DE19906054C2 - Schnellschließendes Hochvakuumventil - Google Patents

Description

Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um ein Ventil des Hochvakuumsystems eines Teilchenbeschleunigers oder einer Ionenimplantationsanlage oder dergl. Bei einer Störung im Hochvakuumsystem wird das Ventil sehr schnell (ca. 1 ms) mit Hilfe einer Explosions- (z. B. pyrotechnische Zündpille von 0.1 g Sprengstoff) oder Treibladung ge­ schlossen. Das Schließen des Ventils wird durch ein externes Signal, z. B. einen durch eine Druckänderung hervorgerufenen elektrischen Puls, ausgelöst und so das Brechen des Hochvakuums und die Beschädigung empfindlicher Geräte verhindert.

Bei den derzeitigen schnellschließenden Hochvakuumventilen wird der Ventilteller mit dem das Ventil geschlossen wird, durch Preßluft oder eine vorgespannte Feder bewegt. Der Druck der Preßluft beträgt 5 bar, die Druckamplitude der Schockwelle einer gezünde­ ten pyrotechnischen Pille, z. B. aus PETN Sprengstoff von 0.1 g Masse (Würfel von 4 mm Kantenlänge) erreicht dagegen 20 kbar. Demnach müßte der Preßluftdruck auf eine 4000 mal größere Fläche wirken als die Schockwelle der Zündpille, um dieselbe Kraft zu erzeugen, mit der der Ventilteller beschleunigt werden muß, um das Ventil in derselben Zeit wie mit der Zündpille zu schließen. Die Anordnung eines Kolbens mit einer so großen Fläche zur Verschiebung des Ventiltellers erfordert einen großen technischen Aufwand. Außerdem besitzt der Kolben eine entsprechend große Masse, die zur Ventiltellermasse addiert werden muß, was die Beschleunigung des Ventiltellers verringert und die Schließ­ zeit vergrößert.

Die Beschleunigung eines Ventiltellers bzw. einer Lamelle von 3 g Masse mit Hilfe der obigen Zündpille beträgt 3.4 . 10⁵ m/s². Bei der Beschleunigung des Ventiltellers dieser Masse durch eine vorgespannte Feder muß für ein Ventil mit 5 cm Nennweite und einem Hub des Ventiltellers bzw. einer Dehnung der Feder von 5 cm, eine zunächst angenommen masselose Feder mit 10³ N vorgespannt werden, um dieselbe Beschleunigung zu erhalten. Realistisch hat eine Feder, die bei 5 cm Dehnung eine rücktreibende Kraft von 10³ N besitzt, z. B. einen Außendurchmesser von 2 cm, einen Drahtdurchmesser von 3 mm, eine Länge von 30 cm (100 Windungen) und eine Masse von 350 g, die zur Hälfte als bewegte Masse zur Masse des Ventiltellers addiert werden muß. Dadurch reduziert sich die Beschleunigung des Ventiltellers um den Faktor 60.

Es wurden bereits pyrotechnische Ventile vorgeschlagen, die mit Hilfe einer Treibladung einen Gasstrom unterbrechen (Patentschrift FR 2 503 313) bzw. einen Flüssigkeitsstrom unterbrechen bzw. öffnen (Patentschriften US 3 358 961, US 4 619 284). Bei diesen Ventilen kann die durch die Treibladung hervorgerufene Verschiebung nur mit großem Aufwand wieder rückgängig gemacht werden.

Der Vorteil des von uns vorgeschlagenen Ventils ist die Möglichkeit der Abdichtung einer Hochvakuumkammer. Der Stand der Technik der französischen Schrift Nr. FR 2 503 313 beinhaltet nicht die Anwendung der Hochvakuumabdichtung. Die dort erwähnte Abdich­ tung würde dieser Anwendung nicht gerecht, weil die axiale Bewegung des Ventiltellers fehlt, durch die bei unserer Anmeldung die Lamelle an die Dichtung angepreßt und so die Hochvakuumdichtigkeit bewerkstelligt wird.

