DE19953237C2 - Mehrschichtige Planarspulenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Planarspulenanordnung - Google Patents
Mehrschichtige Planarspulenanordnung und Verfahren zur Herstellung einer PlanarspulenanordnungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Planarspulenanordnung mit wenigstens zwei, auf
einem dielektrischen, flexibel ausgebildeten Flächensubstrat nebeneinander, auf der
gleichen Oberseite des Flächensubstrates angeordneten, aus elektrisch leitendem
Material bestehenden Leiterstrukturen, die mittels Faltung des Flächensubstrates
vertikal übereinander liegend positionierbar und elektrisch miteinander verbunden
sind.
Planarspulenanordnungen der oben stehend genannten Gattung sind induktiv
wirkende elektrische Bauelemente, die insbesondere im Bereich der
Telekommunikation zum Zwecke der induktiven Kopplung als Übertragungsspulen
eingesetzt werden. Grundsätzlich aber finden Planarspulenanordnungen in
elektronischen Schaltkreisen überall dort Verwendung, wo wenig Platz zur Verfügung
steht und eine induktive Wirkung erforderlich ist, wie beispielsweise in
Armbanduhren, medizinischen Implantaten, intelligenten Scheckkarten, in der
Unterhaltungselektronik, in Abhöreinrichtungen, um nur einige weitere
Anwendungsgebiete zu nennen.
Neben an sich bekannten gewickelten Drahtspulen, die in feinwerktechnischer Weise
hergestellt werden und auf Grund ihres Aufbaus eine makroskopische
Mindestbaugröße nicht unterschreiten können, werden die vorstehend genannten
Planarspulen bevorzugt verwendet, die mittels fotolithografischer, Fräs- oder
Siebdruck-Verfahren hergestellt werden. Planarspulen zeichnen sich im Allgemeinen
durch ein elektrisch isolierendes Flächensubstrat aus, auf dem, vorzugsweise spiral-
oder kreisförmig angeordnet, eine Leiterstruktur aufgebracht ist, die je nach
Auslegung hinsichtlich ihres elektrischen Widerstandes sowie Induktivität wenig oder
mehr Spulenwicklungen mit entsprechend beliebig gewählten Leiterbahndicken
aufweist.
Ein bei Planarspulen bestehendes Problem ist jedoch ihre elektrische Kontaktierung,
zumal das innere Ende der, in einer einzigen Schicht auf das Flächensubstrat
aufgebrachten Leiterstruktur aus ihrem Spulenzentrum herauszuführen ist, ohne
dabei die vorhandenen Spulenwicklungen gegenseitig kurzzuschließen. So erfolgt
typischerweise die Herausführung des Leitungskontaktes aus dem Spulenzentrum
über eine zweite Metallisierungsebene, wobei die Leitungsstruktur auf dem
Flächensubstrat von einer elektrisch isolierenden Schicht überzogen wird, über die
wiederum die elektrische Kontaktierungsleitung, ausgehend von Spulenzentrum,
verläuft. Alternativ dazu ist es auch möglich, am Leitungskontakt im Spulenzentrum
einen elektrisch isolierten Draht anzulöten, um auf diese Weise die Kontaktierung der
Planarspule zu vervollständigen. Letzterer Fall ist jedoch häufig mit Fehlerquellen auf
Grund mangelnder Lötqualität verbunden, weshalb der Einsatz von Lötstellen bei
derartigen, zum Teil mikroskopisch kleinen elektronischen induktiven Bauelementen,
vermieden werden sollte.
Wie bereits vorstehend erwähnt, ist die Dimensionierung hinsichtlich der elektrischen
Anforderungen an Planarspulen frei zu wählen, wobei stets zwischen wenigen
Spulenwicklungen mit breiten Leiterbahnen, was mit einem geringen elektrischen
Widerstand und einer geringen Induktivität verbunden ist, und hohen
Wicklungszahlen mit schmalen Leiterbahnen, was mit einem hohen elektrischen
Widerstand und einer hohen Induktivität verbunden ist, abzuwägen.
Auch ist es möglich, durch die Verschaltung mehrerer Planarspulen die
Spulenparameter und hierbei insbesondere die Induktivität den jeweiligen
Anforderungen anzupassen.
