DE202005011807U1

DE202005011807U1 - Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung

Info

Publication number: DE202005011807U1
Application number: DE200520011807
Authority: DE
Original assignee: Carl Mahr Holding GmbH
Current assignee: Leica Geosystems AG
Priority date: 2005-07-25
Filing date: 2005-07-25
Publication date: 2005-12-22
Anticipated expiration: 2015-07-26

Abstract

Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung (6) für eine Koordinaten-Messeinrichtung (1) mit optischem Sensor (2), mit einer mehreren als Lichtquellen dienenden Leuchtdioden (8, 9), deren Lichtaustrittsöffnungen auf einen gemeinsamen Brennpunkt ausgerichtet sind.

Description

Die Erfindung betrifft eine Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung für Koordinatenmessmaschinen oder andere Einrichtungen zur Vermessung von Objekten mittels Dunkelfeld-Beleuchtungstechnik.
Bei der Abbildung von Objekten mittels Dunkelfeld-Beleuchtung wird das Objekt aus einer solchen Richtung beleuchtet, dass das von der Beleuchtungseinrichtung ausgehende Licht nicht direkt in das Objektiv gelangen kann. Genau genommen wird das Objekt mit einem Streiflicht be leuchtet. Das Licht trifft auf das Objekt und durch die entstandene Brechung oder Reflexion an Kanten oder auch in durchsichtigen oder durchscheinenden Objektbereichen werden Lichtstrahlen zu dem Objektiv der Beobachtungseinrichtung gelenkt. Ungebrochene Lichtstrahlen gehen jedoch an der Objektivlinse vorbei. Dies ergibt einen dunklen oder schwarzen Hintergrund und einen guten Kontrast.
Zur Dunkelfeld-Beleuchtung ist aus der Gebrauchsmusterschrift G 83 32 778.9 eine Beleuchtungseinrichtung mit ringförmiger Lichtquelle bekannt, die unterhalb der Objektebene angeordnet wird während das Objektiv eines Beobachtungsmikroskops oberhalb der Objektebene angeordnet ist. Als Lichtquelle wird eine faseroptische Ringleuchte verwendet. Diese weist eine große Anzahl von Lichtleitfasern auf, deren Lichtaustrittsöffnungen auf einem Kreis angeordnet sind. Eine gemeinsame Blende reguliert das erzeugte Licht so, dass kein Lichtstrahl direkt auf das Objektiv fallen kann. Zur Umschaltung auf Hellfeld-Beleuchtung ist eine beweglich gelagerte Milchglasscheibe vorgesehen, die unter die Objektebene geschoben werden kann.
Mit dieser Anordnung ist sowohl Dunkelfeld-Mikroskopie als auch Hellfeld-Mikroskopie möglich. Jedoch sind die Möglichkeiten der Dunkelfeld-Mikroskopie durch die Verwendung einer Ringleuchte eingeschränkt.
Es wird demgegenüber angestrebt, eine Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung zu schaffen, die ein vergrößertes Spektrum von Möglichkeiten der Beleuchtung eines Objekts bietet.
Diese Aufgabe wird mit der Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1 gelöst.
Die erfindungsgemäße Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nutzt zur Beleuchtung des Objekts Leuchtdioden, deren Lichtaustrittsöffnungen auf einen gemeinsamen Brennpunkt ausgerichtet sind. Dies bedeutet keineswegs, dass die optischen Achsen der Leuchtdioden den Brennpunkt treffen müssen. Vielmehr genügt es wenn die optischen Achsen in der Nähe des Brennpunkts verlaufen, so dass ein an dem Brennpunkt angeordnetes Objekt ausreichend stark beleuchtet wird. Damit können auch größere, insbesondere technische Objekte so beleuchtet werden, dass die LEDs den gesamten Umfang des betreffenden Objekts ausleuchten. Kein von den LEDs ausgehender Lichtstrahl trifft den optischen Sensor direkt. Jedoch gelangt das an Flächen und Kanten vorwiegend diffus gestreute Licht zu dem optischen Sensor und trägt zur Bilderzeugung bei. Auch bei schwierigen Bedingungen, insbesondere gestuften Werkstücken, ergibt sich somit für den optischen Sensor ein guter Kontrast von Einzelheiten, die mit Durchlichtbeleuchtung überhaupt unsichtbar wären.
