DE19853659A1

DE19853659A1 - Magnetfeldmeßelement und Magnetfeldmeßgerät

Info

Publication number: DE19853659A1
Application number: DE19853659A
Authority: DE
Inventors: Izuru Shinjo; Yasuyoshi Hatazawa; Takuji Nada; Masahiro Yokotani
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-05-14
Filing date: 1998-11-20
Publication date: 1999-12-02
Anticipated expiration: 2018-11-21
Also published as: DE19853659B4; KR19990087015A; US6204662B1; KR100305043B1; JPH11325960A

Abstract

Ein Magnetfeldmeßelement weist ein Riesenmagnetwiderstandselement auf, welches zu dem Zweck auf einem Substrat vorgesehen ist, eine Änderung eines Magnetfeldes festzustellen, eine integrierte Schaltung, die auf dem Substrat zu dem Zweck vorgesehen ist, eine vorbestimmte Arithmetikverarbeitung auf der Grundlage einer Änderung des Magnetfeldes durchzuführen, und einen Eingangsseitenschutzwiderstand sowie einen Ausgangsseitenschutzwiderstand, die an der Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung vorgesehen sind, wobei der Metallfilm, aus welchem der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand ausgebildet werden, mit dem Metallfilm übereinstimmt, aus welchem die integrierte Schaltung ausgebildet wird.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Magnetfeldmeßelement zur Feststellung einer Änderung eines Magnetfeldes, und insbesondere ein Element, welches in einem Gerät zur Feststellung der Anzahl an Umdrehungen beispielsweise eines zahnradartigen magnetischen Drehkörpers verwendet wird.

Fig. 26 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht eines wesentlichen Abschnitts eines herkömmlichen Magnetfeldmeßgerätes.

Fig. 27 und 28 sind eine seitliche Schnittansicht bzw. eine Ansicht von unten des Innenaufbaus des herkömmlichen Magnetfeldmeßgerätes. Es wird darauf hingewiesen, daß die Ansicht von unten von Fig. 28 das Magnetfeldmeßgerät von Fig. 27 mit entferntem Gehäuse zeigt.

Gemäß Fig. 26 weist das herkömmliche Magnetfeldmeßgerät einen Magnetfeldmeßgerätekörper 1 und einen Verbinder 2 auf, der mit dem Magnetfeldmeßgerätekörper 1 verbunden ist.

Gemäß Fig. 27 weist der Magnetfeldmeßgerätekörper 1 ein zylindrisches Gehäuse 3 aus Kunstharz auf, einen Körper 4 für eine elektrische Schaltung, der in dem Gehäuse 3 aufgenommen ist, einen Permanentmagneten 5 in Form eines rechteckigen Quaders, der an einem Endabschnitt des Körpers 4 der elektrischen Schaltung vorgesehen ist (in Fig. 27 auf der rechten Seite), und ein Magnetfeldmeßelement 6, welches auf der Vorderoberfläche des Permanentmagneten 5 angeordnet ist, und ein eingebautes Riesenmagnetwiderstandselement aufweist (das nachstehend als GMR-Element bezeichnet wird).

Weiterhin weist, wie in Fig. 28 gezeigt ist, der Körper 4 der elektrischen Schaltung ein Substrat 7 aus Kunstharz auf, Widerstände 8 und Kondensatoren 9, die auf dem Substrat 7 angeordnet sind, und eine Verdrahtung 10 zur elektrischen Verbindung der Widerstände 8, der Kondensatoren 9 und des Magnetfeldmeßelementes 6.

Bei dem voranstehend geschilderten Magnetfeldmeßgerät führt die Drehung des zahnradförmigen magnetischen Drehkörpers 11, der in der Nähe des Magnetfeldmeßelementes vorgesehen ist, dazu, daß Ausnehmungen (konkave Abschnitte) 11a und Vorsprünge (konvexe Abschnitte) 11b des magnetischen Drehkörpers 11 sich abwechselnd dem Magnetfeldmeßelement 6 nähern, und daher eine Änderung des Magnetfeldes des Permanentmagneten 5 hervorrufen, welches auf das Magnetfeldmeßelement 6 einwirkt.

