DE19946343B4 - Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements Download PDFInfo
- Publication number
- DE19946343B4 DE19946343B4 DE1999146343 DE19946343A DE19946343B4 DE 19946343 B4 DE19946343 B4 DE 19946343B4 DE 1999146343 DE1999146343 DE 1999146343 DE 19946343 A DE19946343 A DE 19946343A DE 19946343 B4 DE19946343 B4 DE 19946343B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- electrical
- rolling
- resistance heater
- conductive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
- C04B35/111—Fine ceramics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B18/00—Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/486—Fine ceramics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
- H05B3/26—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base
- H05B3/265—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base the insulating base being an inorganic material, e.g. ceramic
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
- H05B3/28—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor embedded in insulating material
- H05B3/283—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor embedded in insulating material the insulating material being an inorganic material, e.g. ceramic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/343—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/345—Refractory metal oxides
- C04B2237/348—Zirconia, hafnia, zirconates or hafnates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/68—Forming laminates or joining articles wherein at least one substrate contains at least two different parts of macro-size, e.g. one ceramic substrate layer containing an embedded conductor or electrode
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
Verfahren
zur Herstellung eines planaren Sensorelements zur Bestimmung des
Sauerstoffgehaltes in Abgasen von Verbrennungsmotoren, das ein Schichtsystem
umfasst, bei dem auf eine keramische Folie eine elektrische Isolationsschicht
und auf die elektrische Isolationsschicht eine elektrische Leitschicht
durch Aufdrucken aufgebracht wird und die bedruckte keramische Folie mit
weiteren keramischen Folien zusammenlaminiert und anschließend gesintert
wird, wobei die elektrische Leitschicht eine elektrische Widerstandsschicht
eines Widerstandsheizers (34, 35) ist, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische
Leitschicht (33) vor dem Zusammenlaminieren durch Walzen in die
elektrische Isolationsschicht (32) eingedrückt wird.
Description
- Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
- Stand der Technik
- Keramische Schichtsysteme zur Herstellung von beispielsweise Gassensoren, bestehend aus mehreren keramischen Folien, die mit Druckschichten bedruckt sind und die unter Aufbringung eines Drucks zusammenlaminiert und anschließend gesintert werden, sind allgemein bekannt. Bei den genannten Gassensoren bestehen die keramische Folien beispielsweise aus mit Y2O3-stabilisiertem ZrO2. In das Schichtsystem des Gassensors ist dabei, neben den Elektroden, ein Widerstandsheizer integriert, der zur elektrischen Isolation zwischen zwei elektrischen Isolationsschichten, aus beispielsweise Al2O3, eingebettet ist. Die eine der beiden Isolationsschichten wird zunächst auf die ZrO2-Folie aufgedruckt. Auf die aufgedruckte Folie wird der Widerstandsheizer mit dem Heizmäander und den Heizerzuleitungen ebenfalls in Drucktechnik aufgebracht. Schließlich wird über den Widerstandsheizer eine weitere Isolationsschicht, ebenfalls durch Aufdrucken, aufgetragen.
- Bei den derart in die Isolationsschichten eingebetteten Widerstandsheizern kommt es zu Streuungen des elektrischen Widerstandes, was Einfluß auf die geforderte Heizleistung hat. Darüber hinaus treten teilweise Leckströme zwischen dem Widerstandsheizer und der angrenzenden Elektrode auf.
- Aus der DE-OS 41 00 108 ist ein Verfahren zum Verbinden von ungesinterten Keramikfolien bekannt, bei dem auf die eine Keramikfolie eine Hilfsschicht und auf die andere Keramikfolie ein Kleber aufgebracht wird. Die derart behandelten Flächen der beiden Folien werden unter Druck verklebt, wobei der Druck dabei durch Walzen aufgebracht wird.
