DE19911977A1 - Verfahren zum Einbringen von Isolationsbereichen in ein Substrat und Feldisolationsstruktur in einem Halbleitersubstrat - Google Patents

Verfahren zum Einbringen von Isolationsbereichen in ein Substrat und Feldisolationsstruktur in einem Halbleitersubstrat

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Abstract

In ein Siliziumsubstrat, das mit einer Oxid/Nitridschichtfolge bedeckt ist, wird ein Graben geätzt, und eine Feldoxidschicht wird dann durch Oxidation des Siliziums auf dem Substrat gezüchtet, so daß der Graben teilweise gefüllt ist. Wegen des partiellen Feldoxidwachstums findet eine reduzierte Oxideindringung in die aktiven Bereiche unterhalb der Nitridschicht statt. Doppelte Oxidschichten werden auf der Oberfläche der Feldoxidschicht und der Oxid/Nitridschichtfolgen abgeschieden, so daß die Oxidschichten den Rest des Grabens auffüllen und dadurch eine fast ebene Topologie erzeugen. Die doppelten Oxidschichten werden dann durch chemisch mechanische Polierung bis auf die Nitridschicht zurückgeätzt, wobei die Feldisolationsbereiche unberührt bleiben. Nachdem die Oxid/Nitridschichtfolge entfernt worden ist, wird eine Oxidgitterschicht gezüchtet. Eine minimale Menge des Oxides ist erforderlich, um den Graben zu füllen, weil der Graben schon fast mit einer Oxidschicht gefüllt ist und eine geringere Grabentiefe aufweist. Folglich verursacht dieser Zurückätzschritt eine minimale Napfbildung. Des weiteren verrundet die Feldoxidschicht die Ecken zwischen dem Graben und dem aktiven Bereich und vermeidet die Notwendigkeit für eine dünne Oxidzwischenschicht im Graben.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Isolationsbereiche, wie sie in integrierten Halb­ leiterschaltkreisen eingesetzt werden, insbesondere auf Isolationsbereiche, wie sie in Verbin­ dung mit Bauteilen im tiefen Submikrometer-Bereich eingesetzt werden.
Isolationsbereiche werden in der Halbleiterindustrie häufig eingesetzt, um parasitäre Kanäle zwischen benachbarten Bauteilen zu verhindern. Zwei sehr gut bekannte Verfahren, um diese Isolationsbereich herzustellen, sind die "Recessed Local Oxidation Isolation" (RLOCOS) und die "Shallow Trench Isolation" (STI). Beide Prozesse, RLOCOS und STI, besitzen jedoch Nachteile, die ihren jeweiligen Nutzen einschränken, insbesondere, wenn sich die Bauteil­ geometrie im Submikrometer-Bereich bewegt.
Ein Verfahren zur Herstellung von RLOCOS-Bereichen wird von S. Wolf in "Silicon Proces­ sing for the VLSI Era", Band 2, Seiten 28 bis 31 (Lattice Press, 1990) beschrieben. Deshalb wird die RLOCOS-Verarbeitung nachfolgend nur kurz beschrieben. Ein Siliziumsubstrat mit einer konventionellen Oxid/Nitridschichtfolge wird geätzt, um Rillen im Silizium zu bilden. Das Feldoxid wird dann durch Oxidation in den geätzten Rillen thermisch gezüchtet. Das Fel­ doxid wächst sowohl nach unten als auch nach oben, bis die geätzte Rille komplett mit dem Feldoxid gefüllt ist. Sobald die Feldoxidschicht gewachsen ist, wird die Oxid- /Nitridschichtfolge entfernt, und man züchtet thermisch eine Oxidgitterschicht auf der Ober­ fläche des Substrates.
Obwohl RLOCOS weit verbreitet ist, besitzt es einige Nachteile. Beispielsweise ist die Ska­ lierbarkeit der RLOCOS-Technologie im Submikrometer-Bereich eingeschränkt. Die Skalier­ barkeit ist eingeschränkt, weil eine große Oxidmenge während des Feldoxidwachstums lateral unter die Nitridschicht diffundiert, so daß eine Struktur entsteht, die als "Vogelschnabel" be­ kannt ist. Ein großer "Vogelschnabel" ist unerwünscht, weil die Oxideindringung in die aktive Fläche die Packungsdichte der Bauteile auf dem Substrat reduziert. Eine andere Einschran­ kung der Skalierbarkeit der RLOCOS-Technologie ist der Feldoxid-Verdünnungseffekt, der in Submikrometer-Isolationsbereichen eine Feldoxiddicke verursacht, die signifikant geringer als die gewachsene Feldoxiddicke in weiteren Bereichen ist.
