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Feld der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft Abbildungsoptiken und zugeordnete
Beleuchtungssysteme und insbesondere eine Einrichtung, die eine
koaxiale Kleinwinkel-Dunkelfeldbeleuchtung für ein ebenes spiegelndes Objekt
bereitstellt, welches mindestens einen Defekt aufweist.
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Hintergrund der Erfindung
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Es
gibt eine Klasse von Halbleiter-Produkten, die überwiegend eben und spiegelnd
(flach und glänzend)
sind, und häufig
ist es notwendig, diese Komponenten derart abzubilden, daß auch sehr
kleine Abweichungen von dem ebenen und spiegelnden Zustand mit adäquatem Kontrast
abgebildet werden. Eine Klasse derartiger Produkte sind Halbleiter-Wafer,
die mit Marken versehen sein können,
die neben anderen Dingen die Nummer des Wafers und den Hersteller
anzeigen können.
Diese Marken stellen Defekte in der Oberfläche des Wafers dar und sind
typischerweise eine Matrix von durch Laserätzen erzeugten Vertiefungen.
Diese Marken werden in der Fachsprache oft als "Softmarks" bezeichnet. Es ist notwendig, diese
Marken abzubilden, um die Codes in verschiedenen Stufen im Verlaufe
des Herstellungsprozesses auslesen zu können.
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Nachdem
die Komponenten vereinzelt worden sind (normalerweise mit einer
Säge in
einzelne rechteckige Komponenten zersägt worden sind) kann es notwendig
sein, die Kanten auf kleine Späne und
Risse zu überprüfen, die
sich im Laufe der Zeit fortpflanzen können und einen vorzeitigen
Ausfall der Komponenten herbeiführen
können.
Diese Überprüfungsvorgänge sind
automatisiert, und bei ihnen werden elektronische bildgebende Kameras
in Kombination mit digitalen elektronischen Computern verwendet,
die so programmiert sind, daß sie
die notwendigen Überprüfungen,
Messungen und Identifizierungen durchführen.
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Die
Dunkelfeldbeleuchtung ist ein dem Fachmann an sich von Hause aus
bekanntes Verfahren, und sie eignet sich besonders gut zum Inspizieren von
Defekten auf spiegelnden Objekten. Die Definition der Dunkelfeldbeleuchtung
hängt ab
von den Eigenschaften der das Beleuchtungslicht bereitstellenden
Quelle, von deren Position bezüglich
des Gegenstandes und des Beobachters oder der Kamera und von den
Eigenschaften des Objektes, welches beleuchtet wird. Damit die Definition
der Dunkelfeldbeleuchtung erfüllt
wird, ist es notwendig, daß der überwiegende
Anteil des Beleuchtungslichtes, welches auf das Objekt auffällt, in
einer Richtung oder in Richtungen reflektiert wird, in denen es
nicht in die optischer Apertur des Beobachters oder der Kamera eintritt.
Die Dunkelfeldbeleuchtung kann mit der Hellfeldbeleuchtung verglichen
werden, bei welcher der größte Anteil
des Lichtes direkt in die Kamera reflektiert wird.
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Wie
in 1 dargestellt ist, kann man die Dunkelfeldbeleuchtung
dadurch erreichen, daß man die
Lichtquelle so aufstellt, daß sie
auf das Objekt unter einem Winkel zur Linie zwischen Kamera und
Objekt zeigt. Dieser Winkel muß größer sein
als derjenige Winkel, über
welchen hinweg das Objekt Licht streut. Wenn das Objekt im wesent lichen
diffus reflektierender Art ist, dann muß der Winkel größer sein als
der halbe Winkel, über
den hinweg das Objekt einfallendes Beleuchtungslicht durch diffuse
Reflexion verteilt. Ist das Objekt spiegelnd, d. h. dann, wenn das
Objekt das einfallende Beleuchtungslicht über einen kleinen Winkel streut
oder mit nur sehr geringer Effizienz streut oder beides, dann kann
der Winkel sehr klein sein.
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Es
kann wünschenswert
sein, die Quelle für das
Beleuchtungslicht symmetrisch zu machen. In diesem Falle kann man
die Quelle in ringförmiger
Geometrie herstellen und koaxial zu der optischen Achse anordnen.
Man kann auch eine Mehrzahl von Quellen in ringförmiger Geometrie anordnen.