- Aus der
DE 197 10 187 A1 ist weiterhin ein Verfahren zum Herstellen eines Keramikmehrschichtsubstrats, beispielsweise eines IC-Chips, bekannt, bei dem ein Leitermuster zwischen Rohlagen angeordnet wird und das Leitermuster und die Rohlagen durch Pressen miteinander verbunden werden. Hierbei wird das Leitermuster in die Rohlagen, die aus einem elektrisch isolierenden Material bestehen können, eingedrückt. Zum Pressen wird eine Pressvorrichtung mit ebenen Pressflächen verwendet. - Die
DE 41 33 712 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundwerkstoffs, bei der eine Metallfolie durch einen Walzprozess zwischen zwei keramischen Schichten angeordnet wird. - Der
US 4,933,038 ist zu entnehmen, einen Widerstandsheizer in Form eines Drahtes zwischen zwei isolierende Folien durch einen Walzvorgang anzuordnen. - Aus der
DE 197 00 700 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems bekannt, bei dem als elektrische Leitschicht eine elektrische Widerstandsschicht eines Widerstandsheizers durch Siebdruck aufgebracht wird. - Vorteile der Erfindung
- Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, daß durch das Einwalzen des Widerstandsheizers in die Isolationsschicht die Streuung des elektrischen Widerstands des Widerstandsheizers verringert wird. Darüber hinaus konnte festgestellt werden, daß dadurch bei Gassensoren mit einem integrierten Widerstandsheizer das Auftreten von Leckströmen reduziert werden konnte. Außerdem bedeutet das Walzen des Widerstandsheizers einen Fertigungsschritt, der nur eine geringe Prozeßzeit fordert.
- Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens möglich. Besonders gute Ergebnisse wurden erzielt, wenn beim Walzen das Walz-Werkzeug und/oder die mit der Isolationsschicht und der Leitschicht versehene Folie erwärmt wird. Durch die Verwendung polierter Walzen werden besonders glatte Oberflächen erzielt. Es hat sich gezeigt, daß bei einer besonders glatt gewalzten Oberfläche die Neigung zu Leckströmen am geringsten ist. Das gleiche gilt für die Streuung des Widerstandswertes, die bei einer glatten Oberfläche ebenfalls geringer ist.
- Zeichnung
- Die Erfindung wird anhand der Zeichnung und der nachfolgenden Ausführungsbeispiele näher erläutert.
- Es zeigen:
-
1 eine Explosionsdarstellung eines planaren Gassensors, -
2 eine schematische Vorrichtung zum Walzen von keramischen Folien und -
3 eine Ausführungsform einer Vorrichtung zum beidseitigen Walzen von keramischen Folien. - Ausführungsbeispiele
- Die
1 zeigt einen Schichtaufbau eines planaren Sensorelements eines Gassensors zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Abgasen von Verbrennungsmaschinen. - Der Schichtaufbau weist eine erste Festelektrolyt-Folie
11 , eine zweite Festelektrolyt-Folie21 und eine dritte Festelektrolytfolie31 auf, wobei die Festelektrolyt-Folien11 ,21 ,31 jeweils aus einem sauerstoffionenleitenden Material, wie beipielsweise mit Y2O3-stabilisiertem ZrO2 bestehen. Auf die Folie11 wird eine äußere Elektrode12 mit einer Leiterbahn13 und einem Anschlußkontakt14 aufgedruckt. Auf der gegenüberliegenden Seite der Folie11 befindet sich eine innere Elektrode15 mit einer weiteren Leiterbahn16 und einer nicht näher dargestellten Durchkontaktierung, die durch die Folie11 zu einem weiteren Anschlußkontakt17 führt. Die innere Elektrode15 wird ebenfalls durch Aufdrucken auf die Folie11 aufgebracht. - Die zweite Festelektrolyt-Folie
21 weist einen Referenzgaskanal22 auf, der an einem Ende mit der Umgebungsluft in Verbindung steht. Die innere Elektrode15 dient als Referenzelektrode und zeigt in den Referenzgaskanal22 hinein. - Auf die dritte Festelektrolyt-Folie
31 , die auch als Heizerfolie bezeichnet wird, wird eine erste Isolationsschicht32 aus beispielsweise Al2O3 aufgedruckt. Auf der ersten Isolationsschicht32 ist der Widerstandsheizer33 ausgebildet, der einen mäanderförmigen Heizleiter34 und Zuleitungen35 aufweist. Der Widerstandheizer33 wird ebenfalls durch Aufdrucken auf die erste Isolationschicht32 aufgetragen. Die Zuleitungen35 sind über nicht näher dargestellte Durchkontaktierungen nach außen zu auf der dritten Folie31 angeordneten Kontaktanschlüssen36 geführt. - Auf den Widerstandsheizer
