DE19960807C1 - Vorrichtung zum Ablenken eines Strahls - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ablenken eines Strahls, insbesondere eines Lichtstrahls, gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1, wobei die Vorrichtung vorzugsweise zum unabhängigen Ablenken des Strahls in zwei Raumrichtungen zur Verwendung in einer zweidimensionalen Scannereinrichtung ausgebildet ist, sowie ein Verfahren zum Ablenken eines vorgegebenen Strahls mittels Drehung der Spiegelfläche eines Planspiegels aus einer Mittelstellung.

Eine gattungsgemäße Vorrichtung ist beispielsweise aus US 4 997 242 bekannt, bei welcher eine afokale, achromatische Spiegelanordnung, die aus zwei einander gegenüberliegenden Hohlspiegeln besteht, verwendet wird, um den ersten drehbaren Spiegel, der von dem einfallenden Strahl getroffen wird, auf einen drehbaren zweiten Spiegel abzubilden, wobei die Rotationsachsen des ersten und des zweiten Spiegels aufeinander senkrecht stehen, um den Strahl, bei welchem es sich um einen Lichtstrahl handelt, in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen unabhängig ablenken zu können. Nachteilig dabei ist, daß die Spiegelanordnung mit den beiden gegenüberliegenden Hohlspiegeln einen erheblichen Astigmatismus je nach Drehwinkel des ersten Spiegels verursacht, so daß selbst bei Verwendung einer idealen Scanlinse nach dem zweiten Spiegel die Fokusse beim Drehen des ersten Spiegels nicht auf einer Geraden liegen.

Ferner ist es bekannt, einen ersten drehbaren Spiegel mittels einer afokalen Linsenkombination auf einen drehbaren zweiten Spiegel abzubilden, um einen Lichtstrahl in zwei aufeinander senkrechten Raumrichtungen unabhängig ablenken zu können. Nachteilig dabei ist die Möglichkeit des Auftretens chromatischer Fehler und anderer Abbildungsfehler, insbesondere bei großen Winkeln.

Ferner ist bekannt, zwei drehbare Spiegel mit zueinander orthogonalen Drehachsen räumlich möglichst nah zueinander anzuordnen. Nachteilig dabei ist die räumlich separate Lage der beiden Drehpunkte, der beschränkte Drehwinkelbereich sowie die Notwendigkeit, zumeist unterschiedlich große Spiegel einsetzen zu müssen.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zum Ablenken eines Strahls zu schaffen, bei welcher Abbildungsfehler von dem Ablenkwinkel einer ersten Ablenkeinheit im wesentlichen unabhängig und ferner möglichst klein sind. Ferner soll ein Verfahren geschaffen werden zum Ablenken eines vorgegebenen Strahls mittels Drehung der Spiegelfläche eines Planspiegels aus einer Mittelstellung, wobei die Drehachse des Planspiegels außerhalb der Spiegelfläche liegt und dennoch nur ein möglichst geringer Versatz des abgelenkten Strahls in Abhängigkeit von dem Ablenkwinkel auftritt.

Die erste Aufgabe wird in erfindungsgemäßer Weise durch eine Vorrichtung gelöst, wie sie in Anspruch 1 definiert ist. Bei dieser Lösung ist vorteilhaft, daß durch die rotationssymmetrische Ausbildung der Spiegelanordnung bezüglich des Ablenkpunkts und des Zielpunkts die optischen Eigenschaften der Spiegelanordnung und damit der gesamten Vorrichtung im wesentlichen unabhängig von dem Ablenkwinkel des Strahls in dem Ablenkpunkt sind, so daß die Strahlposition im Zielpunkt invariant bezüglich des von der ersten Strahlablenkeinheit bestimmten Strahlablenkwinkels ist und sich nur die Richtung des Strahls im Zielpunkt entsprechend dem Ablenkwinkel im Ablenkpunkt ändert.

Vorzugsweise wird diese Invarianzeigenschaft der erfindungsgemäßen Vorrichtung dazu verwendet, um den Strahl unabhängig in zwei Raumrichtungen abzulenken, indem eine zweite verstellbare Ablenkeinheit in dem Zielpunkt angeordnet wird.

