DE2015956B2 - Schaltverfahren fuer vakuumlecksucher - Google Patents
Schaltverfahren fuer vakuumlecksucherInfo
- Publication number
- DE2015956B2 DE2015956B2 DE19702015956 DE2015956A DE2015956B2 DE 2015956 B2 DE2015956 B2 DE 2015956B2 DE 19702015956 DE19702015956 DE 19702015956 DE 2015956 A DE2015956 A DE 2015956A DE 2015956 B2 DE2015956 B2 DE 2015956B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- valve
- pressure
- detector
- test chamber
- leak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Lecksucheinrichtung, bestehend aus einer
Prufkammer, einem daran über eine Kühlfalle und ein erstes Ventil angeschlossenen Detektor mit einem
Evakuierungssystem und einer über ein zweites Ventil an die Prüfkammer angeschlossenen mechanischen
Vakuumpumpe, wobei zur Durchführung der Lecksuche zunächst das erste Ventil geschlossen und das zweite
Ventil zur Evakuierung der Prüfkammer mit Hilfe der Vakuumpumpe geöffnet wird, dann bei einem bestimmten
Druck in der Prüfkammer das erste Ventil (zum Detektor hin) geöffnet und danach eine druckabhängige
Betätigung des zweiten Ventils vorgenommen wird.
Bei bekannten Vakuum-Lecksuch- und Dichtigkeitsprüfverfahren wird mit einem Testgas gearbeitet,
welches beim Anfallen über einen Detektor bzw. Lecksucher nachgewiesen wird. Die dabei verwendeten
Detektoren werden bei relativ niedrigen Drücken betrieben. Es ist mithin neben dem eigentlichen
Detektor ein Vakuumpumpsystem erforderlich, über welches der Detektor auf Drücke evakuiert werden
kann, die niedriger sind als sein maximaler Betriebsdruck. Darüber hinaus muß das Vakuumpumpsystem so
leistungsfähig sein, daß eindringendes Testgas bzw. durch Undichtigkeiten des Prüflings eindringende Gase
bei Aufrechterhaltung des niedrigen Druckes abgepumpt werden können.
Neben dem Vakuumpumpsystem für den Detektor wird zusätzlich eine Vakuumpumpe benötigt, über
welche der Prüfling oder der Testbehälter so weit wie möglich vorevakuiert wird. Das Umschalten von der
Vorpumpe auf das Vakuumpumpsystem des Detektors erfolgt im allgemeinen automatisch, und zwar dann,
wenn der bei der Vorevakuierung erzeugte Unterdruck einen bestimmten Wert unterschreitet In diesem
Zeitpunkt wird das Ventil zur Vorpumpe geschlossen und das bis dahin geschlossen gehaltene Ventil zum
Vakuumpumpsystem des Detektors geöffnet
Als Vorpumpe wird bei den bekannten Lecksuchern eine rotierende Vakuumpumpe verwendet die ein
hohes Saugvermögen besitzt um den Prüfling oder den Testbehälter möglichst schnell vom Atmosphärendruck
auf das erreichbare Endvakuum zu bringen. Dieses Endvakuum entspricht jedoch nicht dem Umschaltdruck,
bei dem das Vakuumpumpsystem des Detektors mit dem vorgegebenen maximal zulässigen Gasdurchsatz
ohne weiteres zugeschaltet werden kann. Vielmehr ist es bei den bekannten Einrichtungen dieser Art
erforderlich, zwischen dem Prüfling oder dem Testbehälter
und dem Vakuumpumpsystem des Detektors eine Kühlfalle zwischenzuschalten, über die der bei dem
von der Vorpumpe erreichbaren Endvakuum in erste Linie anfallende Wasserdampf mit hohem Saugvermögen
abgepumpt d.h. kondensiert wird. Die Zwischenschaltung der Kühlfalle, die im allgemeinen aus
ίο wirtschaftlichen Gründen mit flüssigem Stickstoff
betrieben wird, ermöglicht es, den Umschaltdruck und damit das Umschalten von der Vorpumpe auf das
Vakuumpumpsystem des Detektors bis zu einer Zehnerpotenz höher zu legen, so daß ohne weiteres eine
rotierende Vakuumpumpe als Vorpumpe verwendet werden kann.