Der Durchmesser dieses Ringes und seine Nähe zum Objekt bestimmen den
Bereich von Winkeln, über welchen
hinweg das Beleuchtungslicht auf das Objekt auffällt. Solche Arten von Licht
sind dem Fachmann als Ringlicht bekannt und werden mit unterschiedlicher
Konfiguration verwendet, so daß sie
einen "großen Winkel" oder einen "kleinen Winkel" haben.
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Beim
Abbilden gewisser Objekte ist es wünschenswert, die sehr kleinen
Strukturen in einer Oberfläche,
die sonst im wesentlichen eben und spiegelnd ist, besonders herauszuheben.
Diese Oberflächenmerkmale
umfassen "Softmarks" und die Kanten vereinzelter
Komponenten. Um dies zu bewerkstelligen, ist es nötig, daß man die
Quelle für
das Beleuchtungslicht so nahe auf die Achse des Abbildungssystems
bringt, wie dies möglich
ist, ohne daß es
dazu kommt, daß die
Quelle für
das Beleuchtungslicht direkt in das Abbildungssystem reflektiert wird.
Dies bedeutet, daß man
einen kleinen Winkel braucht. Die effektivste Art und Weise, dies
zu erzielen, ist nach gegenwärtigem
Wissen die, bei welcher Abschirmungen verwendet werden, wobei man
zugleich eine spezielle Ausfluchtung zwischen der Quelle für das Beleuchtungslicht,
dem Objekt, den Abschirmungen und dem Abbildungssystem vornimmt.
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Eine
Verwirklichung dieses Lösungsweges ist
in der
US-PS 5 737 122 desselben
Inhabers offenbart, welche den Titel hat "Beleuchtungssystem für optische Zeichenerkennung
von Marken auf einem Substrat" (nachstehend
kurz '122-Patent).
Eine Darstellung einer Ausführungsform
des '122-Patentes ist in
2 gezeigt.
Das '122-Patent
beschreibt, daß die Achse
der Kamera und die Achse des Beleuchtungsmoduls bei komplementären spitzen
Winkeln angeordnet sind, die zur Normalen auf einem spiegelnden Objekt
symmetrisch sind. Die Kleinwinkel-Dunkelfeld-Leuchten sind nahe
bei der optischen Achse angeordnet, und man verhindert dadurch,
daß sie
direkt von der Kamera abgebildet werden, daß man Abschirmungen in den
Abbildungsweg stellt, die dies verhindern. Die Stellung der Abschirmungen
begrenzt zwar das Gesichtsfeld des abbildenden Systems; dies wird
aber als akzeptabler Kompromiß angesehen.
Bei derartigen Auslegungen ist die Dunkelfeldbeleuchtung mit kleinem
Winkel aus zwei einander gegenüberliegenden
Bänken
zusammengesetzt und hat nur einzählige
Symmetrie. Wenn man im wesentlichen kreisförmige Vertiefungen auf Wafern
abbildet, welche die symbolische Darstellung des Chargencodes oder
der Seriennummer ausmachen, kann diese einzählige Symmetrie zu einem verschlechterten
Bild führen.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Durch
die vorliegende Erfindung wird ein Abbildungssystem angegeben, das
dazu dient, einen Defekt auf einem ebenen spiegelnden Objekt abzubilden.
Das System umfasst eine telezentrische Linse mit einer definierten
Achse und einem definierten Brennpunkt. Die telezentrische Linse
dient dazu, ein Bild des Objektes an eine Kamera zu überstellen. Eine
Quelle für
Beleuchtungslicht ist so angeordnet, daß sie das Objekt längs der
Achse der telezentrischen Linse bestrahlt. Für ein spiegelndes Objekt ist eine
telezentrische Blende vorgesehen, in der eine Öffnung ausgebildet ist welche
Licht abfängt,
welches von dem ebenen spiegelndem Objekt reflektiert wird, während sie
Licht durch die Öffnung
hindurchlaufen läßt, welches
von dem Defekt reflektiert wird.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Strahlteiler der Art vorgesehen,
daß die Quelle
für das
Beleuchtungslicht senkrecht zu der Achse der telezentrischen Linse
angeordnet werden kann.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung ist die Öffnung der telezentrischen
Blende in unmittelbarer Nähe
des Brennpunktes der telezentrischen Linse angeordnet.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung ist eine hintere Linsengruppe vorgesehen,
welche das Bild des Defektes auf die Kamera fokussiert.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung umfasst die Quelle für das Beleuchtungslicht eine
kreisförmig
angeordnete Gruppe von LEDs.
