DE19882987C2 - Vakuumpumpe - Google Patents

Vakuumpumpe

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Abstract

Ein Abzugseitegehäuse (3) weist eine dritte Kühlwasserkammer (19) auf, die mit einer ersten Kühlwasserkammer (7) eines Hauptgehäuses (1) durch einen Kühlwasserdurchgang (26) in Verbindung steht. Die dritte Kühlwasserkammer (19) ist mit einem Kühlwasserauslaßrohr (27) verbunden, das an einen Einlaßanschluß (28a) eines Drei-Wegeventils (28) angeschlossen ist. Das Drei-Wege-Ventil (28) hat einen Umschaltanschluß (28b), der mit einer an die erste Kühlwasserkammer (7) angeschlossenen Rohrleitung (29) in Verbindung stehen kann. Das Drei-Wege-Ventil (28) hat einen Auslaß (28c), der an eine Rohrleitung (30), die mit einer zweiten Kühlwasserkammer (22) eines Saugseitegehäuses (2) in Verbindung steht, angeschlossen ist. Die zweite Kühlwasserkammer (22) ist mit einer Kühlwasserausflußleitung (31) verbunden, die mit einem Strombegrenzungsventil (32), das einen Staudruch von hindurchfließenden Kühlwasser erlaubt, versehen ist.

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schraubenspindel-Vakuumpumpe, die zum Beispiel in einer Halbleiter-Fertigungsmaschine verwendet wird. Die Vakuum­ pumpe ist ferner ausreichend anwendbar für ein Härtungsverfahren, bei dem sich Stoffe, die als Reaktion auf ein Prozeßgas gebildet wurden, in der Vakuumpumpe ansammeln.
Die JP 40 19 385 A offenbart eine Vorrichtung zur Kühlung einer biaxialen, mehrstufigen Vakuumpumpe. Diese Kühlungsvorrichtung besteht aus drei an der Sei­ tenfläche eines aus Gründen der besseren Demontierbarkeit aus einem oberen wie einem unteren Außengehäuse aufgebauten Pumpengehäuses angebrachten Kühlungszellen. Diese Kühlzellen sind jeweils mit Wärmeaustauschflächen zwischen ihren inneren und ihren äußeren Flächen, einer Mehrzahl von Kühlungsrippen und Kühlwasservorräten ausgestattet.
Hintergrund der Erfindung
Fig. 5 ist die Darstellung eines Längsschnitts, die den Aufbau einer Vakuum­ pumpe zeigt. Die Vakuumpumpe weist ein Hauptgehäuse 1, ein an einer rechten Stirn­ fläche des Hauptgehäuses 1 befestigtes Saugseitegehäuse 2, ein an einer linken Stirnflä­ che des Hauptgehäuses 1 befestigtes Abzugseitegehäuse 3 und ein auf der linken Seite des Abzugseitegehäuses 3 angebrachtes Getriebegehäuse 4 auf. An einem linken Endab­ schnitt des Getriebegehäuses 4 ist ein Motor 5 montiert.
Das Hauptgehäuse 1 ist mit einem sich längs hindurch erstreckenden Innenzylin­ der 1a, einem Ansauganschluß 6, der auf der rechten Seite des Innenzylinders 1a nach außen mit dem Innenzylinder 1a in Verbindung steht, und einer Kühlwasserkammer 7 zum Kühlen einer Wandung des Hauptgehäuses 1 versehen.
Der Innenzylinder 1a beherbergt ein Paar im Eingriff miteinander stehende Schraubenspindeln 8 (nur eine von ihnen ist in Fig. 5 abgebildet).
Das Saugseitegehäuse 2 ist mit zwei Ausnehmungen ausgebildet, in denen ein Paar Lagerdeckel 9 (nur einer von ihnen ist in Fig. 5 abgebildet) aufgenommen werden, um darin befestigt zu werden. Jeder Lagerdeckel 9 nimmt ein Lager 10 zum drehbaren Abstützen einer sich von dem rechten Ende der Schraubenspindel 8 erstreckenden Welle 8a auf.