Im Hinblick auf diese Entgegenhaltungen haben wir uns die Aufgabe gestellt, ein Ventil be­ reitzustellen, das a) schnell und b), wegen der Konstruktion der axial an die Dichtung anpreßbaren Lamelle, hochvakuumdicht schließt und c) ohne größere Eingriffe wieder zu öffnen ist, wenn das Vakuumsystem repariert ist. Durch das von uns vorgeschlagene Ventil kann z. B. eine Hochvakuumkammer mit empfindlichen Detektoren (zu schützendes Vaku­ um), welche an eine Hochvakuumkammer mit dünnen Fensterfolien (gefährdetes Vakuum) angeschlossen ist, vor einem Gas- bzw. Flüssigkeitseinbruch geschützt werden. Nach Re­ paratur und Evakuierung der beschädigten Kammer kann das gefährdete System durch Öffnen des Ventils wieder leicht an das zu schützende System angeschlossen werden.

Im folgenden wird das Ventil, das zusätzlich durch Zeichnungen erläutert wird, näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1. Seitenansicht des Ventils.

Fig. 2. Schnitt A-A (siehe Fig. 1).

Fig. 3. Schnitt B-B (siehe Fig. 2).

Fig. 4. Seitenansicht der Schließvorrichtung.

Fig. 5. Seitenansicht einer Arretierungsvariante.

Fig. 6. Seitenansicht der Antriebsvorrichtung.

Fig. 7. Seitenansicht der Öffnungsvorrichtung.

Fig. 8. Schaltskizze der Zündelektronik.

Das Ventil besteht aus einer Vakuumkammer 1 mit jeweils einem Flansch 2 und 3 an beiden Enden zur vakuumdichten Befestigung zweier Abschlußdeckel 4 und 5 (siehe Fig. 1). An den Abschlußdeckeln 4 und 5 sind außen entsprechend die Vakuumkammern mit der Bohrung 19 (zu schützendes Vakuum) bzw. mit der Bohrung 20 (gefährdetes Vaku­ um) befestigt. Durch die Bohrungen 19 und 20 in den Abschlußdeckeln 4 und 5 sind bei offenem Ventil beide Vakuumsysteme verbunden. Bei Verschlechterung des gefährde­ ten Vakuums wird das Ventil durch die schnelle radiale Bewegung der Schließlamelle 16 zwischen die Bohrungen 19 und 20 und anschließendes Abdichten des zu schützenden Vakuums durch das axiale Anpressen der Lamelle 16 auf die Dichtung in der Nut 15 ge­ schlossen. Nach der Reparatur des gefährdeten Vakuumsystems kann das Ventil mit Hilfe der Öffnungsvorrichtung 82 (Fig. 7) ohne Brechen des Vakuums wieder geöffnet werden. An zwei gegenüberliegenden Stellen der Vakuumkammer 1 sind zwei Stutzen 31 und 32 mit den Flanschen 33 und 34 angeschweißt. Auf dem Abschlußdeckel 37 des Flanschs 33 sind die Vakuumdurchführung für die Kolbenstange 23 der Antriebsvorrichtung 83 (Fig. 6) für die Lamelle 16, das Führungsrohr 35 der Kolbenstange 23 mit Schließvorrichtung 36 und die Vakuumdurchführung des Seilzugs 65 der Öffnungsvorrichtung 82 montiert. Auf dem Abschlußdeckel 38 des Flanschs 34 befindet sich ein Stoßdämpfer 39.