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Andere
Anwendungen für
die vorliegende Erfindung erschließen sich dem Fachmann, wenn
er die nachstehende Beschreibung der besten Ausführungsform zum Umsetzen der
Erfindung in die Praxis liest und die beiliegende Zeichnung hinzuzieht.
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Kurze Beschreibung der Zeichnung
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Die
nachstehende Beschreibung nimmt Bezug auf die beiliegende Zeichnung,
in der gleiche Bezugszeichen in den verschiedenen Darstellungen durchweg
die gleichen Teile bezeichnen. Es zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung, in welcher das Konzept der Dunkelfeldbeleuchtung
veranschaulicht ist;
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2 eine
Darstellung eines Beleuchtungssystems mit Abschirmungen gemäß dem Stand
der Technik;
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3 eine
teilweise bildhafte, teilweise als Schnitt gezeigte Darstellung,
in der ein erstes bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung gezeigt ist;
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4 eine
Darstellung eines Silicium-Wafers mit einer "Softmark";
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5 eine
Aufsicht auf eine Lichtquelle, die gemäß der vorliegenden Erfindung
verwendet wird; und
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6 eine
teilweise bildhafte, teilweise als Schnitt dargestellte Darstellung,
in welcher ein zweites bevorzugtes Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden
Erfindung gezeigt ist.
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Detaillierte Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsbeispiele
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Die
vorliegende Erfindung beschäftigt
sich mit der Notwendigkeit, eine überwiegend ebene und spiegelnde
Oberfläche
so zu beleuchten und so abzubilden, daß Abweichungen von der Ebenheit
oder dem spiegelnden Charakter des Gegenstandes, der abgebildet
wird, mit vergrößertem Kontrast
wiedergegeben werden. Die weiter unten beschriebenen Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung verwenden eine telezentrische Linse zum
Beleuchten von Objekten mit einer symmetrischen koaxialen Kleinwinkel-Dunkelfeldbeleuchtung.
Diese Beleuchtungstechnik ist besonders dazu geeignet, kleinere
Merkmale oder Defekte auf ebenen spiegelnden Objekten herauszuheben.
Spezifische Beispiele für
derartige Objekte umfassen Silizium-Wafer, während unter den Defekten "Softmark"-Symbole auf Silizium-Wafer und/oder
Kanten-Unregelmäßigkeiten
auf Komponenten von Chip-Größe sein
kann.
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Genauer
gesagt erzeugt die Lichtquelle ringförmige Kegel von Lichtstrahlen,
die zur telezentrischen Linse gerichtet sind. Die telezentrische
Linse ändert
die Richtung der Lichtstrahlen auf ein im wesentlichen ebenes spiegelndes
Objekt so ab, daß die Lichtstrahlen
parallel sind und senkrecht zum Objekt gerichtet sind. Eine Eigenschaft
des ebenen spiegelnden Objektes ist die, daß es Licht unter einem Winkel
zurückwirft,
der zum Einfallswinkel komplementär ist, im vorliegenden Falle
also senkrecht auf der Oberfläche
des Objektes steht. Nach der Reflektion sind die Lichtstrahlen geprägte Bildstrahlen.
Die Bildstrahlen werden von einem im wesentlichen ebenen spiegelnden
Objekt zurückgeworfen
und durch die telezentrische Linse invers zu dem Punkt trans formiert,
an welchen sie entstanden. Das System umfasst eine telezentrische
Blende, wobei eine zentrale Öffnung
mit der Lichtquelle derart zusammenfällt, daß im wesentlichen kein Licht
zu einer Kamera hindurchläuft.
Befindet sich jedoch in der spiegelnden Oberfläche ein Defekt, so wird das
Licht gestört,
und es ist wahrscheinlich, daß ein
gewisser Anteil des Lichtes durch die Öffnung der telezentrischen
Blende hindurchtritt und zur Kamera weiterläuft.
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3 zeigt
eineteilweise bildhafte, teilweise als Schnitt dargestellt Wiedergabe
eines ersten bevorzugten optischen Abbildungssystemes 100 gemäß der vorliegenden
Erfindung. 3 zeigt ein ebenes Projekt 102.
Das ebene Projekt 102 ist vorzugsweise ein Silizium-Wafer 104,
der in 4 genauer gezeigt ist. Der Silizium-Wafer 104 ist
von Hause aus spiegelnd. Der Silizium-Wafer 104 umfasst
typischerweise Defekte wie eine Softmarke 105. Die Softmarke 105 besteht
aus einer Ansammlung von durch Ätzen
mit einem Laser erzeugten Vertiefungen und gibt Informationen wieder,
die den Silizium-Wafer 104 betreffen. Der Silizium-Wafer 104 umfasst
ferner eine Mehrzahl von Halbleiterkomponenten 106. Die
vorliegende Erfindung wird zwar im Blick auf das Inspizieren eines
Silizium-Wafers 104 und insbesondere im Hinblick auf das
Abbilden einer Softmarke 105 beschrieben, es sei jedoch
darauf hingewiesen, daß die vorliegende
Erfindung gleichermaßen
auch auf Abbildungen anderer ebener Objekte anwendbar ist. Als Beispiel
sei genannt die Kontrolle von Kanteneffekten an Halbleiter-Komponenten 106 nach
deren Vereinzelung.
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In 3 ist
ferner ein optisches Abbildungssystem 100 dargestellt,
welches zwei Linsengruppen umfasst, von denen die eine hintere Gruppe 108 genannt
wird und die andere telezentrische Feldlinse 110 genannt
wird. Eine Bezugsquelle für
geeignete Linsen sowohl für
die hintere Linsengruppe 108 als auch die telezentrische
Feldlinse 110 ist die Firma Edmunt Scientific. Die hintere
Linsengruppe 108 und die telezentrische Feldlinse 110 arbeiten
derart zusammen, daß sie
auf einer Kamera 200 ein Fild 113 der Softmarke 105 erzeugen,
wie nachstehend noch genauer beschrieben werden wird. Bei der Kamera 200 handelt
es sich vorzugsweise um eine digitale Kamera, welche einen CCD oder
einen CMOS-Sensor umfasst.
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Die
hintere Linsengruppe 108 ist durch eine Zusammenstellung
korrigierter Objektivlinsen vorgegeben und hat eine Eingangspupille 109.
Die hintere Linsengruppe 108 zeichnet sich vorzugsweise
durch geringe Verzeichnung aus und hat eine ausreichend hohe Auflösung, wie
sie zur Kamera 200 paßt.
Es versteht sich, daß man
die hintere Linsengruppe 108 anders wählen kann, je nach dem, welcher
Type für die
Kamera 200 verwendet wird.
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Es
versteht sich, daß die
telezentrische Feldlinse 110 als telezentrische Feldlinse
arbeitet, um das Abbilden des Objektes telezentrisch längs der
Ebene des Objektes 102 zu bewerkstelligen. Anders gesagt: Die
Lichtstrahlen verlaufen parallel zueinander, wenn sie die telezentrische
Linse 110 verlassen und sind vorzugsweise senkrecht zur
Ebene des Objektes 102. Es versteht sich, daß die telezentrische
Linse 110 und die Linsengruppe 108 dann, wenn
sie von einer Lichtquelle 118 beleuchtet werden, so arbeiten, daß sie bei
der Kamera 200 eine Bild 113 erzeugen. Die telezentrische 110 Linse
hat eine Mehrzahl von sie charakterisierenden Kenngrößen, darunter
eine Achse 111 und eine telezentrische Apertur oder einen Brennpunkt 112.
Wie in 3 dargestellt, fällt der Brennpunkt 112 der
telezentrischen Feldlinse 110 mit der Eingangspupille 109 der
hinteren Linsengruppe 108 zusammen. Die Achse 111 stellt
die optische Achse des Systems 100 dar, so daß die hintere
Linse 108 und die Kamera gleichermaßen auf der Achse 111 angeordnet
sind.
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Eine
Quelle für
Beleuchtungslicht 118 ist ebenfalls vorgesehen. Die Quelle
für das
Beleuchtungslicht 118 ist so angeordnet, daß sie eine
Kleinwinkel-Beleuchtung bewerkstelligt, die koaxial zur Achse 111 der
telezentrischen Feldlinse 110 ist. 3 zeigt
die erste bevorzugte Stellung der Lichtquelle 18, in welcher
sie körperlich
auf der Achse 111 steht. Es versteht sich und wird noch
unten beschrieben, daß die
Lichtquelle 118 auch körperlich
von der Achse 111 entfernt auf optisch äquivalente Weise angeordnet
werden kann.
