DE2000375A1 - Gaspumpe- bzw.-verdichter - Google Patents

Gaspumpe- bzw.-verdichter

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DE2000375A1
DE2000375A1 DE19702000375 DE2000375A DE2000375A1 DE 2000375 A1 DE2000375 A1 DE 2000375A1 DE 19702000375 DE19702000375 DE 19702000375 DE 2000375 A DE2000375 A DE 2000375A DE 2000375 A1 DE2000375 A1 DE 2000375A1
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Germany
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gas pump
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compressor according
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DE19702000375
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Erich Roser
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HYRO VAKUUM TECHNIK GmbH
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HYRO VAKUUM TECHNIK GmbH
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/043Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms two or more plate-like pumping flexible members in parallel
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B27/00Multi-cylinder pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by number or arrangement of cylinders
    • F04B27/04Multi-cylinder pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by number or arrangement of cylinders having cylinders in star- or fan-arrangement
    • F04B27/0404Details, component parts specially adapted for such pumps
    • F04B27/0414Cams
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
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    • F04B27/04Multi-cylinder pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by number or arrangement of cylinders having cylinders in star- or fan-arrangement
    • F04B27/053Multi-cylinder pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by number or arrangement of cylinders having cylinders in star- or fan-arrangement with an actuating element at the inner ends of the cylinders

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

  • 'Gaspumpe- bzw. -verdichter" Die Erfindung betrifft eine Gaspumpe bzw. einen Gasverdichter zur Evakuierung und/oder Verdichten gasförmiger Medien wie Luft, mit - vorzugsweise elektromotorisch - bewegten Membranen oder Kolben.
  • Nachfolgend wird der Einfachheit halber eine Vorrichtung, die entweder zum Evakuieren oder zuni Verdichten geeignet ist, lediglich als Pumpe bezeichnet.
  • Membranpumpen finden vor allem dort Verwendung, wo es darauf ankommt, daß das geförderte gasförmige Medium ölfrei bleibt.
  • Drehschleber- und Kolbenpumpen geben infolge der notwendigen Schmierung der beweglichen Teile zwangsläufig OldampS oder Öltröpfchen an das geförderte Medium ab.
  • i Derzeit übliche Membranpumpen bestehen aus einem Gehäuse, das den Antriebsmechanismus aufnimmt, einem Pumpenkopf, der mit Einlaß- und Auslaßkanälen versehen ist und einer dazwischen druckdicht eingeßpannten Membran. Mit der Membran ist ein Pleuel, dem mittels eines Exzenters oder einer Kurbelwelle eine hin- und hergehende Bewegung erteilt wird5 die sich auf die Membran tbertrXgW,yBç8 dadurch auftretende Volumenänderung im Verdichtungsraum wird zur Förderung oder Verdichtung von Gasen ausgenützt. Derartige Pumpen können im Verdichterbetrieb eine Liefermenge bis zu einigen Kubikmetern pro Stunde haben. Die erreichbaren Dauerdrücke liegen bei ca. 7 atü.
  • Ein schwerwiegender Nachteil solcher Pumpen, der entscheidendfür die erreichbaren Grenzdaten verantwortlich ist, liegt darin, daß die Membran nicht nur eine reine Hubbewegung ausführt, sondern auch eine Taumelbewegung, die durch den Pleuelantrieb bedingt ist. Durch diese zwangsläufige Taumelbewegung wird die Membran stark auf Dehnung beansprucht. Es treten also bei jeder Hubbewegung nicht nur senkrecht auf die Membran sondern auch parallel zu ihr gerichtete Kräfte auf, die eine Walkung des Membranmaterials zur Folge haben. Diese Walkung führt zu einer nicht unbeträchtlichen Erwärmung des Membranmaterials, die sich zu der durch die Gasverdichtung auftretenden Temperaturerhöhung addiert. Die Membran wird dadurch schon bei niedrig gen Drücken von 5 bis 7 atü einer hohen Temperaturbelastung unterworfen.