Ein wesentlicher Vorzug der Ausbildung einer Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung mittels Leuchtdioden liegt in dem Umstand, dass diese einzeln oder gruppenweise oder gemeinsam angesteuert werden können, je nach dem, welche Messaufgabe jeweils zu bewältigen ist. So können Objekte von unterschiedlichen Seiten her mit unterschiedlichen Helligkeiten, zu unterschiedlichen Zeitpunkten, mit unterschiedlichen Farben usw. beleuchtet werden. Damit wird das Spektrum der Möglichkeiten beim Ausmessen eines Werkstücks vergrößert.
Vorzugsweise weist jede Leuchtdiode eine um ihre optische Achse zentrierte Helligkeitsverteilung mit einem Leuchtdichtemaximum an der optischen Achse auf. Der Abstrahlwinkel einer Leuchtdiode ist dabei vorzugsweise ein spitzer Winkel, vorzugsweise geringer als 45°. Auf diese Weise kann im einfachsten Fall auf eine Blende verzichtet werden. Die Leuchtdioden werden lediglich mit entsprechender Ausrichtung auf einem geeigneten Träger montiert und vorzugsweise unterhalb der Objektebene angeordnet. Es ist jedoch auch möglich, die Leuchtdioden in der Objektebene anzuordnen und sie gewissermaßen seitlich auf das Werkstück leuchten zu lassen.
Bei einer insbesondere für kleine Objekte geeigneten Variante der erfindungsgemäßen Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung treffen sich die optischen Achsen der Leuchtdioden in einem Brennpunkt, durch den auch die optische Achse der Sensoreinrichtung geht. Es ist jedoch auch möglich, die optischen Achsen der Leuchtdioden so auszurichten, dass sie einander nicht schneiden. Sie schneiden beispielsweise einen gedachten, zu der optischen Achse des optischen Sensors konzentrischen Kreis. Diese Variante bewährt sich insbesondere bei der Beleuchtung größerer Objekte.
Es ist möglich, die Ausrichtung der optischen Achsen der Leuchtdioden durch deren Ausrichtung an einem entsprechenden Halter konstruktiv festzulegen. Es ist jedoch auch möglich, mehrere verschieden ausgerichtete, in fixer Position befindliche Leuchtdioden vorzusehen, die beispielsweise auf konzentrischen Ringen angeordnet sind und die wahlweise angesteuert werden, um beispielsweise ein größeres oder ein kleineres Objekt jeweils optimal zu beleuchten. Des Weiteren ist es möglich, Leuchtdioden beweglich zu lagern, um diese bedarfsweise in Anpassung an unterschiedliche Bedingungen unterschiedlich auszurichten.
Die Leuchtdioden sind vorzugsweise Weißlichtleuchtdioden, die ein relativ breites Lichtspektrum erzeugen. Eine solche Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung eignet sich für die meisten Anwendungsfälle und ist somit vielseitig.
Für Spezialanwendungen kann es auch vorteilhaft sein, farbige Leuchtdioden einzusetzen. Hierbei ist es wie auch bei der Weißlicht-Beleuchtung möglich, dass alle Leuchtdioden vom gleichen Typ sind. Insbesondere weisen sie beispielsweise eine gleiche Farbe auf.
Es ist jedoch auch möglich, dass verschiedenfarbige Leuchtdioden vorgesehen werden, die bedarfsweise ein- und ausgeschaltet werden können, um die Objektbeleuchtung an jeweils konkrete Gegebenheiten anzupassen. Dabei ist es sowohl möglich, die verschiedenfarbigen Leuchtdioden gleichzeitig als auch zeitversetzt anzusteuern. Beispielsweise kann das Objekt aus einer Richtung mit rotem und aus einer anderen Richtung mit grünem Licht beleuchtet werden während es aus einer dritten Richtung mit blauem oder weißem Licht beleuchtet wird. Es ist möglich, die Lichtverteilung während der Messung zu ändern, um maximale Objektinformation zu gewinnen. Dazu können auch Leuchtdioden mit variablen Lichtfarben eingesetzt werden.