So geht beispielsweise aus der DE 198 02 473 A1 eine Multilayer-Planarinduktivität
hervor, die eine plattenförmige Trägerstruktur aufweist, auf der beidseitig parallel
zueinander verlaufende und jeweils über Löt- bzw. Schweißpunkte elektrisch
miteinander verbundene Leitungsschichten vorgesehen sind. Auch hier bilden die
Lötstellen mögliche Fehlerquellen, auf Grund des vorstehend angesprochenen
Sachverhaltes bezüglich mangelnder Lötqualität und stellen zudem einen
zusätzlichen Herstellungsschritt dar, der sich nicht zuletzt auch in hohen
Herstellungskosten auswirkt.
Eine andere Art einer Planarspulenanordnung ist der japanischen Druckschrift JP-OS 6325948
zu entnehmen, bei der auf einem Polyamid-Foliensubstrat mehrere,
nebeneinander angeordnete spiralförmig ausgebildete Leiterstrukturen aufgebracht
sind, die nach entsprechender Faltung des Trägersubstrates übereinander liegend
angeordnet werden können, wobei sie im gefalteten Zustand des Trägersubstrates
eine Multilayer-Planarspulenanordnung ergeben. Die Faltung des Trägersubstrates
erfolgt derart, dass zwei benachbart auf dem Trägersubstrat aufgebrachte
Leiterstrukturen aufeinandergeklappt werden. Zur Vermeidung ungewollter
Kurzschlüsse sind die Leiterstrukturen mit wenigstens einer elektrischen
Isolationsschicht überdeckt, wobei die Notwendigkeit einer gegenseitigen
elektrischen Kontaktierung der aufeinandergeklappten elektrischen Leiterstrukturen
durch zusätzliche, zu den Leiterstrukturen in einer anderen Metallisierungsebene
vorgesehene Kontaktflächen erfolgt, die bei der Faltung in Deckung gebracht werden
müssen. Die bekannte Spulenanordnung weist daher wenigstens zwei
Metallisierungsebenen auf und es bedarf bei der Faltung einer genauen
Lagejustierung der in Kontakt zu bringenden Kontaktflächen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Planarspulenanordnung sowie ein
Verfahren zur Herstellung einer solchen anzugeben, wobei die Planarspule in ihrem
Aufbau vereinfacht und in ihren Herstellungskosten erheblich reduziert werden soll.
Insbesondere sollte es möglich sein, den Aufbau der Spule kompakter zu gestalten
und die Anzahl der in Kontakt zu bringenden Kontaktflächen auf ein Minimum zu
reduzieren, wodurch die Betriebssicherheit erheblich erhöht werden soll. Mit dem
neuen Herstellungsverfahren soll es insbesondere möglich sein, integrierte
Planarspulen mit hohen Wicklungszahlen zu erhalten bei geringen qualitativen
Anforderungen an das flexibel ausgebildete Flächensubstrat.
Die Lösung der der Erfindung zu Grunde liegenden Aufgabe ist im Anspruch 1
angegeben. Gegenstand des Anspruchs 12 ist ein erfindungsgemäßes Verfahren zur
Herstellung einer Planarspulenanordnung. Vorteilhafte Weiterbildungen der
Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der gesamten Beschreibung
und der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele zu entnehmen.
Erfindungsgemäß ist eine Planarspulenanordnung mit wenigstens zwei, auf einem
dielektrischen, flexibel ausgebildeten Flächensubstrat nebeneinander, auf der
gleichen Oberseite des Flächensubstrates angeordneten, aus elektrisch leitendem
Material bestehenden Leiterstrukturen, die mittels Faltung des Flächensubstrates
vertikal übereinander liegend positionierbar und elektrisch miteinander verbunden
sind, derart weitergebildet, dass das Flächensubstrat zwischen den nebeneinander
angeordneten Leiterstrukturen einen Übergangsbereich vorsieht, in dem das
Flächensubstrat derart gefaltet ist, dass die Leiterstrukturen durch eine einzige Lage
des Flächensubstrats voneinander getrennt sind.
