DE1764536B2 - Hochfrequenz-Plasmagenerator - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Hochfrequenz-Plasmagenerator mit einem Gehäuse, das eine durchgehende zentrale sowie zwei dazu koaxiale Bohrungen unterschiedlichen Durchmessers und verschiedener Tiefe aufweist, einem Rohr, das von einer Induktionsspule umgeben ist und die Brennkammer bildet und da mit einem einen Ende im Gehäuse befestigt ist und mit dem anderen aus dein Gehäuse herausragt, mit einem Einsatzteil in der zentralen Bohrung, dessen Querschnitt kleiner aber ähnlich dem des Rohres ist, einer in der Bohrung mit kleinerem Durchmesser und größerer Tiefe mündenden Gaszuführungsleitung und mit einer Kühlvorrichtung, die mit einer Kühlmittelzuleitung und einer Kühlmittelableitung verbunden ist.

Mit Induktionswirkung arbeitende thermische Plasmageneratoren verwenden ein intensives elektromagnetisches Feld zur Erzeugung des thermischen Plasmas. Dieses Plasma kann für viele Zwecke gebraucht werden, beispielsweise zur Bearbeitung von metallischen und feuerfesten Materialien, in chemischen Reaktionen oder bei anderen Verfahren, welche hohe Temperaturen erfordern. Das erzeugte Plasma muß stabil gegen Verschiebung sein, und die auf die Wände der Plasmakammer gelangende Wärme muß abgeführt werden können, ohne die Kammer zu beschädigen.

Es war bisher schwierig, zuverlässige thermische Plasmageneratoren reproduzierbar zu bauen, da eine große Zahl von Abmessungen und Beziehungen in dem Plasmagenerator sorgfältig eingehalten und überwacht werden mußten, um ein stabiles Plasma zu erhalten. Beispielsweise mußte die räumliche Lage

von verschiedenen Bestandteilen genau eingeregelt werden. Außerdem mußten aus verschiedenen Gasquellen herrührende Gasströme aufeinander abgestimmt werden.

Aus der USA.-Patentsduift 3 324334 ist ein Hochfrequenz-Plasmagenerator mit einem Gehäuse bekannt, das eine relativ tiefe Ausnehmung hat, in der eine Gaszuführleitung mündet und an die sich über eine Schulter eine zweite koaxiale Ausnehmung anschließt. Der bekannte Plasmagenerator enthält ein rohrförmiges Bauteil, das eine Brennkammer bildet und von einer Induktionsspule umgeben ist, und eine Kühlvorrichtung, die an einen Kühlmittelkreislauf angeschlossen ist. Das rohrförmige Bauteil ragt aus dem Gehäuse heraus. In der zweiten Ausnehmung ist ein Ersatzteil angeordnet, welches ein Stück in die erste Ausnehmung hineinragt und im Querschnitt ähnlich, jedoch etwas kleiner als der Innenquerschnitt des rohrförmigen Bauteils ist. Auch bei diesem bekannten Plasmagenerator treten die obengenannten Schwierigkeiten auf.

Aufgabe der Erfindung ist, einen Plasmagenerator zur Erzeugung eines stabilen Plasmas unter Verwendung nur einer einzigen Gasquelle anzugeben, der schneller und leichter montiert werden kann, ohne daß eine individuelle Justierung der räumlichen Lage seiner verschiedenen Bestandteile erforderlich ist.