Das Abzugseitegehäuse 3 ist mit zwei Ausnehmungen ausgebildet, in denen ein Paar Lagerdeckel 11 (nur einer von ihnen ist in Fig. 5 abgebildet) aufgenommen wer­ den, um darin befestigt zu werden. Jeder Lagerdeckel 11 nimmt ein Lager 12 zum dreh­ baren Abstützen einer sich von dem linken Ende der Schraubenspindel 8 erstreckenden Welle 8a auf.
Jede Schraubenspindel 8 weist einen Zahnabschnitt 8b auf, der mit einem anderen Zahnabschnitt 8b der gegenüberliegenden Schraubenspindel 8 im Eingriff steht. Eine der Schraubenspindeln 8 ist eine Antriebsspindel. An einer Außenfläche der linksseiti­ gen Welle 8a der Antriebsspindel ist ein Steuergetriebe 24 befestigt. Auf der linken Seite des Steuergetriebes 24 ist eine Kupplung 25 montiert, die mit einer Ausgangswelle 5a des Motors 5 gekoppelt ist.
Die andere Schraubenspindel, die durch die Drehung der einen Schraubenspindel 8 angetrieben wird, weist ein anderes Steuergetriebe (nicht dargestellt) auf, das mit dem Steuergetriebe 24 im Eingriff steht und an einer an einem linken Abschnitt der anderen Schraubenspindel 8 befestigten Welle 8a gesichert ist.
Die Drehung der Schraubenspindel 8 zieht ein Fluid (ein Gas) von dem An­ sauganschluß 6 an, um es aus einem Ausströmanschluß 13 auszuströmen.
Die Vakuumpumpe erzeugt während ihres Betriebs Wärme, wodurch sie sich selbst auf eine hohe Temperatur erhitzt. Diese hohe Temperatur verursacht einen Scha­ den an einer Öldichtung oder an einer Lippendichtung zum axialen Abdichten der Welle der Schraubenspindel 8 oder des jedes Ende der Schraubenspindel 8 abstützenden La­ gers. Die hohe Temperatur kann auch noch ein Problem verursachen, wie etwa Festfres­ sen der Schraubenspindeln 8. Daher muß ein Wasser-Kühlsystem für die Vakuum­ pumpe vorgesehen werden.
So ist das Abzugseitegehäuse 3 mit dem Ausströmanschluß 13, der mit dem In­ nenzylinder 1a in Verbindung steht, und einer Kühlwasserkammer 19 zum Kühlen einer Wandung des Abzugseitegehäuses 3 versehen.
Das Getriebegehäuse 4, das zylindrisch ist, weist an einer Außenfläche eine Kühlwasserkammer 14 auf, und eine Kühlwasserkammer 15 ist an einer Außenfläche des Motors 5 vorgesehen.
Das Kühlwasser der Vakuumpumpe fließt, wie in Fig. 6 gezeigt, durch eine Kühlwasserzufuhrleitung 16 in die Kühlwasserkammer 15 des Motors 5, um den Motor 5 zu kühlen, und danach wird es durch ein Verbindungsrohr 17 in die Kühlwasserkam­ mer 14 des Getriebegehäuses 4 gefördert, um das Getriebegehäuse 4 zu kühlen.
Das Kühlwasser, welches das Getriebegehäuse 4 gekühlt hat, fließt durch ein Ver­ bindungsrohr 18 in die Kühlwasserkammer 19 des Abzugseitegehäuses 3 und wird dann durch ein Verbindungsrohr 20 in die Kühlwasserkammer 7 des Hauptgehäuses 1 geför­ dert. Nachdem das Kühlwasser das Hauptgehäuse 1 gekühlt hat, fließt das Kühlwasser durch ein Verbindungsrohr 21 in eine Kühlwasserkammer 22 des Saugseitegehäuses 2, um das Saugseitegehäuse 2 zu kühlen, und wird schließlich aus einer Abflußleitung 23 abgelassen.
Auf diese Weise wird die Wärmeerzeugung im Betrieb der Vakuumpumpe besei­ tigt.