Das Vorsehen eines Übergangbereiches zwischen den auf dem Flächensubstrat
aufgebrachten Leiterstrukturen, die vorzugsweise selbst über den Übergangsbereich
elektrisch miteinander verbunden sind, schafft die Möglichkeit einer Faltung des
Flächensubstrates derart, dass die Oberseite des Flächensubstrates, auf der eine
Leiterstruktur angeordnet ist, nach der Faltung von der Unterseite des
Flächensubstrates bedeckt ist und somit nicht, wie beim Stand der Technik der Fall,
in unmittelbarem Kontakt mit der Oberfläche einer anderen Leiterstruktur gebracht
wird. Mit Hilfe einer derartigen Faltungstechnik wäre es grundsätzlich möglich, auf
eine zusätzliche Isolationsschicht, die auf die gesamten Leiterstrukturen aufgebracht
werden müsste, zumindest in den Bereichen zu verzichten, in denen die
Leiterstrukturen auf dem Flächensubstrat aufgebracht sind. Lediglich die auf den
Übergangsbereichen aufgebrachten elektrischen Verbindungsstrukturen sind auf
Grund der in diesem Bereich vorzunehmenden Faltung auch an ihrer Oberseite
elektrisch zu isolieren.
Durch die erfindungsgemäße Faltung kommen die einzelnen Leiterstrukturen derart
übereinander liegend in Deckung, dass sie jeweils zum Flächensubstrat gleich
orientiert sind. Handelt es sich beispielsweise um spiralförmig ausgebildete
Leiterstrukturen in Form von Windungen, so bleibt der Wicklungssinn, der die einzeln
nebeneinander auf dem Flächensubstrat angeordneten Leiterstrukturwindungen
aufweist, auch in der übereinander gestapelten Anordnung erhalten. Dies vereinfacht
vor allem die Auslegung der gesamten Leiterstruktur vor ihrem Aufbringen auf dem
Flächensubstrat innerhalb eines einzigen Bearbeitungsschrittes.
Das Flächensubstrat, das wie im Stand der Technik aus einem folienartigen
Dielektrikum besteht, weist kreisringförmige Flächenstrukturen auf, auf denen jeweils
die spiralförmig ausgebildeten elektrischen Leiterstrukturen aufgebracht sind. Je
nach elektrischen Vorgabewerten können die Leiterstrukturen in ihrer Leitungsdicke
beliebig groß gewählt werden, ferner können nahezu beliebig gewählte Anzahlen von
Spiralwindungen, je nach gewünschter Induktivität, auf den einzelnen
Flächenbereichen des Flächensubstrates aufgebracht werden. Die einzelnen
kreisringförmig ausgebildeten Flächenbereiche sind jeweils über wenigstens einen
Übergangsbereich mit dem benachbarten kreisringförmigen Flächenbereich
verbunden, wobei der Übergangsbereich stegartig ausgebildet ist und eine
Stegbreite aufweist, die vorzugsweise kleiner gewählt ist als der Durchmesser der
einzelnen kreisringförmigen Flächenbereiche. Auf diese Weise kann eine zweimalige
Faltung entlang zweier, sich senkrecht schneidender Faltlinien erfolgen, sodass zwei
benachbarte kreisringförmige Flächenabschnitte deckungsgleich in Position gebracht
werden. Wie im Weiteren unter Bezugnahme auf die Ausführungsbeispiele in
Verbindung mit den Figuren gezeigt wird, können nahezu beliebig viele
kreisringförmige Flächenelemente über jeweilige Übergangsbereiche miteinander
verbunden werden, wodurch eine nahezu beliebige Steigerung der Induktivität von
Planarspulenanordnungen möglich wird.
Die auf dem Flächensubstrat abgeschiedenen Leiterstrukturen sind als ein einziger,
durchgehender Leiterzug ausgebildet, den es gilt, nach entsprechender Faltung der
einzelnen Spulenkörper elektrisch in einen Stromkreis zu integrieren. Hierzu ist das
Leiterzugende auf einem brückenartig ausgebildeten Abschnitt des
Flächensubstrates aufgebracht, der im gefalteten Zustand der
Planarspulenanordnung aus dem Spulenzentrum derart umgebogen werden kann,
dass das Leiterzugende mit einer Kontaktfläche, die an entsprechender Stelle auf
dem Flächensubstrat aufgebracht ist, in unmittelbaren Kontakt treten kann. Auf diese
Weise wird die Spulenanordnung ohne die Verwendung von einer Vielzahl von
Lötstellen oder die Verwendung elektrisch isolierter Leiterzüge elektrisch kontaktiert.