Der wesentliche Nachteil dieser vorbekannten Schaltverfahren, bei denen die Umschaltung der Ventile
(öffnen des Lecksuchventils, Schließen des Ventils zur mechanischen Vakuumpumpe) gleichzeitig erfolgt ist
darin zu sehen, daß bei einem starken Abgasen des Prüflings oder sonstigen starken Gasanfällen im
Testbehälter, z. B. entstanden durch ein größeres Leck oder durch kondensierbare Gase, das Vorvakuumventil
wegen des Nichterreichens des vorgegebenen Umschaltdruckes nicht schließt und damit die für die
eigentliche Lecksuche notwendige Umschaltung der beiden Ventile nicht erfolgen kann.
Aus der Zeitschrift »The Review of Scientific Instruments«, Band 22, Nr. 1, Januar 1961, Seite 85, ist ein weiteres Schaltverfahren für eine Lecksucheinrichtung vorbekannt Wegen der speziellen Verwendung einer Ionenpumpe, die gleichzeitig als Detektor und als Vakuumpumpe dient ist die Vorschaltung einer Kühlfalle nicht erforderlich. Die Steuerung der Ventile erfolgt in der Weise, daß das erste, der Ionenpumpe zugeordnete Ventil so lange geschlossen bleibt bis eine mechanische Vakuumpumpe den Prüfbehälter über ein zunächst geöffnetes zweites Ventil so weit evakuiert
Aus der Zeitschrift »The Review of Scientific Instruments«, Band 22, Nr. 1, Januar 1961, Seite 85, ist ein weiteres Schaltverfahren für eine Lecksucheinrichtung vorbekannt Wegen der speziellen Verwendung einer Ionenpumpe, die gleichzeitig als Detektor und als Vakuumpumpe dient ist die Vorschaltung einer Kühlfalle nicht erforderlich. Die Steuerung der Ventile erfolgt in der Weise, daß das erste, der Ionenpumpe zugeordnete Ventil so lange geschlossen bleibt bis eine mechanische Vakuumpumpe den Prüfbehälter über ein zunächst geöffnetes zweites Ventil so weit evakuiert
so hat daß die Verbindung der Ionenpumpe mit der
Prüfkammer durch öffnen des ersten Ventils hergestellt werden kann. Bei kleineren Lecks geschieht das
Schließen des zweiten Ventils gleichzeitig mit dem öffnen des ersten Ventils. Bei größeren Lecks wird das
erste Ventil nur teilweise geöffnet während das zweite Ventil offen bleibt so daß der Druck in der Prüfkammer
zum Schutz des Detektors nicht zu hoch wird. Bei diesem vorbekannten Verfahren erfolgt also die
Steuerung beider Ventile in Abhängigkeit vom Druck in der Prüfkammer. Würde eine Lecksucheinrichtung mit
einer dem Detektor vorgeschalteten Kühlfalle in dieser Weise betrieben, dann würde häufig der Fall eintreten,
daß das zweite Ventil viel zu spät oder gar nicht schließt, was fehlerhafte Messungen zur Folge haben kann. Das
ist z. B. der Fall, wenn in der Prüfkammer oder im Prüfling relativ viel kondensierbare Gase — z. B. in
Form von häufig vorhandenem Wasserdampf — anfallen. Diese würden nach dem öffnen des Ventils Vl
zunächst von der Kühlfalle abgepumpt In dieser Zeit verändert sich der Druck in der Prüfkammer nicht, so
daß V2 offen bleibt, obwohl im Detektor selbst bereits
ein die Lecksuche ermöglichender Druck herrscht Es besteht dann die Gefahr, daß der wesentliche Anteil der
eventuell vorhandenen Testgase von der mechanischen Vakuumpumpe abgesaugt wird, obwohl im Lecksucher
bereits Lecksuchbedingungen vorhanden sind.
Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Betrieb einer
Lecksucheinrichtung der eingangs genannten Art vorzuschlagen, bei dem auch im Falle des Vorhandenseins
relativ großer Mengen kondensierbarer Substanzen in der Prüfkammer oder im Prüfling eine sichere
Lecksuche stattrinden kann. ,,
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst daß die druckabhängige Betätigung des zweiten, der
mechanischen Vakuumpumpe zugeordneten Ventils nach der öffnung des ersten Ventils in Abhängigkeit
vom Druck im Lecksucher erfolgt, und zwar derart daß M
bei einem Druck oberhalb eines bestimmten, von der Art des Lecksuchers abhängigen, einstellbaren Druckwertes im Lecksucher das zweite Ventil offen ist und bei
einem unterhalb dieses spezifischen Druckwertes liegenden Druckes im Lecksucher das zweite Ventil
geschlossen ist Der wesentliche Gedanke nach der Erfindung liegt also darin, die Stellung des Ventils
zwischen der Prüfkammer und der mechanischen Vakuumpumpe vom Druck im Lecksucher abhängig zu
machen und nicht mehr vom Druck in der Prüfkammer. Sobald also im Lecksucher ein bestimmter, die
Lecksuche ermöglichender Druck erreicht ist und das erste Ventil zwischen Prüfkammer und Leckdetektor
offen ist, schließt das Ventil zwischen Prüfkammer und mechanischer Vakuumpumpe, und zwar unabhängig
davon, ob in der Prüfkammer infolge des Vorhandenseins kondensierbarer Gase noch ein relativ hoher
Druck herrscht oder nicht Die Schließung des Ventils zwischen Prüfkammer und mechanischer Vakuumpumpe
erfolgt also in jedem Fall zum frühestmöglichen Zeitpunkt, so daß die Gefahr, daß die zu registrierenden
Testgase ausschließlich von der mechanischen Vakuumpumpe abgesaugt werden, weitgehend beseitigt ist Nur
dann, wenn in der Prüf kammer ein zu hoher Anteil nicht kondensierbarer Gase anfällt, so daß die Gefahr besteht,
daß der Druck im Lecksucher einen zu hohen Wert annimmt bleibt das Ventil zwischen Prüfkammer und
mechanischer Vakuumpumpe offen.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt bei dem erfindungsgemäßen Schaltverfahren wenigstens eines
der beiden Absperrventile selbsttätig druckabhängig zu steuern. Die Steuerung kann z. B. derart erfolgen, daß
das Einlaßventil zum Vakuumpumpsystem des Detektors selbsttätig öffnet, sobald die Vorpumpe im Prüfling
oder im TestbehäJ*er einen Druck erzeugt hat welcher
um beispielsweise eine Zehnerpotenz höher liegt als das mit der Vorvakuumpumpe erreichbare Endvakuum. In
diesem Fall sind Vorvakuumpumpe und Vakuumpumpsystem
des Detektors wenigstens zeitweise in Parallelschaltung tätig, bis z.B. durch Erreichen eines
eingestellten Druckwertes im Lecksucher das Vorvakuumventil selbsttätig druckabhängig schließt Für den
Zeitraum der Öffnungsstellung beider Ventile ist bereits eine Lecksuche mit verminderter Empfindlichkeit
möglich, die im Zeitpunkt des Schließens des Vorvakuumventils auf volle Empfindlichkeit gesteigert wird.
Das erfindungsgemäße Schaltverfahren besitzt den wesentlichen Vorteil, daß eine Lecksuche bereits bei
relativ hohen Druckwerten beginnen kann und somit die Einrichtung z. B. beim Auftreten großer Lecks nur
relativ kurzzeitig betrieben werden muß. Neben diesem wirtschaftlichen Vorteil ist als erhebliche Verbesserung
gegenüber den bekannten Schaltungen zu werten, daß eine Lecksuche auch dann noch erfolgen kann, wenn
große Gasmengen anfallen und somit der bei den bekannten Einrichtungen vorher einzustellende Umschaltdruck
nicht erreicht wird.