  • Die heute üblicherweise verwendeten Membranwerkstoffe wie Neoprdne, Viton, Teflon sind nur für Arbeitstemperaturen bis etwa 1200 C geeignet. Aus den vorgenannten Gründen ergibt sich daraus ein erreichbarer Dauerdruck von etwa 7 atü. Höhere Drücke sind zwar erreichbar, führen Jedoch unvermeidbar zu einer weiteren Temperaturerhöhung im Membranmaterial und lassen so die Lebensdauer der Membran stark absinken.
  • Zur Beseitigung dieses Mangels wurde schon versucht, die Walkung der Membran durch Verrngerung der Taumelbewegung des Pleuels herabzusetzen. Dies läßt sich nur dadurch erreichen, daß man den Pleuel extrem lang ausführt. Man kommt dadurch Jedoch zu unverhältnismäßig großen Bauhöhen schon relativ kleinvolumiger Membranpumpen.
  • Darüberhinaus läßt sich auch mit dieser Maßnahme ein weiterer Nachteil nicht beseitigen, der konstruktionsbedingt allen mit Pleuelantrieb arbeitenden Membranpumpen zu eigen ist.
  • Der Verdichtungsraum über der Membran muß nämlich nach deren vom Pleuel verursachten Taumelbewegung ausgelegt werden. Dies führt zu unvermeidbaren Toträumen, d.h. Räumen, die von der Membran nicht ausgefüllt werden, wenn sie im oberen Totpunkt steht. Die Folge davon ist sowohl ein relativ geringer Wirkungsgrad als auch ein nachteiliger Einfluß auf die absolut erreichbare Pumpenleistung.
  • Der Erfindung liegt daher die Aurgabe zugrunde, eine Membranpumpe zu schaffen, bei der eine Taumelbewegung der Membran vee mieden ist und die auch bei mehrstufiger Ausführung besonders klein und kompakt gehalten werden kann.
  • Diese Aufgabe ist bei der Pumpe der einleitend angegebenen Gattung dadurch gelöst, daß erfindungsgemäß die einseitig oder beidseitig im Gehäuse gelagerte Antriebswelle in Gehäusemitte ein exzentrisches Lager trägt, welches seinerseits mittig in einem Prisma mit parallelen Seitenflächen aufgenommen ist, das sich reibungsarm wegen die Lauffläche von als Platten ausgebildeten StOBelunterteilen abstützt, deren Jeweils einander gegenüberliegende Platten über ein Verbindungselement gegeneinander unverrÜckbar behalten und mit Membrantellern oder Kolben verbunden sind.
  • Durch eine derartige Ausbildung der Pumpe ergibt sic der Vorteil, daß die Membran eine reine Hubbewegung ausführt und somit eine Erwärmung des Membranmaterials Infolge eine Taumelbewegung des Antriebs vermieden ist. Infolge Fortfalls dieser zusätzlichen Erwärmung lassen sich daher bei der erfindungsgemäßen Pumpe ganz erheblich höhere Dauerdrücke erreichen,ohne daß die zulässige Temperatur des Menibranmaterials dabei überschritten wird. Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß sich infolge des Fehlens einer Taumelbewegung der Verdichtungsraum im Pumpenkopf so ausbildenläßt, daß keinerlei Toträume mehr auftreten. Die erfindungsgeniäße Pumpe arbeitet daher mit einem wesentlich besseren Wirkungsgrad als die bisher bekannten Pumpen vergleichbarer Größe. Schließlich ist die Pumpe infolge Fortfalls des Pleuels außerordentlich kompakt aufgebaut.
  • Die reibungsarme Abstützung des Prismas gegen die Lauffläche der als Platten ausgebildeten Stdßelunterteile läßt sich vorteilhaft dadurch verwirklichen, daß das Prisma mit gehärteten Laufbahnen versehen ist und zwischen diesen und oder Kugeln den Stößelunterteilen in Flachkäfigen geführte ordnet sind.