Desweiteren erzeugt das Feldoxidwachstum mechanische Spannungen an den Ecken der Grundfläche und an den Seitenwänden der geätzten Rillen; das gleiche geschieht unter der Nitridschicht aufgrund des "Vogelschnabels". Diese mechanischen Spannungen, verbunden mit der fehlenden Ebenheit können Stapelfehlerbildung und Erdschlüsse an der "Vogelschna­ belkante" hervorrufen. Außerdem erzeugt die RLOCOS-Technologie im Feldoxid nahe der Nitridschicht eine Wölbung, die als "Vogelkopf" bekannt ist, aufgrund dessen die RLOCOS-Isolationsbereiche nicht eben sind.
Ein "Shallow Trench Isolation Process" (STI-Prozeß) ist ebenso von S. Wolf in "Silicon Processing for the VLSI Era", Band 2, Seiten 45 bis 48, (Lattice Press, 1990) beschrieben worden. Deswegen wird die STI-Verarbeitung im folgenden nur kurz beschrieben. Ein Silizi­ umsubstrat mit einer konventionellen Oxid/Nitridstapelfolge wird geätzt, um einen flachen Graben mit einer typischen Tiefe von 3500 Angström zu erzeugen. Durch eine Hochtempe­ raturoxidzüchtung wird eine Oxidzwischenschicht gebildet, die ungefähr 200 Angström dick ist. Der flache Graben wird dann in einem Hochtemperatur-CVD-Verfahren mit einer Oxid­ schicht gefüllt. Eine zweite Oxidschicht wird dann auf der Oberfläche des Substrates abge­ schieden. Die Oxidschichten werden dann zurückgeätzt, um eine Einebnung der Oberfläche zu erreichen. Die Oxid/Nitridstapelfolge wird dann entfernt, gefolgt von einem thermischen Züchten der Oxidgitterschicht.
Die Standard-STI-Technologie hat einige Nachteile. Das Verfahren selbst ist kompliziert. Beispielsweise kann die CVD-Oxidablagerung in den Gräben Lücken hervorrufen, insbeson­ dere an den Stellen, an denen die Gräben eng sind. Somit werden komplexe Verfahren einge­ setzt, um Lücken zu verhindern. Außerdem wird während des Zurückätzschrittes das Feldoxid typischerweise zu stark geätzt, was eine Napfbildung hervorruft. Das bedeutet, daß die Fel­ doxidoberfläche niedriger als die aktive Oberfläche ausgebildet wird. Die Napfbildung verur­ sacht Probleme, da Teilbereiche der Seitenwände der aktiven Gebiete betroffen sind, was zu parasitärer Seitenwand- und Kantenleitung führt. Zur Vermeidung der Napfbildung wird eine rückseitige Aktivflächen-Maske eingesetzt, die die Feldisolationsbereiche während des Zu­ rückätzschrittes schützt.
Eine andere Schwierigkeit tritt an den Grabenkanten auf, an denen das Oxidgitter dünn wird. Die Ausdünnung der Oxidgitterschicht verringert die Zuverlässigkeit des Oxidgitters in dem Maße, in dem die parasitären Kanteneffekte zunehmen. Von der dünnen Oxidschicht, die vor der Ablagerung des Feldoxids abgeschieden wird, wird erwartet, daß sie diese Probleme ver­ hindert. Die dünne Oxidschicht verursacht typischerweise eine Fuge zwischen der dünnen Oxidschicht und dem aufgebrachten Feldoxid.
Die Erfindung sieht eine Verfahren mit den Verfahrensschritten des Anspruchs 1 bzw. 13 und eine Feldisolationsstruktur mit den Merkmalen von Anspruch 3 vor.