Diese Änderung des Magnetfeldes wird als Spannungsänderung durch das (nicht dargestellte) GMR-Element im Inneren des Magnetfeldmeßelementes 6 festgestellt. Die so erzeugte Spannungsänderung in dem GMR-Element wird über eine Differenzverstärkerschaltung und eine Vergleichsschaltung, die beide in dem Magnetfeldmeßelement 6 vorgesehen sind, nach außerhalb als impulsförmiges elektrisches Signal ausgegeben. Dieses elektrische Signal wird über eine Anschlußklemme des Verbinders 2 an eine (nicht dargestellte) Computereinheit übertragen, welche den Drehwinkel des magnetischen Drehkörpers 11 berechnet. Es wird darauf hingewiesen, daß die Filterschaltung aus den Widerständen 8 und den Kondensatoren 9 besteht, und daß diese Filterschaltung dafür sorgt, daß externes Rauschen, einschließlich externer Spannungsspitzen, daran gehindert werden, bis zum Magnetfeldmeßelement 6 vorzudringen.

Da bei dem herkömmlichen Magnetfeldmeßelement ein erheblicher Zeitaufwand dazu erforderlich ist, die Widerstände 8 und die Kondensatoren 9 mit dem Substrat 7 zu verlöten, besteht die Schwierigkeit, daß der Produktionswirkungsgrad des Magnetfeldmeßelementes gering ist, und dessen Herstellungskosten beträchtlich sind.

Da zum Zusammenbau der Widerstände 8 und der Kondensatoren 9 mit dem Substrat 7 ein gewisser Raum erforderlich ist, tritt die weitere Schwierigkeit auf, daß die Abmessungen des Magnetfeldmeßelements und des Magnetfeldmeßgerätes insgesamt größer werden.

Die vorliegende Erfindung wurde zur Lösung der voranstehend geschilderten Schwierigkeiten entwickelt, und ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung eines miniaturisierten Magnetfeldmeßelements und eines Magnetfeldmeßgerätes mit verbessertem Produktionswirkungsgrad und geringeren Herstellungskosten.

Gemäß einer Zielrichtung der Erfindung wird ein Magnetfeldmeßelement zur Verfügung gestellt, welches aufweist: ein Riesenmagnetwiderstandselement, welches auf einem Substrat vorgesehen ist, um eine Magnetfeldänderung zu erfassen; eine integrierte Schaltung, die auf dem Substrat vorgesehen ist und dazu dient, eine vorbestimmte arithmetische Verarbeitung auf der Grundlage einer Änderung des Magnetfelds durchzuführen, die von dem Riesenmagnetwiderstandselement erfaßt wird; und einen Schutzwiderstand an der Eingangsseite sowie einen Schutzwiderstand an der Ausgangsseite, die an der Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung vorgesehen sind, wobei der Metallfilm, aus welchem der Widerstand an der Eingangsseite und der Widerstand an der Ausgangsseite besteht, gleich dem Metallfilm ist, aus welcher die integrierte Schaltung hergestellt ist.

Gemäß einer weiteren Zielrichtung der Erfindung weist ein Magnetfeldmeßelement auf: eine integrierte Schaltung, die zu dem Zweck auf einem Substrat vorgesehen ist, eine vorbestimmte arithmetische Verarbeitung auf der Grundlage einer Änderung eines Magnetfeldes durchzuführen, welches von einem Riesenmagnetwiderstandselement erfaßt wird; eine Niveauunterschiedspufferschicht, die auf der integrierten Schaltung vorgesehen ist und eine glatte Oberfläche aufweist; einen Schutzwiderstand an der Eingangsseite und einen Schutzwiderstand an der Ausgangsseite, die auf der Niveauunterschiedspufferschicht zusammen mit dem Riesenmagnetwiderstandselement vorgesehen sind, und an die Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung angeschlossen sind; und eine Verdrahtung (Leiterbahnen) zur Verbindung des Schutzwiderstands an der Eingangsseite mit der integrierten Schaltung sowie zur Verbindung des Schutzwiderstands an der Eingangsseite mit der integrierten Schaltung sowie zur Verbindung des Schutzwiderstands an der Ausgangsseite mit der integrierten Schaltung, wobei der Metallfilm, aus welchem der Widerstand an der Eingangsseite und der Widerstand an der Ausgangsseite bestehen, mit dem Metallfilm übereinstimmt, aus welchem die Verdrahtung hergestellt ist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist der Metallfilm einen spezifischen Widerstand von 2 × 10^-6 Ohm.cm oder mehr auf.

Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung besteht der Metallfilm hauptsächlich aus Aluminium.

Gemäß einer weiteren Zielrichtung der Erfindung weisen der Widerstand an der Eingangsseite und der Widerstand an der Ausgangsseite, die aus dem Metallfilm hergestellt sind, eine Breite von 10 bis 20 µm auf.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weisen der Widerstand an der Eingangsseite und der Widerstand an der Ausgangsseite, die aus dem Metallfilm hergestellt sind, eine Dicke von 1 bis 2 µm auf.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind der Widerstand an der Eingangsseite und der Widerstand an der Ausgangsseite auf dem Substrat vorgesehen.

Gemäß einer weiteren Zielrichtung der Erfindung weist ein Magnetfeldmeßgerät auf: einen magnetischen Drehkörper, der Vorsprünge und Ausnehmungen entlang seinem Außenumfang aufweist, und sich um eine Drehachse drehen kann; einen Magneten, welcher gegenüberliegend dem Außenumfang des magnetischen Drehkörpers angeordnet ist; und ein Magnetfeldmeßelement, welches an einer Oberfläche des Magneten angebracht ist, welche dem Außenumfang des magnetischen Drehkörpers gegenüberliegt, wobei das magnetische Element eine Änderung eines Magnetfelds zwischen dem magnetischen Drehkörper und dem Magneten bei einer Drehung des magnetischen Drehkörpers erfaßt, und auf der Grundlage dieser Erfassung das Ausmaß der Drehung des magnetischen Drehkörpers berechnet.

Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es zeigt:

Fig. 1 eine Seitenschnittansicht eines Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine Ansicht von unten der Ausführungsform von Fig. 1 mit entferntem Gehäuse;

Fig. 3 ein elektrisches Schaltbild des in Fig. 1 gezeigten Magnetfeldmeßgerätes;

Fig. 4 eine Aufsicht auf die integrierte Schaltung im Inneren des Magnetfeldmeßelements von Fig. 1;

Fig. 5 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 6 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 7 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 9 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 10 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 11 schematisch einen Detektor eines Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 12 schematisch einen Herstellungsvorgang für ein Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 13 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 14 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 15 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 16 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement des Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 17 eine schematische Schnittansicht des Magnetfeldmeßelements entlang der Linie X-X von Fig. 11;

Fig. 18 schematisch den Aufbau eines Magnetfeldmeßelements gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 19 eine Schnittansicht des Magnetfeldmeßelements entlang der Linie Y-Y von Fig. 18;

Fig. 20 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 21 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 22 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 23 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 24 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 25 schematisch einen Herstellungsvorgang für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;

Fig. 26 eine teilweise vergrößerte Ansicht eines herkömmlichen Magnetfeldmeßgerätes;

Fig. 27 eine seitliche Schnittansicht des Innenaufbaus des herkömmlichen Magnetfeldmeßgerätes; und

Fig. 28 eine Ansicht von unten des Innenaufbaus des herkömmlichen Magnetfeldmeßgerätes.

AUSFÜHRUNGSFORM 1

Die Fig. 1 und 2 sind eine seitliche Schnittansicht bzw. Ansicht von unten und zeigen den Innenaufbau eines Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung. Es wird darauf hingewiesen, daß Fig. 2 eine Ansicht des Magnetfeldmeßgerätes von Fig. 1 von unten ist, mit abgenommenem Gehäuse 3. Weiterhin wird darauf hingewiesen, daß gleiche Bezugszeichen gleiche oder entsprechende Teile wie jene bezeichnen, die bereits beschrieben wurden, und daher insoweit nicht unbedingt eine erneute Beschreibung erfolgt.