Eine in einer Halbleiter-Fertigungsmaschine benutzte Trocken-Vakuumpumpe hat einen Vakuumgrad in der Größenordnung von 1 Pa (von 10-3 Torr) zu erreichen. Wenn ein durch die Vakuumpumpe gefördertes Gas schließlich in die Atmosphäre ausge­ strömt wird, sollte das Gas vor dem Ausströmen mit einer Verdichtungsrate in der Grös­ senordnung von 105 verdichtet werden, wodurch eine große Menge an Wärme aufgrund der Verdichtung erzeugt wird.
Daher ist ein Kühlsystem mit Kühlwasser für die Vakuumpumpe so wie für eine allgemeine Vakuumpumpe unvermeidlich. Jedoch ein Nachteil der Vakuumpumpe ver­ bleibt, wie nachfolgend beschrieben wird.
Die Kühlung des Hauptgehäuses 1 der Trocken-Vakuumpumpe kühlt ein Prozeß­ gas, das in dem Hauptgehäuse 1 strömt, so daß in dem Gas enthaltene Stoffe, wie etwa AlCl und NH3Cl, in Feststoffe übergehen, die sich am Innenzylinder 1a oder an den Schraubenspindeln 8 ablagern. Die Ablagerungen versperren einen Zwischenraum zwi­ schen dem Paar Schraubenspindeln 8 und einen Zwischenraum zwischen den Schrau­ benspindeln und dem Innenzylinder 1a, wodurch die Drehung der Schraubenspindeln 8 unterbrochen wird.
Die Vakuumpumpe ist für die verschiedensten Anwendungen bei Halbleiter-Ferti­ gungsschritten benutzt worden. Die Vakuumpumpe wird zum Beispiel in einem Light- Prozeß benutzt, der im allgemeinen als ein sauberes Verfahren, bei dem keine Ablage­ rungen erzeugt werden, bezeichnet wird. Der Light-Prozeß, bei dem eine herkömmliche Vakuumpumpe ohne Probleme benutzt werden kann, wird in einem Load-lock-verfah­ ren und einem Sputterverfahren angewandt. Ablagerungen, wie etwa Nitride oder TEOS, werden jedoch während eines CVD-Verfahrens (Chemical Vapor Deposition) zum Überziehen eines Dünnfilms auf einen Wafer erzeugt. Ferner werden Ablagerungen während eines Al-Ätzverfahrens erzeugt.
Während des Nitrierverfahrens reagieren die chemischen Stoffe wie folgt.
SiH2Cl + NH3 → Si3N4 + NH4Cl
Während des Al-Ätzverfahrens reagieren die chemischen Stoffe wie folgt.
Al + Cl2 → AlCl2
Namentlich wird der Feststoff NH4Cl oder AlC2, erzeugt.
NH4Cl sublimiert bei einer Temperatur von mehr als 180°C unter normalem at­ mosphärischen Druck, um vom Feststoff zu einem Gas zu werden. NH3Cl sublimiert bei einer Temperatur von ca. 338°C.
In einem Vakuumzustand, in dem nur unbeträchtliches Gas vorhanden ist, werden keine Ablagerungen erzeugt. Daher ist ein Verfahren zum Verhindern der Bildung von Ablagerungen in einem Verdichtungszustand vorgeschlagen worden, bei dem N2 auf die Abzugsseite der Vakuumpumpe abgeführt wird. Allerdings ist das Verfahren noch un­ genügend.
Weiterhin ist es bei einem Halbleiterfertigungsverfahren, das einen Light-Prozeß und einen Härtungsprozeß beinhaltet, für die Handhabung des Herstellungsverfahrens nachteilig, daß die zwei Typen von Vakuumpumpen für einen abwechselnden Gebrauch vorbereitet werden müssen.