Die Erfindung löst diese Aufgabe bei einem Hochfrequenz-Plasmagenerator der eingangs genannten Art dadurch, daß in eine Bohrung kleineren Durchmessers und größerer Tiefe ein ringförmiger Gasverteiler eingefügt ist, welcher eine Anzahl radialer Auslaßöffnungen aufweist, die über einen Ringkanal mit der Gaszuführungsleitung in Verbindung stehen, und welcher am Innenrand seines äußeren Endes einen vertieften Sitz hat, daß die Kühlvorrichtung einen ringförmigen Kühlmittelverteiler umfaßt, der in die andere Bohrung größeren Durchmessers und geringerer Tiefe eingesetzt ist, an den Gasverteiler anschließt und eine mit der Kühlmittelzuführungsleitung und dem Kühlmittelauslaß verbundenen Ringkanal hat, daß ein Ende des Rohres, dessen Innendurchmesser mit dem Innendurchmesser des Gasverteilers übereinstimmt, in dessen vertieftem Sitz so angeordnet ist, daß die Innenfläche des Gasverteilers und des Rohres eine glatte, durchgehende Fläche bilden, daß der Kühlmittelverteiler in enger Berührung mit einem innerhalb des Gehäuses befindlichen Abschnitt des Rohres steht, daß der Einsatzteil mit dem Rohr eine ringförmige Kammer bildet, deren Länge mindestens das Zehnfache ihrer radialen Breite beträgt und durch die das eingespeiste Gas in Axialrichtung laminar als ringförmige Schicht an der Innenseite des Rohres entlang strömt, und daß am Gehäuse eine das Rohr an der Stelle, an welcher das Rohr aus dem Gehäuse austritt, umschließende Halteplatte befestigt ist, welche auch zur Halterung des Gasverteilers und des Kühlmittelverteilers dient.

Ein solcher Plasmagenerator ist leicht montierbar und hat den zusätzlichen Vorteil, daß er ein stabiles Plasma mit verschiedenartigen Induktionsspulen erzeugen kann. Außerdem ist er raumsparend aufgebaut. Der Gasverteiler führt am einen Ende der Kammer das Gas gleichförmig dem Kammerumfang zu, so daß das Gas in axialer Richtung in Form eines dünnen Mantels mit gleichförmiger Geschwindigkeit längs des Mantelumfangs aus der Kammer austreten kann. Da die äußere Wand der den Gasmantel bildenden Kammer mit der Wand der das Plasma bildenden Kammer ausgerichtet ist, wird ein störungsfreier Fluß des Gases ermöglicht.

Eine maximale Energieübertragung aus der Stromquelle auf das Plasma wird dadurch ermöglicht, daß der innere Durchmesser der Spule weniger als das lV₂fache und vorzugsweise weniger als das l²/₅fache des Manteldurchmsssers beträgt. Die Spule wird genau koaxial zu dem Mantel in einer Entfernung angeordnet, welcher weniger als das 3fache des Mantel durchmessers von der Auslaßöffnung der den Mantel bildenden Kammer beträgt. Die Tragkonstruktion für die Spule, die das Plasma tragende Kammer und die den Mantel bildende Kammer können zusammen eine Einheit bilden.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt.

Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung eines Plasmagenerators;

ao Fig. 2 stellt einen Längsschnitt durch den Plasmagenerator dar und zeigt alle elektrischen Anschlüsse und Kühlmiuelleitungen, wobei die Kühlmitteleinlaßicitung und die Kühlmittelauslaßleitung sowie ein Abstandshalter in die Ebene der Zeichnung hineinge-

»5 dreht worden sind;

Fig. 3 stellt einen Querschnitt längs der Schnittebene 3-3 in Fig. 2 dar;

Fig. 4 ist eine teilweise im Schnitt gehaltene Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform des Plasmagenerators.