Vorzugsweise ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, die die Leuchtdioden so ansteuert, dass eine der oben genannten Beleuchtungsvarianten erzielt wird. Beispielsweise werden die Leuchtdioden so angesteuert, dass wenigstens zwei derselben gleichzeitig oder zeitlich nacheinander Licht mit unterschiedlicher Farbe abgeben. Auch können die Leuchtdioden gleichzeitig oder einzeln oder gruppenweise zeitversetzt angesteuert werden. Vorzugsweise ist die Steuereinrichtung auch mit dem Sensor verbunden. Dieser kann beispielsweise durch eine Kamera gebildet sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird die Ansteuerung der Leuchtdioden mit der Bildaufnahme synchronisiert. Beispielsweise kann ein Objekt aus einer Anzahl verschiedener Richtungen beleuchtet werden, wobei Bilder mit verschiedenen Beleuchtungsrichtungen aufgenommen werden können. Entsprechendes gilt für unterschiedliche Lichtfarben oder Lichtintensitäten. Zum Wechsel der Beleuchtungsrichtung können Leuchtdioden einzeln oder gruppenweise von Hand oder mittels Motoren bewegt werden. Dazu ist es möglich, die Dioden zu schwenken. Es ist auch möglich, eine lineare Verstellbarkeit vorzusehen. Alternativ können verschieden angeordnete oder verschieden ausgerichtete Leuchtdioden einzeln oder gruppenweise ein- und ausgeschaltet werden.
Es ist möglich, die Leuchtdioden gruppenweise in geraden Reihen, in gebogenen Reihen oder beispielsweise auf Kreisen anzuordnen. Die Leuchtdioden weisen vorzugsweise jeweils einen geringen Abstrahlwinkel auf. Dieser kann durch Blenden eingeschränkt werden. Hierbei wird es bevorzugt, jeder Leuchtdiode jeweils eine individuelle Blende zuzuordnen. Des Weiteren kann die mit den Leuchtdioden aufgebaute Durchlicht-Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung mit einer Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung kombiniert sein. Diese weist als Lichtquelle vorzugsweise eine Halogenkaltspiegellampe, eine Leuchtstofflampe oder wenigstens eine Hochleistungsleuchtdiode auf. Das Licht wird vorzugsweise mit einer Mattscheibe gestreut, wobei die Mattscheibe unterhalb der Objektebene im Sichtfeld des Sensors liegt. Die Umschaltung von Hellfeld-Beleuchtung auf Dunkelfeld-Beleuchtung kann durch rein elektrische Maßnahmen ohne mechanische Bewegung von Bauteilen erfolgen.
Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der Zeichnung, der Beschreibung oder Ansprüchen.
In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:
1 eine Dunkelfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung mit linear angeordneten Leuchtdioden in schematisierter perspektivischer Darstellung,
2 eine Variante der erfindungsgemäßen Dunkelfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung in perspektivischer schematisierter Darstellung,
3 eine schematisierte Darstellung der Beleuchtungseinrichtung nach 2 in Seitenansicht und
4 eine Prinzipdarstellung einer Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung in Draufsicht.
In 1 ist eine Koordinatenmesseinrichtung 1 mit einem optischen Sensor 2 im Prinzip veranschaulicht, der beispielsweise als Kamera oder dergleichen ausgebildet sein kann. Er dient der Betrachtung eines in einer Messebene 3 angeordneten, nicht weiter veranschaulichten Objekts. Die optische Achse 4 des Sensors 2 bzw. seines Objektivs steht senkrecht auf der Messebene 3.
Zur Beleuchtung der Messebene 3 und somit des Messobjekts dient eine Beleuchtungseinrichtung 5, zu der eine Durchlicht-Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung 6 und ggf. eine Durchlicht-Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung 7 gehören. Zusätzlich oder alternativ kann eine nicht weiter veranschaulichte Auflicht-Beleuchtungseinrichtung vorgesehen sein, zu der Lichtquellen gehören, die oberhalb der Messebene 3 angeordnet sind. Hingegen sind die Durchlicht-Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung 6 und die Durchlicht-Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung 7 unterhalb der Messebene 3 angeordnet, wobei die Anordnung im Einzelnen aus 3 hervorgeht.
Zu der Durchlicht-Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung 6 gehören zumindest eine einzige, vorzugsweise aber mehrere Leuchtdioden 8, 9, die, wie beispielsweise 1 erkennen lässt, in zwei oder mehreren geraden Reihen angeordnet sein können. Z.B. sind die Leuchtdioden 8 gemäß 1 in zwei Reihen 8a, 8b angeordnet. Die Leuchtdioden 9, die auf der bezüglich der optischen Achse 4 gegenüber liegenden Seite angeordnet sind, können ebenfalls in zwei Reihen 9a, 9b angeordnet sein. Jede Leuchtdiode 8, 9 weist jeweils einen Lichtaustrittswinkel α auf, der z.B. 25° beträgt und somit eher gering ist. Vorzugsweise ist er zumindest geringer als 45°. Es werden Leuchtdioden 8, 9 bevorzugt, die aufgrund der optischen Ausbildung ihres Gehäuses eine relativ scharfe Hell-Dunkel-Grenze erzeugen und innerhalb des von ihnen erzeugten Lichtkegels eine gleichmäßige Ausleuchtung erzielen. Beispielsweise kann die Leuchtdichteverteilung bezogen auf die optische Achse 10, 11 jeder Leuchtdiode 8, 9 einer Gauß-Verteilung oder einer ähnlichen Verteilung genügen. Die Lichtverteilung ist um die optischen Achsen 10, 11 vorzugsweise zentriert.
