DE19904948C2 - Druckstufensystem für eine Vorrichtung zum Elektronenstrahlschweißen in Druckbereichen >10 hoch-4mbar - Google Patents
Druckstufensystem für eine Vorrichtung zum Elektronenstrahlschweißen in Druckbereichen >10 hoch-4mbarInfo
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Description
Das Schweißen mittels eines Elektronenstrahls hoher Leistung (24 bis 36 kW), der vom Vaku
um an die Atmosphäre geführt und dort angewendet wird, ist bekannt. Vorteilhaft sind vor
allem die hohen erzielbaren Schweißgeschwindigkeiten von 8 bis 15 m/min und eine gute
Spaltüberbrückbarkeit, die eine Anwendung von Schweißdraht meistens lediglich zur Erzielung
bestimmter metallurgischer Effekte notwendig macht. Die erforderliche Strahlbreite, um Spal
te bis zu 1 mm zu überbrücken, wird einfach durch die Wahl eines genügend großen Arbeits
abstands (ca. 25 bis 35 mm bei 175 kV-185 kV) erzielt. Weder dieser Arbeitsabstand noch die
Strahlleistung oder die Schweißgeschwindigkeit sind besonders kritisch. Sie müssen nicht so
genau eingehalten werden, wie das bei anderen Verfahren der Fall ist.
Da im Vergleich zum Vakuum-Elektronenstrahlschweißen keine Vakuumkammer erforderlich
ist, können prinzipiell beliebig große Werkstücke geschweißt werden. Allerdings erfordert die
entstehende Röntgenstrahlung eine ausreichende Bleiabschirmung der Schweißstelle. Die
Einbindung des NV-EBW (non vakuum elektron beam welding) in eine Fertigungsstraße ist je
doch mittels einer "Röntgenfalle" möglich. Dabei muß sichergestellt sein, daß kein direkter
geradliniger Sichtkontakt zur Strahlquelle möglich ist.
Beim NV-EBW sind darüber hinaus die Wartungs- und Stückkosten niedriger, und die Fügetole
ranzen können größer sein als beim Laserstrahlschweißen.
Anlagen zum Elektronenstrahlschweißen unter erhöhtem Druck, d. h. in der Regel unter Atmo
sphärendruck, sind seit ca. 30 Jahren bekannt (vgl. Kluger, H./Dietrich, W.: Elektronenstrahl
schweißen an freier Atmosphäre. Schweißen und Schneiden, Jg. 16 (1964), Heft 10).
Der Druck im Strahlerzeuger ist durch die erforderliche Spannungsfestigkeit nach oben hin
begrenzt. Er beträgt für 150 kV Hochspannung und übliche Elektrodenabstände weniger als 5
. 10-4 mbar. Nach dem Austritt aus dem Strahlerzeugersystem kann der Strahl in Räume hö
heren Drucks bis zum Atmosphärendruck geführt werden, wobei NV-EBW- und EBW-Strahl
erzeuger für den Vakuumeinsatz weitgehend baugleich sind. Dies wird nach dem heutigen
Stand der Technik dadurch erreicht, daß der im Vakuum erzeugte Strahl nach Verlassen des
Generators über ein mehrstufiges Druckstufen- und Düsensystem an die Atmosphäre geführt
wird. Die dem Strahlerzeugerraum mit einem Vakuum von 10-4 mbar nachgeschalteten Druck
kammern, mit jeweils höherem Druck (10-2 und 1 mbar), werden getrennt abgepumpt und sind
durch Druckdüsen vakuumtechnisch voneinander getrennt. Der Strahl wird auf die Austritts
düse fokussiert, die einen Innendurchmesser von 1-2 mm aufweist. Nach Eintritt des Strahls
in die Atmosphäre behält der Kernstrahl zwar noch auf einem kurzen Wegstück seine Lei
stungsdichte, wird aber nach Überschreiten einer Maximaldistanz mit zunehmender Entfer
nung überproportional stark gestreut, so daß ein Schweißen nicht mehr möglich ist. Aus die
sem Grund ist diese Technik nur bei höheren Beschleunigungsspannungen, die im allgemeinen
zwischen 150 und 185 kV liegen, einsetzbar. Je nach Beschleunigungsspannung muß ein ma
ximaler Werkstückabstand von 10-30 mm eingehalten werden.
