DE2015918A1 - Anordnung zur Kompensation - Google Patents

Description

IBM Deutschland Internationale Büro-Maschinen Geseihthaft mbH

Böblingeii, den 1. April 197p Pr-hr

Anmelderin; International Business Machines

Corporation, Armonk, N.Y, 10

Amtliches Aktenzeichen: Neuanmeldung

Aktenzeichen d. Anrnelderin: Docket PO 9-69-OO6 , _

Anordnung zur Kompensation.

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Kompensation der Bewegung eines abbildenden Strahienganges,

Auf vielen Anwendungsgebieten der Optik, beispielsweise bei der Bildaufzeichnung, Bildprojektion oder bei optischen Druckern, wird eine Reihe von Einzelbildern oder Teilen von Einzelbildern In aufeinanderfolgenden Zeitpunkten auf eine lichtempfihdliche Schicht, einen Lichtdetektor oder auf eine Projektionswand" .übertragen. Dabei wird entweder das zu übertragende Bild für einen kurzen Zeitraum zur Durchführung der übertragung angehalten oder der abbildende Strahlengang wird bei kontinuierlich bewegten Bildern nur fUr so kurze Zelt freigegeben, daß auf

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der Empfängerfläche kurzzeitig ein Bild entsteht, dessen Bewegung vernachlässigbar ist. Dieser Stand der Technik wird beispielsweise in folgenden Literaturstellen beschrie ben:

a) . Proceedings of the IEEE, Vol. ^h, i\o. 10, October i960, Pp. 142^-1^57. "A Television Display Using Acoustic Deflection and Modulation uf Coherent Light", A. Korpel et al.

b) Ibid, Pp. 1437-1W, "A Survey of Laser Beam Deflection Techniques". V. J. Fowler et al.

c) IEiCE Spectrum February U^;bb', Pp. ^l\^-^2, "Electro-Optic Light Beam Deflection", J.F. Lotspoich.

d) U.S. Patent -5,1^4,^71, W. R. Johnson.

_ e) U.S. Patent β, ji>0, t>[y), C. J. T. Young.

Bei buhne Her werdender BlldfoLge worden dl«..¹ ;;ui' VerL'Ugung stehenden Ubertragungü^.elteti für die-einzelnen Bildei·, Ln der Fotografie [)<■: 1 ichtuiigü^oiten genannt, Immer kür..<.'r, co daß bei vorgegebener Abbi Idunguücliärfe und LichtempL'iiKi L Lchkeit die erforderlichen LLchtintcnsitäten nicht melir zur Verfügung gestellt wonton können.

Diene i\lacjht«--LU! werden gumäU dei- Erfindung durdi rine Anordnung zur Kompensation der Bewegung eines abbLldcndeu ■$& y-oy-ooö 009842/1669

BAD ORIGINAL

otrahlenganges vermieden, die gekennzeichnet ist durch im utranlengang angeordnete elektro- oder magneto-optische Ele mente zum steuerDaren Erzeugen einer zusätzlichen Bewegungs komponente, vorzugsweise zum kurzzeitigen Rückgängigmachen der Relativbewegung zwischen abbildendem Strahlengang und fanger v/ährerid einer Belichtung.

Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung des Erfindungsgerifc.rikens ist gekennzeichnet durch im Strahlengang angeordnete elektro- oaer magneto-optische Elemente zum Steuerbaren Rückgängigmachen der Relativbewegung zwischen abbildendem Strahlengang und Bildempfänger während der Belichtung eines Teil oxides..