Ein Isolationsgebiet wird gebildet, indem ein Graben in ein Siliziumsubstrat mit einer Oxid/Nitridstapelfolge geätzt wird und dieser teilweise mit einer Feldoxidschicht aufgefüllt wird. Die Feldoxidschicht wird direkt mit einer Dicke von nicht weniger als 2500 Angström auf dem Silizium gezüchtet. Aufgrund des direkten Aufwachsens der Feldoxidschicht auf dem Siliziumsubstrat besteht keine Notwendigkeit für eine dünne Oxidschicht, wie sie bei der STI-Verarbeitung eingesetzt wird. Weiterhin besteht eine reduzierte Oxideindringung unter die Nitridschicht, da der Graben nicht vollständig mit der aufgewachsenen Feldoxidschicht gefüllt ist. Da die Oxideindringung proportional zur Größe des Oxidwachstums ist, wird ein geringes Oxidwachstum eine kleine Eindringung hervorrufen. Doppelte Oxidschichten werden dann auf der Oberfläche des Substrates und der Feldoxidschicht abgeschieden, um den Rest des Grabens vollständig zu füllen und eine ungefähr ebene Topologie zu erzeugen. Da die ge­ züchtete Feldoxidschicht einen Großteil des Grabens ausfüllt, ist die Menge des doppelten Oxids, die erforderlich ist, um den Rest des Grabens zu füllen und eine ungefahr ebene To­ pologie zu erzeugen, im Vergleich zur konventionellen STI-Verarbeitung minimal. Die dop­ pelten Oxidschichten werden dann bis auf die Nitridschicht zurückgeätzt. Bei diesem Schritt des Zurückätzens ist nur ein minimaler Ätzaufwand erforderlich, da eine kleine Menge des abgeschiedenen Oxids verwendet wird, um den Graben zu füllen. Folglich verursacht dieses Verfahren eine geringere Napfbildung als sie typischerweise in der Standard-STI- Verarbeitung auftritt. Die Oxid/Nitridstapelfolge wird dann weggeätzt, und eine Oxidgitter­ schicht wird thermisch gezüchtet.
Die vorliegende Erfindung kann besser verstanden werden, und ihre zahlreichen Gegenstände, Merkmale und Vorteile werden dem Fachmann besser verständlich, wenn man sich auf die begleitenden Zeichnungen bezieht, in denen gleiche Komponenten mit gleichen Bezugszei­ chen bezeichnet werden.
Die Fig. 1 bis 8 sind vereinfachte Querschnittzeichnungen eines Halbleitersubstrates in verschiedenen Phasen der Herstellung der Feldoxid-Isolationsbereiche in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
Fig. 1 zeigt ein Halbleitersubstrat 100, beispielsweise einen n-Typ-Siliziumwafer, mit einer konventionellen Oxid/Nitridstapelfolge. Die Pufferoxidschicht 110 läßt man konventionell durch thermische Oxidation bis zu einer Dicke von ungefähr 80 bis 100 Angström auf der Oberfläche 105 des Substrates 100 wachsen. Die Nitridschicht 120 wird auf einer Pufferoxid­ schicht 110 bis zu einer Dicke von ungefähr 2000 Angström mit CVD oder anderen konven­ tionellen Verfahren abgeschieden.
Wie in Fig. 2 gezeigt, wird auf der Oberfläche der Nitridschicht 120 eine Photolackmaskie­ rungsschicht 130 aufgebracht. Die Photolackmaskierungsschicht 130 wird konventionell strukturiert, um die aktiven Bereiche 106 des Substrates 100 zu schützen und nur die Berei­ che, in denen Feldisolationsbereiche entstehen sollen, freizulassen. Die freiliegenden Bereiche der Oxid/Nitridstapelfolge werden dann konventionell geätzt. Die Nitridschicht 120 wird bei­ spielsweise durch Trockenätzverfahren im CF4-Plasma geätzt, während die Pufferoxidschicht 110 beispielsweise durch Fluorkohlenstoff enthaltendes Plasma geätzt wird. Somit wird die Oberfläche 105 des Substrates 100 an den Stellen freigelassen, an denen Feldisolationsberei­ che gewünscht sind. Das Substrat 100 wird dann mit einem konventionellen reaktiven Ionen- Ätzverfahren (RIE) geätzt, um einen Graben 102 mit einer ungefähren Dicke von 400 bis 600 Angström oder, falls gewünscht, tiefer zu bilden. Es ist jedoch selbstverständlich, daß andere Verfahren alternativ angewandt werden können, um das Substrat 100 zu ätzen. Das Ätzver­ fahren sollte Seitenwände des Grabens 102 erzeugen, die lediglich gering aus der Vertikalen geneigt sind, beispielsweise ungefähr 60°, sowie Ecken an dem Boden des Grabens 102, die abgerundet sind, um mechanische Spannungen während des anschließenden Feldoxidations­ prozesses zu reduzieren und um Stapelfehlerprobleme zu verhindern.