Weitere bevorzugte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Die zweite Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, wie es in Anspruch 24 definiert ist. Vorteilhaft dabei ist, daß die Drehachse des Spiegels beispielsweise durch den Spiegelschwerpunkt gelegt werden kann und dennoch eine Lage des Spiegels gefunden werden kann, in welcher nur ein geringer Versatz des reflektierten Strahls bei Änderung des Ablenkwinkels auftritt.

Im folgenden werden mehrere Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher erläutert, wobei:

Fig. 1 eine schematische perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt;

Fig. 2 schematisch eine Aufsicht auf die Vorrichtung von Fig. 1 zeigt;

Fig. 3 eine vergrößerte Aufsicht auf einen Ablenkspiegel in verschiedenen Drehstellungen zeigt, wie er bei der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann; und

Fig. 4 eine schematische perspektivische Ansicht einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt.

Fig. 1 und 2 zeigen eine erste Ausführungsform der Erfindung, wobei ein insgesamt mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnetes Modul dargestellt ist, welches einen um eine erste Drehachse 12 drehbaren ersten Spiegel 14 und einen zweiten Spiegel 16, der um eine zweite, zu der ersten Achse 12 senkrechte Achse 18 drehbar ist, sowie eine Spiegelanordnung 20 umfaßt, welche afokal ausgebildet ist und den ersten Spiegel 14 auf den zweiten Spiegel 16 abbildet. Der erste Spiegel 14 und der zweite Spiegel 16 sind als Planspiegel ausgebildet. Als Antrieb für die verstellbaren Spiegel kommt beispielsweise ein üblicher Galvanometerantrieb in Frage. Die Spiegelanordnung 20 weist eine Spiegelfläche 22 auf, die über einen bestimmten Drehwinkelbereich rotationssymmetrisch bezüglich einer Rotationssymmetrieachse 24 ausgebildet ist, wobei die Rotationsachse 12 des ersten Spiegels 14 mit der Rotationssymmetrieachse 24 zusammenfällt oder leicht parallel bezüglich derselben versetzt ist, während die Drehachse 18 des zweiten Spiegels 16 zu der Achse 24 senkrecht steht.

Ein einfallender zumeist kollimierter oder nahezu kollimierter Strahl 26, der senkrecht auf der Achse 12 bzw. 24 steht, triff auf den ersten Spiegel 14 in einem Punkt P und wird von diesem in einer Richtung, die senkrecht zu der Rotationssymmetrieachse 24 steht, auf die Spiegelfläche 22 der Spiegelanordnung 20 reflektiert, wo er um 90° parallel zu der Achse 24 reflektiert wird. Der Strahl trifft an einem anderen Punkt erneut auf die Spiegelfläche 22, wird dort wiederum um 90° antiparallel zu der Richtung nach Verlassen des ersten Spiegels 14 reflektiert und trifft schließlich auf den zweiten Spiegel 16, wo er an einem Punkt P' nochmals um 90° abgelenkt wird.

Die beiden Spiegel 14 und 16 sind so angeordnet, daß sie, d. h. der jeweilige Auftreffpunkt P bzw. P' des Strahls, auf der Rotationssymmetrieachse 24 der Spiegelfläche 22 der Spiegelanordnung 20 liegen. Durch diese Rotationssymmetrie des Moduls 10 ist sichergestellt, daß bei einer Drehung des ersten Spiegels 14 um seine Drehachse 12 um den Winkel α/2 der Strahl den Zielpunkt, d. h. den Auftreffpunkt P' auf dem zweiten Spiegel 16 unabhängig von dem Drehwinkel des ersten Spiegels 14, jedoch aus anderer Richtung, trifft, wodurch der ausfallende Strahl 28 in einer Raumrichtung entsprechend der Drehung des ersten Spiegels 14 abgelenkt wird, jedoch keinen Versatz erleidet (der durch die Drehung des Spiegels 14 veränderte Strahlengang ist in Fig. 1 gestrichelt dargestellt). Durch eine Drehung des zweiten Spiegels 16 um seine Drehachse 18 kann der ausfallende Strahl 28 unabhängig von der Drehung des ersten Spiegels 14 in eine zweite Raumrichtung ohne Parallelversatz abgelenkt werden.

Die grundlegende Funktion des Moduls 10 besteht darin, einen Strahl 26 ohne Strahlversatz in zwei Raumrichtungen unabhängig in vorgebbarer Weise abzulenken. Diese Eigenschaft kann in idealer Weise für das zweidimensionale Abtasten einer Fläche verwendet werden, indem der ausfallende Strahl 28 auf eine sogenannte Scanlinse gerichtet wird, welche die Strahlrichtung in eine Position in einer Ebene umsetzt. Eine solche Anwendung ist insbesondere für eine Verwendung mit einem Mikroskop geeignet, wobei die Bildebene der Scanlinse in der Zwischenbildebene des Mikroskops liegt. Insbesondere kann es sich bei dem Mikroskop um eine konfokale Anordnung oder eine Zwei-Photonen-Anordnung handeln, wobei es sich bei dem einfallenden elektromagnetischen Strahl um einen Laserstrahl handeln kann, der eine Fluoreszenzanregung einer unter dem Objektiv befindlichen Probe bewirkt, die mittels der gleichen Mikroskopoptik oder separat aufgesammelt und detektiert wird.

Bei der in Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsform bildet die Spiegelfläche 22 der Spiegelanordnung 20 einen Teil der Innenfläche eines parabolischen Torus, der durch die Drehung einer Parabel um die Rotationssymmetrieachse 24 der Spiegelanordnung 20 gebildet wird. Die Spiegelfläche 22 ist bezüglich einer Symmetrieebene 30 spiegelsymmetrisch, die bezüglich der Rotationssymmetrieachse 24 senkrecht steht, wobei die Spiegel 14 und 16, d. h. die Auftreffpunkte P und P', bezüglich der Symmetrieebene 30 spiegelsymmetrisch zueinander sind.

Bei der in Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsform läßt sich die Parabel mit der Beziehung r(z) = 3f - z²/4f beschreiben, wobei die Auftreffpunkte P und P' bei z = 2f beziehungsweise z = -2f liegen. f ist dabei ein frei wählbarer Parameter, während z die Koordinate in Richtung der Rotationssymmetrieachse 24 und r die Koordinate in der dazu senkrechten radialen Richtung in der Symmetrieebene 30 ist.

Gemäß Fig. 1 und 2 ist die Spiegelfläche 22 zusammenhängend ausgebildet. Alternativ kann jedoch die Spiegelfläche von zwei getrennten Abschnitten gebildet werden, wobei der Bereich um den Scheitel der Parabel ausgespart bleiben kann. Im ersten Fall kann die Spiegelanordnung 20 einstückig ausgebildet werden.

Bei dem Strahl 26 handelt es sich vorzugsweise um einen Lichtstrahl im infraroten, sichtbaren und/oder ultravioletten Bereich. Prinzipiell ist die beschriebene Anordnung jedoch mit geeigneten Spiegeln auch für andere Wellenlängenbereiche (z. B. Radiowellen - Röntgenstrahlen) geeignet. Falls entsprechende Spiegelflächen bereitgestellt werden können, ist die Anordnung auch für Teilchenstrahlen geeignet.

Eine mögliche Ausführungsform des ersten Spiegels 14 und des zweiten Spiegels 16 besteht darin, daß die Drehachse 12 bzw. 18 der Spiegel 14 bzw. 16 durch die Spiegelfläche und den Auftreffpunkt P bzw. P' des Strahls verläuft. In diesem Fall fällt die Drehachse 12 des ersten Spiegels 14 mit der Rotationssymmetrieachse 24 der Spiegelfläche 22 zusammen. Bei dieser Ausführungsform ist nachteilig, daß der Schwerpunkt des Spiegels 14 bzw. des Spiegels 16 nicht auf der Drehachse 12 bzw. 18 liegt, was aufgrund der resultierenden Unwucht entweder zu einer starken Lagerbelastung führt oder im Falle einer Kompensation der Unwucht durch Gegengewichte das Spiegelträgheitsmoment erhöht und so die Verstellung verlangsamt.

