DE19906054A1 - Schnellschließendes Hochvakuumventil - Google Patents

Abstract

Die Dichtigkeit der bisherigen pyrotechnischen Ventile zum Unterbrechen oder Öffnen eines Gas- oder Flüssigkeitstroms ist für die Anwendung in einem Hochvakuumsystem zu gering. Außerdem kann die durch die Treibladung hervorgerufene Verschiebung nur mit großem Aufwand wieder rückgängig gemacht werden. DOLLAR A Eine durch eine Treibladung (25) angetriebene, mit Kolben (24) und Kolbenstange (23) verbundene Lamelle (16) ist zum Schließen schnell zwischen ein Anpreßstück (8) mit Dichtring (15) und einem axial beweglichen, mit Federn (17) beaufschlagten Schlitten (21) bringbar, der in Offenstellung durch eine Arretierungsvorrichtung (36) in Abstand von der Lamelle (16) gehalten ist, wobei zur hermetischen Abdichtung die Lamelle (16) auch axial beweglich ist, und zum Öffnen des Ventils der Schlitten (21) durch einen Seilzug (65) und die Arretierungsvorrichtung (36) wieder in die Offenstellung bringbar ist, und die Lamelle (16) durch Ziehen der Kolbenstange (23) in die Offenstellung bewegbar ist.

Description

Bei der vorliegenden Erfindung handelt es sich um ein Ventil des Hochvakuumsystems eines Teilchenbeschleunigers oder einer Ionenimplantationsanlage oder dergl. Bei einer Störung im Hochvakuumsystem wird das Ventil sehr schnell (ca. 1 ms) mit Hilfe einer Explosions- (z. B. pyrotechnische Zündpille von 0.1 g Sprengstoff) oder Treibladung geschlossen. Das Schließen des Ventils wird durch ein externes Signal, z. B. einen durch eine Druckänderung hervorgerufenen elektrischen Puls ausgelöst und so das Brechen des Hochvakuums und die Beschädigung empfindlicher Geräte verhindert.

Bei den derzeitigen schnellschließenden Hochvakuumventilen wird der Ventilteller mit dem das Ventil geschlossen wird, durch Preßluft oder eine vorgespannte Feder bewegt.

Der Druck der Preßluft beträgt 5 bar, die Druckamplitude der Schockwelle einer gezünde­ ten pyrotechnischen Pille, z. B. aus PETN Sprengstoff von 0.1 g Masse (Würfel von 4 mm Kantenlänge) erreicht dagegen 20 kbar. Demnach müßte der Preßluftdruck auf ei­ ne 4000 mal größere Fläche wirken als die Schockwelle der Zündpille, um dieselbe Kraft zu erzeugen, mit der der Ventilteller beschleunigt werden muß, um das Ventil in dersel­ ben Zeit wie mit der Zündpille zu schließen. Die Anordnung eines Kolbens mit einer so großen Fläche zur Verschiebung des Ventiltellers erfordert einen großen technischen Aufwand. Außerdem besitzt der Kolben eine entsprechend große Masse, die zur Ventil­ tellermasse addiert werden muß, was die Beschleunigung des Ventiltellers verringert und die Schließzeit vergrößert.

Die Beschleunigung eines Ventiltellers von 3 g Masse mit Hilfe der obigen Zündpille be­ trägt 3.4.10⁵ m/s². Bei der Beschleunigung des Ventiltellers dieser Masse durch eine vorgespannte Feder muß für ein Ventil mit 5 cm Nennweite und einem Hub des Ventil­ tellers bzw. einer Dehnung der Feder von 5 cm, eine zunächst angenommen masselose Feder mit 10³ N vorgespannt werden, um dieselbe Beschleunigung zu erhalten. Realistisch hat eine Feder, die bei 5 cm Dehnung eine rücktreibende Kraft von 10³ N besitzt, z. B. einen Außendurchmesser von 2 cm, einen Drahtdurchmesser von 3 mm, eine Länge von 30 cm (100 Windungen) und eine Masse von 351 g, die zur Hälfte als bewegte Masse zur Masse des Ventiltellers addiert werden muß. Dadurch reduziert sich die Beschleunigung des Ventiltellers um den Faktor 59.2.