Man züchtet, wie in Fig. 3 gezeigt ist, eine Feldoxidschicht 140. Die Feldoxidschicht 140 wird durch Oxidation des Siliziumsubstrates 100 in einer Dampfumgebung bei einer Tempe­ ratur von 1050°C bis 1100°C für ungefähr zwei Stunden in einer Dicke von ungefähr 2500 bis 3000 Angström gezüchtet. Die Pufferoxidschicht 110 und die Nitridschicht 120 schützen das Substrat 100 vor Oxidation während des Wachstums der Feldoxidschicht 140. Eine trockene Sauerstoffatmosphäre kann ebenfalls benutzt werden, wobei jedoch der Prozeßdurchsatz hö­ her ist, wenn eine Dampfatmosphäre eingesetzt wird. Ein konventionelles Hochtemperatur­ glühverfahren in einer Stickstoffatmosphäre kann eingesetzt werden, um Fugen zwischen der abgelagerten Pufferoxidschicht 110 und der gewachsenen Feldoxidschicht 140 zu eliminieren. Obwohl dabei eine geringe Menge Oxidwachstum auf der Nitridschicht auftreten kann, ist diese später einfach zu entfernen.
Wie in Fig. 3 gezeigt wird, ist das Wachstum der Feldoxidschicht 140 unvollständig, da es gestoppt wird, bevor die Feldoxidschicht 140 den Graben 102 des Substrates 100 vollständig gefüllt hat. Die laterale Eindringung des Oxides unter die Nitridschicht 120, bekannt als "Vo­ gelschnabel", wird minimiert, indem ein unvollständiges Feldoxidwachstum bei einer hohen Temperatur benutzt wird. Somit dringt weniger Oxid in die aktiven Bereiche des Substrates 100, verglichen mit einem RLOCOS-Prozeß, ein, so daß die Skalierbarkeit vorteilhaft verbes­ sert ist. Der "Vogelschnabel" ist jedoch vorteilhaft, weil er die Ecken 104 der aktiven Berei­ che 106 und die Feldisolationsbereiche abrundet. Da die Ecken 104 durch die Feldoxidschicht 140 abgerundet sind, entfällt die Notwendigkeit für eine Oxidzwischenschicht, wie sie bei der STI-Verarbeitung eingesetzt wird. Weiterhin verhindern die abgerundeten Kanten 140 para­ sitäre Verluste und schlechte Oxidqualität, die mit scharfen Kanten verbunden ist. Da keine Notwendigkeit für eine Oxidzwischenschicht im Graben 102 besteht und die Feldoxidschicht 140 direkt auf dem Silizium des Substrates 100 wächst, gibt es keine Fuge im Graben 102 zwischen der Oxidzwischenschicht und der Feldoxidschicht.
Fig. 4 zeigt eine doppelte Oxidabscheidung auf der Oberfläche der Nitridschicht 120 und der Feldoxidschicht 140. Eine Lückenfüllschicht 150 aus hochdichtem Plasma (HDP) mit einer ungefähren Dicke von 2000 Angström wird zuerst auf der Nitridschicht 120 und der Feld­ oxidschicht 140 abgeschieden. Abgeschiedenes TEOS (Tetra-Ethyl-Ortho-Silikat) kann alter­ nativ als Lückenfüllschicht 150 benutzt werden. Die Lückenfüllschicht 150 füllt den Graben 102 und verhindert die Lückenbildung. Eine TEOS-03-Schicht 160 wird dann konventionell auf der Lückenfüllschicht in einer ungefähren Dicke von 1 µm abgeschieden, die ausreichend ist, um eine ungefähr ebene Oberfläche herzustellen. Die Menge der doppelten Oxidabschei­ dung, die erforderlich ist, um den Graben 102 zu füllen, ist geringer als die Menge, die in ei­ ner Standard-STI-Verarbeitung verwendet wird, da der größte Teil des Grabens 102 bereits mit der Feldoxidschicht 140 gefüllt ist und da das Substrat 100 nur bis zu einer Tiefe von un­ gefähr 600 bis 800 Angström geätzt wurde, verglichen mit der Grabentiefe von 3500 Ang­ ström, die in einer Standard-STI-Verarbeitung eingesetzt wird. Außerdem ist die tatsächliche Tiefe des geätzten Grabens 102 geringer als die Tiefe der Gräben, die in der Standard-STI- Verarbeitung eingesetzt werden. Folglich ist eine geringere Oxidabscheidung erforderlich, um den Graben 102 zu füllen und um eine ungefähr ebene Topologie, bezogen auf Standard-STI, zu erhalten.
Nach der Abscheidung der TEOS-03-Schicht 160 wird eine Standard-Oxid-Chemisch- Mechanische-Polierung (CMP) angewandt, um die Schichten 150 und 160 bis zur Nitrid­ schicht 120 zurückzuätzen, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist. Es ist weniger CMP erforderlich, um die Schichten 150 und 160 mit der Nitridschicht 120 einzuebnen, da die Menge der einge­ setzten doppelten Oxidabscheidung minimal im Verhältnis zur Standard-STI ist. Eine geringe CMP ist vorteilhaft, da das CMP-Verfahren Ungleichförmigkeiten, wie Napfbildung, auf der zu polierenden Oberfläche hervorruft. An den Stellen, an denen eine ausgedehnte CMP statt­ findet, können kleine Feldisolationsstrukturen weggeätzt werden. Die Standard-STI-Prozesse benutzen typischerweise eine rückseitige aktive Flächenmaske, um die Napfbildung zu ver­ hindern. Die vorliegende Erfindung beschränkt jedoch vorteilhaft die Napfbildung, indem der Umfang der CMP verringert wird und damit die Notwendigkeit für einen Maskierschritt ver­ mieden wird.
Nachdem die Schichten 150 und 160 zurückgeätzt und eingeebnet sind, wird die Oxid- /Nitridstapelfolge auf dem Substrat 100 konventionell entfernt. Fig. 6 zeigt ein Substrat 100 nach dem Nitridätzschritt, der beispielsweise ein Trockenätzverfahren mit einem CF4-Plasma sein kann. Die Pufferoxidschicht 110 wird dann geätzt, beispielsweise mit einer gepufferten Flußsäure, so daß eine Struktur wie in Fig. 7 gezeigt entsteht. Fig. 8 zeigt ein Substrat 100 nachdem eine Oxidgitterschicht 170 konventionell auf der Oberfläche 105 des Substrates 100 gezüchtet wurde. Mit dem somit vervollständigten Feldisolationsbereich 180 wird mit der Weiterverarbeitung des Substrates 100 auf konventionelle Weise fortgefahren.
Während die vorliegende Erfindung anhand spezifischer Ausführungsformen beschrieben wurde, sind für den Fachmann Variationen dieser Ausführungsformen offensichtlich. Es ver­ steht sich, daß konventionelle Verarbeitungsschritte, wie Temperprozesse, eingesetzt werden, wo sie erforderlich sind. Deshalb soll der Bereich der nachfolgenden Ansprüche nicht auf die vorhergehende Beschreibung beschränkt werden.

Claims (19)

1. Verfahren zum Einbringen eines Isolationsbereichs in ein Substrat mit folgenden Ver­ fahrensschritten:
Bereitstellen eines Substrates,
Ätzen eines ausgesparten Grabens in das Substrat,
Züchten einer Feldoxidschicht in dem ausgesparten Graben, wobei die Feldoxidschicht eine Dicke von nicht weniger als 2500 Angström besitzt und wobei die Feldoxid­ schicht den ausgesparten Graben nicht vollständig füllt,
Abscheiden einer Oxidschicht auf der Oberfläche der Feldoxidschicht, um den ausge­ sparten Graben vollständig zu füllen, und
Zurückätzen der Oxidschicht, um eine ungefähr ebene Oberfläche zu erzeugen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das Bereitstellen des Substrates weiterhin die folgenden Schritte umfaßt:
Vorsehen einer Pufferoxidschicht auf der Oberfläche des Substrates,
Vorsehen einer Nitridschicht auf der Oberfläche der Pufferoxidschicht,
Vorsehen einer Fotoresistmaske auf der Oberfläche der Nitridschicht, wobei die Foto­ resistmaske nur die Bereiche freiläßt, in denen das Züchten der Feldoxidschicht ge­ wünscht ist, und
Durchätzen der Nitridschicht und der Pufferoxidschicht bis zum Substrat.
3. Verfahren nach Anspruch 2, mit den weiteren Verfahrensschritten:
Zurückätzen der Nitridschicht und der Pufferoxidschicht auf die Oberfläche des Sub­ strates und
Züchten einer Oxidgitterschicht auf der Oberfläche des Substrates.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem der Verfahrensschritt des thermischen Züchtens der Feldoxidschicht im ausgesparten Graben die Oxidation des Substrates umfaßt.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem der Verfahrensschritt des Abscheidens einer Oxidschicht auf der Oberfläche der Feldoxidschicht weiterhin die Verfahrensschritte umfaßt:
Abscheidung einer ersten Oxidschicht auf der Feldoxidschicht und
Abscheidung einer zweiten Oxidschicht auf der ersten Oxidschicht.