Weitere Kennzeichen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die Erfindung wird anschließend anhand der Figuren näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die schematische Darstellung eines Ausführungs-

c^ der Erfindung ' ■

Fig. 2-6 schema tische Darstellungen der bt-i der in Fig. 1 ^: dargestellten' Anordnung auftretenden Wellenformen -

!Fig. 7-10 Darstellungen eines mit Hilfe der in Fig. 1 viiodergegebenen Anordnung ei'zeugten Zeichens

Fig. 11 die Darstellung eines zweiten /Vusfuhi'ungßbc dor ftri'

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Bei der in Pig. 1 wiedergegebenen Anordnung erzeugt ein Laser 1 einen parallelen Lichtstrahl, der die Positionssteueranordnungen 2a und 2b und die Maske j5 durchsetzt. Die Positlons-Steueranordnungen 2a und 2b werden durch die von der Zeichenauswahlcinordnung 2c erzeugten Signale betätigt. Zur Auswahl eines bestimmten, auf der Maske 5 befindlichen Zeichens wird der vom Laser 1 ausgehende Lichtstrahl mit Hilfe der Positions-Steueranordnung 2a auf das betreffende Zeichen gerichtet, so daß er nach Verlassen der Maske die Form dieses Zeichens aufweist. Der die Form des jeweils ausgewählten Zeichens enthaltende Strahl wird durch die Positions-Steueranordnung 2b in seine Ausgangslage zurückversetzt und durchsetzt anschließend einen elektro-optischen Verschluß 4, um das ausgewählte Zeichen auf der Fläche 5 abzubilden. Der vom elektro-optischen Verschluß 4 kurzzeitig freigegebene Lichtstrahl durchsetzt eine Anordnung 6 mit veränderlichen Brechungseigenschäften und fällt auf eine reflektierende Fläche 7 eines Vielfachspiegels 8, der im vorliegenden Ausführungsbeispiel sechs reflektierende Flachem 7 aufweist. Der Vielfachspiegel b rotiert in der durch den Pfeil 9 angegebenen Richtung, wobei der als Strahl 10 aus der Anordnung 6 austretende Strahl als Strahl 11 auf die Fläche 5 reflektiert und über diese Fläche verschoben wird. Dadurch wird die Fläche ^ durch eine Vielzahl von Abbildungen des jeweils durch die Auswahlabordriung 2c ausgewählten Zeichens belichtet, deren Lage durch die Betätigung des

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elektro-optischen Verschlusses 4 definiert ist. In der aufgrund eines elektro-optischen oder eines magneto-optisehen Effektes arbeitenden Anordnung 6 wird die durch die .Drehung des Spiegels während der Öffnungszeiten des elektrooptischen Verschlusses 4 erfolgende Bewegung des Strahles rückgängig gemacht. Die Anordnung kann beispielsweise ein aus einem Kaliumdihydrogenphosphat ('KDP)-Kristall bestehendes Prisma enthalten, an das durch in an sich bekannter Weise befestigte Elektroden geeignete Spannungen gelegt j werden können. Die durch das Anlegen der Spannungen erzeugten Ablenkungen des Strahles machen die Relativbewegung zwischen dem Strahl 11 und der Fläche 5 während der Belichtung eines Zeichens rückgängig. Dadurch wird d.ie bei einer Relativbewegung zwischen Aufzeichnungsträger und abbildendem Strahlengang entstehende "Verschmierung" vermieden oder zumindest stark herabgesetzt, so daß längere Belichtungszeiten möglich sind. Dabei wird bei längeren Belichtungszeiten die Intensität und das Auflösungsvermögen

der übertragenen Bilder für eine vorgegebene Lichtquelle ^ verbessert.

Der Drehspiegel 8 ist mit einer kreisförmigen Anordnung fest verbunden, auf der nicht dargestellte Markierungen vorgesehen sind, die mit Hilfe der Anordnung I3 in elektrische Synchronisier-Impulse umgewandelt werden. Die auf der Anordnung 12 befindlichen Markierungen können beiapiels- welee ale beleuchtete Schlitze ausgebildet aein, die durch

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die aus einer Fotozelle bestehende Anordnung l~j> abgetastet werden. Die S^nchronisier-Impulse synchronisieren die Funktion der Elemente 2c, h und 6 mit der Drehung der Spiegelanordnung 8. Die auf der kreisförmigen Anordnung 12 befindlichen Markierungen werden mit Hilfe eines Strahles 14 abgetastet.