Der in Fig. 1 dargestellte Plasmagenerator wird mittels eines kräftigen Tragrohres 10 und einer Überwurfmutter 12 an einem nicht mitdargestellten Gestell befestigt. An dem Tragrohr 10 ist eine Platte 14 angebracht, über welcher sich eine zwei«. Platte J.6 befindet, die mit ihren Füßen 18 auf der Platte 14 ruht. Auf der Platte 16 ist ein Gehäuse 20 angebracht, in welchem swh das eine Ende eines aus Quarz bestehenden Rohres 22 befindet. Dieses hat eine Länge von etwa 8,2 cm, eine Wandstärke von etwa 3 mm und einen Innendurchmesser von 2,5 cm. In diesem Quarzrohr wird das Plasma gebildet. Das zu ionisierende Gas wird über eine Leitung 24 zugeführt, während ein Kühlwasserstrom über eine Leitung 26 (F i g. 4) in das Gehäuse gelangt. Dieses wird über eine Leitung 28 (Fig. 2) evakuiert. Das in dem Plasmagenerator zu behandelnde Material wird über eine Leitung 30 in das Gehäuse 20 bzw. in das Rohr 22 eingeführt. Zwischen den Platten 14 und 16 befinde* sich eine Flachspule 34, welche das Rohr 22 umschließt. Diese Spule erzeugt ein intensives elek'romagnetisches Feld in dem Rohr 22 und hebt das Energieniveau bis zur Plasmabildung an. Weitere Einzelheiten des Plasmagenerators sind in Fig. 2 dargestellt.

Gemäß F i g. 2 ist das Tragrohr 10 mittels der Überwurfmutter 12 an ein Gehäuse SO einer Stromversorgungsquelle angeschlossen. Die Mutter 12 verbindet das Rohr 10 mit einer Anschlußklemme 52 des Stromversorgungsgerätes. Durch die Überwurfmutter 12 hindurch wird außerdem ein Kühlmittel, z.B. Kühlwasser, zugeführt. Das linke Ende des Rohres 10 ist an der runden, ans Kupfer bestehenden Platte 14 befestigt, die etwa 40 cm Durchmesser und 8 mm Stärke besitzt und einen radialen Schlitz (Fig. 1) zur Vermeidung von Wirbelströmen aufweist. Eine Kupferhülse 54 von etwa 25 mm Länge ist über den unteren Teil des Quarzrohres 22 geschoben. Diese Kupferhülse 54 reicht in die Mittelöffnung der Platte 14

hinein.

Die runde aus Aluminium bestehende Platte 16 von etwa 15 cm Durchmesser und etwa 5 mm Dicke umschließt das Rohr 22 an derjenigen Stelle, an welcher das Rohr aus dem Gehäuse 20 austritt. Die Platte 16 stützt sich auf der Platte 14 mittels der Füße 18 von je etwa 4 cm Höhe ab. Die Füße 18 sind mit den Platten über Schrauben 56 verbunden. Die Platte 16 ist an dem Gehäuse 20 mittels Schrauben 58 befestigt.

Das rechteckige, aus Aluminium bestehende Gehäuse 20 enthält eine Bohrung 60, die sich aus einer ersten Bohrung 62 mit einem Durchmesser von etwa 3,8 cm und einer zweiten Bohrung mit einem Durchmesser von etwa 3,9 cm zusammensetzt. Die zweite 64 befindet sich unterhalb der ersten Bohrung 62 und erstreckt sich bis an die untere Stirnfläche des Gehäuses 20. Eine weitere Bohrung 66 von etwa 2,2 cm Durchmesser verläuft koaxial zur Bohrung 62 und erstreckt sich von der oberen Stirnfläche des Gehäuses 20 bis zur Bohrung 62.

In die Bohrung 62 wird ein kreisringförmiger Gasverteiler 70 eingefügt, welcher einen inneren Durchmesser von 2,5 cm besitzt. Das obere Ende dieses Gasverteilers 70 liegt an einer Schulter 68 an und füllt die ganze Länge der Bohrung 62 aus.

Eine ringförmige Vertiefung von 1,5 X 4,5 mm auf der Außenseite des Gasverteilers 70 bildet zusammen mit dem Gehäuse 20 einen kreisringförmigen Gaskanal oder Ringkanal 72, der mit der Leitung 24 in Verbindung steht. Sechs radiale Auslaßöffnungen 74 (Fig. 3) von je 1 mm Durchmesser verlaufen vom Ringkanai 72 zu der Innenwand des Gasverteilers 70. Eine zweite kreisringförmige Vertiefung 76 auf der Außenseite des Gasverteilers 70 nimmt einen Dichtungsring 78 auf.

In die untere Bohrung 64 ist ein Kühlmittelverteiler 80 eingesetzt. Dieser besitzt einen kreisringförmigen Kanal 82, welcher etwa eine Tiefe von der Hälfte der Wandstärke des Kühlmittelverteilers 80 hat und zusammen mit der Wand des Gehäuses 20 einen Kühlmittelkanal bildet. Der Kanal 82 steht in Verbindung mit den Schraubanschlüssen der Leitungen 26 und 28 für den Kühlmitteleinlaß und Kühlmittelauslaß. In kreisringförmigen Vertiefungen 84 beiderseits des Kanals 82 befinden sich Ringdichtungen 86. Am oberen Ende des Kühlmittelverteilers 80 befändet sich eine Schrägfläche für einen Dichtungsring 88. Der Kühlmittelverteiler 80 hat etwa die axiale Länge der unteren Bohrung 64.

Das aus Quarz bestehende Rohr 22 reicht durch den Kühlmittelverteiler 80 hindurch. Das obere Ende des Rohres 22 liegt oberhalb des oberen Endes des Kühlmittelverteilers 80 an einer Schulter 90 des Gasverteilers 70 an. Da der Innendurchmesser des Rohres 22 gleich dem Innendurchmesser des Gasverteilers 70 ist, besteht an dieser Stelle ein glatter Übergang für das Gas. Das äußere Ende des Kühlmittelverteilers liegt auf der Platte 16 auf. Die Platte 16 klemmt somit den Gasverteiler und Kühlmittelverteiler im Gehäuse 20 fest und setzt den Dichtungsring 88 unter Druck, so daß dieser auf das Rohr 22 einen radial nach innen gerichteten Druck ausübt, durch den das Rohr 22 zuverlässig festgehalten wird.

Eine kreisringförmige Vertiefung 92 auf der Innenseite der oberen Bohrung 66 des Gehäuses 20 enthält einen Dichtungsring 94, an welchem die Außenfläche des Einsatzteiles 32 anliegt. Der Einsatzteil 32 hat einen Durchmesser von etwa 2,2 cm und eine Länge von etwa 5,7 cm und reicht von oben in das Gehäuse 20 hinein. In der Bohrung 60 ist der Außendurchmesser des Einsatzteils 32 etwa 3 mm kleiner als der Innendurchmesser des Rohres 22, so daß eine kreisringförmige Kammer 98, in welcher ein dünner Gasmantel entsteht, zwischen der Außenwand des Einsatzteiles 32 und der Innenwand des Rohres 22 gebildet wird. Ein zylindrischer Ansatz des Einsatzteiles 32 verlängert die Kammer 98 auf etwa 5 cm nach unten, und

ίο eine Vertiefung 99 in der unteren Stirnfläche des Einsatzteiles 32 erhöht die Stabilität des Generatorbetriebes.

Die durch ein Metallrohr gebildete Leitung 30 ist, an einem Schraubstöpsel 100, der in den Einsatzteil 32 eingeschraubt ist, befestigt und reicht über die untere Stirnfläche des Einsatzteils hinaus nach unten in das Rohr 22 hinein. Eine Abdichtung der Leitung 30 kann mittels eines Dichtungsringes an der unteren Stirnfläche des Schraubstöpsels 100 erreicht werden.

Wenn der Schraubstöpsel 100 gelockert wird, kann das Rohr dei Leitung nach oben oder nach unten verschoben werden, um die Höhenlage der unteren Rohrmündung in der PJasmakammer 102 zu beeinflussen.

Die Leitung 30 kann gekühlt werden und enthält zwei innere Flüssigkeitskanäle 106 und 112, welche mit einer Einlaßleitung 132 bzw. mit einer Auslaßleitung 134 verbunden sind.