Bei einer alternativen Ausführungsform verläuft die Drehachse 12 bzw. 18 der Spiegel 14 bzw. 16 nicht in deren Spiegelfläche, sondern ist bezüglich dieser parallel versetzt und läuft durch den Spiegelschwerpunkt S. Um jedoch einen Parallelversatz des am Spiegel 14 bzw. 16 reflektierten Strahls in Abhängigkeit von dem Drehwinkel des Spiegels zu vermeiden, muß die Drehachse 12 bzw. 18, und damit der Spiegel 14 bzw. 16 aufgrund geometrischer Überlegungen an der richtigen Stelle relativ zum Auftreffpunkt des Strahls angeordnet werden, so daß sich ein hier so bezeichneter "virtueller" Drehpunkt V ergibt, der in einem gewissen Drehwinkelbereich relativ schwach von diesem Winkel abhängt, siehe Fig. 3. Durch eine entsprechende Positionierung der Drehachse des Spiegels kann somit trotz durch den Spiegelschwerpunkt verlaufender Drehachse ein Strahlversatz weitgehend vermieden werden. In diesem Fall ist die Drehachse 12 des ersten Spiegels 14 bezüglich der Rotationssymmetrieachse 24 der Spiegelfläche 22 parallel versetzt.

Die Lage des am besten geeigneten Auftreffpunkts des Strahls auf der Spiegelfläche bei in Mittelstellung befindlichen Spiegel und damit die günstigste Lage des Spiegels bzw. die Lage des "virtuellen" Drehpunkts V kann ermittelt werden, indem für verschiedene Auftreffpunkte in der Mittelstellung (die Variation des Auftreffpunkts entspricht einer Verschiebung des Spiegels in der Mittelstellung ohne Drehung, d. h. die Lage der Drehachse bestimmt den Auftreffpunkt) jeweils die Schnittpunkte der rückwärtigen Verlängerungen der reflektierten Strahlen unter verschiedenen Drehwinkeln des Spiegels mit der rückwärtigen Verlängerung des in der Mittelstellung des Drehwinkelbereichs reflektierten Strahls in geeigneter Weise, z. B. mit einer Rechenmaschine oder im Experiment, ermittelt werden, und aus diesen Sätzen von Schnittpunkten derjenige einem bestimmten Auftreffpunkt (d. h. einer bestimmten Drehachsenposition) zugeordnete Satz bestimmt wird, welcher bezüglich eines geeigneten Kriteriums einer minimalen Variation der Schnittpunkte (z. B. minimale Summe der Abweichungsquadrate oder ähnliches) genügt, so daß sich schließlich ein diesem Kriterium entsprechender "virtueller" Drehpunkt V ergibt. Die Anwendung dieses Verfahrens zur Bestimmung eines "virtuellen" Drehpunkts ist selbstverständlich nicht auf den hier beschriebenen Fall beschränkt, sondern kann allgemein für Drehspiegel verwendet werden, bei denen die Drehachse nicht in der Spiegelfläche liegt.

Fig. 4 zeigt eine alternative Ausführungsform der Erfindung, welche sich von der Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2 in drei wesentlichen Punkten unterscheidet: Die Spiegelfläche 122 der Spiegelanordnung 120 wird von zwei getrennten Segmenten 140 und 142 gebildet, deren Rotationssymmetrie sich über volle 360° erstreckt, so daß der einfallende Strahl 126 im Prinzip um volle 360° gedreht werden kann; im Zielpunkt P' ist kein zweiter Spiegel vorgesehen; der einfallende Strahl 126 steht nicht senkrecht auf der Rotationssymmetrieachse der Spiegelfläche 122, sondern entspricht dieser; der erste Spiegel 114 wird zwar um die Rotationssymmetrieachse 124 der Spiegelfläche 122 gedreht, jedoch ist seine Spiegelfläche im Gegensatz zu Fig. 1 und 2 um 45° bezüglich der Rotationsachse 124 geneigt.