Die aus der Anordnung 1J> austretenden elektrischen Signale bewirken: a) die Synchronisierung der Strahlablenkung In der elektro-optischen Anordnung 6, b) die Synchronisierung der Öffnungszeiten des Verschlusses 4 und c) die Synchronisierung der Zeichenauswahl durch die Elemente 2a, 2b, 2c und 3.

Eine zwischen der elektro-optlsuhen Anordnung 6 und der Anordnung IjJ liegende Anordnung 15 zur Steuerung der Brechkraft bestimmt die Amplitude der Strahlablenkung. Die zur Steuerung der Strahlablenkung in der Anordnung I5 erzeugten Signale werden in Zusammenhang mit den Pig. 2-6 näher beschrieben. Der elektro-optische Verschluß h wird durch die in der Verschluß-Steueranordnung 16 erzeugten elektrischen Impulse betätigt, die durch die am Ausgang der Anordnung auftretenden elektrischen Impulse gesteuert wird. Erforderlichenfalls enthalten die Schaltungen der Anordnungen 15 und 16 Verzögerungselernente, um die Punktionen der von ihnen gesteuerten Anordnungen 4 und 6 zeitlich aufeinander abzustimmen.

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■ -7-

In den Fig. 2-6 werden die in Fig. 1 mit Al, A2 und A3 bezeichneten Winkelfunktionen im einzelnen dargestellt. Die Winkelfunktion Al stellt die Winkelveränderung der Fläche 7 des Vielfachspiegels 8 während eines Zeichenintervalls dar. Das entspricht der linearen Ablenkung des Strahles 11 während eines Zeichenintervalls in Bezug auf die Fläche 5. Die Funktion A2 stellt die in entgegengesetzter Richtung verlaufende Ablenkung des StrahleslO in aufeinanderfolgenden Zeichenintervallen dar. Die Funktion AJ | stellt die Gesamtdrehung der jeweils den Strahl reflektierenden Fläche 7 oder des Vielfachspiegels 8 bzw. die Gesamtablenkung des Strahles 14 während der Belichtung einer ganzen Zeichenzeile dar. . * ' '

Wie aus den Fig. 2-6 ersichtlich, verändert sich Al linear als Funktion der Zeit (t) und wird durch .die in Fig. 2 dargestellte Sägezahnkurve wiedergegeben. Verändert sich A2 als Funktion der Zeit um den gleichen Betrag, jedoch |

im entgegengesetzten Sinn wie die Funktion Al, so verändert sich, wie anhand der Fig. 2, 3 und. k ersichtlich, die Lage P des Strahles 11 in Bezug auf die Fläche 5 entsprechend .der in Fig. 4 wiedergegebenen Treppenfunktion. Auf diese Weise verändert der Strahl 11 während eines Zeichenbelichtungsintervalls seine Läge;, in Bezug auf -die Fläche 5 nicht, während er sich zwischen aufeinanderfolgenden Belichturigslntervallen schnell in: die nächste Beiichtungsstellung yerr schiebt. Selbstverständlich wird im Falle einer Leerstelle . ■

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der Strahl durch die Punktion der Anordnungen 2a - 2c und j5 unterdrückt, so daß kein Licht auf den betreffenden Bereich der Fläche 5 fällt.

Stellt Tx die maximale Belichtungszeit eines unkompensierten Systems und Tx' die maximale Belichtungszeit eines kompensierten Systems dar, so ist aus Fig. 2 zu ersehen, daß Tx' wesentlich größer als Tx ist. Aus dieser Betrachtung ergibt sich, daß bei kompensierten Systemen die Belichtung der Fläche 5 ohne Änderung der Laser-Lichtquelle wesentlich erhöht werden kann.

Aus den Fig. 5 und b ist ersichtlich, daß auch bei nur teilweise komplementär verlaufenden Funktionen Al und A2 eine teilweise Rückgängigmachung der Bewegung des das Zeichen darstellenden Strahls möglich ist. Verändert sich A2, beispielsweise wie in Fig. ^vj dargestellt, zyklisch in Form einer oinuskurve, so verläuft die Bewegung P(t) wie in Pi^;. (> dargestellt als. nichtlineare Funktion. In diesem Fall, bewegt sieh der Strahl am Anfang und am Ende ciii(\s 7,<-'j ehenjnterval .Is sehr schnell und bleibt während der lic 1 l<:htuii£iu;c 1 ten 'J'x ' praktisch bewegungslos, Ii in Ver-/.';1ΐ'ί< ·1ι (tiM· gei· ί uf-o η Strali ] vergeh ie bung d' während der Be.-1 lelituii,-;sintci'v.-i I le Tx' (1'¹Jg. υ) mit den Verachiebunjam d W=(IiI-(IKl «ill' V-ii 1 kiii¹:,» ren J<e] j, htunf ;;5interval le Tx (FJf;. -¹I) .·< Ir¹ Mi-Ii in iii<'..iii KnII W( r.c nt-J i ch , iUuitigere Verhältnis;· . i.· In i in,U in ι κ π,-it ιΊ.'Ί' ·^;; ; · t « ti' η. pie UirkuHj' einer

I ' t H I '

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Strahlbewegung während der Zeichenbelichtungsintervalle wird anhand der Fig. 7 - 10 näher erläutert. Ohne Kompensation bewegt sich der Strahl 11 innerhalb eines durch die Punktion des Verschlusses 4 definierten Intervalls T„ um einen in Fig. 7 übertrieben dargestellten Abstand d und erzeugt eine stark verschmierte Abbildung des Zeichens "A". Dieses "Verschmieren" wird, wie in Fig. 9 dargestellt, unabhängig von der Länge des BeiichtungsIntervalls vollständig vermieden, wenn einer linear wirksamen Anordnung 6 | eine sich entsprechend der in Fig. 3 dargestellten Funktion linear verändernde Spannung zugeführt wird. Das "Verschmieren" der Abbildung wird gemäß Fig. 4 trotz längerer Belichtungsintervalle T^t stark herabgesetzt, wenn der Anordnung 6 eine sinusförmige Spannung zugeführt wird, die in zeitlichem Verlauf und Amplitude, der in Fig'. 5 dargestellten Funktion A2 entspricht. Wie sich aus den Fig. 9 und 10 ergibt, kann ein bei vollständiger Kompensation der Bewegung des abbildenden Strahles belichtetes Zeichen in Abhängig- ' keit von der Länge T_vf oder T_v der Öffnungszeiten des Ver-Schlusses verschiedene Intensitäten oder Kontraste aufweisen. In Fig. 10 wird eine mit einer kurzen Belichtungszelt erzeugte Abbildung mit wenig Kontrast und in Flg. eine mit einer längeren Belichtungszeit erzeugte Abbildung mit großem Kontrast wiedergegeben.

Die oben beschriebene Vorrichtung kann unter Verwendung einer gemäß der B'unktion A2 nach Fig. 3 gesteuerten Anordnung 6 insbesondere in Zusammenhang mit optischen

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-ΙΟ-Druckern mit besonderem Vorteil verwendet werden. Die z.Z. angestrebten Druckleistungen derartiger Drucker von rund 100 000 Zeichen pro Sekunde können mit den heute vorhandenen, im Milliwattbereich arbeitenden Lasern und den heute zur Verfügung stehenden lichtempfindlichen Emulsionen mit unkompensierten mechanisch abgelenkteil Strahlen nicht verwirklicht -werden, obwohl Anordnungen mit mechanisch abgelenkten Strahlen besonders vorteilhaft sind.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Anordnung müssen die spiegelnden Flächen 7 und die Fläche 5 geometrisch so ;.ufeinander abgestimmt sein, daiö eine scharfe Fokussierung des StrahLes im gesamten durch cien Vielfachspiegel _o definierten Schwenkungsbereich sichergestellt wird.

Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung kann auch so ausgebildet sein, daß anstelle von Zeichen oder Symbolen andere, beispielsweise aus einzelnen Elementen ausgebaute, bild- ^ liehe Darstellungen erzeugt worden können. Durch geeignete Abstimmung der Funkt Lern der· Anordnungen 2a, />, ^b, 4 und t.· können beliebig komplizierte bildliche Darstellungen auf der FlUche ^ erzeugt werden.

Β>·ί optischen Druckern mit einer Lt;istung von rund 100 Zeichen pro Sekunde stellen nur wenige Mikrosekunden iuir Belichtung eines Zeichens aur Verfügung. Innerhalb des VUr die Auswahl und die Belichtung eines Zeichens zur Verfügung stehenden Gosamtintervalls von etwa 10 Mikrosekunden

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BAD ORiGiNAL PO 9-69-006

rauß der abbildende Strahl über einen Bereich abgelenkt werden, der den Abständen der Mittellinie zweier benachbarter Zeichen gleich ist. Da diese Entfernung in der Größenordnung von 2 mn liegt, muß der abbildende Strahl über die Fläche 5 mit einer Geschwindigkeit von Tausenden von cm pro Sekunde■bewegt werden. · ■

Es ist leicht einzusehen, daß bei diesen hohen Geschwindigkeiten des abbildenden Strahls das Verschmieren der einzel- - % nen Buchstaben sowie andere Störungen nicht durch Verkürzung de'r für die einzelnen Zeichen zur Verfügung stehenden Belichtungszeiten vermieden werden können. Durch eine Verkürzung der Belichtungszeiten wird die zur Belichtung zur Verfügung stehende Lichtmenge so stark herabgesetzt, daß einwandfreie Abbildungen auf der Fläche 5 nicht mehr möglich sind. Diese Nachteile können-auch nicht durch Erhöhung der Ausgangsleistung der verwendeten Laser vermieden werden, da diese Lösung neben anderen Nachteilen auch sehr kost- g spielig.und möglicherweise gefährlich sein kann.

Für besonders hohe Ansprüche sollten die Elemente 13, 15 und 6 die Winkelfunktion A2, wie anhand der Fig. 2 und 3 veranschaulicht, möglichst gut der komplementären "Winkelfunktion Al anpassen. Zu diesem Zwot-k sollte die Steuerungsanordnung 1^-einen bc-π anders gut .'stabilisiertem und genau funktionierexHJf-ii SJig-eaaiirij'jCinernLor <;iA.h<i I Lon.. Die Anordnung (■> rjollto mö^Li'.'lKjt lj.j-r.jar auf <i.if ihr j-.ugu'fUhrten Stc-uer-

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spannungen ansprechen. Für geringere Anforderungen sind ■auch, wie aus den Fig. 5 und 6 ersichtlich, Sinusspannungen zur Steuerung des Kristalls geeignet.

Anordnungen von der in Fig. 1 dargestellten Art können nicht nur als optische Drucker, sondern auch aur Herstellung gedruckter Schaltungen verwendet werden. Bei derartigen Anordnungen stellt der dem Verschluß 4 zugeführte Strahl

^ Elemente der zu erzeugenden bildlichen Darstellungen oder

Muster dar, während die Fläche 5 mit einer Fotolackschicht

überzogen ist, die bei intensiver Belichtung Änderungen ihrer Härte bzw. ihrer Widerstandsfähigkeit gegen bestimmte Ätzmittel erfährt. Bei derartigen Anwendungen könnte das Element 6 zur Kompensation von Abweichungen der jeweiligen Ist-Lage von seiner Soll-Lage dienen. Es wäre auch möglich, durch diese Anordnungen Erschütterungen unschädlich zu machon, die von außen auf das System übertragen werden und Störungen der Relativbewegung -wischen abbilden- W dem Strahl und lichtempfindlicher Schicht bewirken. Die

gleichen Störungen können bei der Projektion eines nach Art ejnes Fernsehbildes punktweise aufgebauten Bildes auftreten und durch die oben beschriebene Anordnung kompensiert werden, Sollte es beispielsweise bei der Herstellung von gedruckten Schaltungen nicht möglich sein, die lichtempfindliche Fläche gekrümmt .uunzubilden, wäre es ohne weiter»« möglich, dJ<^N entstehenden optischen Bilder durch ändert , an sich c optische MaiinMhtin'n :.u Iroiiipom; i htu .

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In Pig. 11 wird ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben, bei dem die sich -drehende Anordnung eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten holographischen Aufzeichnungen 5I enthält, die durch einen Lichtstrahl 52 abgetastet werden, der die Fläche 53 des Aufzeichnungsmediums 5^ unter einem bestimmten Winkel durchsetzt. Dabei ist es von großer Wichtigkeit, die Winkellage des Lichtstrahls 52 in Bezug auf eine bestimmte abzutastende Aufzeichnung genau einzuhalten. Bei einer sehr schnellen Be- ^l wegung des Elementes 5^> die beispielsweise zum Sicherstellen der hohen Eingabe- und Ausgabegeschwindigkeiten moderner datenverarbeitender Anlagen erforderlich sein kann, ist die zur Abtastung oder Aufzeichnung eines Iriformationsabbildes zur Verfügung stehende Zeit notwendigerweise außerordentlich kurz, so daß an die Genauigkeit eines in diesem Zusammenhang verwendeten elektro-optischen Verschlusses und eines Detektors 6l extrem hohe Anforderungen gestellt ■ werden müssen. , M

Diese Anforderungen können durch die erfindungsgemäßo Anordnung zur Kompensation der Bewegung des abbildenden Strahles, der jeder Aufzeichriungsstelle, über eine kleine Entfernung nachgefUhrt wird, wesentlich herabgesetzt werden. Diese Aufgabe kann beispielsweise durch eine elektrooptische Zelle 62 gelöst werden, die durch ein sägezahnförmiges oder sinusförmiges Signal 65 gesteuert wird. Dluaea Signal wird durch eine Slgnalquelle 64 erzeugt, die mit der Bewegung des Elementes 5^, wie durch'die gestrichelte

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Linie 65angedeutet, synchronisiert wird. Der von ^ ine ir. Laser 70 ausgehende Strahl durchsetzt den Verschluß 60, α ie Zeile 62 und das Medium 5j5, um schließlich zum Detektor bl zu gelangen. Dabei kann der Strahl 52 jeweils kurzzeitig so abgelenkt werden, daß er einer Aufzeichnung in Richtung des Pfeiles 72 nachgeführt wird. Auf diese heise wird die Relativbewegung zwischen dem Strahl 52 und dem Aufzeichnungsträger während kleiner Verschiebungen des letzteren kurz-Jl zeitig unterdrückt, so daß die Öffnungszeiten des Verschlusses langer werden können. Die Spiegel 73 und 74 sind so angeordnet, daß der von der Lichtquelle .70 ausgehende Strahl 50 die Zelle t>2 und das Element 54 durchsetzt. Der Spiegel 7j5 kann fest und der Spiegel 74 um die Achse 75 drehbar angeordnet sein, die senkrecht zur Achse des z^linderförmigen Elementes 54 liegt. Dadurch kann der Strahl auf verschiedene Spuren der ZyIinderfLache gerLchtet werden. Ferner sind Linsen 70, 77 ^und Y^ vorgesehen, durch die das Licht unter den gewünschten Winkeln auf die Aufzeichnungen 51 gerichtet und auf den Detektor bl scharf fokussiert werden kann. Die Linse 'fb ist mit der kompensierenden Zelle so abgestimmt, daß der AuftreffwinkeL auf die Aufzeichnungen 51 während der gesamten kompensierenden Bewegung beibehalten wird.