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Eine
telezentrische Blende 116 ist zwischen der hinteren Linsengruppe 108 und
der telezentrischen Feldlinse 110 angeordnet. Sie ist auf
die Achse 111 der telezentrischen Feldlinse 110 zentriert.
Vorzugsweise ist die telezentrische Blende 116 in enger Nachbarschaft
der Eingangspupille 109 der hinteren Linsengruppe 108 angeordnet.
Die telezentrische Blende 116 ist vorzugsweise eine körperliche
optische Blende, welche eine mittige Öffnung 117 aufweist.
Die Öffnung 117 ist
ebenfalls in enger Nachbarschaft zum Brennpunkt 112 der
telezentrischen Linse 110 angeordnet.
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Die
bevorzugte Quelle für
Beleuchtungslicht ist in 5 dargestellt. Gemäß 5 umfasst
ein lichtförmige
Lichtquelle eine Mehrzahl von LEDs 120, die auf einer gedruckten
Leiterplatte 121 angeorndet sind. Es versteht sich, daß die gedruckte
Leiterplatte 121 die Funktion der telezentrischen Blende 116 erfüllen kann.
Die gedruckte Leiterplatte 121 ist mit einer Öffnung 121A versehen,
die zumindest so groß ist
wie die Öffnung 117 der
telezentrischen Blende 116. Wird zusammen mit der telezentrischen
Blende 116 eine Irisblendenöffnung verwendet, so muß die Öffnung 121A so
groß sein
wie die größte verfügbare Öffnungseinstellung.
Wie dargestellt sind die LEDs 120 in einer inneren kreisförmigen Gruppe 119A und einer äußeren kreisförmigen Gruppe 119B angeordnet.
Es versteht sich, daß die
innere Gruppe 119A und die äußere Gruppe 119B Licht
zum Beleuchten des Objektes 102 bereitstellen, welches
geringfügig unterschiedlichen
kleinen Öffnungswinkel
hat. Die innere Gruppe 119A und die äußere Gruppe 119B können zusammen
leuchten oder alternierend leuchten, je nach den Eigenschaften des
Objektes 102. Es versteht sich, daß man zusätzlich weitere kreisförmig angeordnete
LED-Gruppen vorsehen kann.
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Die
Empfindlichkeit des Systems von der Art des Defektes hängt hauptsächlich ab
von dem Verhältnis
zwischen der Brennweite der telezentrischen Linse 110 und
dem Durchmesser der Lichtquelle. Durch die vorliegende Erfindung
wird ein Weg geschaffen, wie man diese Empfindlichkeit einstellen kann.
Genauer gesagt kann man für
die ringförmigen Lichtquellen 119A und 119B unterschiedliche
Durchmesser wählen;
statt dessen kann man auch den Durchmesser der Öffnung 117 der telezentrischen Blende 116 einstellen.
Die Öffnung 117 kann
dadurch einstellbar sein, daß man
eine Irisblende verwendet, und auf diese Weise erhält man ein
einstellbares Brennweitenverhältnis.
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6 zeigt
ein zweites bevorzugtes Ausführungsbeispiel,
welches optisch zum Ausführungsbeispiel
gemäß 3 äquivalent
ist. Wie in 6 dargestellt, umfasst das zweite
bevorzugte Ausführungsbeispiel
ei nen teildurchlässigen
Spiegel oder Strahlteiler 132, der auf der Achse 111 der
telezentrischen Feldlinse 110 angeordnet ist. Der Strahlteiler 132 erlaubt
es, die Lichtquelle 118 in einer Richtung anzuordnen, die
senkrecht auf der Achse 111 der telezentrischen Feldlinse 110 steht.
Beim zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel
ist die Lichtquelle 118 an einem Ort aufgestellt, der optisch
zum Ort der telezentrischen Blende 16 äquivalent ist.
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Wie
aus 3 ersichtlich, sorgt die Lichtquelle 118 dafür, daß Lichtstrahlen 128 und 130 in Richtung
auf die telezentrische Feldlinse 110 geworfen werden, derart,
daß die
Strahlen 128 und 130 in unmittelbarer Nachbarschaft
zum Objekt 102 fokussiert werden und im wesentlichen parallel
verlaufen. Es versteht sich, daß die
Lichtstrahlen 128 und 130 als ringförmige Kegel
projiziert werden, die parallel werden, wenn sie durch die telezentrische
Linse 110 hindurchlaufen. Die Lichtstrahlen werden vom
Gegenstand als bildgebende Strahlen 122, 124 und 126 zurückgeworfen.