Die optischen Achsen 10, 11 der Leuchtdioden 8, 9 sind auf ein auf der Messebene 3 angeordnetes Objekt 12 gerichtet, das im Sichtfeld des Sensors 2 angeordnet ist. Die Leuchtdioden 8, 9 sind dabei so angeordnet, dass ihre optischen Achsen 10, 11 in der Nähe des Randes des Objekts 12 durch die Messebene 3 stoßen. Dadurch wird eine ordentliche ausreichende Beleuchtung des Randes des Objekts 12 ermöglicht. Andererseits sind die Leuchtdioden 8, 9 so schräg angeordnet, dass ihre jeweiligen Lichtkegel den Sensor 2 bzw. dessen Objektiv nicht treffen. Ist auf der Messebene 3 kein Objekt vorhanden, nimmt der Sensor 2 das von den Leuchtdioden 8, 9 ausgehende Licht nicht wahr. Er bildet lediglich dunklen (schwarzen) Hintergrund ab.
Die Leuchtdioden 8, 9 sind vorzugsweise von einer Steuereinrichtung 13 gesteuert, die die Leuchtdioden 8, 9 gleichzeitig oder zeitversetzt ansteuert. Die Steuereinrichtung 13 kann bedarfsweise mit dem Sensor 2 verbunden sein, um dessen Betrieb zu steuern.
Die Durchficht-Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung 7 kann ebenfalls von der Steuereinrichtung 13 gesteuert sein. Beispielsweise besteht sie aus einer senkrecht zu der optischen Achse 4 angeordneten Streuscheibe, beispielsweise einer Milchglasscheibe, die auf geeignete Weise von einer Lichtquelle 14 beleuchtet wird. Letztere kann ebenfalls von der Steuereinrichtung 13 gesteuert sein.
Die insoweit beschriebene Koordinatenmesseinrichtung 1 arbeitet wie folgt:
Das zu vermessende Objekt 12 wird auf der Messebene 3 platziert und beispielsweise mit der Durchlicht-Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung 7 beleuchtet. Der Sensor erfasst dann die äußeren Konturen des dunkel auffallenden Objekts 12 vor hellem Hintergrund. Kantenfinderroutinen oder sonstige Maßnahmen können dazu genutzt werden, an dem Objekt 12 Messungen vorzunehmen. Obere Kanten 15, 16 die von darunter liegenden Teilen des Objekts 12 verdeckt werden, werden dabei nicht aufgefunden – sie sind vielmehr unsichtbar.
Zur Vermessung derselben schaltet die Steuereinrichtung 13 die Lichtquelle 14 der Durchlicht-Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung 7 ab und die Leuchtdioden 8, 9 ein. Diese beleuchten nun sowohl die oben liegenden Kanten 15, 16 als auch weiter unten liegende Kanten 17, 18 und ggf. Flächenbereiche 19, 20. Das an den Kanten 15 bis 18 sowie ggf. an den Flächenbereichen 19, 20 gestreute Licht gelangt zu dem Sensor 2 und wird von diesem erfasst. Die Kanten 15 bis 18 können dadurch optisch vermessen werden.
Die Leuchtdioden 8, 9 können dabei gleichzeitig und im Dauerbetrieb betrieben werden. Es ist jedoch auch möglich, die Dioden 8, 9 zu pulsen. Dazu steuert die Steuereinrichtung 13 beispielsweise die Dioden der Reihen 8a, 8b, 9a, 9b (1) gruppenweise oder einzeln nacheinander an. Wird beispielsweise ein die Reihen 8a bis 9b durchlaufender Lichtpunkt erzeugt, wird das Objekt 12 nach einander aus unterschiedlichen Richtungen beleuchtet, wobei der Sensor 2 für jede Beleuchtungssituation ein gesondertes Bild aufnehmen kann. Dieses kann von der Steuereinrichtung 13 oder einer anderweitigen, zur Bildverarbeitung eingerichteten Einrichtung weiter verarbeitet werden, um maximale Bildinformation zu gewinnen oder maximale Messgenauigkeit zu erreichen.