An der Innenseite der Abschlußdeckel 4 bzw. 5 sind zwei zylindrische Führungsrohre 6 bzw. 7, deren Innendurchmesser gleich dem der Bohrungen 19 und 20 ist, angebracht, wobei das Führungsrohr 6 vakuumdicht befestigt ist. Über das Führungsrohr 6 ist ein zy­ lindrisches Anpreßstück 8 geschoben und gegen das Führungsrohr mit einer Stopfbüchse, bestehend aus O-Ring-Dichtung 9, Druckring 10 und Überwurfmutter 11, abgedichtet. An einem Ende des Anpreßstücks 8 ist eine Schwalbenschwanz-Nut 15 eingefräst, die eine O-Ring-Dichtung zum Abdichten des Ventils durch die Lamelle 16 enthält. Auf dem Führungsrohr 7 ist ein zylindrischer Schlitten 21 verschiebbar angebracht, der beim Schließen des Ventils die Lamelle 16 durch zwei starke Federn 17 (siehe Fig. 2), die an ei­ nem Ende mit dem Abschlußdeckel 4 verbunden sind, über eine Lochblende 18 (siehe Fig. 2 und 3) auf die O-Ring-Dichtung des Anpreßstücks 8 preßt und so den linken Teil des Ventils bzw. das zu schützende Vakuum, gegen den rechten Ventilteil mit dem gefährdeten Vakuum abdichtet. Die Lamelle 16 wird seitlich in der Führung 22 gehalten, die mit dem Stoßdämpfer 39 durch eine Schwalbenschwanzverbindung 55 (siehe Fig. 1 und 3) in axia­ ler Richtung der Bohrungen 19 und 20 beweglich verbunden ist. Das Führungsrohr 35 ist im Kleinflanschstutzen 42 (siehe Fig. 4) des Abschlußdeckels 37 mit Hilfe eines Rings 43 und vier Kontermuttern 44 in axialer Richtung ebenfalls beweglich montiert, was, zusammen mit der Schwalbenschwanzverbindung 55 der Führung 22, die axiale Bewe­ gung der Lamelle 16 (Gegenstand des Hauptanspruchs) beim Anpressen des Schlittens 21 ermöglicht. Das Entriegelungsstück 40 (Fig. 4), das in dem seitlich geschlitzen Führungs­ rohr 35 läuft, ist in eine Nut der Kolbenstange 23 eingesetzt. Die Arretierungsvorrichtung 36, die das Ventil im Normalbetrieb in Offenstellung hält, besteht im wesentlichen aus zwei ineinanderlaufenden Zylindern 46 und 47. Am inneren Zylinder 47, der durch die Feder 48 radial nach außen in Richtung der Offenstellung der Lamelle 16 gedrückt wird, ist das Abstandsstück 29 befestigt. Die Federaufhängungen 57 und 58, in Fig. 4 um 90° versetzt gezeichnet, sind mit dem inneren bzw. äußeren Zylinder verbunden. Die beiden Zylinder sind teilweise geschlitzt. Die radiale Bewegung des inneren Zylinders 47 wird bei geöffnetem Ventil durch eine Arretierung unterbunden. Die Arretierung besteht aus einer am Zylinder 47 montierten Achse 49 mit einer Rolle 50, die auf dem Widerlager 52 ruht, an einem Ende. Das Widerlager 52 ist am Führungsrohr 35 befestigt. Die Achse 49 wird durch die Feder 51 gegen das Führungsrohr 35 gedrückt. Eine Arretierungsvariante, bei der die Rolle 50 direkt an der Feder 51 befestigt ist, zeigt Fig. 5. Der Zylinder 46 ist durch zwei Halterungen 45 mit dem Führungsrohr 35 verbunden. Die Halterungen 45 und das Widerlager 52 sind wie das Führungsrohr 35, geschlitzt.

Die axiale Position des Anpreßstücks 8 auf dem Führungsrohr 6 wird durch zwei Hal­ testücke 12 und 13 und vier Gewindestangen fixiert. Die Gewindestangen sind mit dem Abschlußdeckel 4 verbunden, laufen parallel zur Vakuumkammerachse durch Bohrungen der Haltestücke und sind an diesen mit Muttern befestigt. Das Haltestück 12 ist auf das Anpreßstück 8 aufgeschraubt und mit dem Ring 14 gekontert. Das Haltestück 13 ist durch zwei Feststellschrauben mit dem Anpreßstück 8 fest verbunden.

Bei geöffnetem Ventil befindet sich das Abstandsstück 29 zwischen der drehbaren Rolle 53, die über zwei Streben zu beiden Seiten der Führung 22 mit den Haltestücken 12 und 13 und so mit dem Anpreßstück 8 verbunden ist, und der Rolle 54, die an den Schlitten 21 angebaut ist. Die Breite des Abstandsstücks wird so gewählt, daß die Lamelle 16 radial leicht durch den Spalt bewegt werden kann. Durch die schwachen Druckfedern 30 (siehe Fig. 2), die an einem Ende am Anpreßstück 8 montiert sind, wird über die Führung 22 ( siehe Fig. 2 und 3) die Lochblende 18 leicht gegen den verbreiterten Teil des Schlittens 21 angedrückt. Die Lochblende 18 ist an einer Seite mit der Führung 22 verbunden. Die axialen Positionen des Anpreßstücks 8 und des Schlittens 21 sind so eingestellt, daß die radiale Bewegung der Lamelle 16 wenig vor dem O-Ring, der in der Nut 15 liegt, erfolgt.