Die vorliegende Erfindung kann auf ein einen N2-Abführungsschritt und einen Erwärmungsschritt beinhaltendes Verfahren angewendet werden. Jedoch wird in dem Erwärmungsschritt kein herkömmliches elektrisches Heizgerät benutzt, sondern die Ablagerungsbildung wird durch die Steuerung von Wärme, die durch die Verdichtung während des Betriebs einer Vakuumpumpe erzeugt wird, beschränkt. Weiterhin schafft die vorliegende Erfindung eine Trocken-Vakuumpumpe, die vorteilhafterweise für ei­ nen Light-Prozeß und auch für ein Härtungsverfahren mit einer "One-touch"-Umschalt­ funktion verwendbar ist.
Zusammenfassung der Erfindung
Zum Erreichen des oben genannten Ziels enthält eine Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung einen ein Paar im Eingriff miteinander stehende Schrauben­ spindeln aufnehmenden Innenzylinder, einen mit einer Seite des Innenzylinders in Ver­ bindung stehenden Ansauganschluß und einen mit der anderen Seite des Innenzylinders in Verbindung stehenden Ausströmanschluß. Die Vakuumpumpe enthält ferner ein Hauptgehäuse mit einer Außenwandung, an der eine erste Kühlwasserkammer vorgese­ hen ist, ein an einem Ende des Hauptgehäuses befestigtes Saugseitegehäuse mit einer Außenwandung, an der eine zweite Kühlwasserkammer vorgesehen ist, und ein am an­ deren Ende des Hauptgehäuses befestigtes Abzugseitegehäuse mit einer Außenwan­ dung, an der eine dritte Kühlwasserkammer vorgesehen ist. Die dritte Kühlwasserkam­ mer 19 des Abzugseitegehäuses steht mit der ersten Kühlwasserkammer des Hauptge­ häuses durch einen Kühlwasserdurchgang in Verbindung. Die dritte Kühlwasserkammer des Abzugseitegehäuses weist ein Kühlwasserauslaßrohr auf, das mit einem Einlaß ei­ nes Drei-Wege-Ventils verbunden ist. Das Drei-Wege-Ventil hat einen Umschaltan­ schluß, der mit der ersten Kühlwasserkammer des Hauptgehäuses in Verbindung stehen kann. Das Drei-Wege-Ventil hat einen Auslaß, der mit der zweiten Kühlwasserkammer des Saugseitegehäuses verbunden ist. Die zweite Kühlwasserkammer des Saugseitege­ häuses ist an eine Kühlwasserausflußleitung angeschlossen, die mit einem Ventil verse­ hen ist.
Vorzugsweise ist das in der Kühlwasserausflußleitung vorgesehene Ventil ein Strombegrenzungsventil. Die Vakuumpumpe kann einen Temperatursensor zum Ermit­ teln, ob die Temperatur des Hauptgehäuses höher als ein vorgegebener Wert wird, auf­ weisen und kann ferner eine auf einem wahrgenommenen Signal des Temperatursensors basierende Warneinrichtung zur Warnung vor dem Öffnungsgrad des Strombegren­ zungsventils haben.
Alternativ kann die Vakuumpumpe einen Temperatursensor zum Ermitteln, ob die Temperatur des Hauptgehäuses höher als ein vorgegebener Wert wird, aufweisen und kann ferner eine auf einem wahrgenommenen Signal des Temperatursensors basierende Regeleinrichtung zur automatischen Regelung des Öffnungsgrads des Strombegren­ zungsventils 32 haben.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Fig. 1 ist eine Vorderansicht, die eine Trocken-Vakuumpumpe gemäß der vorlie­ genden Erfindung zeigt;
Fig. 2 ist ein Querschnittsdarstellung von Fig. 1;
Fig. 3 ist eine Schnittdarstellung entlang der Linie X-X von Fig. 1;
Fig. 4 ist eine Abbildung, die eine Rohrleitungsanordnung für Kühlwasser der Vakuumpumpe zeigt;
Fig. 5 ist eine Querschnittsdarstellung, die eine Innenstruktur der Vakuumpumpe zeigt, und
Fig. 6 ist eine Abbildung, die eine Rohrleitungsanordnung für Kühlwasser einer herkömmlichen Vakuumpumpe zeigt.
Bevorzugte Ausführungsform
Bezugnehmend auf die begleitenden Zeichnungen wird nachfolgend eine Ausfüh­ rungsform der vorliegenden Erfindung erörtert.