Im folgenden wird das Ventil, das zusätzlich durch Zeichnungen erläutert wird, näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1. Seitenansicht des Ventils.

Fig. 2. Schnitt A-A (siehe Fig. 1).

Fig. 3. Schnitt B-B (siehe Fig. 2).

Fig. 4. Seitenansicht der Schließvorrichtung.

Fig. 5. Seitenansicht einer Arretierungsvariante.

Fig. 6. Seitenansicht der Antriebsvorrichtung.

Fig. 7. Seitenansicht der Offnungsvorrichtung.

Fig. 8. Schaltskizze der Zündelektronik.

Das Ventil besteht aus einer Vakuumkammer 1 mit jeweils einem Flansch 2 und 3 an bei­ den Enden zur vakuumdichten Befestigung zweier Abschlußdeckel 4 und 5 (siehe Fig. 1). An den Abschlußdeckeln 4 und 5 sind außen entsprechend die Vakuumkammern mit dem zu schützenden Vakuum 19 bzw. mit dem gefährdeten Vakuum 20 befestigt. Durch die Bohrungen 19 und 20 in den Abschlußdeckeln 4 und 5 sind bei offenem Ventil beide Vaku­ umsysteme 19 und 20 verbunden. Bei Verschlechterung des gefährdeten Vakuums 20 wird das Ventil durch die schnelle Bewegung der Schließlamelle 16 in die radiale Position der Bohrungen 19 und 20 and Abdichten des zu schützenden Vakuums 19 durch die Lamelle 16 geschlossen. Nach der Reparatur des gefährdeten Vakuumsystems 20 kann das Ventil mit Hilfe der Öffnungsvorrichtung 82 ohne Brechen des Vakuums wieder geöffnet werden. An zwei gegenüberliegenden Stellen der Vakuumkammer 1 sind zwei Stutzen 31 und 32 mit den Flanschen 33 und 34 angeschweißt. Auf dem Abschlußdeckel 37 des Flanschs 33 sind die Vakuumdurchführung für die Kolbenstange 23 der Antriebsvorrichtung 83 für die Lamelle 16, das Führungsrohr 35 der Kolbenstange 23 mit Schließvorrichtung 36 und die Vakuumdurchführung des Seilzugs 65 der Öffnungsvorrichtung 82, auf dem Abschlußdeckel 38 des Flanschs 34 ist ein Stoßdämpfer 39 montiert.