Aus der US 4,607,167 beispielsweise ist ein derartiges Druckstufensystem bekannt, das aus
koaxialen Kegeln mit einem Längen-Durchmesser-Verhältnis etwa 1 : 1 ausgebildet ist. In der
EP 0 924 019 ist in Fig. 1 eine handelsübliche NV-EBW-Anlage dargestellt, in deren Druckstu
fensystem die bekannten koaxialen Kegel teilweise angeschnitten und anderenteils in ein grö
ßeres Gehäuse integriert sind. In derselben Schrift wird eine Verfeinerung dieses Druckstu
fensystems vorgestellt.
Die heute verfügbaren Anlagen schränken die Anwendungsmöglichkeiten des NV-EBW Verfah
rens noch stark ein. So sind innenliegende Fügestellen in komplexen räumlichen Bauteilen
kaum erreichbar. Die Anwendungen des Verfahrens beschränken sich auch heute noch auf
gut erreichbare Außennähte.
Prinzipiell stehen sich die fertigungstechnischen und die vakuumtechnischen Anforderungen
konträr gegenüber. Das Erreichen niedriger Arbeitsdrücke ist nur unter Ausnutzung möglichst
großer Absaugquerschnitte möglich. Der Einsatz in der Praxis erfordert es aber, daß ein Füge
werkzeug möglichst jede beliebige Nahtgeometrie und Lage erreicht.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, unter Vermeidung der aus dem Stand der
Technik bekannten Nachteile ein Druckstufensystems zu schaffen, das eine größtmögliche
Nahtzugänglichkeit auch "in der Tiefe" von Bauteilen ermöglicht, die Art der möglichen Naht-
und Bauteilformen also nicht stark einschränkt. Darüber hinaus soll es effektiv vor den Ein
flüssen des Schweißprozesses geschützt sein und die schnelle und preiswerte Nachrüstung
bestehender Vakuum-Elektronenstrahlschweißanlagen zu Non-Vakuum-Elektronenstrahl
schweißanlage erlauben.
Diese Aufgabe wird bei einem Druckstufensystem der eingangs genannten Gattung dadurch
gelöst, daß das Druckstufensystem aus koaxialen Druckrohren ausgebildet ist und ein Ver
hältnis Länge : Durchmesser von mehr als 4 : 1 bei einem Durchmesser nicht größer als 80 mm
aufweist. Zur Erzielung dieses überraschenden und scheinbar einfachen Ergebnisses wa
ren zahlreiche Vorversuche und Studien sowie umfangreiche vakuumtechnische Berechnun
gen erforderlich.
Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Die Erfindung wird nachstehend anhand einer bevorzugten Ausführungsform und mit Bezug
auf die beigefügte Zeichnungsfigur näher erläutert, die einen Schnitt durch das Druckstufen
system zeigt.
Wie aus der Figur ersichtlich, besteht das Druckstufensystem 1 aus folgenden Bauteilen: Ei
nem ersten Druckrohr 2, einem koaxial innerhalb des ersten Druckrohres 2 angeordneten
zweiten Druckrohr 3, einem Druckstufenhalter 4, einer ersten Düse 5, einem Düsenkegel 6,
einer zweiten Düse 7, einem Deckkegel 8 und einer Grundplatte 9, deren Aufbau und Funktion
im Folgenden beschrieben werden:
Nach der vakuumtechnischen Abschätzung der Absaugquerschnitte im Grob- und Feinvaku
um-Bereich und der Berechnung der Effektivsaugleistung am Rezipienten muß bei der Ausle
gung der ersten und zweiten Druckstufe 2 und 3 auf die Besonderheiten der vorhandenen
Elektronenstrahlanlage eingegangen werden. Dabei sollten die Druckstufen jeweils aus einer
Düsenaufnahme und einer Düse selbst bestehen. Für beide Druckstufen gelten gemeinsam
folgende Anforderungen:
- - rotationssymmetrische Geometrie
- - Sicherstellen ausreichender Kühlung
- - Trennung der gegenüberliegenden Druckbereiche
- - leichte Auswechselbarkeit der Druckdüsen
- - strömungsgünstige Geometrie zwischen innerer und äußerer Druckstufe
Das Druckrohr 2 dient zunächst als Stütz- bzw. Tragkörper des Druckstufensystems 1 und der
Zentrierung der weiteren Komponenten. Es weist weiter die erforderliche Anbindung von Was
ser-, Arbeitsgas- und Vakuumzuführungen auf.