Des Gleichen können die Leuchtdioden 8, 9 gleiche oder unterschiedliche Farben aufweisen. Es können in jeder Reihe 8a, 8b, 9a, 9b gleich farbige oder unterschiedlich farbige Leuchtdioden vorgesehen sein. Auch ist es möglich, mehrfarbige Leuchtdioden vorzusehen, die in Abhängigkeit von ihrer elektrischen Ansteuerung ihre Lichtfarbe wechseln. Auf diese Weise können nacheinander mehrere Bilder mit unterschiedlich farbiger Beleuchtung aufgenommen werden. Auch ist es möglich, verschiedenen Raumrichtungen verschiedene Beleuchtungsfarben zuzuordnen. Dies kann insbesondere bei farbigen Objekten, insbesondere mehrfarbigen Objekten Bedeutung haben.
Es ist darüber hinaus möglich, die Leuchtdioden 8 oder 9, wie 2 veranschaulicht, auf Kreisen anzuordnen. Beispielsweise können mehrere, zueinander konzentrische Leuchtdiodenkreise vorgesehen sein, die vorzugsweise konzentrisch zu der optischen Achse 4 angeordnet sind. Damit ist eine Beleuchtung von Objekten aus allen Richtungen möglich. Die Leuchtdioden 8, 9 können auf den verschiedenen Kreisen unterschiedlichen Durchmessers mit gleicher oder unterschiedlicher Ausrichtung angeordnet sein. Beispielsweise können sich die optischen Achsen des kleinsten unteren Kreises in einem etwa in der Messebene 3 liegenden Brennpunkt schneiden, während sich die optischen Achsen der beiden anderen Leuchtdiodenringe in anderen, beispielsweise näher an dem Sensor 2 liegenden Brennpunkten schneiden.
Dadurch ist es möglich, räumlich ausgedehnte Objekte ausreichend zu beleuchten. Die Steuereinrichtung 13 kann die Leuchtdioden der drei Leuchtdiodenkreise gleichzeitig oder wahlweise auch unabhängig voneinander ansteuern, wenn zur Beleuchtung eines Objekts beispielsweise lediglich einer der Leuchtdiodenkreise benötigt wird. Es ist auch möglich, jeweils nur eine oder einige der Leuchtdioden eines Kreises zu aktivieren, um das Objekt z.B. gezielt lediglich aus einer einzigen Richtung zu beleuchten. Die Beleuchtungsrichtung kann während der Messung gewechselt werden, indem die jeweils aktivierten Leuchtdioden deaktiviert und dafür andere Leuchtdioden aktiviert werden. Auch kann bei diesem Vorgang Einfluss auf die Lichtfarbe der Leuchtdioden genommen werden, wenn entsprechend mehrfarbige Leuchtdioden oder Leuchtdioden mit unterschiedlichen Farben vorgesehen werden.
Während bislang davon ausgegangen worden ist, dass sich die optischen Achsen der Leuchtdioden 8, 9 in einem Brennpunkt treffen, veranschaulicht 4, dass dies nicht zwingend der Fall ist. 4 zeigt lediglich vier Leuchtdioden 8a, 8b, 9a, 9b, deren optische Achsen 10a, 10b, 11a, 11b zu einem Zentrum gerichtet sind, dabei aber die optische Achse 4 nicht schneiden. Sie schneiden somit auch einander nicht. Vielmehr gehen sie im Raum an einander vorbei. In der Draufsicht gemäß 4 liegen sie tangential zu einem Kreis 21, wobei sie sich untereinander nur scheinbar schneiden. Tatsächlich aber laufen sie aufgrund der aus 3 ersichtlichen Schrägstellung der optischen Achsen 10, 11 zu der Messebene 3 an einander vorbei.