33 wird eine zweite Isolationsschicht37 ebenfalls durch Aufdrucke von beispielsweise Al2O3 aufgebracht. Die Isolationsschichten32 ,37 können auch aus mehreren Schichten bestehen, die dann durch mehrere Druckschritte erzeugt werden. Das gleiche gilt auch für den Widerstandsheizer33 , der durch einen oder mehrere Druckschritte, je nach Schichtdicke, hergestellt werden kann. - Vor dem Auftragen der zweiten Isolationsschicht
37 wird die mit der ersten Isolationsschicht32 und dem Widerstandsheizer33 bedruckte dritte Festelektrolyt-Folie31 einem Verfahrensschritt unterzogen, bei dem der Widerstandsheizer33 in die Isolationsschicht32 eingewalzt wird. Das Einwalzen des Widerstandsheizer33 in die darunter liegende Isolationsschicht32 erfolgt beispielsweise bei Temperaturen von ca. 80° C. Dazu ist eine nicht dargestellte Heizvorrichtung vorgesehen, die die Walzen und/oder die Folie31 auf die gewünschte Temperatur vorwärmt. - Zum Einwalzen des Widerstandsheizers
33 ist gemäß2 eine Vorrichtung vorgesehen, bei der ein Schichtsystem30 , das nicht näher dargestellt die mit der Isolationsschicht32 und dem Widerstandsheizer33 bedruckte dritte Festelektrolyt-Folie31 aufweist, auf einen eine Längsbewegung ausführbaren Tisch aufgelegt wird. Diese Anordnung wird dann unter einem Walz-Werkzeug aus beispielsweise drei Walzen42 hindurchbewegt. Aufgrund der Andruckkraft F der drei Walzen42 wird der Widerstandsheizer33 in die Isolationsschicht32 eingewalzt, so daß der Widerstandsheizer33 zumindest teilweise in der Isolationsschicht32 vergraben wird. - Das Einwalzen kann derart geschehen, daß der Tisch in Richtung der Längsausdehnung der Festelektrolyt-Folie
31 eine Hin- und Herbewegung gemäß den angegebenen Pfeilrichtungen ausführt, wobei dann die Walzen42 beispielsweise entsprechend der Bewegung des Tisches ihre Drehrichtung ändern. Zweckmäßig ist dabei, daß die Drehrichtung der Walzen42 in die jeweilige Richtung der Vorschubbewegung v des Tisches41 weist. - Eine weitere Ausführungsform einer Vorrichtung zum Walzen der Festelektrolyt-Folie
31 geht aus3 hervor, dort wird die mit der Isolationsschicht32 und dem Widerstandsheizer33 bedruckte Festelektrolyt-Folie30 durch zwei in gleiche Richtung drehende Walzen42 mit der angegebenen Vorschubrichtung v' geführt. Die Walzen42 können dabei auch gekreuzt sein. - Das aus der dritten Folie
31 sowie den Isolationsschichten32 ,37 und dem zwischen den Isolationsschichten32 ,37 eingebetteten Widerstandsheizer33 gebildete Schichtsystem30 wird dann mit den beiden weiteren Folien11 und21 zusammenlaminiert und anschließend gesintert.
Claims (3)
- Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Abgasen von Verbrennungsmotoren, das ein Schichtsystem umfasst, bei dem auf eine keramische Folie eine elektrische Isolationsschicht und auf die elektrische Isolationsschicht eine elektrische Leitschicht durch Aufdrucken aufgebracht wird und die bedruckte keramische Folie mit weiteren keramischen Folien zusammenlaminiert und anschließend gesintert wird, wobei die elektrische Leitschicht eine elektrische Widerstandsschicht eines Widerstandsheizers (
34 ,35 ) ist, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Leitschicht (33 ) vor dem Zusammenlaminieren durch Walzen in die elektrische Isolationsschicht (32 ) eingedrückt wird. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der elektrischen Leitschicht (
33 ) und der elektrischen Isolationsschicht (32 ) versehene Folie und/oder das Walz-Werkzeug beim Walzen erwärmt wird. - Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur zur Erwärmung ca. 80° C beträgt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999146343 DE19946343B4 (de) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999146343 DE19946343B4 (de) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19946343A1 DE19946343A1 (de) | 2001-04-05 |
DE19946343B4 true DE19946343B4 (de) | 2007-03-29 |
Family
ID=7923511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1999146343 Expired - Fee Related DE19946343B4 (de) | 1999-09-28 | 1999-09-28 | Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19946343B4 (de) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011082175A1 (de) * | 2011-09-06 | 2013-03-07 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Gases in einem Messgasraum |