Werden die Lichtstrahlen 128 und 130 von einem
spiegelnden Abschnitt des Gegenstandes 102 zurückgeworfen,
so treffen die bildgebenden Strahlen 122 und 126 auf
die telezentrische Blende 116 und treten nicht in die Linsengruppe 108 ein.
Genauer gesagt werden die bildgebenden Strahlen 122 und 126 von
einer im wesentlichen ebenen und spiegelnden Oberfläche zurückgeworfen,
so daß man
ringförmige
Kegel von Beleuchtungslicht erhält, die
zu ihrem Ausgangspunkt als Spiegelbild zurückkehren. Wenn aber die Lichtstrahlen 128 und/oder 130 von
einem Defekt zurückgeworfen
werden, so durchsetzen die bildgebenden Strahlen 24 die Öffnung 117 in
der telezentrischen Blende 116, werden durch die Linsengruppe 108 fokussiert
und bilden bei der Kamera 200 ein Bild 113.
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Bei
dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel
gemäß 8 arbeitet das System in einer Weise,
die äquivalent
zu derjenigen ist, die oben beschrieben wurde, nur ist der Strahlteiler 132 vorgesehen.
Genauer gesagt reduziert der Strahlteiler 132 die Intensität des Lichtes,
das letztlich durch die Öffnung 117 der
telezentrischen Blende 116 hindurchgeht.
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Die
vorliegende Erfindung hat deutliche Vorteile gegenüber dem
Stand der Technik. Der Winkel zwischen der optischen Achse und der
Kleinwinkel-Dunkelfeldbeleuchtung kann nämlich beliebig klein gewählt werden
und zwar bis zu dem Punkt, bei dem die Beleuchtung in eine Hellfeld-Beleuchtung übergeht,
falls dies gewünscht
wird. Darüber
hinaus läßt sich
die Empfindlichkeit in der oben beschriebenen Art und Weise dadurch
einstellen, daß man
unterschiedliche Durchmesser der Beleuchtung wählt oder daß man die Öffnung der telezentrischen
Blende ändert.
Darüber
hinaus kann man das volle Gesichtsfeld der Kamera verwenden, da
bei dem System keine Abschirmungen verwendet werden, die beim Stand
der Technik notwendig waren. Bei dem System hat man auch eine volle
kreisförmige
Symmetrie über
das gesamte Gesichtsfeld.
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Die
Erfindung wurde unter Bezugnahme auf das beschrieben, was derzeit
als die praktischste und die bevorzugte Ausführungsform angesehen wird.
Es versteht sich jedoch, daß die
Erfindung nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt ist, vielmehr
verschiedene Abwandlungen und äquivalente
Anordnungen mit abdecken soll, die innerhalb der Lehre und des Umfanges
der beigefügten
Ansprüche
liegen, wobei diesem Umfang die breitesmögliche Interpretation gegeben
werden soll, so daß alle
Modifikationen und äquivalende
Strukturen eingeschlossen sind, wie dies durch das Gesetz erlaubt ist.
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Zusammenfassung
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Es
wird ein koaxiales Kleinwinkel-Dunkelfeld-Abbildungssystem angegeben.
Das System verwendet eine telezentrische Linse zum Beleuchten des
Objektes unter symmetrischer koaxialer Kleinwinkel-Dunkelfeld-Beleuchtung. Die
Beleuchtungstechnik ist besonders dazu geeignet, kleinere Strukturen
oder Defekte auf ebenen spiegelnden Objekten herauszuarbeiten. Genauer
gesagt richtet die koaxiale Lichtquelle Lichtstrahlen auf eine telezentrische Linse,
welche die Lichtstrahlen dann zu dem im wesentlichen ebenen spiegelnden
Objekt weiterleitet. Die Lichtstrahlen werden durch die telezentrische Linse
hindurch zu einer Kamera hin reflektiert. Soweit die Lichtstrahlen
durch einen ebenen spiegelnden Abschnitt des Objektes reflektiert
werden, wird das Licht durch eine telezentrische Blende abgeblockt. Lichtstrahlen,
die von einem Defekt oder einer Struktur in dem ebenen spiegelnden
Objekt reflektiert werden, treten durch die in der Blende vorgesehenen Öffnung hindurch
und gelangen zu der Kamera.