalterung 18 wieder anstelle der Vorrichtung 22 in den Strahlengang des Mikroskops 10 gebracht, so dass die Probe 16 durch das Okular 12 betrachtet und die Auswirkung der Bestrahlung auf die Probe 16 untersucht werden kann.
Alternativ oder zusätzlich kann ein weiterer Ausschnitt der Probe 16 für eine Bestrahlung ausgewählt und positioniert werden. Durch das Scharfstellen der Abbildung der Probe 16 wird sichergestellt, dass die Probe 16 den gleichen Abstand zum Objektiv 20 aufweist wie zuvor, so dass nach Verdrehung der Objektivhalterung 18 auch die Strahlenquelle 26 der Vorrichtung 22 den gleichen Abstand zur Probe 16 aufweist wie bei der vorherigen Bestrahlung. Somit ist eine gleich bleibende Bestrahlungsintensität gewährleistet.

10: Mikroskop
12: Okular
14: Objektträger
16: Probe
18: Objektivhalterung
20: Objektiv
22: Vorrichtung
24: Gehäuse
26: Strahlenquelle
28: Strahlung
30: Blende
32: Blendenöffnung
34: Material
36: Trägerschicht
38: Verschluss
40: Austrittsöffnung

Claims

Vorrichtung (22) zum Aussenden ionisierender Strahlung (28) mit einer Strahlenquelle (26), die ein Alpha-, Beta-, Gamma- und/oder Röntgenstrahlung aussendendes Material (34) umfasst, und mit einer Vorrichtung (30) zur Kollimation der von der Strahlenquelle (26) ausgesandten Strahlung (28).
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) im Wesentlichen punktförmig ausgebildet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) eine Ausdehnung im Mikrometerbereich und insbesondere im Bereich von wenigen Mikrometern bis einigen hundert Mikrometern aufweist.
Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kollimationsvorrichtung eine Blende (30) und insbesondere eine Lochblende aufweist, welche aus einem die Strahlung (28) absorbierenden Material gebildet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass sich zumindest ein Abschnitt einer Blendenöffnung (32) der Blende (30) in Ausbreitungsrichtung der Strahlung (28) gesehen verjüngt.
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenöffnung (32) zumindest abschnittsweise konisch ausgebildet ist.
Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) in einer, insbesondere mit der Kollimationsvorrichtung (30) verbundenen, Trägerschicht (36) ausgebildet ist.
Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das die ionisierende Strahlung (28) aussendende Material (34) auf eine Oberfläche der Kollimationsvorrichtung (30) aufgebracht ist.
Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) im Bereich einer Blendenöffnung (32) der Kollimationsvorrichtung (30) und insbesondere in der Blendenöffnung (32) angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) in einem sich in Ausbreitungsrichtung der Strahlung (28) verjüngenden, insbesondere konischen, Abschnitt der Blendenöffnung (32) angeordnet ist.
Vorrichtung (22) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein betätigbarer Verschluss (38) vorgesehen ist, durch den der Austritt der Strahlung (28) aus der Vorrichtung (22) steuerbar ist.
Vorrichtung (22) nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Verschluss (38) ein mechanischer Schutter ist, der ein die Strahlung absorbierendes Material aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Verschluss (38) auf einer der Strahlenquelle (26) abgewandten Seite der Kollimationsvorrichtung (30) angeordnet ist.
Vorrichtung (22) nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) in ein mikroskopobjektivartiges Gehäuse (24) integriert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlenquelle (26) in einem Bereich des Gehäuses (24) angeordnet ist, der zu einer zu bestrahlenden Probe (16) weist.
Vorrichtung (22) nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (24) aus einem die Strahlung (28) absorbierenden Material gebildet ist.
Mikroskop (10) mit mindestens einer Vorrichtung (22) zum Aussenden ionisierender Strahlung (28) nach einem der vorherigen Ansprüche.
Mikroskop (10) nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass eine, insbesondere als Objektivrevolver ausgebildete, Objektivhalterung (18) des Mikroskops (10) mit wenigstens einem optischen Objektiv (20) und mindestens einer Vorrichtung (22) zum Aussenden ionisierender Strahlung (28) bestückt ist.
Mikroskop (10) nach Anspruch 17 oder 18, gekennzeichnet durch mehrere Vorrichtungen (22) zum Aussenden ionisierender Strahlung (28), wobei die Vorrichtungen (22) jeweils unterschiedliche Strahlenquellen (26) aufweisen.
Mikroskop (10) nach einem der Ansprüche 17 bis 19, gekennzeichnet durch einen Teilchenzähler und/oder einen Szintillationszähler, um die ionisierende Strahlung (28) nach dem Auftreffen auf eine zu bestrahlende Probe (16) zu analysieren.