DE102016214750A1 (de) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung eines keramischen Isolators |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4933038A (en) * | 1988-10-06 | 1990-06-12 | Liu Dean S | Method and apparatus for making electrical heater pad |
DE4100108C1 (en) * | 1991-01-04 | 1992-04-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | Joining non-sintered ceramic film to further laminate - involves applying layer contg. solvent for binder of ceramic film to surface to be connected |
DE4133712A1 (de) * | 1991-10-11 | 1993-04-15 | Dyko Industriekeramik Gmbh | Verfahren zur herstellung eines verbundwerkstoffs aus mindestens zwei schichten |
GB2282349A (en) * | 1993-08-05 | 1995-04-05 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing multilayer ceramic electronic components |
DE19710187A1 (de) * | 1996-03-13 | 1997-09-18 | Sumitomo Metal Smi Electronics | Verfahren zum Herstellen eines Keramikmehrschichtsubstrats |
DE19700700A1 (de) * | 1997-01-13 | 1998-07-16 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
-
1999
- 1999-09-28 DE DE1999146343 patent/DE19946343B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4933038A (en) * | 1988-10-06 | 1990-06-12 | Liu Dean S | Method and apparatus for making electrical heater pad |
DE4100108C1 (en) * | 1991-01-04 | 1992-04-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | Joining non-sintered ceramic film to further laminate - involves applying layer contg. solvent for binder of ceramic film to surface to be connected |
DE4133712A1 (de) * | 1991-10-11 | 1993-04-15 | Dyko Industriekeramik Gmbh | Verfahren zur herstellung eines verbundwerkstoffs aus mindestens zwei schichten |
GB2282349A (en) * | 1993-08-05 | 1995-04-05 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing multilayer ceramic electronic components |
DE19710187A1 (de) * | 1996-03-13 | 1997-09-18 | Sumitomo Metal Smi Electronics | Verfahren zum Herstellen eines Keramikmehrschichtsubstrats |
DE19700700A1 (de) * | 1997-01-13 | 1998-07-16 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19946343A1 (de) | 2001-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2038624B1 (de) | Elektrisches bauelement mit einem sensorelement und verfahren zur verkapselung eines sensorelements | |
EP0801740B1 (de) | Elektrochemischer messfühler und verfahren zur herstellung eines elektrochemischen messfühlers | |
DE102006014892A1 (de) | Gassensorelement, Verfahren zu seiner Herstellung, und Gassensor | |
DE102011052365B4 (de) | Mikrostrukturierter Heißprägestempel | |
DE102019001574A1 (de) | Gassensor | |
DE19946343B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines planaren Sensorelements | |
DE102009002118A1 (de) | Sensorelement für einen Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE10122271B4 (de) | Sensorelemente | |
EP1438881B1 (de) | Grüner keramischer einsatzkörper, keramischer einsatzkörper, keramischer grünkörper oder grünkörperverbund und damit hergestellter keramischer schichtverbund | |
EP1046319A1 (de) | Keramisches schichtsystem und verfahren zur herstellung einer keramischen heizeinrichtung | |
DE102006043092A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements | |
EP1169635B1 (de) | Elektrochemischer messfühler und verfahren zu dessen herstellung | |
DE10249466B4 (de) | Sensorelement | |
DE10210974B4 (de) | Sensorelement | |
DE112020001640T5 (de) | Sensorelement eines Gassensors | |
DE112020001680T5 (de) | Sensorelement eines Gassensors | |
DE112020001614T5 (de) | Sensorelement für Gassensor | |
DE102008001928B4 (de) | Sensorelement für einen Gassensor und Verfahren zur Herstellung einer Durchkontaktierung in einem Sensorkörper eines Sensorelements | |
DE102015222108A1 (de) | Sensorelement und Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements | |
DE19961365A1 (de) | Laminierwalze für Laminierpressen sowie Verfahren zur Herstellung von Laminierwalzen | |
DE102018206961A1 (de) | Sensorelement mit Durchkontaktierloch | |
WO2003060502A1 (de) | Sensorelement | |
DE102020007501A1 (de) | Sensorelement für Gassensor | |
DE102020133783A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Gütebestimmung einer Sinterpastenschicht | |
WO2004072633A1 (de) | Festelektrolyt sensorelement mit hohlelement zur aufname der heizersausdeinung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G01N 27409 |
|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20110401 |