Fig. 1 ist eine Vorderansicht, die eine Trocken-Vakuumpumpe gemäß der vorlie­ genden Erfindung zeigt; Fig. 2 ist ein Querschnittsdarstellung von Fig. 1; Fig. 3 ist eine Schnittdarstellung entlang der Linie X-X von Fig. 1 und Fig. 4 ist eine Abbildung, die eine Rohrleitungsanordnung für Kühlwasser der Vakuumpumpe zeigt.
Da die Trocken-Vakuumpumpe eine auf einer Herkömmlichen basierende Struk­ tur aufweist, haben die gleichen Bauteile wie die der Herkömmlichen jeweils ein Be­ zugszeichen, das dasselbe ist wie das der Herkömmlichen und nicht wieder erörtert wird. Nur Merkmale der Ausführungsform, die verschieden zur Herkömmlichen sind, werden nachfolgend erläutert.
Eine dritte Kühlwasserkammer 19 eines Abzugseitegehäuses 3 steht mit einer er­ sten Kühlwasserkammer 7 eines Hauptgehäuses 1 durch einen Kühlwasserdurchgang 26 in Verbindung. Die dritte Kühlwasserkammer 19 des Abzugseitegehäuses 3 steht in Verbindung mit einem Kühlwasserauslaßrohr 27, das an einen Einlaßanschluß 28a eines Drei-Wege-Ventils 28 angeschlossen ist.
Das Drei-Wege-Ventil 28 hat einen Umschaltanschluß 28b, der mit der ersten Kühlwasserkammer 7 des Hauptgehäuses 1 verbunden sein kann. Das Drei-Wege-Ventil 28 hat einen Auslaßanschluß 28c, der an eine Rohrleitung 30, die mit einer zweiten Kühlwasserkammer 22 eines Saugseitegehäuses 2 in Verbindung steht, angeschlossen ist. Die zweite Kühlwasserkammer 22 ist mit einer Kühlwasserausflußleitung 31 ver­ bunden, die mit einem Strombegrenzungsventil 32 zur Regelung eines Staudrucks von hindurchfließendem Kühlwasser versehen ist.
Wenn das Umschalten des Drei-Wege-Ventils 28 und die Betätigung des Strom­ begrenzungsventils 32 manuell ausgeführt werden, ist eine Warneinrichtung vorgesehen (nicht gezeigt). Die Warneinrichtung gibt Alarm, wenn ein Temperatursensor (nicht gezeigt) ermittelt, daß die Temperatur des Hauptgehäuses 1 höher wird als ein vorgege­ bener Wert.
Wenn inzwischen das Umschalten des Drei-Wege-Ventils 28 und die Betätigung des Strombegrenzungsventils 32 automatisch ausgeführt werden, ist eine Regeleinrich­ tung für das Umschalten des Drei-Wege-Ventils 28 und für die Betätigung des Strom­ begrenzungsventils 32 vorgesehen, die auf durch den Temperatursensor ermittelten Si­ gnalen basiert.
Nachfolgend wird der Betrieb einer so gebildeten Trocken-Vakuumpumpe, die für einen Light-Prozeß und ein Härtungsverfahren verwendet wird, erläutert.
Während des Light-Prozesses ist in Hinsicht auf das Drei-Wege-Ventil 28 der Umschaltanschluß 28b offen und der Einlaßanschluß 28a geschlossen.
In diesem Zustand fließt das Kühlwasser nacheinander durch die Kühlwasserzu­ fuhrleitung 16, eine Kühlwasserkammer 15 eines Motors 5, ein Verbindungsrohr 17, eine Kühlwasserkammer 14 eines Getriebegehäuses 4, das Verbindungsrohr 18 und die Kühlwasserkammer 19 des Abzugseitegehäuses 3. Dann fließt das Kühlwasser durch den Kühlwasserdurchgang 26 weiter in die erste Kühlwasserkammer 7 des Hauptgehäu­ ses 1.