Die Vorrichtung gemäß Fig. 4 ist insbesondere für Anwendungen geeignet, bei welchen ein Strahl, z. B. ein Lichtstrahl, in einer Ebene, die senkrecht zu dem einfallenden Strahl 126 steht, um den Punkt P' in einem großen Winkelbereich, beispielsweise bis zu 360°, gedreht werden muß. Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2 bewirkt zwar die Ausgestaltung der Spiegelfläche 22 der Spiegelanordnung 20 keine grundsätzliche Beschränkung des Drehwinkels α des einfallenden Strahls 26, jedoch tritt eine solche Beschränkung durch die Ausgestaltung der Spiegel 14 und 16 bzw. der Einfallsrichtung des Strahls 26 ein.

Grundsätzlich kann jedoch auch bei einer Ausführungsform wie in Fig. 4, bei welcher der einfallende Strahl auf der Rotationssymmetrieachse der Spiegelanordnung liegt und ein um 45° geneigter erster Spiegel vorgesehen ist, im Zielpunkt P' ähnlich wie in Fig. 1 und 2 ein zweiter Spiegel vorgesehen sein, um eine unabhängige Ablenkung in einer zweiten Raumrichtung zu bewirken. Dieser zweite Spiegel kann wie in Fig. 1, d. h. mit zu der Drehachse paralleler Spiegelfläche, oder wie der Spiegel 114 in Fig. 4 mit um 45° bezüglich der Drehachse des Spiegels geneigter Spiegelfläche ausgebildet sein. Ferner ist es auch möglich, daß nur der zweite Spiegel eine um 45° bezüglich der Drehachse des Spiegels geneigte Spiegelfläche aufweist.

Bei allen Ausführungsformen kann die Strahlablenkung in den Punkten P bzw. P' statt mit drehbaren Spiegeln auch beispielsweise mit akustooptischen Deflektoren erfolgen.

Der besondere Vorzug der erfindungsgemäßen Anordnung mit rotationssymmetrischer Spiegelanordnung liegt darin, daß mögliche Abbildungsfehler der Anordnung nicht von dem Ablenkwinkel der ersten Ablenkeinheit abhängen und deshalb auch sehr große Ablenkwinkel der ersten Ablenkeinheit möglich sind. Die Invarianz des Zielpunkts P' bezüglich der Ablenkung durch die erste Ablenkeinheit ist somit grundsätzlich für beliebige Ablenkwinkel der ersten Ablenkeinheit gewährleistet. Es versteht sich, daß die Erfindung auch noch nützlich ist, wenn der Ablenkpunkt P und der Zielpunkt P' nicht exakt auf der Rotationssymmetrieachse liegen. Abhängig von den Anforderungen an die Abbildungsfehler bei der jeweiligen Anwendung sind somit auch diesbezügliche Lageabweichungen noch von der Erfindung umfaßt.

Claims (26)

1. Vorrichtung zum Ablenken eines Strahls, mit einer verstellbaren ersten Strahlablenkeinheit (14, 114), die den Strahl an einem Ablenkpunkt (P) ablenkt, und einer Spiegelanordnung (20, 120), die den Ablenkpunkt (P) auf einen Zielpunkt (P') abbildet, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelanordnung (20, 120) mindestens über einen bestimmten Ablenkwinkelbereich rotationssymmetrisch ausgebildet ist, wobei der Ablenkpunkt (P) und der Zielpunkt (P') auf oder nahe der Rotationssymmetrieachse (24, 124) der Spiegelanordnung angeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Strahlablenkeinheit von einem ersten Spiegel (14, 114) gebildet wird, der um eine Rotationsachse (12, 24, 124) drehbar ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite verstellbare Strahlablenkeinheit (16) vorgesehen ist, die eine Strahlablenkung in dem Zielpunkt (P') bewirkt.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Strahlablenkeinheit von einem um eine Rotationsachse (18) drehbaren Spiegel (16) gebildet wird.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse (18) des zweiten Spiegels (16) senkrecht zu der des ersten Spiegels (14, 114) steht.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse (12) des ersten Spiegels parallel zu der Rotationssymmetrieachse (24) der Spiegelanordnung (20) versetzt ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse (12) des ersten Spiegels (14) durch den Schwerpunkt (5) verläuft.

8. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse (12) des ersten Spiegels (14, 114) mit der Rotationssymmetrieachse (24, 124) der Spiegelanordnung (20, 120) zusammenfällt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse (12, 24) des ersten Spiegels (14) in der Spiegelfläche liegt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelflächen des ersten (14, 114) und/oder des zweiten Spiegels (16) eben sind.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der einfallende Strahl (26) senkrecht zu der Rotationssymmetrieachse (24) der Spiegelanordnung (20) steht.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der einfallende Strahl (126) auf der Rotationssymmetrieachse (124) der Spiegelanordnung (120) liegt.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotationsachse des ersten Spiegels (114) identisch zu der Rotationssymmetrieachse (124) der Spiegelanordnung (120) ist und der erste Spiegel um 45° gegen die Rotationsachse geneigt ist.

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelanordnung (20, 120) afokal ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der einfallende und der ausfallende Strahl der Spiegelanordnung (20, 120) in parallelen Ebenen liegen.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der einfallende Strahl der Spiegelanordnung (20, 120) antiparallel und versetzt zu dem ausfallenden Strahl der Spiegelanordnung ist.

17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelanordnung (20) von einer zusammenhängenden Spiegelfläche (22) gebildet wird.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelfläche (122) der Spiegelanordnung (120) zwei voneinander getrennte Abschnitte (140, 142) umfaßt.

19. Vorrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelfläche (22, 122) der Spiegelanordnung (20, 120) spiegelsymmetrisch bezüglich einer Ebene (30) ist, die senkrecht auf die Rotationssymmetrieachse (24, 124) der Spiegelanordnung steht.

20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Ablenkpunkt (P) und der Zielpunkt (P') spiegelsymmetrisch bezüglich der Symmetrieebene (30) der Spiegelfläche (22, 122) der Spiegelanordnung (20, 120) angeordnet sind.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelfläche (22, 122) der Spiegelanordnung (20, 120) von einem parabolischen Torus oder entsprechenden Abschnitten eines solchen gebildet wird, der durch Drehung einer Parabel um die Rotationssymmetrieachse (24, 124) der Spiegelanordnung gebildet wird.

22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Strahl (26, 126) um einen Lichtstrahl handelt.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl nach der ersten Reflexion an der Spiegelfläche (22, 122) und vor der zweiten Reflexion an der Spiegelfläche (22, 122) weitere optische Elemente durchläuft.

24. Verfahren zum Ablenken eines vorgegebenen Strahls mittels Drehung der Spiegelfläche eines Planspiegels (14, 16) aus einer Mittelstellung, wobei die Lage der Drehachse (12, 18) des Planspiegels bezüglich des Planspiegels vorgegeben ist und außerhalb der Spiegelfläche liegt, wobei die Lage der Drehachse bezüglich des vorgegebenen Strahls dadurch bestimmt wird, daß für verschiedene Auftreffpunkte des Strahls auf die Spiegelfläche jeweils für bestimmte Drehwinkel des Spiegels die Schnittpunkte der rückwärts verlängerten, bei diesen Drehwinkeln reflektierten Strahlen mit dem rückwärts verlängerten, in der Mittelstellung reflektierten Strahl bestimmt werden, so daß für jeden Auftreffpunkt ein Schnittpunktsatz erhalten wird, wobei aus diesen Schnittpunktsätzen derjenige Schnittpunktsatz ermittelt wird, welcher die bezüglich eines geeigneten Kriteriums minimale Variation der Schnittpunkte mit dem Drehwinkel zeigt, und wobei die Lage der Drehachse des Spiegels entsprechend dem zu diesem Schnittpunktsatz gehörigen Auftreffpunkt gewählt wird.

25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlung der einzelnen Schnittpunktsätze und die Auswahl des Schnittpunktsatzes mit der minimalen Variation rechnergestützt erfolgt.

26. Verfahren nach Anspruch 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehachse durch den Spiegelschwerpunkt verläuft.