6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem das erste Oxid in einem HD-Plasma (high den­ sity plasma) enthalten ist.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, bei dem die zweite Oxidschicht TEOS aufweist.
8. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem der Verfahrensschritt des Zurückätzens der Oxidschicht eine Chemisch Mechanische Polierung beinhaltet.
9. Feldisolationsstruktur in einem Halbleitersubstrat, mit folgenden Merkmalen:
ein Graben in einem Halbleitersubstrat,
eine Feldoxidschicht innerhalb des Grabens, wobei die Feldoxidschicht auf dem Sili­ ziumhalbleitersubstrat gewachsen ist und das Feldoxid den Graben nicht vollständig füllt, und
eine Oxidschicht auf der Feldoxidschicht, wobei die Oxidschicht den Rest des Grabens füllt.
10. Struktur nach Anspruch 9, bei der die Feldoxidschicht eine Dicke von nicht weniger als 2500 Angström besitzt.
11. Struktur nach Anspruch 9 oder 10, bei der die Oxidschicht in einem HD-Plasma (high density plasma) enthalten ist.
12. Die Struktur nach Anspruch 9 oder 10, bei der die Oxidschicht TEOS aufweist.
13. Verfahren zum Einbringen von Isolationsbereichen in ein Substrat, mit folgenden Ver­ fahrensschritten:
Bereitstellen einer Oxidschicht auf der Oberfläche des Substrates, wobei die Oxid­ schicht die Substratoberfläche an den Stellen frei läßt, an denen Isolationsbereiche gewünscht sind,
Bereitstellen einer Nitridschicht auf der Oberfläche der Oxidschicht, wobei die Nitrid­ schicht die Substratoberfläche an den Stellen frei läßt, an denen Isolationsbereiche gewünscht sind,
Ätzen ausgesparter Bereiche in das Substrat, an den Stellen, an denen Isolationsberei­ che gewünscht sind,
Bereitstellen einer Feldoxidschicht in diesen ausgesparten Bereichen, wobei die Fel­ doxidschicht vom Siliziumsubstrat wächst und die ausgesparten Bereiche nicht voll­ ständig füllt,
Bereitstellen einer Oxidschicht auf der Oberfläche der Feldoxidschicht, wobei die Oxidschicht die ausgesparten Bereiche füllt, und
Zurückätzen der Oxidschicht, um eine ungefähr ebene Oberfläche zu erzeugen.
14. Verfahren nach Anspruch 13, bei dem die Feldoxidschicht bis zu einer Dicke von nicht weniger als 2500 Angström wächst.
15. Verfahren nach Anspruch 13, bei dem die Verfahrensschritte der Bereitstellung einer Oxidschicht und der Bereitstellung einer Nitridschicht weiterhin die Verfahrensschritte umfassen:
Vorsehen einer Fotoresistmaskierungsschicht auf der Oberfläche der Nitridschicht, wobei die Fotoresistmaskierungsschicht strukturiert ist, um lediglich die Bereiche der Nitridschicht freizulassen, an denen Isolationsbereiche gewünscht sind,
Durchätzen der Nitridschicht, um nur die Bereiche der Oxidschicht freizulassen, an denen Isolationsbereiche gewünscht sind und
Durchätzen der Oxidschicht, um nur die Bereiche des Substrates freizulassen, an de­ nen Isolationsbereiche gewünscht sind.
16. Verfahren nach Anspruch 13, bei dem der Verfahrensschritt der Bereitstellung einer Oxidschicht auf der Oberfläche der Feldoxidschicht, die Verfahrensschritte umfaßt:
Abscheiden einer ersten Oxidschicht auf der Feldoxidschicht und
Abscheiden einer zweiten Oxidschicht auf der ersten Oxidschicht.
17. Verfahren nach Anspruch 16, bei dem die erste Oxidschicht in einem HD-Plasma (high density plasma) enthalten ist.
18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17, bei dem die zweite Oxidschicht TEOS beinhal­ tet.
19. Verfahren nach Anspruch 16, 17 oder 18 bei dem der Verfahrensschritt des Zurückät­ zens der Oxidschicht chemisch mechanisches Polieren beinhaltet.
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