Gleichzeitig bildet es eine Abschirmung des Grobvakuum-Bereiches (innerhalb des Druckroh
res 2) gegen die Atmosphäre (außerhalb des Druckrohres 2).
Neben der mechanischen Belastbarkeit des zu wählenden Materials der Außenhülle muß be
achtet werden, daß es korrosionsbeständig und nicht magnetisierbar ist, da magnetisierbare
Werkstoffe zu unkontrollierten Strahlablenkungen im Druckstufensystem führen und es so
zerstören.
Ebenso sollte es kostengünstig und leicht zu beschaffen sein. Da dieses Bauteil der Strahl
energie nicht direkt ausgesetzt ist, sind seine wärmeleitenden Eigenschaften zweitrangig. Aus
den in Frage kommenden Werkstoffen Kupfer, Aluminium und CrNi-Stahl kann z. B. ein Alumi
nium-Rundrohr 80 × 8 aus AlMgSi 1 gewählt werden. Die Wandstärke von 8 mm bietet die
Möglichkeit, alle erforderlichen Zuführungen vakuumneutral in der Hülle unterzubringen. Zu
sätzlich kann durch die Einbringung von vier Befestigungsbohrungen M4 × 15 die vakuumdichte
und biegesteife Verbindung mit dem Strahlerzeuger gesichert werden. Dies ist besonders
deshalb von Bedeutung, weil es aufgrund der Länge des Druckstufensystems 1 bei einer Kolli
sion zu hohen Biegekräften in der Befestigung kommen kann. Aus der Innenbohrung des er
sten Druckrohres 2 folgt der Querschnitt der Grobvakuumabsaugung für die weitere Ausle
gung des Druckstufensystems.
Die Konstruktion der Grobvakuum-Druckstufe orientiert sich stark an der vorliegenden Form
der äußeren Abdeckung. Dabei ist es wichtig, daß die Austrittsöffnungen der äußeren Druck
düse 7 so nah wie möglich an die Fügestelle herangeführt werden kann. Um dies zu erreichen
ist es notwendig, eine effektive Kühlung der in Schweißbadnähe liegenden Bauteile zu gestal
ten. Ebenso muß die äußere Düse 7 ausreichend gekühlt werden, da zu erwarten ist, daß sie
durch die Strahlaufweitung des Elektronenstrahls stark erwärmt wird. Aus diesem Grund wur
de für die Abdichtung der Düse gegen Kühlwasser und Vakuum eine Graphitfolie von 0,2 mm
Stärke gewählt, die sich durch einfaches Stanzen mittels Locheisen in die gewünschte Form
bringen läßt. Die Graphitfolie ist bis 400°C temperaturbeständig und kann darüber hinaus
Form- und Lagetoleranzen in Axialrichtung durch Anpassen ihrer Stärke ausgleichen. Um den
vakuumtechnischen Anforderungen Rechnung zu tragen, wurde auf eine separate Befestigung
des äußeren Düsenkegels 6 sowie der dazu gehörenden Düse 7 verzichtet.