An der Innenseite der Abschlußdeckel 4 bzw. 5 sind zwei zylindrische Führungsrohre 6 bzw. 7, deren Innendurchmesser gleich dem der Bohrungen 19 und 20 ist, angebracht, wobei das Führungsrohr 6 vakuumdicht, und das Führungsrohr 7 nicht notwendig va­ kuumdicht befestigt ist. über das Führungsrohr 6 ist ein zylindrisches Anpreßstück 8 geschoben und gegen das Führungsrohr mit einer Stopfbüchse, bestehend aus O-Ring- Dichtung 9, Druckring 10 und Überwurfmutter 11, abgedichtet. An einem Ende des Anpreßstücks 8 ist eine Schwalbenschwanz-Nut 15 eingefräst, die eine O-Ring-Dich­ tung zum Abdichten des Ventils durch die Lamelle 16 enthält. Auf dem Führungsrohr 7 ist ein zylindrischer Schlitten 21 verschiebbar angebracht, der beim Schließen des Ven­ tils die Lamelle 16 durch zwei starke Federn 17 (siehe Fig. 2), die an einem Ende mit dem Abschlußdeckel 4 verbunden sind, über eine Lochblende 18 (siehe Fig. 2 und 3) auf die O-Ring-Dichtung des Anpreßstücks 8 preßt und so den linken Teil des Ventils bzw. das zu schützende Vakuum 19, gegen den rechten Ventilteil mit dem gefährde­ ten Vakuum 20 abdichtet. Die Lamelle 16 wird seitlich in der Führung 22 gehalten, die mit dem Stoßdämpfer 39 durch eine Schwalbenschwanzverbindung 55 (siehe Fig. 1 und 3) in axialer Richtung beweglich verbunden ist. Das Führungsrohr 35 ist im Klein­ flanschstutzen 42 (siehe Fig. 4) des Abschlußdeckels 37 mit Hilfe eines Rings 43 und vier Kontermuttern 44 in axialer Richtung ebenfalls beweglich montiert, was, zusammen mit der Schwalbenschwanzverbindung 55 der Führung 22, die axiale Bewegung der La­ melle 16 beim Anpressen des Schlittens 21 ermöglicht. Das Entriegelungsstück 40, das in dem seitlich geschlitzten Führungsrohr 35 läuft, ist in eine Nut der Kolbenstange 23 eingesetzt, zwischen zwei abgedrehte Muttern 41 an beiden Enden eingeklemmt und so mit der Kolbenstange 23 verbunden. Die Schließvorrichtung 36 besteht im wesentlichen aus zwei ineinanderlaufenden Zylindern 46 und 47. Am inneren Zylinder 47, der durch die Feder 48 radial nach außen gedrückt wird, ist das Abstandsstück 29, dessen Breite bei geöffnetem Ventil die Spaltweite zwischen Anpreßstück 8 und Schlitten 21 bestimmt, befestigt. Die Federaufhängungen 57 und 58, in Fig. 4 um 90° versetzt gezeichnet, sind mit dem inneren bzw. äußeren Zylinder verbunden. Die beiden Zylinder sind teilweise geschlitzt. Die radiale Bewegung des inneren Zylinders 47 wird bei geöffnetem Ventil durch eine Arretierung unterbunden. Die Arretierung besteht aus einer am Zylinder 47 montierten Achse 49 mit einer Rolle 50, die auf dem Widerlager 52 ruht, an einem En­ de. Das Widerlager 52 ist am Führungsrohr 35 befestigt. Die Achse 49 wird durch die Feder 51 gegen das Führungsrohr 35 gedrückt. Eine Arretierungsvariante, bei der die Rolle 50 direkt an der Feder 51 befestigt ist, zeigt Fig. 5. Der Zylinder 46 ist durch zwei Halterungen 45 mit dem Führungsrohr 35 verbunden. Die Halterungen 45 und das Widerlager 52 sind wie das Führungsrohr 35, geschlitzt.

Die axiale Position des Anpreßstücks 8 auf dem Führungsrohr 6 wird durch zwei Hal­ testücke 12 und 13 und vier Gewindestangen fixiert. Die Gewindestangen sind mit dem Abschlußdeckel 4 verbunden, laufen parallel zur Vakuumkammerachse durch Bohrungen der Haltestücke und sind an diesen mit Muttern befestigt. Das Haltestück 12 ist auf das Anpreßstück 8 aufgeschraubt und mit dem Ring 14 gekontert. Das Haltestück 13 ist durch zwei Feststellschrauben mit dem Anpreßstück 8 fest verbunden. Bei geöffnetem Ventil befindet sich das Abstandsstück 29 zwischen der drehbaren Welle 53, die über zwei Streben zu beiden Seiten der Führung 22 mit den Haltestücken 12 und 13 und so mit dem Anpreßstück 8 verbunden ist, und der Rolle 54, die an den Schlitten 21 angebaut ist. Die Breite des Abstandsstücks wird so gewählt, daß die Lamelle 16 radial leicht durch den Spalt bewegt werden kann. Durch die schwachen Druckfedern 30 (siehe Fig. 2), die an einem Ende am Anpreßstück 8 montiert sind, wird über die Führung 22 (siehe Fig. 2 und 3) die Lochblende 18 leicht gegen den verbreiterten Teil des Schlittens 21 angedrückt. Die Lochblende 18 ist an einer Seite mit der Führung 22 verbunden. Die axialen Positionen des Anpreßstücks 8 und des Schlittens 21 sind so eingestellt, daß die radiale Bewegung der Lamelle 16 wenig vor dem O-Ring in der Nut 15 erfolgt.