Die Lamelle 16 wird von der Zündpille 25 über den Kolben 24 und die Kolbenstange 23 ( siehe Fig. 6) angetrieben. Die Kolbenstange 23 ist mittels der Stopfbüchse 28 und der Kleinflansche 26 und 27 verschiebbar und vakuumdicht mit der Vakuumkammer 1 ver­ bunden. Beim Schließen des Ventils bewegt sich die Kolbenstange 23 mit Lamelle 16 und Entriegelungsstück 40 in radialer Richtung nach innen. Beim Vorbeibewegen des Entrie­ gelungsstücks 40 an der Rolle 50 wird diese, bei geeigneter Form des Entriegelungsstücks 40, mit konstanter Beschleunigung in axialer Richtung vom Führungsrohr 35 weg über das Widerlager 52 bewegt und damit die Arretierung gelöst. D. h., der innere Zylinder 47 der Schließvorrichtung 36 bewegt sich radial nach außen, das Abstandsstück 29 rollt von der Welle 53 und der Rolle 54 ab, der Schlitten 21 bewegt sich durch die Kraft der Feder 17 in axialer Richtung und preßt über die Lochblende 18 die Lamelle 16 auf den O-Ring in der Nut 15. Es ist möglich, das Abstandsstück 29 anstelle mit der Schließvorrichtung 36, mit Hilfe eines Hubmagneten zu bewegen und so das Ventil zu schließen.

Die Lamelle 16, deren Startposition grob gestrichelt in Fig. 3 angedeutet ist, sollte nach der radialen Bewegung die kreisförmige Öffnung des Ventils überdecken, jedoch gestoppt werden, bevor sie am Endstück 56 anschlägt. Die Bremsung wird durch das Zusam­ mendrücken der Druckfeder 59 (siehe Fig. 6) mit Hilfe der abgedrehten auf die Kol­ benstange 23 aufgeschraubten Mutter 60 und der losen Scheibe 61 und dem Druck der vorgerückten Lamelle 16 auf die Dichtung 15 durch den Schlitten 21 (siehe Fig. 4) über die Blende 18 erreicht. Bei Anschlag der Lamelle am Endstück 56 wird sie durch den Stoßdämpfer und die Federn 62 am anderen Ende der Führung 22 (siehe Fig. 3) gestoppt. Der Stoßdämpfer 39 besteht im wesentlichen aus zwei ineinanderlaufenden, teilweise ge­ schlitzten Zylindern 63 und 64 (siehe Fig. 1) und einer Zugfeder 84, die radial außen am inneren Zylinder 63 durch eine Haltescheibe 85, Gewindestange und Mutter und radial innen am äußeren Zylinder 64 durch eine Querstange 86 mit Gewinderingen und Mut­ tern befestigt ist. Der äußere Zylinder besitzt ein Gewinde zum radialen Verstellen der Querstange 86. Am inneren Zylinder 63, der durch die Feder radial nach innen gedrückt wird, ist die Schwalbenschwanzverbindung 55 der Führung 22 montiert. Bei geöffnetem Ventil liegt die Anschlagsquerstange 87, die mit dem inneren Zylinder 63 verbunden ist, auf den Kontermuttern 88 auf. Bei Anstoßen der Lamelle 16 am Querstück 56 (siehe Fig. 3) des Lamellenführungsrahmens 22 bewegt sich die Anschlagsquerstange 87 radial maximal bis zum Anschlag an die Gewinderinge der Querstange 86 nach außen.

Das Stahlseil 65 (siehe Fig. 4) ist am Schlitten 21 befestigt und läuft über die Welle 53 des Anpreßstücks 8, die Rolle 66 des Abstandsstücks 29, über die Rolle 54 des Schlittens 21 und über die Rollen 90 und 91, die wie die Rolle 53 über zwei Streben zu beiden Seiten der Führung 22 mit den Haltestücken 12 und 13 und so mit dem Anpreßstück 8 verbunden sind, radial nach außen. Zum Schließen des Ventils muß das Stahlseil 65 lose sein, damit der Schlitten 21 axial gegen die Lamelle 16 bewegt werden kann. Zum Öffnen des Ventils wird der Schlitten 21 mit Hilfe des Seils 65, das mit dem Stab 70 der Öffnungs­ vorrichtung 82 (siehe Fig. 7) verbunden ist, axial von der Lamelle 16 wegbewegt, indem der Stab 70 radial nach außen gezogen wird. Dadurch wird das Abstandsstück 29 und der Innenzylinder 47 der Schließvorrichtung 36 radial nach innen verschoben, wobei die Rolle 50 über das Widerlager 52 gezogen wird und einrastet. Gleichzeitig werden die Rollen 53 und 54 und damit das Anpreßstück 8 und der Schlitten 21 durch das Abstandsstück 29 auf den für das geöffnete Ventil geeigneten Abstand gebracht. Die Lamelle 16 kann jetzt durch den so geöffneten Spalt zwischen Anpreßstück 8 und Lochblende 18 radial nach außen gezogen, und das Ventil geöffnet werden. Der Stab 70, der an die Gewinde­ stange 72 montiert ist, die durch die Mutter 73 in radialer Richtung verschoben werden kann, ist mittels der Kleinflansche 67 und 68 (siehe Fig. 1 und 7) und der Stopfbüchse 69 verschiebbar und vakuumdicht mit der Vakuumkammer 1 verbunden. Das Drehen der Gewindestange 72 beim Drehen der Mutter 73 wird durch einen geschlitzten Zylinder 74 mit einem Querbolzen 75 durch Schlitz und Gewindestange 72 verhindert.