Claims (2)
1. Verfahren zum Betrieb einer Lecksucheinrichtung, bestehend aus einer Prufkammer, einem daran
über eine Kühlfalle und ein erstes Ventil angeschlossenen Detektor mit einem Evakuierungssystem und
einer über ein zweites Ventil an die Prüfkammer angeschlossenen mechanischen Vakuumpumpe, wobei
zur Durchführung der Lecksuche zunächst das erste Ventil geschlossen und das zweite Ventil zur
Evakuierung der Prüfkammer mit Hilfe der Vakuumpumpe
geöffnet wird, dann bei einem bestimmten Druck in der Prüfkammer das erste Ventil geöffnet
und danach eine druckabhängige Betätigung des zweiten Ventils vorgenommen wird, dadurch
gekennzeichnet, daß die Betätigung des zweiten Ventils nach der öffnung des ersten Ventils
in Abhängigkeit vom Druck im Lecksucher erfolgt, und zwar derart, daß bei einem Druck oberhalb eines
bestimmten, von der Art des Lecksuchers abhängigen einstellbaren Druckwertes im Lecksucher das
zweite Ventil offen bleibt und bei einem unterhalb dieses spezifischen Druckwertes liegenden Druckes
im Lecksucher das zweite Ventil geschlossen ist
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung der beiden Ventile
selbsttätig, das heißt, automatisch erfolgt
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702015956 DE2015956C3 (de) | 1970-04-03 | Schaltverfahren für Vakuumlecksucher | |
FR7103683A FR2092357A5 (de) | 1970-04-03 | 1971-02-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19702015956 DE2015956C3 (de) | 1970-04-03 | Schaltverfahren für Vakuumlecksucher |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2015956A1 DE2015956A1 (de) | 1971-10-21 |
DE2015956B2 true DE2015956B2 (de) | 1977-04-21 |
DE2015956C3 DE2015956C3 (de) | 1977-12-22 |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9212270U1 (de) * | 1992-09-11 | 1992-11-19 | Leybold AG, 6450 Hanau | Prüfkammer für Lecksucher |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE9212270U1 (de) * | 1992-09-11 | 1992-11-19 | Leybold AG, 6450 Hanau | Prüfkammer für Lecksucher |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2092357A5 (de) | 1972-01-21 |
DE2015956A1 (de) | 1971-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1648648C3 (de) | Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip | |
CH640311A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zur evakuierung eines rezipienten. | |
EP0283543B1 (de) | Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu | |
EP0432305B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Leckprüfung | |
DE19504278A1 (de) | Testgas-Lecksuchgerät | |
DE3421533A1 (de) | Gegenstrom-leckdetektor mit kuehlfalle | |
DE69202951T2 (de) | Spürgaslecksuchdetektor. | |
DE102010033373A1 (de) | Lecksuchgerät | |
EP1620706B1 (de) | Lecksuchgerät | |
DE69614307T2 (de) | Spürgas-Leckdetektor | |
DE69007930T2 (de) | System zur Aufspürung von Undichtigkeit unter Verwendung von Trägergas. | |
WO2003042651A1 (de) | Testgaslecksuchgerät | |
DE1473363A1 (de) | Verfahren zur serienmaessigen Pruefung kleiner,geschlossener,gasgefuellter Behaelter | |
EP0927345B1 (de) | Verfahren zur untersuchung einer mehrzahl ähnlicher prüflinge auf lecks | |
DE69103499T2 (de) | Hochleistungsleckdetektor mit drei Molekularfiltern. | |
DE2403360A1 (de) | Leckpruefverfahren | |
DE2015956C3 (de) | Schaltverfahren für Vakuumlecksucher | |
DE102020134370A1 (de) | Gaslecksuchvorrichtung und Gaslecksuchverfahren zur Erkennung eines Gaslecks in einem Prüfling | |
DE2015956B2 (de) | Schaltverfahren fuer vakuumlecksucher | |
DE2441123A1 (de) | Verfahren zur dichtigkeitspruefung von gegenstaenden | |
EP2801808A1 (de) | Dichtheitsprüfanordnung und Dichtheitsprüfverfahren | |
DE1201583B (de) | Verfahren zur laufenden Fernueberwachung der Luftzusammensetzung, insbesondere in gift-, explosions- oder feuergefaehrdeten Raeumen und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens | |
DE2418795C3 (de) | Testkammer für Lecksuchgeräte | |
WO2017046027A1 (de) | Leckdetektion beim evakuieren einer prüfkammer oder eines prüflings | |
DD118144B1 (de) | Verfahren und einrichtung zur schnellen evakuierung kleiner behaelter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |