DE20009335U1 - Wegmeßsystem - Google Patents

Wegmeßsystem

Info

Publication number
DE20009335U1
DE20009335U1 DE20009335U DE20009335U DE20009335U1 DE 20009335 U1 DE20009335 U1 DE 20009335U1 DE 20009335 U DE20009335 U DE 20009335U DE 20009335 U DE20009335 U DE 20009335U DE 20009335 U1 DE20009335 U1 DE 20009335U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring system
sensor
inductive element
encoder
position measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE20009335U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balluff GmbH
Original Assignee
Balluff GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balluff GmbH filed Critical Balluff GmbH
Priority to DE20009335U priority Critical patent/DE20009335U1/de
Priority to DE10124483A priority patent/DE10124483B4/de
Publication of DE20009335U1 publication Critical patent/DE20009335U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/2013—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70—Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/77—Specific profiles
    • G01D2205/775—Tapered profiles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt
Der Beschreibungstext wurde nicht elektronisch erfaßt

Claims (30)

1. Wegmeßsystem mit einem Geber (90; 140), einem Sensor (84; 134), welcher ein induktives Element (94; 136) umfaßt, an das der Geber elektromagnetisch koppelt, und mit einer Auswerteeinheit (86; 132), wobei Sensor und Geber relativ zueinander positionierbar sind, das induk­ tive Element (94; 136) an einen Oszillator gekoppelt ist und über seine Güte und/oder effektive Induktivität diesen beeinflußt, die Güte und/oder effektive Induk­ tivität des induktiven Elements (94; 136) bestimmt ist durch die Größe eines wirksamen Sensorbereichs, an den der Geber koppelt, und der Sensor so ausgebildet ist, daß die Größe des wirksamen Sensorbereichs, an den der Geber koppelt, abhängig ist von der relativen Position zwischen Geber und Sensor quer zu einer Abstandsrichtung (106) zwischen diesen, dadurch gekennzeichnet, daß das induktive Element (94; 136) als Printspule ausgebildet ist, daß an oder in der Nähe des induktiven Elements (136) ein weichmagnetisches Material (138) angeordnet ist und daß der Geber (140) einen Magneten umfaßt.
2. Wegmeßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (84; 134) und/oder der Geber (90; 140) so aus­ gebildet sind, daß ein Überlappungsbereich zwischen einer Projektion einer wirksamen Geberfläche auf den Sensor mit einer wirksamen Sensorfläche abhängig ist von der relati­ ven Position zwischen Sensor und Geber quer zur Projek­ tionsrichtung (106).
3. Wegmeßsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Auswerteeinheit (86; 132) eine Kenn­ größe des Oszillators ermittelt.
4. Wegmeßsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Frequenz des Oszillators ermittelt wird.
5. Wegmeßsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Amplitude des Oszillators ermittelt wird.
6. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das induktive Element (94; 136) flächig ausgebildet ist.
7. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (86; 132) auf einer Platine (88; 130) angeordnet ist, auf welcher das induktive Element (94; 136) sitzt.
8. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die meßbare Wegstrecke zwischen Geber (90; 140) und Sensor (84; 134) im wesent­ lichen durch eine Länge des induktiven Elements (94; 136) bestimmt ist.
9. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Geber (90; 140) ein passives Element ist.
10. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das weichmagnetische Material (138) derart angeordnet ist, daß es an einem wirksamen Sensorbereich lokal in Sättigung bringbar ist.
11. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Platine (130), auf welcher das induktive Element (136) sitzt, ein weich­ magnetisches Material (138) aufgebracht ist.
12. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Platine (130), auf welcher das induktive Element (136) sitzt, mit einem weichmagnetischen Material (138) umwickelt ist.
13. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das weichmagnetische Material in einer derartigen Form angeordnet ist, daß die Formabmessungen quer zu einer Meßwegstrecke längs der Meßwegstrecke variieren.
14. Wegmeßsystem nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das weichmagnetische Material dreieckförmig angeordnet ist.
15. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das induktive Element (50; 94; 136) derart ausgebildet ist, daß seine Gestalt quer zu einer Meßwegstrecke (60) längs der Meßwegstrecke (60) variiert.
16. Wegmeßsystem nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das induktive Element (50; 136) dreieckförmige Windungen aufweist.
17. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung von Drehungen das induktive Element (94) sich in einem Winkelbereich erstreckt.
18. Wegmeßsystem nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Winkelbereich im wesentlichen einen Vollkreis umfaßt.
19. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine magnetische Abschirmung (34, 42, 98) für das induktive Element vorgesehen ist.
20. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von induktiven Elementen (100, 110).
21. Wegmeßsystem nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor eine Mehrzahl von durch induktive Elemente gebildete Spuren umfaßt.
22. Wegmeßsystem nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Mehrzahl von induktiven Elementen bezüglich des Gebers so angeordnet und beschaltet sind, daß eine Wegmessung durchführbar ist, die im wesent­ lichen unabhängig von dem Abstand des Gebers zu dem Sensor ist.
23. Wegmeßsystem nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß ein Geber zwischen zwei in einem Abstand ange­ ordneten induktiven Elementen positioniert ist.
24. Wegmeßsystem nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die induktiven Elemente gegenläufig geführt sind.
25. Wegmeßsystem nach Anspruch 23 oder 24, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Differenzbildung bezüglich Sensor­ signalen der beiden induktiven Elemente durchgeführt wird.
26. Wegmeßsystem nach einem der Ansprüche 23 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß eine Summenbildung bezüglich Sensor­ signalen der beiden induktiven Elemente durchgeführt wird.
27. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das induktive Element auf einem flexiblen Träger angeordnet ist.
28. Wegmeßsystem nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß das induktive Element auf einer Flexfolie angeordnet ist.
29. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor und/oder der Geber so ausgebildet sind, daß über die entsprechende Formgebung ein bestimmter Kennlinienverlauf des Wegmeß­ systems für ein Sensorsignal in Abhängigkeit eines Meß­ wegs eingestellt ist.
30. Wegmeßsystem nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß von der Auswerteeinheit ein Fehlersignal abzweigbar ist, wobei durch die Auswerte­ einheit überprüfbar ist, ob ein oder mehrere Parameter des induktiven Elements innerhalb eines Toleranzinter­ valls liegen.
DE20009335U 2000-05-24 2000-05-24 Wegmeßsystem Expired - Lifetime DE20009335U1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE20009335U DE20009335U1 (de) 2000-05-24 2000-05-24 Wegmeßsystem
DE10124483A DE10124483B4 (de) 2000-05-24 2001-05-19 Wegmeßsystem

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE20009335U DE20009335U1 (de) 2000-05-24 2000-05-24 Wegmeßsystem

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE20009335U1 true DE20009335U1 (de) 2001-10-04

Family

ID=7941967

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE20009335U Expired - Lifetime DE20009335U1 (de) 2000-05-24 2000-05-24 Wegmeßsystem
DE10124483A Expired - Fee Related DE10124483B4 (de) 2000-05-24 2001-05-19 Wegmeßsystem

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10124483A Expired - Fee Related DE10124483B4 (de) 2000-05-24 2001-05-19 Wegmeßsystem

Country Status (1)

Country Link
DE (2) DE20009335U1 (de)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005007731A1 (de) * 2005-02-19 2006-08-24 Festo Ag & Co. Positionssensoranordnung
DE102007027419A1 (de) 2007-06-14 2008-12-18 Franz Gleixner Induktiver Messumformer für Weg oder Winkel
WO2013064622A1 (de) * 2011-11-03 2013-05-10 Continental Teves Ag & Co. Ohg Induktiver weg- und winkelsensor
WO2013064651A1 (de) * 2011-11-03 2013-05-10 Continental Teves Ag & Co. Ohg Induktiver wegsensor
EP2966627A1 (de) * 2014-07-11 2016-01-13 Wincor Nixdorf International GmbH Geldkassette mit induktivem Sensor zur Bestimmung der Position beweglicher Elemente
DE202016003727U1 (de) 2016-06-14 2016-07-07 Peter Haas Induktivitätsanordnung
WO2017198468A1 (de) * 2016-05-19 2017-11-23 Robert Bosch Gmbh Kipptoleranter linearwegsensor

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10338265B3 (de) 2003-08-18 2005-04-07 Balluff Gmbh Positionsmeßsystem
DE102006031139A1 (de) * 2006-07-03 2008-01-10 Rudolf Schubach Vorrichtung zum berührungslosen Messen der absoluten linearen Position mit planaren Spulen
DE102016218953A1 (de) 2016-09-30 2018-04-05 Ifm Electronic Gmbh Stellungsgeber für Ventile
DE102019112590A1 (de) * 2019-05-14 2020-11-19 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Aktor mit induktiver Sensoreinrichtung; sowie Parksperreneinrichtung