Beide Teile werden durch die Abdeckung in ihren Sitz gepreßt. Die Abdichtung am Fuß der
äußeren Druckstufe erfolgt durch einen O-Ring. Eine entsprechende Nut ist auf dem Umfang
des Düsenkegels 6 einzubringen. Dadurch wird eine ausreichende Abdichtung des Grobvaku
um-Bereiches gegen den Kühlwasser-Bereich erzielt. Um die Kühlleistung des Kühlwasser
stromes effektiv zu nutzen, wird der gesamte Raum zwischen Düsenkegel 6 und Abdeckung 8
geflutet. Dadurch wird die größtmögliche Kühlung erzielt und gleichzeitig kann auf zusätzliche
Kühlmittelbohrungen verzichtet werden, die ansonsten für eine Kühlmittelzufuhr zur äußeren
Druckdüse 7 nötig wären. Besonders an der äußeren Druckstufe zeigt sich, daß die gewählte
Kegelform nicht nur vakuumtechnische, sondern auch mechanische Vorteile bietet. Trotz der
geringen Wandstärke der Vorvakuumdruckstufe kann in axialer Richtung eine sehr hohe Mon
tagekraft ohne Gefahr des Verzugs aufgenommen werden. Dies ist besonders wichtig, da nur
durch die Vorspannkraft in der Spitze des Druckstufensystems 1 die Dichtwirkung sicherge
stellt wird. Aus mechanischen Gründen wurde als Material für den äußeren Düsenkegel 6
CrNi-Stahl gewählt. Aufgrund der guten Abschirmung des Systems durch den Kühlwasser
strom ist auch hier die schlechte Wärmeleitung des gewählten Materials zu vernachlässigen.
Als Material für die äußere Druckdüse 7 kann nur Kupfer gewählt werden, da es den größten
Wärmeleitkoeffizenten der zu Verfügung stehenden Materialien besitzt.
Das koaxial innerhalb des ersten Druckrohres 2 liegende zweite Druckrohr 3 übernimmt die
Trennung von Grobvakuum-Bereich (zwischen erstem Druckrohr 2 und zweitem Druckrohr 3)
und Feinvakuum-Bereich (innerhalb des zweiten Druckrohres 3).
Die Abdichtung der Anschlußstellen erfolgt ergänzend zu den Übergangspassungen, die einen
sehr hohen Durchlaßwiderstand aufweisen, mit zusätzlichen O-Ringen. Um einen sicheren
Zusammenbau des Druckstufensystems zu gewährleisten, wird das innere Druckrohr 1/10 mm
kürzer gefertigt als es das Nennmaß zuließe, um eine Überbestimmung und damit einher
gehende Undichtigkeit zu vermeiden. Der Durchmesser des inneren Druckrohres ergibt sich
aus den vakuumtechnischen Notwendigkeiten. Der Außendurchmesser darf nicht zu groß
werden, da sonst der Querschnitt für die Absaugung der Vorvakuumstufe verringert wird. Der
Innendurchmesser muß jedoch so groß wie möglich gewählt werden, um das Feinvakuum bis
zur ersten Düse 5 zu erhalten. Es ist also ein Kompromiß zu finden, der sowohl die geometri
schen Erfordernisse der Vorvakuumdruckstufe als auch der Feinvakuumstufe in ausreichender
Weise berücksichtigt. Unter Einbeziehung der auswählbaren Al-Rohre und der zugrundeliegen
den vakuumtechnischen Berechnungen kann z. B. ein nahtlos gezogenes Präzisionsrohr aus
AlMgSi 1 mit den Maßen 39 × 3 gewählt werden. Durch die Wahl des äußeren Durchmessers
des zweiten Druckrohres 3 ergibt sich der Absaugquerschnitt der Vorvakuumseite. Die Wand
stärke (hier 3 mm) für das innere Druckrohr ist nötig, um die Verbindungsstellen spanend be
arbeiten zu können und die entsprechenden Passungen einzubringen. Es ist weiter darauf zu
achten, daß der Absaugquerschnitt der Vorvakuumstufe ausreichend groß ist, damit es nicht
zu einer Verblockung (Strömungsgeschwindigkeit < Schallgeschwindigkeit) im Absaugquer
schnitt kommt. Dies ist bei den hier gewählten Dimensionen nicht der Fall.