Die Brücke dient zugleich auch als mechanischer Verschluss, der die aufeinander
gefalteten Spulenkörper räumlich zusammenhält, solange sie nicht aus Gründen
gegenseitiger Fixierung verklebt oder vergossen sind.
Die Herstellung der erfindungsgemäßen Planarspule erfolgt mit einem einzigen
Metallisierungsschritt, der die, in einem Leiterzug, linienhaft ausgebildete
Leiterstruktur auf dem Flächensubstrat ganzheitlich abscheidet. Auf Grund des mit
Übergangsbereichen vorgesehenen Flächensubstrats wird dieses, vorzugsweise
durch zweimaliges Falten entlang zweier senkrecht zueinander verlaufender
Faltkanten, derart zusammengelegt, sodass die Bereiche, auf den die weitere
Strukturen aufgebracht sind, unmittelbar übereinander liegen, jeweils getrennt durch
eine Lage des Flächensubstrates.
Vorzugsweise wird der auf dem Flächensubstrat abgeschiedene Leiterzug an jenen
Stellen mit einer Isolationsschicht versehen, die den Übergangsbereichen
entsprechen, sowie den für die elektrische Kontaktierung vorgesehenen
Kontaktflächen entsprechen. Das Verfahren zeichnet sich durch seine Einfachheit
aus und unterscheidet sich im Wesentlichen von bekannten Verfahren dadurch, dass
nur ein einziger Metallisierungsschritt erforderlich ist, um eine Multilayer-
Planarspulenanordnung zu schaffen.
Die Erfindung wird nachstehend
anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die
Zeichnung exemplarisch beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 Draufsicht auf ein Flächensubstrat, auf das Leiterstrukturen
aufgebracht sind,
Fig. 2 Querschnitt durch das Flächensubstrat mit einer darauf
aufgebrachten Metallisierungsschicht, sowie Isolations
schicht,
Fig. 3a, b, c Darstellung der Faltungstechnik,
Fig. 4a, b, c, d Faltungsabfolge zur Herstellung einer aus
vier Spulenkörpern zusammengesetzten Multilayer-
Planarspulenanordnung sowie
Fig. 5 Seitenansicht einer mulitlayer Planarspule.
Fig. 1 zeigt die Draufsicht auf ein Flächensubstrat F, das aus einem dünnfilmartigen
Dielektrikum aufgebaut ist, beispielsweise ein Polymerfilm darstellt. Das
Flächensubstrat F setzt sich im Wesentlichen durch vier kreisringförmig ausgebildete
Bereiche 1, 2, 3 und 4 zusammen, die jeweils über Übergangsbereiche 5, 6 und 7
miteinander verbunden sind. Ferner sieht der kreisringförmig ausgebildete Bereich 1
des Flächensubstrats F einen etwas größer als die übrigen Übergangsbereiche
ausgebildeten stegartigen Fortsatz 8 vor, der wie im weiteren noch erklärt wird, als
Anschlussbereich dient. Auf die Oberfläche des Flächensubstrats F ist ein aus
elektrisch leitendem Material bestehender einstückig ausgebildeter Leiterzug 9
aufgebracht, der auf jedem kreisringförmig ausgebildeten Bereich 1, 2, 3, 4 des
Flächensubstrats F konzentrisch ausgebildete Leiterstrukturen annimmt, die jeweils
in den Übergangsbereichen 5, 6, 7 durch entsprechende Verbindungsleitungen
miteinander elektrisch verbunden sind. Durch die Formgebung der einzelnen
Leiterstrukturen auf den einzelnen kreisringförmig ausgebildeten Flächenbereichen
1, 2, 3 und 4 stellen diese einzelne Spulenkörper S1, S2, S3, S4 dar, die bei
entsprechendem Stromdurchfluss die Wirkung einzelner in Serie miteinander
verschalteter Induktivitäten zeigen. Um einen Stromdurchfluss durch den einstückig
ausgebildeten Leiterzug 9 zu Gewähr leisten, ist dem ringförmig ausgebildeten
Spulenkörper S1 ein, in das Innere des kreisringförmig ausgebildeten Bereichs 1
hineinreichender stegartiger Bereich 10 vorgesehen, auf dem das Leiterzugende 11
mit einer entsprechenden Kontaktfläche 12 endet. Relativ zum stegartig
ausgebildeten Bereich 10 und dessen Kontaktfläche 12 ist im Anschlussbereich 8
des Flächensubstrates F ein Anschlusskontakt 13 vorgesehen, auf den die
Kontaktfläche 12, wie es im weiteren noch gezeigt wird, durch entsprechendes
Umbiegen des stegartig ausgebildeten Bereichs 10 in innigen Kontakt gebracht wird.
Die, in den einzelnen Spulenkörpern S1 bis S4 aufgebrachten Leiterstrukturen
weisen konzentrische Kreisformen auf, deren geometrische Anordnung bei
Stromdurchflutung des einstückigen Leitungszuges einen, für jeden Spulenkörper S1
bis S4 gleich orientierten Stromdurchfluss ermöglichen.
Im weiteren wird gezeigt, in welcher Form die vier in einer Ebene angeordneten
Spulenkörper S1 bis S4 gefaltet werden, um in einem übereinander liegenden Stapel
den gleichsinnigen Stromdurchfluss beibehalten zu können.
In Fig. 2 ist eine Querschnittsdarstellung durch das Flächensubstrat F dargestellt, auf
dem die Leiterstruktur, verkörpert durch eine Metallisierungsebene M, aufgebracht
ist. Über der Metallisierungsebene ist aus Gründen elektrischer Isolation eine
dielektrische Schicht 14 aufgebracht, beispielsweise durch Aufbringen eines
Polymerlackes. Lediglich an der Stelle, an der ein elektrischer Kontakt erfolgen soll,
ist der Leiterzug 9 von der Isolationsschicht 14 unbedeckt. Dies ist beispielsweise der
Fall im Anschlussbereich 8 an der Stelle des Anschlusskontaktes 13 sowie im
stegartigen Bereich 10 im Bereich der Kontaktfläche 12.
Um nun das in Fig. 1 dargestellte und mit einem Leiterzug versehene
Flächensubstrat in eine Multilayer-Planarspulenanordnung überzuführen, sind die
einzelnen Spulenkörper S1 bis S4 im Bereich ihrer Übergangsbereiche 5, 6, 7
entsprechend zu falten, was aus den Fig. 3a bis c hervorgeht.
In Fig. 3a ist die Ausgangssituation dargestellt, bei der beispielsweise die aneinander
grenzenden Spulenkörper S3 und S4 mit dem Übergangsbereich 7 verbunden sind.
Entlang der strichliert eingezeichneten Faltlinie 14 wird der Spulenkörper S4 mit
seinem verbundenen Übergangsbereich 7 um den Spulenkörper S3 gefaltet. Das
nach der Faltung erhaltene Resultat ist in Fig. 3b dargestellt. Eine nachfolgende
zweite Faltung erfolgt entlang einer Faltlinie 15, die, wie der Fig. 3b zu entnehmen
ist, die ursprüngliche Faltlinie 14 senkrecht schneidet. In dem zweiten Faltvorgang
werden nun die Spulenkörper S3 und S4 in Deckung gebracht, was aus der
Darstellung gemäß Fig. 3c zu entnehmen ist. Die Faltrichtungen der beiden
Faltvorgänge sind aus den Fig. 3a und 3b anhand der eingetragenen Pfeile zu
entnehmen.
Unter Zugrundelegung der vorstehend genannten Falttechnik kann aus dem
planaren Flächensubstrat, das im Rahmen einer einzigen Metallisierung und einer
entsprechenden Oberflächenisolation in der beschriebenen Weise prozessiert ist,
eine Multilayer-Planaranordnung erhalten werden, deren einzelne Faltschritte aus
den Fig. 4a bis d zu entnehmen sind.