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3610479A1 (de) * 1986-03-27 1987-10-01 Vacuumschmelze Gmbh Magnetischer wegsensor
US5055814A (en) * 1988-05-19 1991-10-08 Ohkura Electric Co., Ltd. Displacement detector
DE9105145U1 (de) * 1991-04-26 1992-08-27 Papst-Motoren GmbH & Co KG, 7742 St Georgen Positionssensor für Drehbewegungen
DE4205957A1 (de) * 1992-02-27 1993-09-02 Vogt Electronic Ag Spulenaufbau
DE4406417A1 (de) * 1994-02-28 1995-09-07 Bosch Gmbh Robert Einrichtung zum Messen eines Weges oder eines Winkels
DE4445819C2 (de) * 1994-12-21 1997-07-10 Honeywell Ag Abstands/Positions-Meßvorrichtung
DE19715360B4 (de) * 1997-04-12 2007-09-06 Siemens Ag Bedienvorrichtung
DE19806529C2 (de) * 1998-02-17 2002-04-18 Micro Epsilon Messtechnik Weg-Winkel-Sensor

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005007731A1 (de) * 2005-02-19 2006-08-24 Festo Ag & Co. Positionssensoranordnung
DE102005007731B4 (de) * 2005-02-19 2012-03-01 Festo Ag & Co. Kg Positionssensoranordnung
DE102007027419A1 (de) 2007-06-14 2008-12-18 Franz Gleixner Induktiver Messumformer für Weg oder Winkel
WO2013064622A1 (de) * 2011-11-03 2013-05-10 Continental Teves Ag & Co. Ohg Induktiver weg- und winkelsensor
WO2013064651A1 (de) * 2011-11-03 2013-05-10 Continental Teves Ag & Co. Ohg Induktiver wegsensor
EP2966627A1 (de) * 2014-07-11 2016-01-13 Wincor Nixdorf International GmbH Geldkassette mit induktivem Sensor zur Bestimmung der Position beweglicher Elemente
WO2017198468A1 (de) * 2016-05-19 2017-11-23 Robert Bosch Gmbh Kipptoleranter linearwegsensor
DE202016003727U1 (de) 2016-06-14 2016-07-07 Peter Haas Induktivitätsanordnung
WO2017215786A1 (de) 2016-06-14 2017-12-21 Peter Haas Induktionsanordnung

Also Published As

Publication number Publication date
DE10124483B4 (de) 2005-01-13
DE10124483A1 (de) 2001-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19680088B4 (de) Kalibrier- und Herstellungsverfahren für einen Magnetsensor
EP0130940B1 (de) Induktive Sensoranordnung und Messanordnung zur Verwendung derselben
EP0736183B1 (de) Vorrichtung zur erfassung von dreh- oder winkelbewegungen
EP1426728B1 (de) Wegmesssystem
DE20009335U1 (de) Wegmeßsystem
DE4119903C5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung dünner Schichten
DE69822828T2 (de) Feststellung von relativer Position und Orientierung
DE4102896A1 (de) Verbesserter magnetischer messfuehler
EP2156143B1 (de) Magnetfeldsensor
DE102009023106A1 (de) Verfahren und System zur Magneterfassung
EP2584304A1 (de) Verfahren zur Bestimmung eines Abstandes und eine integrierte Magnetfeldmessvorrichtung
DE4331909A1 (de) Drehwinkelgeber
DE4301971A1 (de)
DE102016108846A1 (de) Winkelsensoranordnung und Verfahren für die Winkelsensoranordnung
EP0524277A1 (de) Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels
DE4341890C2 (de) Magnetische Detektionseinrichtung
EP2100102B1 (de) Messanordnung
DE19732713A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Positionsbestimmung
DE102020108461A1 (de) Induktiver Linearwegsensor
DE4219907C2 (de) Magnetischer Sensor
DE10240241A1 (de) Sromsensor mit mehreren Magnetfeldsensoren
DE3304520A1 (de) Ultraschall-wegmesser
DE4138056C2 (de) Halbleiter-Beschleunigungssensor und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10000730C2 (de) Abstandssensor
DE102007033751A1 (de) Anordnung eines Spulenpaares in einem örtlichen Messbereich

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20011108

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: BALLUFF GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: GEBHARD BALLUFF FABRIK FEINMECHANISCHER ERZEUGNISSE GMBH & CO, 73765 NEUHAUSEN, DE

Effective date: 20020819

R150 Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years

Effective date: 20030617

R151 Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years

Effective date: 20060704

R152 Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years

Effective date: 20080710

R071 Expiry of right