Für die Auslegung der inneren Druckstufe sind aufgrund der vorangegangenen Konstruktionen
bereits eine Vielzahl von Randbedingungen festgelegt. Die Düse der inneren Druckstufe muß
folgende Bedingungen erfüllen:
- - Anbindung einer Kühlwasserbohrung mit einem Durchmesser von di = 6 mm
- - Ausblendung des zu erwartenden Randstrahls durch gleichzeitige Funktion als Aper turblende
- - koaxiale Position zum Elektronenstrahl
Die Distanz zwischen der inneren und der äußeren Druckdüse 5 und 7 sollte so kurz wie mög
lich sein, da der Elektronenstrahl sich im Bereich des Grobvakuums bereits beträchtlich auf
weitet. Gleichzeitig darf aber der Abstand zwischen beiden Druckstufen nicht zu gering wer
den, da sonst die Gefahr besteht, daß der Absaugquerschnitt für den Grobvakuum-Bereich zu
sehr eingeschnürt wird. Die gewählte Düsengeometrie basiert auf Untersuchungen verschie
dener Düsenanordnungen und Strahlführungsprinzipien, die bereits Anfang der 70er Jahre
gemacht wurden [Arata, Y.: Some fundamental properties of nonvacuum electron beam.
Plasma, Electron and laser beam technology, american society for metals, 1986, pp. 71-90].
Dabei wurde ein Plasmafokussierungseffekt beschrieben, der sich bei der Wahl eines Strahl
führungskanals mit engem Querschnitt bemerkbar macht. Es kommt durch die Ionisation der
Restatmosphäre zu einer Einschnürung des Elektronenstrahls. Um diesen Effekt zu nutzen,
wurde die innere Druckstufe so konzipiert, daß sie sowohl den zu erwartenden Randstrahl
ausblenden als auch die Düsenfunktion übernehmen kann. Die Funktion der Strahlausblen
dung wird von dem unteren Teil der Druckstufe erfüllt, in den eine Kegelbohrung mit einer
Steigung von 10 : 1 eingebracht wird. Diese Kegelbohrung wird über ihre gesamte Länge ge
kühlt. Durch diese Ausblendung des Elektronenstrahls auf einer Länge von 20 mm wird ver
hindert, daß der Randstrahl seine Energie konzentriert abgibt und die Druckstufe zerstört. Die
dann folgende zylindrische Bohrung mit einem Maximaldurchmesser von 2 mm erfüllen die
Funktion des Plasmakanals. Die Düse wird direkt durch die Wasserzuführung im Druckstufen
halter gekühlt.
Das erste Druckrohr 2 und das zweite Druckrohr 3 sind an ihrem einen Ende mittels der
Grundplatte 9 verbunden, die auch als Schnittstelle für den jeweils eingesetzten Strahlerzeu
ger dient und also an dessen Geometrie anzupassen ist. Die anderen Enden des ersten Druck
rohres 2 und des zweiten Druckrohres 3 sind mittels des Druckstufenhalters 4 verbunden.
Diesem Bauteil kommt eine zentrale Bedeutung zu und es muß eine Vielzahl von Funktionen
übernehmen:
- - Zentrierung der Bauteile zueinander
- - Sicherstellen der Koaxialität des Druckstufensystems
- - Verteilen der Medien Wasser, Arbeitsgas und Vakuum
- - Abdichtung des Fein- und Grobvakuum-Bereiches
- - Aufnahme der Druckstufen
- - Verbinden der Druckrohre zu einer Montageeinheit
- - Ermöglichen eines einfachen und schnellen Düsenwechsels
Die Geometrie des Druckstufenhalters 4 orientiert sich am einzuhaltenden Außendurchmesser
von hier 80 mm. Er stellt die Verbindung zwischen erstem Druckrohr 2 und Abdeckung 8 her,
so daß er alle Durchführungen und erforderlichen Dichtungen aufnehmen muß. Darüber hin
aus muß der Kühlwasserstrom für die innere Düse 5 unterverteilt werden. Die Aufnahme der
Druckstufen sollte einfach, aber vakuum- bzw. wasserdicht erfolgen. Der Saugvolumenstrom
des Grobvakuums soll möglichst ungestört bis zur äußeren Düse 7 herangeführt werden.