Ein Magnetfeldmeßgerät 15 weist einen Magnetfeldmeßgerätekörper 16 und einen Verbinder 2 auf, der mit dem Magnetfeldmeßgerätekörper 16 verbunden ist.

Der Magnetfeldmeßgerätekörper 16 weist ein zylindrisches Gehäuse 2 aus Kunstharz auf, einen Körper 17 einer elektrischen Schaltung, einen Permanentmagneten 5, und ein Magnetfeldmeßelement 19 zur Erfassung eines Magnetfeldes.

Der Körper 17 der elektrischen Schaltung, der in dem Gehäuse 3 aufgenommen ist, weist ein Substrat 18 aus Kunstharz auf, auf dem Substrat 18 vorgesehene Kondensatoren 9, und eine Verdrahtung 20 (Leiterbahnen) zur Verbindung einer Anschlußklemme des Verbinders 2, der Kondensatoren 9, und des Magnetfeldmeßelements 19.

Der Permanentmagnet 5 ist an einem Endabschnitt des Körpers 17 der elektrischen Schaltung vorgesehen, und das Magnetfeldmeßelement 19, in welches ein Riesenmagnetwiderstandselement (nachstehend als GMR-Element bezeichnet) eingebaut ist, ist auf der Vorderoberfläche des Permanentmagneten 5 vorgesehen.

Fig. 3 ist ein Schaltbild des Magnetfeldmeßgerätes.

Fig. 4 zeigt schematisch den Aufbau des Magnetfeldmeßelements.

In Fig. 3 ist ein Magnetismuserfassungsabschnitt 21, der Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 aufweist, die zu einer Brückenschaltung zusammengeschaltet sind, über eine Verdrahtung 22 an eine integrierte Schaltung 23 angeschlossen, welche eine Differenzverstärkerschaltung und eine Komparatorschaltung (nicht gezeigt) aufweist. Weiterhin wird darauf hingewiesen, daß die GMR-Elemente, welche Riesenmagnetfeldmeßelemente sind, als die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 verwendet werden.

Eine Eingangsseitenfilterschaltung 24 als eine erste Filterschaltung weist einen Widerstand R5, der auf der Seite der Stromversorgungsquelle angeordnet ist, und einen Kondensator 9 auf, der auf dem Substrat 18 an der Stromversorgungsseite angeordnet ist. Eine Ausgangsseitenfilterschaltung 25 als eine zweite Filterschaltung weist einen Ausgangsseitenwiderstand R6 und einen weiteren Kondensator 9 auf, der ebenfalls auf dem Substrat 18 angeordnet ist.

Es wird darauf hingewiesen, daß die Eingangsseitenfilterschaltung 24, die dazu dient, das Eindringen von Rauschen in die integrierte Schaltung 23 zu verhindern, nur durch den Kondensator 9 gebildet werden kann.

Der Stromquellenseitenwiderstand R5 und der Ausgangsseitenwiderstand R6 des Magnetfeldmeßelements von Fig. 4 werden beide dadurch hergestellt, daß ein Metallfilm, der aus Aluminium besteht, unter Einsatz der Photolithographie oder dergleichen mit einem Muster versehen wird.

Wie in Fig. 4 gezeigt ist die integrierte Schaltung 23 unter einem Schutzfilm 26 vorgesehen, der in der linken Hälfte des Magnetfeldmeßelements durch Sputtern hergestellt wird.

Die Widerstände R5 und R6 bestehen aus einem Aluminiumfilm, der gleich dem Aluminiumfilm ist, und durch denselben Herstellungsvorgang hergestellt wird, wie der Aluminiumfilm, der (in der linken Hälfte in Fig. 4) auf einer (nicht dargestellten) Unterschicht zur Ausbildung der integrierten Schaltung 23 unter der linken Hälfte des Schutzfilms 26 ausgebildet wird, der in Fig. 4 gezeigt ist.