Die Lamelle 16 wird von der Zündpille 25 über den Kolben 24 und die Kolbenstange 23 (siehe Fig. 6) angetrieben. Die Kolbenstange 23 ist mittels der Stopfbüchse 28 und der Kleinflansche 26 und 27 verschiebbar und vakuumdicht mit der Vakuumkammer 1 ver­ bunden. Behn Schließen des Ventils bewegt sich die Kolbenstange 23 mit Lamelle 16 und Entriegelungsstück 40 in radialer Richtung nach innen. Beim Vorbeibewegen des Entrie­ gelungsstücks 40 an der Rolle 50 wird diese, bei geeigneter Form des Entriegelungsstücks 40, mit konstanter Beschleunigung in axialer Richtung vom Führungsrohr 35 weg über das Widerlager 52 bewegt und damit die Arretierung gelöst. D. h., der innere Zylinder 47 der Schließvorrichtung 36 bewegt sich radial nach außen, das Abstandsstück 29 rollt von der Welle 53 und der Rolle 54 ab, der Schlitten 21 bewegt sich durch die Kraft der Feder 17 in axialer Richtung und preßt über die Lochblende 18 die Lamelle 16 auf den O-Ring in der Nut 15. Es ist möglich, das Abstandsstück 29 anstelle mit der Schließvorrichtung 36, mit Hilfe eines Hubmagneten zu bewegen und so das Ventil zu schließen.

Die Lamelle 16, deren Startposition grob gestrichelt in Fig. 3 angedeutet ist, sollte nach der radialen Bewegung die kreisförmige Öffnung des Ventils überdecken, jedoch gestoppt werden, bevor sie am Endstück 56 anschlägt. Die Bremsung wird durch das Zusammendrücken der Druckfeder 59 (siehe Fig. 6) mit Hilfe der abgedrehten auf die Kolbenstange 23 aufgeschraubten Mutter 60 und der losen Scheibe 61 und dem Druck des Schlittens 21 (siehe Fig. 4) über die Blende 18 auf die vorgerückte Lamelle 16 erreicht. Bei Anschlag der Lamelle am Endstück 56 wird sie durch den Stoßdämpfer und die Federn 62 am anderen Ende der Führung 22 (siehe Fig. 3) gestoppt. Der Stoßdämpfer 39 besteht im wesentlichen aus zwei ineinanderlaufenden, teilweise geschlitzten Zylindern 63 und 64 (siehe Fig. 1) und einer Zugfeder 84, die radial außen am inneren Zylinder 63 durch eine Haltescheibe 85, Gewindestange und Mutter und radial innen am äußeren Zylinder 64 durch eine Querstange 86 mit Gewinderingen und Muttern befestigt ist. Der äußere Zylinder besitzt ein Gewinde zum radialen Verstellen der Querstange 86. Am inneren Zylinder 63, der durch die Feder radial nach innen gedrückt wird, ist die Schwalbenschwanzverbindung 55 der Führung 22 montiert. Bei geöffnetem Ventil liegt die Anschlagsquerstange 87, die mit dem inneren Zylinder 63 verbunden ist, auf den Kontermuttern 88 auf. Bei Anstoßen der Lamelle 16 am Querstück 56 (siehe Fig. 3) des Lamellenführungsrahmens 22 bewegt sich die Anschlagsquerstange 87 radial maximal bis zum Anschlag an die Gewinderinge der Querstange 86 nach außen.

Das Stahlseil 65 (siehe Fig. 4) ist am Schlitten 21 befestigt und läuft über die Welle 53 des Anpreßstücks 8, die Rolle 66 des Abstandsstücks 29, über die Rolle 54 des Schlittens 21 und über die Rollen 90 und 91, die wie die Rolle 53 über zwei Streben zu beiden Seiten der Führung 22 mit den Haltestücken 12 und 13 und so mit dem Anpreßstück 8 verbunden sind, radial nach außen. Zum Schließen des Ventils muß das Stahlseil 65 lose sein, damit der Schlitten 21 axial gegen die Lamelle 16 bewegt werden kann. Zum Öffnen des Ventils wird der Schlitten 21 mit Hilfe des Seils 65, das mit dem Stab 70 der Offnungsvorrichtung 82 (siehe Fig. 7) verbunden ist, axial von der Lamelle 16 wegbewegt, indem der Stab 70 radial nach außen gezogen wird. Dadurch wird das Abstandsstück 29 und der Innenzylinder 47 der Schließvorrichtung 36 radial nach innen verschoben, wobei die Rolle 50 über das Widerlager 52 gezogen wird und einrastet. Gleichzeitig werden die Welle 53 und die Rolle 54 und damit das Anpreßstück 8 und der Schlitten 21 durch das Abstandsstück 29 auf den für das geöffnete Ventil geeigneten Abstand gebracht. Der Stab 70, der an die Gewindestange 72 montiert ist, die durch die Mutter 73 in radialer Richtung verschoben werden kann, ist mittels der Kleinflansche 67 und 68 (siehe Fig. 1 und 7) und der Stopfbüchse 69 verschiebbar und vakuumdicht mit der Vakuumkammer 1 verbunden. Das Drehen der Gewindestange 72 beim Drehen der Mutter 73 wird durch einen geschlitzten Zylinder 74 mit einem Querbolzen 75 durch Schlitz und Gewindestange 72 verhindert.

Zum elektronischen Auslösen der Zündpille 25 wird der Filamentwiderstand 76 der Pille (siehe Fig. 8) durch einen elektrischen Strompuls erhitzt und damit die Pille gezündet. Der Strompuls durch den Filamentwiderstand 76 wird durch das Entladen des Kondensators 77 erzeugt.

Bei Fehlen eines positiven Spannungssignals am Eingang 80, der z. B. mit einem piezore­ sistiven Drucksensor verbunden ist, mit dem die Druckdifferenz zwischen dem gefährdeten Vakuum 20 und dem zu schützenden Vakuum 19 gemessen wird, sperrt der pnp-Transi­ stor 81, und der Kondensator 77 wird über den Widerstand 79 auf die Spannung der am Punkt 78 angelegten Spannungsquelle aufgeladen. Im Fall eines Druckanstiegs im gefähr­ deten Vakuum 20 wird eine positive Spannung am Eingang 80 erzeugt, der Transistor 81 schaltet durch, und der Kondensator 77 wird über den Filamentwiderstand 76 entladen, und die Pille gezündet.

Claims (10)

1. Schnellschließendes Hochvakuumventil oder eine andere schnell zu schließende oder zu öffnende Anordnung, dadurch gekennzeichnet, daß die Schließlamelle (16) oder eine entsprechende bewegliche Vorrichtung und/ oder deren Arretierungen durch eine elektronisch gezündete Zündpille (25) oder Treibladung bewegt bzw. entriegelt werden.

2. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beim Schließen des Ventils die Lamelle (16), angetrieben durch die Zündpil­ le (25) oder Treibladung, einen Kolben (24) und eine Kolbenstange (23) schnell in die radiale Position der Öffnungen (19, 20) der Vakuumkammer (1) zwischen ein Anpreßstück (8) mit einer Dichtung (15) und einen beweglichen, mit Federn (17) beaufschlagten Schlitten (21) gebracht wird, wobei ein mit der Kolbenstange (23) verbundenes Entriegelungsstück (40) mit geeigneter Kantenform, eine Arretierungs­ rolle (50), die an eine Feder (51) oder an eine federnde Achse (51, 49) montiert ist, über ein Widerlager (52) hebt, wobei die Feder (51) oder die federnde Ach­ se (51, 49) an einen federnden Zylinder (48, 47), der mit einem Abstandsstück (29) beaufschlagt ist, fixiert ist, wobei das Abstandsstück (29) von einer mit dem Anpreßstück (8) verbundenen Welle (53) und von einer mit dem Schlitten (21) ver­ bundenen Rolle (54) abrollt, und die Lamelle (16) durch den Schlitten (21) über eine Lochblende (18) auf die Dichtung (15) des Anpreßstücks (8) gedrückt wird.

3. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der federnde Zylinder (48, 47) der Arretierungsrolle (50) in einem Zylinder (46), der an ein Kolbenstangenführungsrohr (35) montiert ist, beweglich ist, und eine Querstange (57), an der die Feder (48) befestigt ist, am inneren Zylin­ der (47), und eine andere Federbefestigungsquerstange (58) am äußeren Zylinder (46) fixiert ist, und beide Zylinder teilweise geschlitzt sind.

4. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Lamellenführungsrahmen (22) mit Lochblende (18), der über eine Schwalbenschwanz- oder Langlochführung (55) an einen federnden Zylinder (84, 63) montiert ist, wobei die Lochblende (18) durch schwache Federn (30) über den Lamellenführungsrahmen (22) leicht gegen den Schlitten (21) gedrückt wird, und das Kolbenstangenführungsrohr (35), das durch einen weiten Ring (43) und Kontermuttern (44) fixiert ist, beim Anpressen des Schlittens (21) auf Lochblende (18) und Lamelle (16) axial verschoben werden, und der federnde Zylinder (84, 63) in einem Zylinder (64), der mit der Vakuum­ kammer (1) verbunden ist, beweglich ist, und eine Haltescheibe (85), an der die eine Seite der Stoßdämpferfeder (84) befestigt ist, am inneren Zylinder (63), und eine Federbefestigungsquerstange (86) am äußeren Zylinder fixiert ist, und der äußere Zylinder (64) teilweise mit Gewinde und Kontermuttern (88) versehen ist, und bei­ de Zylinder (63, 64) teilweise geschlitzt sind, und eine Anschlagsquerstange (87) mit dem inneren Zylinder (63) verbunden ist.

5. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamelle (16) durch das Zusam­ menpressen einer Druckfeder (59) durch eine Scheibe (61), die von einer auf die Kolbenstange (23) aufgeschraubten Mutter (60) bewegt wird, das Drücken des Schlittens (21) auf die Lochblende (18) und das Dehnen der Stoßdämpferfeder (84) und der Haltefedern (62) des Lamellenführungsrahmens (22) gebremst wird.

6. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß beim Öffnen des Ventils der Schlitten (21) durch einen Seilzug (65), der durch einen Schubstab (70) mit Gewindestange (72) und Mutter (73) gespannt wird, von der Lamelle (16) wegbewegt wird, wobei der Seilzug (65), der am Schlitten (21) montiert ist und über mit dem Anpreßstück (8) verbundenen Wellen (53, 90, 91), eine in das Abstandsstück (29) eingebaute Rol­ le (66) und über die mit dem Schlitten (21) verbundene Rolle (54) läuft, die Ar­ retierungsrolle (50) von rückwärts über das Widerlager (52) zieht, wobei in dieser Stellung die Lamelle (16), durch Ziehen der Kolbenstange (23) nach außen, aus der radialen Position der Vakuumkammeröffnung (19, 20) entfernt werden kann, und die Arretierungsrolle (50) nach Lockern des Seilzugs (65) durch den Schubstabantrieb (70, 72, 73) am Widerlager (52) einrastet.

7. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Anpreßstück (8) gegenüber einem zylindrischen Führungsrohr (6) mit einer Stopfbüchse (9, 10, 11) gedichtet ist und mit Gewindestangen und Haltestücken (12, 13) fixiert ist, und der Schlitten (21) auf einem Führungsrohr (7) axial beweglich ist und bei geöffnetem Ventil durch das Abstandsstück (29) in einem bestimmten Abstand zum Anpreßstück (8) gehalten wird.

8. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (23) und der Schub­ stab (70) durch Stopfbüchsen (28, 69) oder Federbälge aus der Vakuumkammer (1) geführt werden.

9. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an den Haltestücken (12, 13) an zwei gegenüberliegenden Seiten des Anpreßzylinders (8) jeweils ein Hubmagnet montiert werden kann, an dessen Eisenkern jeweils eine Scheibe montiert ist, die beim Schlie­ ßen des Ventils die Lamelle (16) durch Drücken auf die Lochblende (18) bremst, und das Abstandsstück (29) an den Eisenkern eines weiteren Hubmagneten montiert werden kann und durch diesen bewegt wird.

10. Schnellschließendes Hochvakuumventil nach einem oder mehreren der vorhergehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß beim elektronischen Zünden der Pille (25) der elektrische Filamentwiderstand (76) der Pille durch einen Strompuls er­ hitzt wird, wobei ein Transistor (81) durch ein elektrisches Spannungssignal (80), z. B. eines Drucksensors, durchgeschaltet wird, und ein Kondensator (77) über den Filamentwiderstand (76) entladen wird, und bei Fehlen des elektrischen Spannungs­ signals (80) der Transistor (81) sperrt, und der Kondensator (77) über einen Wi­ derstand (79) auf die Spannung einer angelegten Spannungsquelle (78) aufgeladen wird, und der Ladungszustand des Kondensators (77) durch, z. B. verschiedenfar­ bige, Leuchtdioden (89) angezeigt wird.