  • Nach einer konstruktiv besonders günstigen Aus führungs form der erfindungsgemäßen Pumpe ist das Prisma ein Quader, dem einander gegenüberliegend zwei als unabhängige Stufen betretbbare Verdichter- oder Pumpenköpfe zugeordnet sind. Da der Quader (oder das Prisma) ohnehin auf mindestens zwei einander gegenüberliegenden Seitenflächen geführt werden muß, läßt sich auf diese Weise mit geringem Mehraufwand und ohne Vergrößerung des Gehäuses beispielsweise die doppelte Fördermenge erzielen.
  • Diese beiden voneinander unabhängigen Stufen können nun entweder parallel oder hintereinander geschaltet werden.
  • Diese Parallel- oder HIntereinanderschaltung 1Bt sich besonders vorteilhaft unter Vermeidung äußerer Verbindungsleitungen dadurch erreichen, daß die Verdichter- oder Pumpenköpfe sowie das Gehäuse mit die Druckseite einer Stufe mit der Saugseite einer anderen Stufe verbindenden Bohrungen versehen sind, wobei die Saugseite der ersten Stufe ge gebenenfalls in das Innere des Gehäuses münden kann> welches an seiner dem Antrieb gegenüberliegenden Seite eine mit einem geeigneten Filter versehene ordnung besitzt.
  • Ebensogut kann aber auch die eine der Stufen als Pumpe, die andere als Verdichter arbeiten.
  • Die erfindungsgemäße Pumpe zeichnet sich im übrigen durch einehinsichtlich der Anzahl der Stufen besonders flexible Konstruktion aus, so daß durch entsprechende Ausbildung des Prismas eine gerade Anzahl von beliebig unterelnander ver bindbaren Stufen vorgesehen werden kann, wobei die elrwelen, aus den Jeweils untereinander verbundenen Stufen gebildeten Gruppen als Verdichter oder als Pumpe arbeiten können Im Gegensatz zu herkömmlichen Meinbranpumpen ist dabei bis zu einer Anzahl von vier Stufen eine Vergrößerung des Gehäuses nicht nötig, und selbst bei einer sechsstufigen- oder aehstufigen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Pumpe ist nur eine relativ geringe Vergrößerung erforderlich, wobei die Kompaktheit des Aufbaus nicht verloren geht. Diese Kompakte heit wird besonders auch dadurch ermöglicht, daß aufgr':'nd des Konstruktionsprinzips alle Stufen in einer Ebene liegen können, im Gegensatz zu üblichen Membranpumpen, bei deren aufgrund des Exzenters- oder Kurbelwellenantriebes die 3tuRen in gegeneinander versetzten Ebenen angeordnet werden müssen.
  • Der Erfindungsgedanke tut im übrigen keineswegs auf Membranpumpen beschränkt, sondern läßt sich in ebenso vorteilhafter Weise auf nach dem Kolbenprinzip arbeitende Pumpen anwenden, bei denen dann der oder die Pleuel in Fortfall kommen können.
  • Weitere Merkmale der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnung hervor, in der eine Membranpumpe der ert'indungBgem§Ren Art in einer beispielsweise gewählten Ausführungsform schematisch veranschaulicht ist. Es zeigen: Fig. 1 einen Querschnitt durch eine ttrstuRige Ausführung der Pumpe, Fig. 2 einen Längsschnitt durch die Pumpe nach Fig. 1, Fig. 3 einen vergrößerten Teilschnitt durch einen Pumpenkopf.