Im einzelnen werden der Eingangsseitenwiderstand R5 und der Ausgangsseitenwiderstand R6 durch Musterbildung des Aluminiumfilms unter Verwendung eines Photolithographieverfahrens und dergleichen als Metallfilm hergestellt, der an der rechten Hälfte in Fig. 4 ausgebildet wird, gleichzeitig mit dem Aluminiumfilm, der in der linken Hälfte von Fig. 4 ausgebildet wird, und unter Verwendung desselben Verfahrens.

Es wird darauf hingewiesen, daß die integrierte Schaltung 23 die Differenzverstärkerschaltung, die Komparatorschaltung usw. aufweist (nicht dargestellt).

Da der spezifische Widerstand von Aluminium 2,8 × 10^-6 Ω.cm beträgt, was relativ groß ist, kann die Fläche der Widerstände R5 und R6 klein ausgebildet werden. Da der Widerstandswert von Aluminium annähernd doppelt so groß ist wie jener von Kupfer, kann ein Widerstand aus Aluminium, dessen Fläche annähernd halb so groß ist wie jene eines Widerstands aus Kupfer, denselben Widerstandswert bereitstellen. Im allgemeinen beträgt der Widerstandswert des stromquellenseitigen Widerstands R5 etwa 200 Ohm. Die Fläche der Verdrahtung kann kleiner ausgebildet werden, während dieser Widerstandswert beibehalten wird, wenn die Breite und die Dicke der Aluminiumwiderstandsverdrahtung, durch welche die Widerstände R5 und R6 gebildet werden, kleiner gewählt werden.

Wenn jedoch die Breite der Aluminiumwiderstandsverdrahtung extrem klein ist, tritt das Problem der Elektromigration auf; weiterhin kann die Aluminiumverdrahtung leicht brechen, wenn die Dicke der Aluminiumwiderstandsverdrahtung extrem klein ist.

Aus Versuchen ist bekannt, daß kein Bruch auftritt, wenn die Dicke 1 bis 2 µm oder mehr beträgt. Weiterhin ist bekannt, daß keine Elektromigration auftritt, wenn der Strom pro µm der Breite der Aluminiumwiderstandsverdrahtung 1 mA oder geringer ist.

Da der elektrische Strom, der durch ein Magnetfeldmeßgerät fließt, im allgemeinen so begrenzt ist, daß er nicht mehr als 10 bis 20 mA beträgt, ist ein geeigneter Wert für die Breite der Aluminiumverdrahtung 10 bis 20 µm. Wenn beispielsweise ein Widerstandswert von 200 Ohm durch eine Aluminiumwiderstandsverdrahtung mit einer Breite von 15 µm und einer Dicke von 1,5 µm ausgebildet wird, so ist die Fläche der Aluminiumwiderstandsverdrahtung, die zur Ausbildung des Eingangsseitenwiderstands R5 und des Ausgangsseitenwiderstands R6 in Fig. 4 erforderlich ist, annähernd 4 mm².

Bei diesem Magnetfeldmeßgerät führt die Drehung des zahnradförmigen magnetischen Drehkörpers 11 in Fig. 26 dazu, daß Ausnehmungen 11a und Vorsprünge 11b des magnetischen Drehkörpers 11 sich abwechselnd an das Magnetfeldmeßelement annähern, und eine Änderung der Entfernung zwischen dem Permanentmagneten 5 und dem magnetischen Drehkörper 11 hervorrufen, woraus sich eine Änderung des Magnetfelds ergibt, welches durch das Magnetfeldmeßelement 19 hindurchgeht. Diese Änderung des Magnetfeldes führt zu einer Änderung des Widerstandswertes der Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 im Inneren des Magnetfeldmeßelementes 19, und daher ändert sich die Spannung zwischen Anschlüssen A und B der Brückenschaltung.

Die Änderung der Spannung zwischen den Anschlüssen A und B wird über die Differenzverstärkerschaltung und die Komparatorschaltung (nicht dargestellt) ausgegeben, die beide in der integrierten Schaltung 23 vorhanden sind, und zwar als Impulssignal von einer Klemme der integrierten Schaltung 23, die mit der Ausgangsseitenfilterschaltung 25 verbunden ist. Dieses Impulssignal wird über die Ausgangsseitenfilterschaltung 25 und die Klemme des Verbinders 2 (vgl. Fig. 2) an die (nicht dargestellte) Computereinheit übertragen, und die Computereinheit berechnet den Drehwinkel des magnetischen Drehkörpers 11 auf der Grundlage des übertragenen Signals.