Zusammenfassend kann festgehalten werden, dass die beschriebene Neuerung eine zusätzliche Beleuchtungseinrichtung für Koordinatenmessmaschinen mit optischem Sensor betrifft, die standardmäßig mit Hellfeld-Auflicht- und Hellfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung ausgestattet sind. Mit der Dunkelfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung können Merkmale an dem zu messenden Objekt beleuchtet werden, die mit den sonst vorhandenen Beleuchtungseinrichtungen nicht oder nur unzureichend ausgeleuchtet werden können. Insbesondere aus Sicht der Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung verdeckte Kanten (die mit herkömmlichen Hellfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtungen nicht beleuchtet werden können) werden mit der Dunkelfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung noch ausgeleuchtet. Ein wesentliches Merkmal der erfindungsgemäßen Dunkelfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung ist die Verwendung von lichtstarken Leuchtdioden (LEDs), die ringförmig oder auf einem Polygon, Rechteck oder Quadrat oder in einzelnen Segmenten um eine bereits vorhandene Hellfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung angeordnet sind. Die LEDs können in einzelnen Gruppen angesteuert werden, um eine optimale Ausleuchtung des Messobjekts zu ermöglichen. Auch können die LEDs verschiedenfarbig sein. Der Abstrahlwinkel der einzelnen LED ist gering und jede einzelne LED ist wiederum auf dem gemeinsamen Brennpunkt aller LEDs ausgerichtet, welcher sich etwa in der Messebene oder Objektebene und Achse des optischen Sensors befindet.
Die erfindungsgemäße Dunkelfeld-Durchlicht-Beleuchtungseinrichtung kann einzeln oder auch in Kombination mit den anderen Beleuchtungseinrichtungen an einer Koordinaten-Messmaschine mit optischem Sensor eingesetzt und auch betrieben werden.

Claims

Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung (6) für eine Koordinaten-Messeinrichtung (1) mit optischem Sensor (2), mit einer mehreren als Lichtquellen dienenden Leuchtdioden (8, 9), deren Lichtaustrittsöffnungen auf einen gemeinsamen Brennpunkt ausgerichtet sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Leuchtdiode (8, 9) eine um eine optische Achse (10, 11) zentrierte Helligkeitsverteilung aufweist.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich die optischen Achsen (19, 11) der Leuchtdioden (8, 9) in dem Brennpunkt treffen.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die optischen Achsen der Leuchtdioden (8, 9) einander nicht schneidend ausgerichtet sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) Weißlichtleuchtdioden sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) farbige Leuchtdioden sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass alle Leuchtdioden (8, 9) vom gleichen Typ sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass alle Leuchtdioden (8, 9) von gleicher Farbe sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) jeweils eine festgelegte Lichtfarbe aufweisen.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) variable Lichtfarben aufweisen.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die die Leuchtdioden (8, 9) so ansteuert, dass wenigstens zwei der Leuchtdioden (8, 9) Licht unterschiedlicher Farbe abgeben.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die die Leuchtdioden (8, 9) so ansteuert, dass wenigstens zwei der Leuchtdioden (8, 9) gleichzeitig Licht unterschiedlicher Farbe abgeben.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die die Leuchtdioden (8, 9) so ansteuert, dass wenigstens zwei der Leuchtdioden (8, 9) nacheinander Licht unterschiedlicher Farbe abgeben.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die wenigstens einige der Leuchtdioden (8, 9) gleichzeitig ansteuert.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die alle Leuchtdioden (8, 9) gleichzeitig ansteuert.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die die Leuchtdioden (8, 9) gruppenweise zeitversetzt ansteuert.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die die Leuchtdioden (8, 9) einzeln zeitversetzt aktiviert.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (13) den Sensor (2) zu den Leuchtdioden (8, 9) synchronisiert aktiviert.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, die alle Leuchtdioden (8, 9) gleichzeitig aktiviert.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) mit einer Steuereinrichtung (13) verbunden sind, mittels derer die Leuchtdiodenhelligkeit verstellbar ist.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) unterhalb einer Objektebene (3) angeordnet sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) gruppenweise in geraden Reihen (8a, 8b, 9a, 9b) angeordnet sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) gruppenweise in gebogenen Reihen angeordnet sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) auf einem Kreis angeordnet sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jede Leuchtdioden (8, 9) einen Abstrahlwinkel aufweist, der kleiner als 45° ist.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) jeweils mit einer Blende zur Begrenzung des abgestrahlten Lichtbündels versehen sind.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden (8, 9) so orientiert sind, dass kein abgestrahltes Licht auf direktem Wege in den optischen Sensor (2) gelangt.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich eine Hellfeld-Beleuchtungseinrichtung (7) vorgesehen ist.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Leuchtdioden schwenkbar angeordnet ist.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verstellung der wenigstens einen verstellbaren Leuchtdiode eine mit einem Motor versehene Stelleinrichtung vorgesehen ist.
Dunkelfeld-Beleuchtungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtdioden in mehreren konzentrischen Kreisen angeordnet sind und mit einer Steuerungseinrichtung verbunden sind, die den Einfallswinkel durch Auswahl des konzentrischen Kreises realisiert.