  • Aus Fig. 1 läßt sich der der Erfindung zugrundeliegende Gedanke sowie der prinzipielle Aufbau einer darnach ausgeführten Pumpe erkennen. Im Pumpengehäuse 1 ist eine Welle 2 mittig gelagert. Die Welle 2 trägt ein exzentrisch aufgesetztes Lager 3, beispielsweise ein Axialrollenlager. Das Lager 3 sitzt seinerseits dabei in einem prismatischen Körper mit parallelen Seitenflächen, der im gewählten Beispiels als Quader 4 ausgebildet ist. Hält man nun den Quader 4 verdrehungssicher, aber in zwei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen frei verschieblich fest, dann setzt der Quader die Drehbewegung der Welle in eine reine Hubbewegung längs dieser beiden Richtungen um, wobei die Verschiebung nacheinander in Richtung Jeder Seitenfläche erfolgt und der Hub vom Maß der Exzentrizität des Lagers 3 im Verhältnis zu der Welle 2 bestimmt ist.
  • Da die Verschiebung Jeder Seitenfläche aufeinander folgend zunächst senkrecht, dann parallel zu ih erolgt, muß zwischen den Stößelunterteilen, die als Platten 9 ausgebildet sind und diesSeitenflächen eine reibungsarme Lagerung vorgesehen werden. Hierzu können beispielsweise in Flachkäfigen geführte Nadeln 7 dienen, die zwischen gehärteten Laufflächen abrollen.
  • Jeweils einander gegenüberliegende Stößelunterteile sind über entsprechend geformte Zwischenringe 10 unverrückbar gegeneinander gehalten, so daß die Nadellager gegenüberliegender Seiten des Quaders ein definiertes Lagerspiel haben.
  • Die Verbindung der Stößelunterteile mit den Zwischenringen 10 kann über übliche Maschinenelemente, wie beispielsweise Pa.ßstifte oder Paßschrauben geschehen. Auf diese Welse läßt sich eine leichte Montierbarkeit erhalten. Die Stößelun'certeile sind über kurze Zwischenstücke mit den Membrantelnet-n 12 verbunden, wobei diese Teile ohne weiteres einstUczig ausgebildet werden können. Jeder Membranteller 12 trägt eine Membran 13, die beispielsweise aus Neoprene, Viton oder Teflon ender einem anderen geeigneten Membranwerkstorf bestehen kann. Die Membranteller erhalten ihre Seitenführung lediglich durch die auf ihnen befestigte Membran. Diese ist zwischen das Gehause 1 und den Pumpenkopf 14 druckdicht eingespannt. Im Pumpenkopf 14 ist der Verdichtungsraum 15 ausgespart, der info der reinen Hubbewegung der Membran keinerlei Toträume aufzuweisen braucht. Geeignete, mit Ventilen versehene Kanäle i6 und 17 dienen als Gaseinlaß bzw. -auslaß.
  • Die vorstehend beschriebene Pumpe arbeitet auch dann einwandfrei, wenn lediglich zwei einander gegenüberliegende Pumpenköpfe vorgesehen werden. Diese genügen nämlich bereits, um den Quader verdrehungssicher, Jedoch in zwei auf#einander senkrecht stehenden Richtungen frei beweglich zu halten. Es wäre dementsprechend auch möglich, die Pumpe nur mit einem Pumpenkopf auszuführen, wobei die gegenüberliegende Seite anstelle der sonst die FUhrung bildenden Membran eine andere geeignete Führung erhalten müßte. Angesichts des geringe; Mehraufwandes, den eine zweistufige Ausführung erfordert, ist dies Jedoch eine unwirtschaftlIche Lösung.
  • Bei der praktischen Erprobung hat sich im übrigen herausgestellt, daß eine zweistufige AusfUhrung der Pumpe auch dann ohne Schaden zu nehmen weiterlaufen kann, wenn eine der beiden Membranen entfernt oder beschädigt wurde. Auch dies stellt einen ganz erheblichen Vorteil gegenüber den bisherigen Membranpumpen dar, da dort bei der überwiegenden Zahl der Geräte die Membranen nicht nach einer bestimmten Anzahl von Betriebastunden routinemäßig ausgewechselt werden und daher eineaeTages reissen, was dann, wenn keine Überwachungseinrichtungen zur Abschaltung der Pumpe in einem derartigen Fall vorgesehen sind, zu Beschädigungen der Maschinen durch den dann führungslos hin- und herschlagenden Pleuel führt.