Das in der Plasmakammer 102 zu behandelnde Material wird an einer Einlaßöffnung 116 zugeführt.

Ein spiralförmig gewickeltes Kupferrohr, das mit

Polytetrafluoräthylen isoliert ist, umschließt die als Abschirmrohr dienende Kupferhülse 54 und bildet eine Flachspule mit einem inneren Durchmesser von etwa 3,2 cm, die auf der aus Kupfer bestehenden Platte 14 befestigt ist. Sie liegt konzentrisch (±0.05 mm) zu der Kammer 98. Das äußere Ende der Kupferspule liegt an einem AnschluBrohr 120, welches seinerseits mittels einer Überwurfmutter 122 mit einer Klemme 124 verbunden ist. Die Klemme 124 führt zu der Hochspannungsklemme des Stromversorgungsgerätes im Gehäuse 50. Das innere Ende der Kupferspule ist elektrisch mit der Platte 14 verbunden und mechanisch an ihr befestigt, und zwar

mittels einer Anschlußklemme 126, welche die Verbindung der Spule mit der geerdeten Klemme des Stromversorgungsgerätes herstellt. Ein Kühlkanal 128 verläuft innerhalb des Tragrohres 10 und durchsetzt die Platte 14 in radialer Richtung bis zu einem

Punkt unterhalb der Anschlußklemme 126, wo die Verbindung mit dem Innenraum der spiralförmigen Flachspule 34 besteht.

Das eine Ende einer flexiblen Flüssigkeitsleitung 130 verläuft von dem Tragrobr 10 zu der Anschluß-

schraube der Leitung 26. Das eine Ende der flexiblen Einlaßleitung 132 ist mit der Anschlußschraube der Leitung 28 verbunden, während das andere Ende dieser flexiblen Flüssigkeitsleitung mit einer Anschlußschraube 108 verbunden ist. Das linke Ende der flexibien Auslaßleitung 134 ist mit einer Anschlußschraube 114 verbunden und das andere Ende mit einer Anschlußschraube 136 im Anschlußrohr 120. Das obere Ende des Qaarzrohres 22 wird beispielsweise mittels Wasser aus dem Anschlußrohr 130 bespült, welches in den Kühlmittelvertefler 80 einmündet. Die Kühlflüssigkeit fließt von dort über die Einlaßleitung 132 za dem oberen Ende der Leitung 30 und durch die Flüssigkeitskanäle 106 und 112 in

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c,

die Auslaßleitung 134 zurück. Die Flachspule 34 und das untere Ende des Rohres 22 werden durch Kühlflüssigkeit, welche aus dem Tragrohr 10 stammt, gekühlt.

Als ein Beispiel für den Betrieb der vorstehend beschriebenen Einrichtung sei angenommen, daß Argon in den Ringkanal 72 eingeführt werde und radial durch die Auslaßöffnungen 74 in die Kammer 98 eintreten möge, welche zwischen dem Gasverteiler 70 und dem Einsatzteil 32 besteht. In der Kammer 98 entsteht somit ein dünner kreisringförmiger Gasmantel und das Gas verläuft in Form dieses Mantels weiter, wenn es aus der Kammer 98 in die Plasmakammer 102 eintritt. In der Plasmakammer wird das Gas sofort dem elektromagnetischen Felde ausgesetzt, wenn die Flachspule 34 erregt ist.