PO y-09-ΟΟυ

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Claims (1)

1. - 15 -

   Patentansprüche

   Α/ Anordnung zur Kompensation der Bewegung eines abbildenden Strahlenganges, gekennzeichnet durch im Strahlengang . (10, 52) angeordnete elektro- oder magneto-optische Elemente (6, 62) zum steuerbaren Erzeugen einer zusätzlichen- Bewegungskomponente, vorzugsweise zum kurzzeitigen Rückgängigmachen der Relativbewegung zwischen Strahlengang und Bildempfänger während einer Belichtung.

   Anordnung zur Kompensation der Bewegung eines abbildenden "-, Strahlengange.s nach Anspruch 1, zur Übertragung einer Abbildung durch die Übertragung mehrerer Teilabbildungen, gekennzeichnet durch im Strahlengang angeordnete elektro- oder magneto-optische Elemente zum steuerbaren RUckgängigmachen der Relativbewegung zwischen abbildendem Strahlengang und Bildempfänger während der Belichtung eines Toilbildes. -

   J Anordnung zur Kompensation der Bewegung eines abbildenden Strahlengangos, dadurch gekennzeichnet, daß die steuerbare Erzeugung der zusätzlichen Bewcgüngskomponerite In .einem prismenförmig ausgebildeten elektro-optischen Kristall (6, 62) erfolgt, dessen Brechungsindex steuerbar durch Anlügen einer Spannung, vorzugsweise einer komplementär zur Ablenkung dos abbildenden Strahles wahrend oj.n'.i, p/.-licht-ungrslntcjrvii l-l :i VM-J ;mr<3riden ΐΥύβί*- -'.ahnnparinuiip:, 'i'-v'uxn\( rbai" i;;t.

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   4' Anordnung zur Kompensation der Bewegung eines abbildenden Strahlenganges nach den Ansprüchen 1 - 3, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (l) zur Erzeugung eines Lichtstrahls, eine Ablenkeinrichtung (2a) zum Richten des Strahls auf ein jeweils abzubildendes, auf einer Maske (3) befindliches Zeichen, eine Ablenkvorrichtung (2b) zur Rezentrierung des die Zeicheninformation enthaltenden Strahles, einen elektro-optischen Verschluß (4), eine Anordnung mit steuerbar veränderlicher Brechkraft zum kurzzeitigen Kompensieren der durch einen Rotationsspiegel (b) bewirkten kontinuierlichen Verschiebung des das jeweils auf einem Aufzeichnungsträger (5) abzubildende Zeichen übertragenen Strahls, durch eine Anordnung (Ij5) zur Synchronisierung der die Änderung der Brechkraft, die Steuerung des Verschlusses und die Auswahl der Zeichen bewirkenden elektrischen Signale, sowie einer Anordnung (15) zur Erzeugung einer die Änderung der Brechkraft bewirkenden Sägezahnspannung.

   Anordnung nach den Ansprüchen 1 - jj zur Belichtung der bei der Herstellung von gedruckten oder integrierten Schaltungen verwendeten fotolackbeschichteten HnIbleiterplättchen, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Festste]lung des jeweiligen Unterschiedes zwischen der So]J- und Istlage des die zu belichtenden Bereiche «rzeugondi.'ii Strahls vorgesehen sind, die ein Element (t»)^l)'⁵) ^zum !'•l'i'.oufson einer die festgestellton Abweichungen koin|Huti;je.renden zusätzlichen Bewegungskomponente

   :;t.< -ii'M'i 1. Γ0 ^l.i-U^l.»-

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