Somit wird das Hauptgehäuse 1 gekühlt, so daß die Temperatur eines durch das Hauptgehäuse 1 strömenden Gases ca. 150°C erreicht.
Das Kühlwasser, das durch die erste Kühlwasserkammer 7 hindurch gegangen ist, fließt durch einen Rohrdurchgang 29 in einer Richtung, die durch einen Pfeil F ange­ zeigt wird. Dann fließt das Kühlwasser durch den Umschaltanschluß 28b des Drei- Wege-Ventils 28 in die Rohrleitung 30 in einer Richtung, die durch einen Pfeil G ange­ zeigt wird, und fließt weiter durch die Rohrleitung 30 hindurch in die zweite Kühlwas­ serkammer 22 des Saugseitegehäuses 2, um schließlich aus der Kühlwasserausflußlei­ tung 31 abzufließen.
Während des Härtungsverfahrens ist in Hinsicht auf das Drei-Wege-Ventil 28 der Umschaltanschluß 28b geschlossen und der Einlaßanschluß 28a offen.
Dadurch fließt das Kühlwasser nacheinander durch die Kühlwasserkammer 19 des Abzugseitegehäuses 3, das Kühlwasserauslaßrohr 27 und den Einlaßanschluß 28a des Drei-Wege-Ventils 28 in einer Richtung, die durch einen Pfeil H angezeigt wird, in die Rohrleitung 30.
Wenn aufgrund von durch die Verdichtung eines Gases in dem Innenzylinder 1a erzeugter Wärme die Temperatur von die erste Kühlwasserkammer 7 des Hauptgehäu­ ses 1 füllendem Wasser mehr als 100°C erreicht, erhöht die Verdampfung des Wassers den Innendruck der ersten Kühlwasserkammer 7. Der erhöhte Druck läßt das Wasser teilweise durch den Kühlwasserdurchgang 26 (siehe Fig. 3) in die Kühlwasserkammer 19 des Abzugseitegehäuses 3 ausfließen, wodurch es mit das Abzugseitegehäuse 3 fül­ lendem Kühlwasser gemischt wird.
In diesem Zustand verursacht die Betätigung des Strombegrenzungsventils 32 in Richtung auf seine Schließstellung, um den Wirkdruck darin zu erhöhen, daß die Dampftemperatur in der ersten Kühlwasserkammer 7 höher als 100°C wird, wodurch sich die Temperatur des Hauptgehäuses 1 erhöht.
Durch die Erwärmung des Hauptgehäuses 1 auf eine Temperatur von 100°C bis 120°C, wird ein aus dem Hauptgehäuse 1 ausströmendes Gas eingestellt, eine Tempe­ ratur von ca. 350°C zu haben.
Da die Verdampfungstemperatur von NH4Cl, AlCl2 etc. niedriger als 350°C (un­ ter einem Druck von 760 Torr) ist, wird die Ablagerungsansammlung nicht in dem Hauptgehäuse 1 begonnen, wodurch ein Abschalten der Vakuumpumpe aufgrund einer darin angesammelten Ablagerung verhindert wird.
Weiterhin kann die Regelung des Strombegrenzungsventils 32 einen übermäßigen Temperaturanstieg des Hauptgehäuses 1 verhindern. Dies beseitigt die Verringerung der Lebensdauer der Vakuumpumpe und eine Brandgefahr aufgrund eines übermäßigen Temperaturanstiegs des Hauptgehäuses 1.
In der ersten Kühlwasserkammer 7 des Hauptgehäuses 1 ist ein Temperatursensor (nicht gezeigt) zum Ermitteln, ob die Innentemperatur der ersten Kühlwasserkammer 7 höher als ein vorgegebener Wert ist, vorgesehen. Zusätzlich ist eine auf einem ermittel­ ten Signal des Temperatursensors basierende Warneinrichtung zum Alarmgeben vorge­ sehen. Dadurch betätigt eine Bedienperson, die den Alarm gehört hat, das Strombegren­ zungsventil 32, um die Temperatur eines aus dem Hauptgehäuse 1 ausströmenden Gases auf ca. 350°C zu regeln.
