DE19941399A1 - Reinigung von Stencilmasken mit Hilfe einer durch Maskenöffnungen hindurchtretenden Gasströmung - Google Patents
Reinigung von Stencilmasken mit Hilfe einer durch Maskenöffnungen hindurchtretenden GasströmungInfo
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Abstract
Beschrieben wird ein Verfahren zum Reinigen einer mit Mikropartikeln verunreinigten lithographischen Maske, die eine Membran mit strukturbildenden Membranöffnungen aufweist, für die Fertigung von vorzugsweise Halbleiterstrukturen. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß eine Strömung eines Fluids durch die Membran hindurch in der Weise hervorgerufen wird, daß auf einer Seite der Membran ein unter einem einheitlichen Druck stehender Vorrat eines Fluids bereitgestellt wird und dabei die Membran ganzflächig dem Fluid ausgesetzt wird, so daß das Fluid durch die strukturbildenden Membranöffnungen hindurchtritt und auf der anderen Seite der Membran aus dieser austritt und dabei die Mikropartikel zumindest aus den strukturbildenden Membranöffnungen entfernt. Durch dieses Verfahren wird eine für Stencilmasken äußerst effiziente Reinigungsmethode bereitgestellt.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen mit einer
mit Mikropartikeln verunreinigten lithographischen Maske, die
eine Membran mit strukturbildenden Membranöffnungen aufweist,
für die Fertigung von vorzugsweise Halbleiterstrukturen.
Im Zuge der fortschreitenden Miniaturisierung von Halbleiter
schaltungen wird an Stelle optischer Belichtungsverfahren zu
nehmend die Ionenprojektionslithographie angewandt, bei der
Elektronen oder ionisierte Atome durch sogenannte Stencilmas
ken hindurch auf eine ionenempfindliche Schicht projiziert
werden. Stencilmasken bestehen im wesentlichen aus einer
durch eine rückseitige Bulk-Ätzung erzeugten, wenige µm dic
ken Halbleitermembran, die mit zahlreichen Öffnungen durch
setzt ist. Im Bereich dieser Membranöffnungen ist die Maske
für auftreffende Ionen durchlässig; die Öffnungen bilden so
mit die abzubildende Halbleiterstruktur.
Stencilmasken mit den strukturbilden Membranöffnungen sind im
Vergleich zu Masken mit glatten Oberflächen oder allenfalls
flachen Ausnehmungen an ihrer Oberfläche schwieriger zu rei
nigen. Gerade innerhalb der Membranöffnungen, wo Mikroparti
kel am schwierigsten zu erreichen sind oder sich während üb
licher Reinigungsverfahren leicht ablagern, ist die Wirkung
der Partikel am schädlichsten, weil dort die zu projizieren
den Ionen ausgeblendet oder gestreut werden.
Neben herkömmlichen Reinigungstechniken wie mechanischem Mi
schen bzw. Bürsten, Ätzen oder der Anwendung von Ultraschall
werden neuerdings auch Laserstrahlen zum Entfernen von Mikro
partikeln von Stencilmasken eingesetzt. Diese Technik ist je
doch aufwendig und erfordert ebenso wie die zuvor genannten
Reinigungsmethoden einen eigenen Verfahrensschritt, der Zeit-
und Kostenaufwand in der Halbleiterfertigung erhöht. Vor al
lem jedoch ist die Reinigungswirkung auf der Oberfläche der
Membran meist am größten, nicht aber innerhalb der Mem
branöffnungen, wo Mikropartikel zu allererst zu Abbildungs
fehlern führen.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Ver
fahren zum Reinigen lithographischer Masken bereitzustellen,
das Verunreinigungen wie beispielsweise Mikropartikel bevor
zugt aus den strukturbildenden Membranöffnungen entfernt und
daher die Membran besonders wirkungsvoll reinigt. Das Verfah
ren soll ferner kostengünstig durchzuführen sein und mög
lichst im Rahmen eines bestehenden Verfahrensschrittes ohne
großen apparativen Aufwand durchführbar sein.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine
Strömung eines Fluids durch die Membran hindurch in der Weise
hervorgerufen wird, daß auf einer Seite der Membran ein unter
einem einheitlichen Druck stehender Vorrat eines Fluids be
reitgestellt wird und dabei die Membran ganzflächig dem Fluid
ausgesetzt wird, so daß das Fluid durch die strukturbildenden
Membranöffnungen hindurchtritt und auf der anderen Seite der
Membran aus dieser austritt und dabei die Mikropartikel zu
mindest aus den strukturbildenden Membranöffnungen entfernt.