Schließlich muß die Abdeckung 8 am Druckstufenhalter 4 zu befestigen sein. Da sich im
Druckstufenhalter 4 sehr kleine Gewindebohrungen befinden und er eine hohe Stabilität auf
weisen muß, wurde als Werkstoff CrNi-Stahl gewählt. Er ist antimagnetisch und korrosionsbe
ständig und bietet unter den vorhandenen Werkstoffen die höchste Stabilität. Seine niedrige
Wärmeleitfähigkeit ist hier von untergeordneter Bedeutung. Die Aufnahme der Druckstufen
erfolgt selbstklemmend durch Schiebesitze wobei die Position zusätzlich durch die Pressung
der O-Ringe gesichert ist. Im Betrieb können die Druckstufen sich nicht lösen, da sie durch
den Unterdruck in ihrer jeweiligen Stellung fixiert werden. Im gefluteten Zustand ist so ohne
spezielle Werkzeuge ein schnelles und einfaches Wechseln der Düsen möglich. Die Befesti
gung am ersten Druckrohr 2 erfolgt durch vier Messingschrauben M3 × 15. Dabei wird gleichzeitig
das innere (zweite) Druckrohr 3 positioniert und gegenüber dem Grobvakuum-Bereich
abgedichtet. Da bei diesem Bauteil eine Vielzahl von Positionieraufgaben in einer Montage
erfolgt, kommt es auch hier wieder sehr auf die genaue Einhaltung der Toleranzangaben an.
Die lagerichtige Positionierung der Bauteile erstes Druckrohr 2, Druckstufenhalter 4 und Ab
deckung 8 zueinander erfolgt mittels eines 3 mm Zylinderstiftes, der in einer entsprechenden
Bohrung aller drei Bauteile sitzen muß. So wird vor allem sichergestellt, daß die O-Ringe der
Wasser- und Gasdurchführungen auf ihren Dichtflächen anliegen.
Um die Prämisse der Rotationssymmetrie und gleichmäßiger Zugänglichkeit der Fügestellen
zu erfüllen, wurde der Kopf des Druckstufensystems 1 als Kegel ausgeführt.
Dabei sollte ein Kegelwinkel von max. 90° eingehalten werden. Größere Winkel wären bei der
Gestaltung der Absaugung nützlich, würden aber das Erreichen von Kehlnähten an zu fügen
den Bauteilen stark einschränken. Mit einem Kegelwinkel bis 90° lassen sich Kehlnähte unter
einem Kehlnahtwinkel ≧ 90° mit einem günstigen Anstellwinkel von 45° und bis zum minima
len Arbeitsabstand hin bearbeiten. Ein Kegelkopf dieser Geometrie läßt aber unter Berücksich
tigung des nötigen Absaugquerschnittes keine zusätzliche innenliegenden Zuführungen für
Wasser und Arbeitsgas zu. Deshalb wurde eine Zufuhr des Arbeitsgases innerhalb des Kegel
mantels gewählt. Versuche mit bereits bestehenden Druckstufensystemen haben gezeigt, daß
man entweder eine He geflutete Überdruckstufe vor die Strahlaustrittsdüse installieren oder
den Gasstrom koaxial zuführen sollte. Dadurch erreicht man eine Schutzgasatmosphäre an
der Fügestelle und saugt überwiegend Helium in das Druckstufensystem hinein. Zusätzlich
verringert sich die Strahlaufweitung. Für die konstruktive Auslegung der äußeren Abdeckung
bedeutet dies, daß der Heliumgasstrom bis zur Strahlaustrittsstelle geführt wird, um die ver
schiedenen Arbeitsgasfunktionen zu erfüllen. Dabei kann der Gasstrom sowohl als sogenann
ter Cross-Blow querströmen als auch zum Teil in einer Überdruckstufe münden. Man erreicht
so einen minimalen Aufwand bei der Gaszufuhr und den maximalen Nutzen bei der Gasan
wendung. Neben der Arbeitsgaszufuhr muß die äußere Abdeckung 8 des Druckstufensystems
1 noch folgende Funktionen übernehmen:
- - Kühlung der äußeren Düse 7 des Druckstufensystems 1
- - Abschirmung des Druckstufensystems 1 gegen äußere Einflüsse
Der Außendurchmesser der Abdeckung 8 entsprechend des ersten Druckrohres 2 mit 80 mm
festgelegt. Da zur Abdichtung der verschiedenen Medien (Kühlwasser, Arbeitsgas) und Vaku
um Dichtelemente nötig sind, und da auch die Arbeitsgaszufuhr in der Wand der Abdeckung 8
erfolgen soll, kann seine Wandstärke nicht beliebig klein gewählt werden. Unter Berücksichti
gung der erforderlichen Nuten und Bohrungen wurde bei einem Außendurchmesser 80 mm
ein Innendurchmesser von 68 mm gewählt. Die Weiterleitung von Wasser und Arbeitsgas in
nerhalb der Abdeckung erfordert die Einbringung verschiedener Bohrungen bzw. Nuten. Bei
der Fertigung dieses wie auch aller anderen Teile des Druckstufensystems 1 ist besonders auf
die Einhaltung der Koaxialität zu achten.