  • Fig. 2 zeigt einen schematischen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Membranpumpe. Es läßt sich dort wiederum die Welle 2 erkennen, die im Gehäuse 1 mittig über das Lager 15 gelagert ist. Eine an sich mögliche zweite Lagerung der Welle in der gegenüberliegenden Gehäuse wand ist nicht nötig und erschwert nur die Montage. Sie kann lediglich dann erforderlich sein, wenn eine in Längsrichtung versetzte zweite Ebene von Pumpenköpfen vorgesehen werden soll, was ohne weiteres möglich ist. In Fig. 2 läßt sich weiterhin das exzentrisch auf der Welle 2 sitzende Axialrollenlager 3 erkennen, dbs mittig in dem Prisma oder Quader 4 ruht. In die Seitentlächen des Quaders 4 und die plattenrdrmigen Stößelunterteile sind gehärtete Laufbahnen 8 eingelassen, zwischen denen die in Flachkäfigen geführten Nadeln 7 ruhen. Die Zwischenringe 10 dienen der Verbindung einander gegenüberliegender Stoßelunterteile und zwar, wie dies tar den rechten Zwischenring angedeutet ist, über Paßschrauben 11.
  • Sehr vorteilhaft ist, daß aufgrund der geringen Baubdhe der erfindungsgemäßen Pumpe diese unmittelbar an den nahezu durch -measergleichen Antriebsmotor ie angeflanscht werden kann.
  • Vorzugsweise findet ein einphasiger Wechselstrommotor mit Mantelkühlung Verwendung. Der axial gerichtete Kühlluftstrom umspült diesen in der in Fig. 2 durch einen Pfeil angedeuteten Richtung. Infolge des nahezu gleichen Durchmessers der Pumpe kann dabei in vorteilhafter Weise dieser Kühlluftstrom gleichzeitig zur Kühlung der Pumpenköpfe herangezogen werden.
  • Ebensogut kann natürlich die Welle 2 frei aus dem Gehäuse herausgeführt und beispielsweise über eine Riemenscheibe oder ein Stirnrad angetrieben werden. Die dem Motor abgewandte Stirnfläche des Pumpengehäuses ist mit einer oeffnung versehen, in die ein geeignetes Filter 19 eingelegt ist. Auf diese Weise läßt sich der Pumpe gefilterte Luft zuführen.
  • Fig. 3 schließlich zeigt einen vergrößerten Teilschnitt durch einen Pumpenkopf, der allgemein mit 20 bezeichnet ist. Dieser Pumpenkopf ist in üblicher Weise gegen das Gehäuse 1 abgedichtet und spannt die Membran 17 druckdicht ein. Erst die geringe Bauhöhe der erfindungsgemäßen Pumpe erlaubt es nun, die Pumpenköpfe verschiedener Stufen unter Vermeidung von äußeren Rohrleitungen miteinander zu verbinden. Hierzu dienen zwei Bohrungen 21, die den Einlaßkanal 16 bzw. den Auslaßkanal 17 rechtwinklig schneiden. Am umfangsseituen Ende des Pumpenkopfes sind senkrecht zu diesen Bohrungen 21 zwei weitere bis in das Gehäuse 1 reichende Bohrungen 22 vorgesehen. Diese treffen sich mit den entsprechenden wiederum senkrecht dazu verlaufenden Bohrungen 23 der unmittelbar benachbarten ;fe.