Zum elektronischen Auslösen der Zündpille 25 wird der Filamentwiderstand 76 der Pille ( siehe Fig. 8) durch einen elektrischen Strompuls erhitzt und damit die Pille gezündet. Der Strompuls durch den Filamentwiderstand 76 wird durch das Entladen des Kondensators 77 erzeugt.

Bei Fehlen eines positiven Spannungssignals am Eingang 80, der z. B. mit einem piezore­ sistiven Drucksensor verbunden ist, mit dem die Druckdifferenz zwischen dem gefährdeten Vakuum und dem zu schützenden Vakuum gemessen wird, sperrt der pnp-Transistor 81, und der Kondensator 77 wird über den Widerstand 79 auf die Spannung der am Punkt 78 angelegten Spannungsquelle aufgeladen. Im Fall eines Druckanstiegs im gefährdeten Vakuum wird eine positive Spannung am Eingang 80 erzeugt, der Transistor 81 schaltet durch, der Kondensator 77 wird über den Filamentwiderstand 76 entladen, und die Pille gezündet.

Bezugszeichenliste

1

Vakuumkammer

2

Flansch

3

Flansch

4

Abschlußdeckel

5

Abschlußdeckel

6

Führungsrohr

7

Führungsrohr

8

Anpreßstück

9

O-Ring-Dichtung

10

Druckring

11

Überwurfmutter

12

Haltestück

13

Haltestück

14

Ring

15

Dichtring

16

Lamelle

17

Feder

18

Lochblende

19

Bohrung

20

Bohrung

21

Schlitten

22

Führung

23

Kolbenstange

24

Kolben

25

Zündpille

26

Kleinflansch

27

Kleinflansch

28

Stopfbüchse

29

Abstandsstück

30

Druckfeder

31

Stutzen

32

Stutzen

33

Flansch

34

Flansch

35

Führungsrohr

36

Schließvorrichtung

37

Abschlußdeckel

38

Abschlußdeckel

39

Stoßdämpfer

40

Entriegelungsstück

41

Gewindering

42

Kleinflanschstutzen

43

Ring

44

Kontermutter

45

Halterung

46

Zylinder

47

Zylinder

48

Feder

49

Achse

50

Rolle

51

Feder

52

Widerlager

53

Rolle

54

Rolle

55

Schwalbenschwanzverbindung

56

Endstück

57

Federaufhängung

58

Federaufhängung

59

Druckfeder

60

Mutter

61

Scheibe

62

Feder

63

Zylinder

64

Zylinder

65

Stahlseil

66

Rolle

67

Kleinflansch

68

Kleinflansch

69

Stopfbüchse

70

Stab

71

72

Gewindestange

73

Mutter

74

Zylinder

75

Querbolzen

76

Zündpillenfilamentwiderstand

77

Kondensator

78

Punkt in der Schaltung

79

Widerstand

80

Eingangspunkt in der Schaltung

81

Transistor

82

Öffnungsvorrichtung

83

Antriebsvorrichtung

84

Zugfeder

85

Haltescheibe

86

Querstange

87

Anschlagquerstange

88

Kontermutter

89

Diode

90

Rolle

91

Rolle

Claims (10)