Als nächstes wird ein Verfahren zur Herstellung des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.

Die Fig. 5 bis 10 zeigen schematisch einen Vorgang zur Herstellung des Magnetfeldmeßelements des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung.

Das Magnetfeldmeßelement 19, das in Fig. 5 gezeigt ist, ist so ausgebildet, daß es vollständig von einem Schutzfilm 26 abgedeckt ist. Die integrierte Schaltung 23, die dadurch ausgebildet wird, daß ein Aluminiumfilm mit einem Muster versehen wird, wurde bereits in der letzten Hälfte des Magnetfeldmeßelements 19 unter dem Schutzfilm ausgebildet. Der Aluminiumfilm in der linken Hälfte unter dem Schutzfilm 26 befindet sich in dem Zustand, bevor die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4, der Stromquellenseitenwiderstand R5, und der Ausgangsseitenwiderstand R6 hergestellt werden.

Es wird darauf hingewiesen, daß wie voranstehend geschildert der Aluminiumfilm, der die integrierte Schaltung 23 in der linken Hälfte ausbildet, mit dem Aluminiumfilm übereinstimmt, der in der rechten Hälfte ausgebildet wird, und daß diese beiden Aluminiumfilme gleichzeitig vorher durch Sputtern oder dergleichen hergestellt werden.

Bei dem in Fig. 5 gezeigten Magnetfeldmeßelement 19 wird zuerst der Schutzfilm 26 in der rechten Hälfte durch Photolithographie entfernt, um einen Aluminiumfilm 28 als Metallfilm freizulegen, wie dies in Fig. 6 gezeigt ist.

Daraufhin wird, wie in Fig. 7 gezeigt, der Aluminiumfilm 28 mit einem Muster vorbestimmter Form versehen, unter Verwendung eines photolithographischen Verfahrens. Hierbei werden eine Verdrahtung 22 zum Anschluß von Anschlußflächen 29 für die Drahtverbindung, der stromquellenseitige Widerstand R5, der Ausgangsseitenwiderstand R6 und die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 mit der integrierten Schaltung 23 hergestellt.

Dann wird, wie in Fig. 8 gezeigt, ein GMR-Elementfilm 30 auf der gesamten Oberfläche des Magnetfeldmeßelements 19 ausgebildet. Dann wird, wie in Fig. 9 gezeigt, der GMR-Elementfilm 30 photolithographisch mit einem Muster versehen, so daß nur die Abschnitte übrigbleiben, die als die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 verwendet werden sollen.

Schließlich wird, wie in Fig. 10 gezeigt, ein Schutzfilm 31 auf der gesamten Oberfläche des Magnetfeldmeßelements 19 ausgebildet, und werden darüber hinaus die Anschlußflächen 29 für die Drahtverbindung photolithographisch freigelegt.

Da bei dem Magnetfeldmeßgerät gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung die Widerstände R5 und R6 zum Schutz der integrierten Schaltung 23 zur Verarbeitung eines Ausgangssignals des Magnetfeldmeßelements 19 aus dem Aluminiumfilm 28 hergestellt werden, also aus einem Metallfilm, der gleichzeitig mit dem Aluminiumfilm zur Ausbildung der integrierten Schaltung 23 hergestellt wird und gleich diesem Aluminiumfilm ist, können die mühsamen Arbeiten zum Anlöten von Widerständen an ein Substrat wie im herkömmlichen Fall wegfallen, und daher wird der Produktionswirkungsgrad erhöht, und werden die Herstellungskosten verringert.