In Fig. 4a ist die Ausgangssituation dargestellt, in der das Flächensubstrat F in einer
Ebene mit den auf diesem befindlichen Leiterzug 9 versehen ist. Aus Gründen der
Vermeidung von Kurzschlüssen, die insbesondere in den Übergangsbereichen 5, 6,
7 durch die Faltung entstehen können, ist das gesamte Flächensubstrat nebst
Leiterzug 9 mit einer Isolationsschicht überzogen, mit Ausnahme der
entsprechenden Kontaktflächen 12 und 13. Der Spulenkörper S4 wird in einem
ersten Faltvorgang entlang der Faltlinie 14 relativ zum Spulenkörper S3 gefaltet.
Nach der ersten Faltung stellt sich die Anordnung, wie in Fig. 4b dargestellt, dar.
Nach einem weiteren Faltungsschritt entlang der Faltlinie 15 gemäß Fig. 4b gelangt
der Spulenkörper S4 in Deckung zum Spulenkörper S3. Zu beachten hierbei ist, dass
beide Spulenkörper nach oben gerichtet sind, wodurch ihr Wicklungssinn sowie die
Stromflussrichtung erhalten bleibt. Hierdurch ist Gewähr leistet, dass sich die
induktiven Wirkungen beider Spulenkörper S3 und S4 addieren. In entsprechender
Weise werden beide Spulenkörper S3 und S4 relativ zum Spulenkörper S2 gefaltet,
bis diese in Deckung zum Spulenkörper S2 kommen. Die gleiche Faltungsweise wird
dann mit den Spulenkörpern S2, S3 und S4 relativ zum Spulenkörper S1
durchgeführt, sodass schließlich eine kompakte, übereinandergestapelte
Planarspulenanordnung erhalten wird, wie sie in Fig. 4d, linke Darstellung, gezeigt
ist.
Nochmals sei darauf hingewiesen, dass alle Spulenkörper ihren Wicklungssinn nach
der Faltung beibehalten, sodass eine Stromdurchflutung der Planarspulenanordnung
zu einer Addition der induktiven Wirkungen jeder einzelnen Spule führt. Um nun eine
elektrische Kontaktierung zwischen dem Leiterzugende 11 mit dem auf dem
Anschlussbereich 8 vorgesehenen Anschlusskontaktfläche 13 zu erhalten, wird der
stegartig ausgebildete Bereich 10 aus dem Spulenzentrum über die übereinander
liegenden Spulenkörper S1 bis S4 gelegt und mit dem Anschlussbereich 13 in innige
Verbindung gebracht, was beispielsweise durch eine Lötung oder durch eine
ähnliche Fügeverbindung bewerkstelligt werden kann. Dies zeigt Fig. 4d, rechte
Darstellung, in der der stegartige Bereich 10 alle Spulenkörper umschließt und somit
auch zu einer mechanischen innigen Verbindung der einzelnen Spulenlagen führt.
Um die Multilayer-Planarspulenanordnung nachfolgend mechanisch zu stabilisieren
und gegebenenfalls gegen äußere Einflüsse zu sichern, kann der Verbund aus den
vier im Auführungsbeispiel dargestellten Einzelspulenkörpern verklebt oder mit einem
entsprechenden Harz versiegelt werden.
In Fig. 5 ist hierzu ein Querschnitt durch die zusammengefaltete Multilayer-
Planarspulenanordnung dargestellt, aus der nochmals die Wirkung und Anordnung
des stegartigen Bereiches 10 zu entnehmen ist, der aus dem Spuleninneren
emporragt und die übereinander liegenden Spulenkörper S1 bis S4
zusammenschließt. Die kappenartig eingetragenen Bereiche stellen die gefalteten
Übergangsbereiche 5, 6, 7 dar.
Mit Hilfe der erfindungsgemäß ausgebildeten Multilayer-Planarspulenanordnung sind
nun verschiedene Ausführungsformen denkbar:
- 1. Multilayer-Planarspulenanordnung mit geringem elektrischen Widerstand: Fügt man beispielsweise fünf Spulenkörper mit jeweils nur einer Wicklung pro Spulenkörper zusammen, wobei die verwendete Leiterbahnstruktur verhältnismäßig breit ausgebildet ist, so ergibt sich eine Spule mit fünf Wicklungen und einem sehr niedrigen elektrischen Widerstand.