Erfindungsgemäß wird das Fluid auf einer Seite der Membran
eingeschlossen, kann aber durch die Strukturöffnungen in der
Membran entweichen und dabei in den Membranöffnungen oder in
deren Nähe befindliche Mikropartikel mitreißen. Auf der ande
ren Seite der Membran wird das Fluid abgeführt, während eine
entsprechende Menge des Fluids dem Vorrat auf der ersten Sei
te der Membran zugeführt wird. Durch den von selbst einset
zenden Konzentrationsausgleich von Gasen (bzw. den instanta
nen Druckausgleich von Flüssigkeiten) wird eine gleichmäßige
und kontrollierte Strömung des Fluids durch die Öffnungen der
Membran erzeugt, die die Partikel sehr effizient aus den
strukturbildenden Öffnungen beseitigt. Die Stärke der Strö
mung des Fluids durch die Membran wird durch die Differenz
zwischen den Drücken auf beiden Seiten der Membran gesteuert.
Durch die Wahl der Absolutdrücke läßt sich das erfindungsge
mäße Verfahren leicht mit bestehenden Verfahrensschritten
kombinieren; insbesondere kann das Verfahren in einer Vakuum
schleuse durchgeführt werden, indem die Differenz zwischen
Atmosphärendruck und einem kleineren Druck oder Vakuum zum
Reinigen der Membran genutzt wird.
Eine bevorzugte Ausführungsform sieht vor, daß die Strömung
des Fluids dadurch erzeugt wird, daß das Fluid auf zumindest
einer Seite der Membran gepumpt wird. Es kann dem Vorrat kon
tinuierlich zugeführt oder, wie im Falle der Evakuierungskam
mer, auf der anderen Seite der Membran abgeführt wird.
Eine alternative Ausführungsform sieht vor, daß die Membran
zwischen zwei Teilräume eingebracht wird und in jedem Teil
raum ein konstanter Druck des Fluids eingestellt wird.
Weiterbildungen sehen vor, daß zwischen den Teilräumen außer
dem Membran auch noch ein Ventil vorgesehen wird, das je nach
Stärke der Strömung des Fluids durch die Membranöffnungen do
siert geöffnet werden kann. Dadurch läßt sich die Stärke der
Strömung bei hohem Druckunterschied verringern, wodurch die
typischerweise nur wenige µm dicke Membran geschont wird. Dem
Schutz der Membran dient auch eine Weiterbildung, der zufolge
das Ventil bei Überschreiten eines für die Stabilität der
Membran kritischen Differenzdrucks geöffnet wird. Weitere
insbesondere auf eine Evakuierungskammer gerichtete Ausfüh
rungsform sehen vor, daß der Druck auf einer Seite der Mem
bran Atmosphärendruck ist und das Fluid auf der anderen Seite
evakuiert wird. Zum schnellen Evakuieren beidseitig der Mem
bran kann nach deren Reinigung das Ventil geöffnet werden.
Bevorzugte Ausführungsarten sehen vor, daß das Fluid ein Gas,
insbesondere Luft, Stickstoff oder ein Edelgas ist. Eine al
ternative, besonders bevorzugte Ausführungsform sieht vor,
daß das Fluid in bezug auf die Mikropartikel chemisch aktiv
ist. Indem das Fluid so gewählt wird, daß es mit den Mikro
partikeln chemisch reagiert oder ihre Bindung an die Membran
löst oder lockert, kann die Reinigungswirkung der Strömung
durch eine chemische Reinigung unterstützt werden.
Weitere Ausführungsarten sehen vor, daß die Membran überwie
gend aus Silizium besteht, daß die Membran im Bereich der
strukturbildenden Membranöffnungen 0,1 bis 10 µm dick und die
strukturbildenden Membranöffnungen 0,1 bis 10 µm breit sind,
und daß die Maske eine Stencilmaske für die Ionenprojektions
lithographie ist.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Fig. 1 und 2 er
läutert.
Fig. 1 zeigt eine mit Mikropartikeln verunreinigte Membran
maske und
Fig. 2 eine aus zwei Teilräumen bestehende Reinigungskammer
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Die in Fig. 1 abgebildete, aus einem Halbleitersubstrat her
gestellte lithographische Maske weist eine durch rückseitige
Substratätzung gewonnene Membran 2 auf, die typischerweise 3
µm dick ist und daher von einem stabilisierenden Substratrand
von beispielsweise 675 µm Dicke umgeben ist. Die Membran be
sitzt eine Vielzahl von Öffnungen 3, die insgesamt die abzu
bildende Struktur bilden. Bei der Ionenprojektionslithograhie
treten Ionen durch die Öffnungen 3 hindurch, sofern sie nicht
durch dort befindliche Mikropartikel 4 ausgeblendet werden.
Da die Ionen von der Membran zwischen ihren Öffnungen nicht
durchgelassen werden, sind dort vorhandene Verunreinigungen
bzw. Mikropartikel 5 ohne Auswirkungen auf die abgebildete
Struktur. Demgegenüber müssen in oder über den Membranöffnun
gen befindlichen Mikropartikel auf jeden Fall entfernt wer
den.