Da das Aluminiumteil, welches zu dem Eingangsseitenwiderstand R5 und dem Ausgangsseitenwiderstand R6 wird, mit einer Breite von 10 bis 20 µm und einer Dicke von 1 bis 2 µm ausgebildet wird, treten keine Elektromigration oder ein Bruch auf, und kann daher ein verläßliches Magnetfeldmeßgerät erhalten werden. Da die Fläche des Eingangsseitenwiderstands R5 und des Ausgangsseitenwiderstands R6 klein ausgebildet wird, kann darüber hinaus das Magnetfeldmeßelement miniaturisiert werden.

AUSFÜHRUNGSFORM 2

Fig. 11 zeigt schematisch einen Sensor eines Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung.

Wie aus Fig. 11 hervorgeht, ist ein Magnetfeldmeßelement 35 kleiner als das Magnetfeldmeßelement gemäß der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung.

Das Magnetfeldmeßelement 35 in Fig. 11 weist den Stromquellenseitenwiderstand R5 und den Ausgangsseitenwiderstand R6 an seiner linken Hälfte auf. Wie bei der Ausführungsform 1 wird eine integrierte Schaltung (nicht dargestellt) in der linken Hälfte des Magnetfeldmeßelements 35 ausgebildet. Genauer gesagt wird die integrierte Schaltung unter dem Stromquellenseitenwiderstand R5 und dem Ausgangsseitenwiderstand R6 in Fig. 11 hergestellt. Es wird darauf hingewiesen, daß das in Fig. 11 gezeigte Magnetfeldmeßelement 35 in einem Zustand dargestellt ist, bevor der Schutzfilm 31 ausgebildet wird.

Der Aufbau des Magnetfeldmeßelements gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist gleich jenem des Magnetfeldmeßelements der Ausführungsform 1, mit Ausnahme der Tatsache, daß der Stromquellenseitenwiderstand R5 und der Ausgangsseitenwiderstand R6 auf der (nicht dargestellten) integrierten Schaltung vorgesehen sind, und daher erfolgt keine erneute Beschreibung.

Als nächstes wird ein Verfahren zur Herstellung des Magnetfeldmeßelements 35 des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.

Die Fig. 12 bis 16 zeigen schematisch ein Verfahren zur Herstellung des Magnetfeldmeßelements des Magnetfeldmeßgerätes gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung.

Fig. 17 ist eine schematische Ansicht des Magnetfeldmeßelements entlang der Linie X-X von Fig. 11.

Das Magnetfeldmeßelement 35, das in Fig. 12 gezeigt ist, ist in einem Zustand dargestellt, bevor die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4, der Stromquellenseitenwiderstand R5, und der Ausgangsseitenwiderstand R6 hergestellt werden, und ist vollständig durch den Schutzfilm 31 abgedeckt.

Die (nicht dargestellte) integrierte Schaltung wurde bereits in der linken Hälfte des Magnetfeldmeßelements 35 unter dem Schutzfilm 31 ausgebildet. Der Aluminiumfilm in der rechten Hälfte stimmt mit dem Aluminiumfilm zur Ausbildung der Differenzverstärkerschaltung, der Komparatorschaltung und dergleichen (nicht dargestellt) überein, welche zu der integrierten Schaltung gehören, und wird durch dasselbe Verfahren hergestellt.

Es wird darauf hingewiesen, daß statt des voranstehend erwähnten Aluminiumfilms eine Unterschicht getrennt von dem Schutzfilm 31 in der rechten Hälfte vorgesehen werden kann.

Zuerst wird ein GMR-Elementfilm ausgebildet (dieser Zustand ist nicht dargestellt), durch Sputtern oder dergleichen, und zwar auf der gesamten Oberfläche des Magnetfeldmeßelements 35 in dem voranstehend geschilderten Zustand. Daraufhin wird, wie in Fig. 13 gezeigt, der GMR-Elementfilm photolithographisch mit einem Muster versehen, so daß nur die Abschnitte übrigbleiben, die als die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 verwendet werden sollen.

Dann wird, wie in Fig. 14 gezeigt, ein Lochabschnitt 36 für die elektrische Verbindung der Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4, des Stromquellenseitenwiderstands R5, und des Ausgangsseitenwiderstands R6 mit der integrierten Schaltung in dem Schutzfilm 31 ausgebildet, und wird eine Aluminiumanschlußfläche 37 in dem Lochabschnitt 36 freigelegt.