1. Schnellschließendes Hochvakuumventil zum hermetisch dichten Absperren des Va­ kuumteils (19) einer Vakuumkammer (1), welches normalerweise in Offenstellung gehalten ist, und zum Schließen eine durch eine Treibladung angetriebene, mit Kolben (24) und Kolbenstange (23) verbundene Lamelle (16) schnell in die radiale Schließposition zwischen ein Anpreßstück (8) mit Dichtring (15) und einen axi­ al (senkrecht zur Lamelle) beweglichen, mit Federn (17) beaufschlagten Schlitten ( 21) bringbar ist, welcher in Offenstellung des Ventils durch eine an einem Wider­ lager (52) aufliegende Arretierungsrolle (50) einer Arretierungsvorrichtung (36) in Abstand von der Lamelle (16) gehalten ist, wobei während der Schließbewegung der Lamelle ein mit der Kolbenstange (23) verbundenes Entriegelungsstück (40) die Arretierungsrolle (50) über das Widerlager (52) hebt, und nach Erreichen der Schließstellung der Lamelle (16) der bewegliche Schlitten (21), durch die Arretie­ rungsvorrichtung (36) gesteuert, die Lamelle (16) gegen die Dichtung (15) anpreßt, wobei zur hermetischen Abdichtung die Lamelle (16) auch axial beweglich ist und zum Öffnen des Ventils unter Vakuum der Schlitten (21) durch einen Seilzug (65), der durch einen Stab (70) spannbar ist, von der Lamelle (16) wegbewegbar ist und mittels der Arretierungsvorrichtung (36) wieder in die Offenstellung bringbar ist, wobei die Arretierungsrolle (50) am Widerlager (52) einrastet, und wodurch die Lamelle (16) durch Ziehen der Kolbenstange (23) radial nach außen wieder aus ihrer Schließstellung in die Offenstellung bewegbar ist.

2. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Arretierungsvorrichtung im wesentlichen aus zwei koaxialen, relativ zuein­ ander beweglichen, teilweise geschlitzten Zylindern (46, 47) besteht, wobei in Of­ fenstellung des Ventils der innere Zylinder (47) und äußere Zylinder (46) durch eine Arretierungsrolle (50) am Widerlager (52) unbeweglich gehalten sind und in Schließstellung des Ventils die Arretierungsrolle (50) vom Widerlager gelöst ist, wo­ durch der innere Zylinder (47) durch die Feder (48) radial nach außen drückbar ist.

3. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamelle (16) durch den Schlitten (21) über eine Lochblende (18) auf den Dichtring (15) des Anpreßstücks (8) drückbar ist.

4. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamelle (16) in einem Lamel­ lenführungsrahmen (22) geführt ist.

5. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Lamellenführungsrahmen (22) mit Lochblende (18) über eine Schwalben­ schwanz- oder Langlochführung (55) an einer seitlich der Vakuumkammer (1) be­ findlichen Zugfeder (84) befestigt ist, die als Stoßdämpfer dient.

6. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewegung der Lamelle (16) in Schließstellung bremsbar ist durch: eine auf der Kolbenstange (23) befindlichen Druckfeder (59), das Andrücken der Lamelle (16) auf den Dichtring (15) durch den Schlitten (21), die Zugfeder (84), sowie Haltefedern (62) am Lamellenführungsrah­ men (22).

7. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Anpreßstück (8) gegenüber einem Führungsrohr (6) mit einer Stopfbüchse (9, 10, 11) abgedichtet ist und mit Gewin­ destangen und Haltestücken (12, 13) fixiert ist, und der Schlitten (21) auf einem weiteren dem Führungsrohr (6) axial gegenüberliegenden Führungsrohr (7) axial beweglich ist und bei geöffnetem Ventil durch ein Abstandsstück (29) in einem bestimmten Abstand zum Anpreßstück (8) gehalten ist.

8. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorgegehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (23) und der Stab ( 70) durch weitere Stopfbüchsen (28, 69) oder Federbälge aus der Vakuumkammer ( 1) geführt sind.

9. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß an den Haltestücken (12, 13) an zwei gegenüberliegenden Seiten des An­ preßstücks (8) jeweils ein Hubmagnet montierbar ist, an dessen Eisenkern jeweils eine Scheibe montiert ist, die beim Schließen des Ventils die Lamelle (16) durch Drücken auf die Lochblende (18) bremst und das Abstandsstück (29) an dem Ei­ senkern eines weiteren Hubmagneten montierbar und durch diesen bewegbar ist.

10. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß die Treibladung eine Pille (25) ist, die durch eine elektronische Schaltung elek­ trisch zündbar ist, wobei die Zündung durch einen Drucksensor auslösbar ist.