Das vorstehend anhand eines Ausführungsbeispiels dargestellte Druckstufensystem löst die
eingangs gestellte Aufgabe in besonders effektiver Weise, wobei insbesondere auch die Mög
lichkeit einer Umrüstung bestehender Vakuum-Elektronenstrahlschweißanlagen zu NV-EBW-
Anlagen zu erwähnen ist.
Claims (6)
1. Druckstufensystem für eine Vorrichtung zum Elektronenstrahlschweißen in Druckberei
chen < 10-4 mbar, wobei das Druckstufensystem aus mindestens zwei kaskadierenden
Stufen besteht,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Druckstufen in Form eines ersten Druckrohres (2) und eines koaxial innerhalb des er
sten Druckrohres (2) angeordneten zweiten Druckrohres (3) ausgebildet ist und daß das
Druckstufensystem (1) ein Verhältnis Länge : Durchmesser von mehr als 4 : 1 bei einem
Durchmesser nicht größer als 80 mm aufweist.
2. Druckstufensystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß seine äußere Form im
wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist.
3. Druckstufensystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Spitze
der Ausgangsdruckstufe (6, 8) im wesentlichen die Form eines Kegels oder Kegel
stumpfes aufweist.
4. Druckstufensystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß
auch die innenliegenden Bauteile (3, 5, 6, 7) des Druckstufensystems (1) im wesentlichen
rotationssymmetrisch ausgebildet sind.
5. Druckstufensystem nach einem Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß inner
halb des Druckstufensystems (1) Druck-, Kühlmittel- und/oder Arbeitsgasleitungen aus
gebildet sind.
6. Druckstufensystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bestehend aus
einer die ersten Enden des ersten Druckrohrs (2) und des zweiten Druckrohrs (3) ver bindenden Grundplatte (9), die an einen Strahlerzeuger ankoppelbar ist;
einem die zweiten Enden des ersten Druckrohrs (2) und des zweiten Druckrohrs (3) verbindenden Druckstufenhalter (4);
einer in dem Druckstufenhalter (4) koaxial aufgenommenen ersten Düse (5);
einem an dem Druckstufenhalter (4) koaxial aufgenommenen Düsenkegel (6);
einem an dem Druckstufenhalter (4) koaxial aufgenommenen, den Düsenkegel (6) umschließenden Deckkegel (8); und
einer zwischen der Spitze des Düsenkegels (6) und der Spitze des Deckkegels (8) an geordneten zweiten Düse (7).
einer die ersten Enden des ersten Druckrohrs (2) und des zweiten Druckrohrs (3) ver bindenden Grundplatte (9), die an einen Strahlerzeuger ankoppelbar ist;
einem die zweiten Enden des ersten Druckrohrs (2) und des zweiten Druckrohrs (3) verbindenden Druckstufenhalter (4);
einer in dem Druckstufenhalter (4) koaxial aufgenommenen ersten Düse (5);
einem an dem Druckstufenhalter (4) koaxial aufgenommenen Düsenkegel (6);
einem an dem Druckstufenhalter (4) koaxial aufgenommenen, den Düsenkegel (6) umschließenden Deckkegel (8); und
einer zwischen der Spitze des Düsenkegels (6) und der Spitze des Deckkegels (8) an geordneten zweiten Düse (7).
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1999
- 1999-02-06 DE DE29902168U patent/DE29902168U1/de not_active Expired - Lifetime
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DE102008027322A1 (de) | 2008-06-07 | 2009-12-10 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Druckstufensystem für eine Vorrichtung zum Elektronenstrahlschweißen und Verfahren zum Elektronenstrahlschweißen |
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