Bei der Inbetriebnahme der Einrichtung ist die Stromversorgungsquel'e von 4 MHz anfangs so eingestellt, daß eine Anodenleistung von 8 kW entsteht. Es wird also ein Lichtbogen eingeleitet, was beispielsweise dadurch geschehen kann, daß eine geerdete Zündstange in die Plasmakammer 102 eingeführt wird oder daß man sich einer Teslaspule bedient. Nachdem das Plasma 137 gebildet ist, kann ein tJbergang von Argon zu einem zweiatomigen Gas, wie beispielsweise Sauerstoff, stattfinden. Während dieses Übergangs kann die Anodenleistung geeignet nachgeregelt werden, um das Gas im Plasmazustand zu erhalten. Im stabilen Betrieb werden einem Sauerstoffplasma 15 kW bei einem Sauerstoff-Fluß von 1,64 Nm³Zh zugeführt.

Die Anordnung und die Bemessung der Bauteile des Plasmagenerators ist so gewählt, daß er bequem zusammengebaut werden kann und dabei keine britische Einstellung seiner Bauteile erfordert. Der Gasverteiler 70 ist fugenlos in die erste Bohrung 62 (also den ersten Teil der Bohrung 60) eingebaut. Er liegt an der Schulter 68 an, so daß hierdurch seine axiale Lage definiert ist. Der Kühlverteiler 80 ist ebenso fugenlos in die zweite Bohrung 64 (zweiter Teil der Bohrung 60) eingebaut.

Das Rohr 22 ist in seiner Höhenlage durch die Schulter 90 am Ende des Gasverteilers definiert. Die radiale Justierung ist wegen der fugenlosen Anlage an der Schulter 90 und an der Innenseite des Kühlmittelverteilers 80 sowie des Dichtungsrings 88 gewährleistet. Der glatte Übergang von der Innenfläche des Gasverteilers 70 auf die Innenfläche des Rohres 22

ίο vermeidet eine Wirbelbildung in der Kammer 98. Die Platte 16 sichert die Höhenlage der erwähnten Bauteile. Die innere Wand der Kammer 98 ist durch die Außenwand des Einsatzteiles 32 bestimmt.

Das Tragrohr 10, welches eine Klemme der Flachspule 34 darstellt, dient als Träger für den ganzen Plasmagenerator und ist mechanisch mit der Platte 14 verbunden, welche ihrerseits die Platte 16 und das Gehäuse 20 trägt.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung ist

in Fig. 4 dargestellt. Das Gehäuse 20 und das aus Quarz bestehende Rohr 22 haben die gleiche Form wie in der ersten Ausführungsform. Eine Zylinderspule 140 von etwa 3,2 cm innerem Durchmesser ist mittels einer Klemmscheibe oder Platte 16 an einem Tragarm 142 befestigt, so daß die Spule (mit einer Toleranz von etwa ± 0,05 mm) koaxial zur Plasmakammer 102(Fi g. 2) und zur Kammer 98 liegt, wobei das obere Ende der Zylinderspule 140 etwa 8 mm von dem unteren Ende der Kammer 98 entfernt ist und das untere Ende der Spule einen Abstand von etwa 5 cm besitzt. Dieser Generator ist über einen Anschlußkörper 144 an der Platte 16 befestigt. Der Generator kann leicht zusammengebaut und zerlegt werden, da keine kritischen Abmessungen einzuhalten sind. Der Generator arbeitet auch ohne die Notwendigkeit von zusätzlichen Stabilisierungsmaßnahmen wie wirbelnden Gasströmen und liefert ein stabiles Plasma bei einatomigen und zweiatomigen Gasen. Ferner ist er mit Flachspule und mit Zylinderspulen betriebsfähig.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 309549/163

Claims (10)

Patentansprüche:

1. Hochfrequenz-Plasmagenerator mit einem Gehäuse, das eine durchgehende zentrale sowie zwei dazu koaxiale Bohrungen unterschiedlichen Durchmessers und verschiedener Tiefe aufweist, einem Rohr, das von einer Induktionsspule umgeben ist und die Brennkammer bildet und das mit dem einen Ende im Gehäuse befestigt ist und mit dem anderen aus dem Gehäuse herausragt, mit einem Einsatzteil in der zentralen Bohrung, dessen Querschnitt kleiner aber ähnlich dem des Rohres ist, einer in der Bohrung mit kleinerem Durchmesser und größerer Tiefe mündenden Gaszuführungsleitung und mit einer Kühlvorrichtung, die mit einer Kühimittelzuleitung und einer Kühlmittelableitung verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß in die eine Bohrung (62) kleineren Durchmessers und größerer Tiefe ein ringförmiger Gasverteiler (70) eingefügt ist, welcher eine Anzahl radialer Auslaßöffnungen (74) aufweist, die über einen Ringkanal (72) mit der Gaszufuhrungsleitung (24) in Verbindung stehen, und welcher am Innenrand seines äußeren Endes einen vertieften Sitz (90) hat, daß die Kühlvorrichtung einen ringförmigen Kühlmittelverteiler (80) umfaßt, der in die andere Bohrung (64) größeren Durchmessers und geringerer Tiefe· eingesetzt ist, an den Gasverteiler ι 70) anschließt und eine mit der Kühlmittelzuführungsleitung (26) und dem Kühlmittelauslaß (28) verbundenen Ringkanal hat, dall ein Ende des Rohres (22), dessen Innendurchmesser mit dem Innendurchmesser des Gasverteilers (70) übereinstimmt, in dessen vertieftem Sitz (90) so angeordnet ist, daß die Innenfläche des Gasverteilers (70) und des Rohres (22) eine glatte, durchgehende Fläche bilden, daß der Kühlmittelverteiler (80) in enger Berührung mit einem innerhalb des Gehäuses befindlichen Abschnitt des Rohres (22) steht, daß der Einsatzteil (32) mit dem Rohr (22) eine ringförmige Kammer (98) bildet, deren Länge mindestens das Zehnfache ihrer radialen Breite beträgt und durch die das eingespeiste Gas in Axialrichtung laminar als ringförmige Schicht an der Innenseite des Rohres (22) entlang strömt, und daß am Gehäuse eine das Rohr (22) an der Stelle, an welcher das Rohr (22) aus dem Gehäuse (20) austritt, umschließende Halteplatte (16) befestigt ist, welche auch zur Halterung des Gasverteilers (70) und des Kühlmittelverteilers (80) dient.

2. Plasmagenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Innendurchmesser der Induktionsspule (34, 140) kleiner als das l,66fache des Außendurchmessers der ringförmigen Kammer (98) ist, und daß der Abstand zwischen dem Auslaßende der Kammer und der konzentrisch zu dieser angeordneten Induktionsspule kleiner als das 3fache des Durchmessers der Kammer ist.

3. Plasmagenerator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Induktionsspule eine Flachspule (34) ist.

4. Plasmagenerator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Induktionsspule eine Zylinderspule (140) ist.

5. Plasmagenerator nach einem der Ansprü-

ehe 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die radialen Gasauslaßöffnungen (74) im Abstand vom Ende der ringförmigen Kammer in diese münden.

6. Plasmagenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Halteplatte (16) über eine Verbindungsanordnung (14) mit einem radial nach außen vorspringenden Trägerelement (10) verbunden ist, über das die Halteplatte (16) das Gehäuse (20) und das Rohr (22) gehaltert sind.

7. Plasmagenerator nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsanordnung eine zur Halteplatte (16) parallele zweite Platte (14) enthält und zwischen den Platten (14, 16) Abstandshalter (18) angeordnet sind.

8. Plasmagenerator nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das vorspringende Trägerelement (10) mit der Verbindungsanordnung fest verbunden ist und einen Teil eines die Induktionsspule (34) enthaltenden Stromkreises bildet.

*). Plasmagenerator nach einem der Ansprüche 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsanordnung einen Teil eines die Induktionsspule (34) enthaltenden Stromkreises bildet.

10 Piasmagenerator nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das vorspringende Trägerelement (10) und die Induktionsspule (34) Kühlmittelkanäle (128) enthalten.