  • Verschließt man nun die nach außen mUndenden Bohrun- - 21 in geeigneter Weise, dann ist über die Bohrungen 22 und f eine Verbindung zwischen der Druckseite der vorhergehenden Stufe mit der Saugseite der nachfolgenden Stufe und gegebenenfalls der Druckseite dieser Stufe mit der Saugseite der nächstfolgenden Stufe hergestellt. Verschließt man andererseits die Bohrungen 22 tmd 23, so kann jede Stufe 20 für sich allein verwendet werden, wobei nun die Bohrungen 21 als Einlaß- bzw. Auslaßkanal dienen.
  • Ferner ist es möglich, eine der Bohrungen 22 (wie in Fig. 3 unten angedeutet) bis ins Innere des Gehäuses 1 durchgehen zu lassen, so daß diese Stufe über den Filter 19 gefilterte Luft aus dem Inneren des Gehäuses ansaugt.

Claims (10)

  1. Patentansprüche:
    ( l.)Gaspumpe bzw. -verdichter zum Evakuieren und/oder Verdichten gasförmiger Medien wie Luft, mit - vorzugsweise elektromotorisch - bewegten Membranen oder Kolben, dadurch gekennzeichnet, daß die einseitig oder beidseitig im Gehäuse (1) gelagerte Antriebswelle (2) in Gehäusemitte ein exzentrisches Lager (3) trägt, welches seinerseits mittig in einem Prisma (4) mit parallelen Seitenflächen (5) aufgenommen ist, das sich reibungsarm gegen die Lauffläche (8) von als Platten (9) ausgebildeten Stößelunterteilen abstützt, deren jeweils einander gegenüberliegende Platten über ein Ver-# bindungselement (10) gegeneinander unverrückirar gehalten und mit Membrantellern oder Kolben verbunden sind (Fig. 1, Fig. 2).
  2. 2. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Prisma' (4) mit gehärteten Laufbahnen (6) versehen ist und sich über in Flachkäfigen geführte Nadeln oder Kugeln (7) gegen die Lauffläche (8) der Stößelunterteile abstützt.
  3. 3. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Prisma (4) ein Quader ist und diesem zwei als unabhängige Stufen betreibbare Verdichter- oder Pumpenkbpte (1*) zugeordnet sind.
  4. 4. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Stufen parallel oder hintereinander geschaltet sind.
  5. 5. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdichter- oder Pumpenköpfe (14) sowie sowie das Gehäuse (1) mit die Druokseite einer Stufe mit der Saugseite einer anderen Stufe verbindenden Bohrungen (21 bis 23) versehen sind, wobei die Saugseite der ersten Stufe gegebenenfalls in das Innere des Gehäuses (1) münden kann, welches an seiner dem Antrieb gegenüberliegenden Seite eine mit einem geeigneten Filter (19) versehene öffnung besitzt (Fig. 2, Fig. 3).
  6. 6. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die eine der Stufen als Pumpe, die andere als Verdichter arbeitet.
  7. 7. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine gerade Anzahl von beliebig untereinander verbindbaren Stufen vorgesehen ist und die elnzelne,naus den jeweils untereinander verbundenen Stufen gebildeten Gruppen als Verdichter oder als Pumpe arbeiten.
  8. 8. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (2) frei herausgeführt ist.
  9. 9. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stufen nach dem Membran- oder dem Kolbenprinzip arbeiten.
  10. 10. Gaspumpe oder -verdichter nach Anspruch 9, dadurch gekinnzeichnet, daß sie sowohl nach dem Membran- als auch nacht dem Kolbenprincip arbeitende Stufen Ltält.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3526882A1 (de) * 1985-07-26 1987-01-29 Otto Hayn Gaspumpe oder -verdichter
DE19500854A1 (de) * 1994-01-21 1995-07-27 Franz Seidl Hubkolbenmaschine
EP0754857A1 (de) * 1995-07-17 1997-01-22 B.V. di VISINI GIANPIERO & C. S.n.c. Hin- und herbewegende Membranpumpe

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