Dies geschieht in der in Fig. 2 dargestellten Reinigungskam
mer in der Weise, daß die Stencilmaske 1 zwischen zwei Teil
räumen R1 und R2 in eine Trennwand 7 eingebracht wird. Unter
schiedliche Drücke P1 und P2 in beiden Teilräumen führen zu
einer durch einen Pfeil angedeuteten Strömung des Fluids
durch die Maskenöffnungen hindurch, die dort vorhandene Mi
kropartikel in den Teilraum R2 mitführt. Die Stärke der Strö
mung kann durch die Einstellung der Drücke P1 und P2 und fer
ner durch die Öffnung oder teilweise Öffnung eines Ventils 6
in der Trennwand 7 gesteuert werden. Aufgrund des geringen
Querschnitts der Membranöffnungen ist dort die Strömungsge
schwindigkeit und damit die Reinigungskraft am stärksten.
Die abgebildete Reinigungskammer erhält man bereits durch
Einführen einer Trennwand in eine herkömmliche Evakuierungs
kammer, in die Stencilmasken kurz vor der Belichtung mit Io
nen eingebracht werden. Die Stencilmaske wird in der zweige
teilten Evakuierungskammer während des Evakuierens gereinigt.
Bei Bedarf kann auch eine Pumpe P über längere Zeit Luft oder
auch ein chemisch aktives Gas nachführen.
Mit Hilfe der vorliegenden Erfindung wird also eine kosten
günstige, zeitsparende und dennoch sehr effiziente Reinigung
von Stencilmasken ermöglicht. Weitere Ausführungsarten neben
den bereits beschriebenen ergeben sich bei Anwendung der
Kenntnisse und Fähigkeiten des Fachmanns.
Claims (17)
1. Verfahren zum Reinigen einer mit Mikropartikeln (4) verun
reinigten lithographischen Maske (1), die eine Membran (2)
mit strukturbildenden Membranöffnungen (3) aufweist, für die
Fertigung von vorzugsweise Halbleiterstrukturen,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine Strömung eines Fluids durch die Membran hindurch in der Weise hervorgerufen wird,
daß auf einer Seite der Membran ein unter einem einheitlichen Druck stehender Vorrat eines Fluids bereitgestellt wird und dabei die Membran ganzflächig dem Fluid ausgesetzt wird, so daß das Fluid durch die strukturbildenden Membranöffnungen hindurchtritt und auf der anderen Seite der Membran aus die ser austritt und dabei die Mikropartikel (4) zumindest aus den strukturbildenden Membranöffnungen (3) entfernt.
daß eine Strömung eines Fluids durch die Membran hindurch in der Weise hervorgerufen wird,
daß auf einer Seite der Membran ein unter einem einheitlichen Druck stehender Vorrat eines Fluids bereitgestellt wird und dabei die Membran ganzflächig dem Fluid ausgesetzt wird, so daß das Fluid durch die strukturbildenden Membranöffnungen hindurchtritt und auf der anderen Seite der Membran aus die ser austritt und dabei die Mikropartikel (4) zumindest aus den strukturbildenden Membranöffnungen (3) entfernt.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strömung des Fluids dadurch erzeugt wird, daß das
Fluid auf zumindest einer Seite der Membran gepumpt wird.
3. Verfahren nach nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membran zwischen zwei Teilräume (R1, R2) eingebracht
wird und in jedem Teilraum ein konstanter Druck (P1, P2) des
Fluids eingestellt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen den Teilräumen ferner ein Ventil (6) vorgesehen
wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ventil je nach Stärke der Strömung des Fluids durch
die Membranöffnungen dosiert geöffnet wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ventil bei Überschreiten eines für die Stabilität der
Membran kritischen Differenzdrucks (P1-P2) geöffnet wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß P1 Atmosphärendruck ist.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Teilraum R2 evakuiert wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ventil nach dem Reinigen geöffnet wird und beide
Teilräume evakuiert werden.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Fluid ein Gas ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Gas Luft oder Stickstoff ist.
12. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Gas ein Edelgas ist.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Fluid in bezug auf die Mikropartikel chemisch aktiv
ist.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membran überwiegend aus Silizium besteht.
15. Verfahren nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Membran im Bereich der strukturbildenden Membranöff
nungen 0,1-10 µm dick ist.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 oder 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß die strukturbildenden Membranöffnungen 0,1-10 µm breit
sind.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Maske eine Stencilmaske für die Ionenprojektionsli
thographie ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1999141399 DE19941399A1 (de) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | Reinigung von Stencilmasken mit Hilfe einer durch Maskenöffnungen hindurchtretenden Gasströmung |
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- 1999-08-31 DE DE1999141399 patent/DE19941399A1/de not_active Withdrawn
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- 2000-08-27 WO PCT/DE2000/002920 patent/WO2001016653A1/de active Application Filing
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