Eine auf einem ermittelten Signal des Temperatursensors basierende Regelein­ richtung zum automatischen Regeln eines Öffnungs-/Schließmechanismuses des Strom­ begrenzungsventils, welche die manuelle Betätigung des Strombegrenzungsventils be­ seitigt, kann vorgesehen werden.
Gewerbliche Anwendbarkeit der Erfindung
Die vorliegende Erfindung, die wie oben beschrieben ausgebildet ist, hat nachfol­ gend beschriebene betriebliche Wirkungen:
  • 1. Die Trocken-Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden Erfindung wird gewöhnlich bei einem Light-Prozeß und einem Härtungsverfahren durch Umschalten des Drei-Wege-Ventils benutzt.
  • 2. Wenn die Vakuumpumpe bei einem Härtungsverfahren benutzt wird, wird das Strombegrenzungsventil in seinem Öffnungsgrad geregelt, um den Staudruck des Kühlwassers derart einzustellen, daß die Temperatur des Hauptgehäuses geregelt wird.
Die Regelung der Gehäusetemperatur auf einen angemessenen Wert kann die An­ sammlung von Ablagerungen verhindern und kann einen übermäßigen Temperaturan­ stieg der Vakuumpumpe abwenden.

Claims (4)

1. Vakuumpumpe umfassend:
einen ein Paar im Eingriff miteinander stehende Schraubenspindeln (8) aufneh­ menden Innenzylinder (1a),
einen mit einer Seite des Innenzylinders (1a) in Verbindung stehenden Ansaugan­ schluß (6),
einen mit der anderen Seite des Innenzylinders (1a) in Verbindung stehenden Aus­ strömanschluß (13),
ein Hauptgehäuse (1) mit einer Außenwandung, an der eine erste Kühlwasser­ kammer (7) vorgesehen ist,
ein an einem Ende des Hauptgehäuses (1) befestigtes Saugseitegehäuse (2) mit einer Außenwandung, an der eine zweite Kühlwasserkammer (22) vorgesehen ist, und
ein am anderen Ende des Hauptgehäuses (1) befestigtes Abzugseitegehäuse (3) mit einer Außenwandung, an der eine dritte Kühlwasserkammer (19) vorgesehen ist,
wobei die dritte Kühlwasserkammer (19) des Abzugseitegehäuses (3) mit der ersten Kühlwasserkammer (7) des Hauptgehäuses (1) durch einen Kühlwasser­ durchgang (26) in Verbindung steht und die dritte Kühlwasserkammer (19) des Abzugseitegehäuses (3) ein Kühlwasserauslaßrohr (27) aufweist, das mit einem Einlaß (28a) eines Drei-Wege-Ventils (28) verbunden ist,
wobei das Drei-Wege-Ventil (28) einen Umschaltanschluß (28b) hat, der mit der ersten Kühlwasserkammer (7) des Hauptgehäuses (1) in Verbindung stehen kann,
wobei das Drei-Wege-Ventil (28) einen Auslaß (28c) hat, der mit der zweiten Kühlwasserkammer (22) des Saugseitegehäuses (2) verbunden ist,
wobei die zweite Kühlwasserkammer (22) des Saugseitegehäuses (2) an eine Kühlwasserausflußleitung (31) angeschlossen ist, die mit einem Ventil versehen ist.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das in der Kühlwasserausflußleitung (31) vorgese­ hene Ventil ein Strombegrenzungsventil (32) ist.
3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumpumpe einen Temperatursensor zum Ermitteln, ob die Temperatur des Hauptgehäuses (1) höher als ein vorgegebener Wert wird, und eine auf einem wahrgenommenen Signal des Temperatursensors basierende Warneinrichtung zur Warnung vor dem Öffnungsgrad des Ventils auf­ weist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumpumpe einen Temperatursensor zum Ermitteln, ob die Temperatur des Hauptgehäuses (1) höher als ein vorgegebener Wert wird, und eine auf einem wahrgenommenen Signal des Temperatursensors basierende Regeleinrichtung zur automatischen Regelung des Öffnungsgrads des Strombegrenzungsventils (32) aufweist.
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