- 2. Multilayer-Planarspulenanordnung mit hoher Induktivität: Kombiniert man beispielsweise zehn Spulenkörper mit jeweils 20 Wicklungen, so ergibt sich eine Spule mit 200 Wicklungen, die, unter Zugrundelegung typischer Dimensionierungen von verwendeten Flächensubstratmaterialien und Leiterstrukturen, eine Gesamtbauhöhe von nur 100 µm aufweist. Hierbei geht man davon aus, dass die gesamte Substratdicke etwa 10 µm beträgt.
- 3. Multilayer-Planarspulenanordnung mit geringer Eigenkapazität: Durch die Wahl von unterschiedlichen Wicklungsdurchmessern für jeden einzelnen Spulenkörper lässt sich die Eigenkapazität der Spule dadurch verringern bzw. einstellen, dass keine Wicklung deckungsgleich über der anderen liegt.
- 4. Multilayer-Planarspulenanordnung die elektrisch abgeschirmt ist: Derartige Spulen weisen einen komplizierten Schichtaufbau auf, der beispielsweise aus vier Isolatorschichten besteht, in denen drei Metallisierungsschichten eingebracht sind. Mit diesen zum Teil sehr komplexen Ausgangsmaterialien ist eine Realisierung von elektrisch abgeschirmten Multilayer-Planarspulenanordnungen möglich, womit eine elektrische Entkpopplung vom Umfeld realisiert werden kann. Derartige Spulenwechsel wirken lediglich mit magnetischen Feldern.
- 5. Multilayer-Planarspulen mit einem Innendurchmesser von 0: Im Unterschied zu der in den Fig. 1 bis 5 gezeigten Ausführungsform ist ein Spulenkörper 1 denkbar, der einen Anschlusskontakt im Spuleninneren aufweist. Die Brücke, die die elektrische Verbindung von außerhalb der Spule zum Inneren des Spulenkörpers herstellt, ist in diesem Fall im Anschlussbereich der Ausgangsstruktur realisiert. Die Spulenkörper 2 ff. werden dabei derart gefaltet, dass sie sich auf der Unterseite des Spulenkörpers 1 befinden. Auf diese Weise kann der gesamte kreisförmige Bereich innerhalb des Flächensubstrates mit Leitungswicklungen gefüllt werden, was mit einer Erhöhung der Induktivität verbunden ist.
F Flächensubstrat
1
,
2
,
3
,
4
kreisringförmig ausgebildeter Bereich
5
,
6
,
7
Übergangsbereich
8
stegartiger Fortsatz, Anschlussbereich
9
Leiterzug
S1, S2, S3, S4 Spulenkörper
S1, S2, S3, S4 Spulenkörper
10
stegartiger Bereich
11
Leiterzugende
12
Kontaktfläche
13
Anschlusskontaktfläche
14
,
15
Faltungslinie
Claims (17)
1. Mehrschichtige Planarspulenanordnung mit wenigstens zwei auf einem
dielektrischen, flexibel ausgebildeten Flächensubstrat nebeneinander, auf der
gleichen Oberseite des Flächensubstrates angeordneten, aus elektrisch leitendem
Material bestehenden Leiterstrukturen, die mittels Faltung des Flächensubstrates
vertikal übereinander liegend positionierbar und elektrisch miteinander verbunden
sind,
dadurch gekennzeichnet, dass das Flächensubstrat zwischen den nebeneinander
angeordneten Leiterstrukturen einen Übergangsbereich vorsieht, in dem das
Flächensubstrat derart gefaltet ist, dass die Leiterstrukturen durch eine einzige Lage
des Flächensubstrats voneinander getrennt sind.
2. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass der Übergangsbereich stegartig ausgebildet ist und
eine Stegbreite aufweist, die kleiner oder gleich den Dimensionen der Bereiche des
Flächensubstrates ist, auf denen jeweils die Leiterstrukturen angeordnet sind.
3. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen über elektrische
Verbindungsleitungen verbunden sind, die über den Übergangsbereich verlaufen und
knickbar sind.
4. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, dass die Faltung innerhalb des Übergangsbereiches
entlang zweier Faltlinien erfolgt, die sich jeweils senkrecht schneiden.
5. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen im gefalteten Zustand relativ zur
Oberfläche des Flächensubstrates gleich orientiert sind.
6. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen einstückig, d. h. in Form eines
durchgängigen Leiterzuges, auf dem Flächensubstrat aufgebracht sind.
7. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, dass der Leiterzug wenigstens ein Leitungsende aufweist,
das zur Kontaktierung mit einem Anschlussbereich innerhalb der Leiterstrukturen
verbindbar ist.
8. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, dass das Leitungsende aus der Ebene des
Flächensubstrates verformbar ist, sodass eine unmittelbare elektrische Kontaktierung
zwischen Leitungsende und dem Anschlussbereich innerhalb der Leiterstruktur
erfolgt.
9. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, dass das Flächensubstrat kreisringförmig ausgebildete
Bereiche aufweist.
10. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen auf den kreisringförmig
ausgebildeten Bereichen konzentrisch kreisförmig angeordnet sind und sich als ein
einziger zusammenhängender Leiterzug auf dem Flächensubstrat erstrecken.
11. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, dass einer von den kreisringförmig ausgebildeten Bereichen einen Anschlussbereich vorsieht, auf den eine elektrische Zu- und Ableitung für den Leiterzug vorgesehen sind, und
dass der kreisringförmig ausgebildete Bereich einen stegartig ausgebildeten, sich in das Innere der Kreisringform erstreckenden Verschluss aufweist, der einen ersten Kontaktbereich vorsieht, an dem ein Ende des Leiterzuges endet, und
dass im Anschlussbereich ein zweiter Kontaktbereich vorgesehen ist, mit dem, im gefalteten Zustand, der erste Kontaktbereich, durch Umschließen der vertikal übereinander liegenden Leiterstrukturen mit dem stegartig ausgebildeten Verschluss, unmittelbar kontaktiert ist.
dadurch gekennzeichnet, dass einer von den kreisringförmig ausgebildeten Bereichen einen Anschlussbereich vorsieht, auf den eine elektrische Zu- und Ableitung für den Leiterzug vorgesehen sind, und
dass der kreisringförmig ausgebildete Bereich einen stegartig ausgebildeten, sich in das Innere der Kreisringform erstreckenden Verschluss aufweist, der einen ersten Kontaktbereich vorsieht, an dem ein Ende des Leiterzuges endet, und
dass im Anschlussbereich ein zweiter Kontaktbereich vorgesehen ist, mit dem, im gefalteten Zustand, der erste Kontaktbereich, durch Umschließen der vertikal übereinander liegenden Leiterstrukturen mit dem stegartig ausgebildeten Verschluss, unmittelbar kontaktiert ist.
12. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen mit Ausnahme des ersten und
zweiten Kontaktbereiches mit einer elektrischen Isolationsschicht überzogen sind.
13. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen aus einer einzigen, auf dem
Flächensubstrat abgeschiedenen Metallisierungsschicht gebildet sind.
14. Mehrschichtige Planarspulenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, dass die auf dem Flächensubstrat aufgebrachten
Leiterstrukturen, jede für sich einen Spulenkörper darstellen, mit wenigstens einer
Spulenwicklung.
15. Verfahren zur Herstellung einer mehrschichtigen Planarspulenanordnung nach
einem der Ansprüche 1 bis 14,
gekennzeichnet durch die Kombination folgender Verfahrensschritte:
- - Aufbringen der linienhaft ausgebildeten Leiterstrukturen auf dem Flächensubstrat,
- - Faltung des Flächensubstrates derart, dass die Leiterstrukturen vertikal übereinander angeordnet werden, wobei das Flächensubstrat zwei vertikal übereinander liegende Leiterstrukturen jeweils einlagig voneinander beabstandet.
16. Verfahren nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterstrukturen in einem einzigen
Metallisierungsschritt auf dem Flächensubstrat aufgebracht werden.
17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16,
dadurch gekennzeichnet, dass auf das, mit den elektrischen Leiterstrukturen
versehene Flächensubstrat eine Isolationsschicht aufgebracht wird, ausschließlich
jener Bereiche, die für eine elektrische Kontaktierung der Leiterstrukturen erforderlich
sind.
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