Dann wird ein Aluminiumfilm hergestellt, durch Sputtern oder dergleichen, und zwar auf der gesamten Oberfläche des Magnetfeldmeßelements 35, und wird der Aluminiumfilm mit einem vorbestimmten Muster durch ein photolithographisches Verfahren versehen, wie dies durch dünne Linien in Fig. 15 angedeutet ist. Hierbei wird die Verdrahtung 22 zum Anschluß der Anschlußflächen für die Drahtverbindung 29, des Stromquellenseitenwiderstands R5, des Ausgangsseitenwiderstands R6, und der Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 mit der integrierten Schaltung ausgebildet. Anders ausgedrückt geschieht der Vorgang der Ausbildung des Eingangsseitenwiderstands R5 und des Ausgangsseitenwiderstands R6 gleichzeitig mit dem Vorgang der Ausbildung der Verdrahtung 22 zur Verbindung des Eingangsseitenwiderstands R5 und des Ausgangsseitenwiderstands R6 mit der integrierten Schaltung 23.

Zuletzt werden die Anschlußflächen 29 für die Drahtverbindung photolithographisch geöffnet, nachdem ein Schutzfilm auf der gesamten Oberfläche des Magnetfeldmeßelements 35 ausgebildet wurde.

Es wird darauf hingewiesen, daß ein Schnitt des Magnetfeldmeßelements 35, welches auf diese Weise ausgebildet wurde, entlang der Linie X-X von Fig. 11 in Fig. 17 gezeigt ist.

Bei dem Magnetfeldmeßgerät gemäß der Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung kann das Magnetfeldmeßelement miniaturisiert werden, und können das Substrat und dergleichen klein ausgebildet werden, da die Widerstände R5 und R6 zum Schutz der integrierten Schaltung zur Verarbeitung eines Ausgangssignals des Magnetfeldmeßelements 19 auf der integrierten Schaltung vorgesehen sind. Daher können die Herstellungskosten für das Magnetfeldmeßgerät verringert werden.

AUSFÜHRUNGSFORM 3

Fig. 18 zeigt schematisch den Aufbau eines Magnetfeldmeßelements gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung.

Fig. 19 ist eine Schnittansicht des Magnetfeldmeßelements entlang der Linie Y-Y von Fig. 18.

Bei der Ausführungsform 2 werden die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4, der Stromquellenseitenwiderstand R5, und der Ausgangsseitenwiderstand R6 direkt auf dem Schutzfilm 31 hergestellt. Wenn sie jedoch über einen Photolack oder eine Harzschicht aus Polyimid, PVSQ oder dergleichen ausgebildet werden, die auf dem Schutzfilm vorgesehen ist, kann die Verläßlichkeit noch weiter verbessert werden.

Da die integrierte Schaltung 23 zum Teil unter dem Schutzfilm 31 liegt, gibt es einen Niveauunterschied in Bezug auf die Oberfläche des Schutzfilms 31 infolge der integrierten Schaltung 23. Ein derartiger Niveauunterschied der Oberfläche des Schutzfilms 31 ist nicht erwünscht, da er zu einem Bruch bei der Verdrahtung 22, dem Stromquellenseitenwiderstand R5 und dem Ausgangsseitenwiderstand R6 führen kann.

Bei der Ausführungsform 3 wird Photolack 41 als Niveaudifferenzpufferschicht auf den Schutzfilm 31 durch Schleuderbeschichtung aufgebracht, um den Niveauunterschied, also die Niveaudifferenz, zu verkleinern.

Es wird darauf hingewiesen, daß statt des Photolacks eine Harzschicht aus Polyimid, PVSQ oder dergleichen eingesetzt werden kann, wobei die gleichen Auswirkungen erzielt werden.

Als nächstes wird ein Verfahren zur Herstellung des Magnetfeldmeßelements 40 des Magnetfeldmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.

Die Fig. 20 bis 25 zeigen schematisch das Herstellungsverfahren für das Magnetfeldmeßelement gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung.

Fig. 20 zeigt einen Zustand, in welchem der Schutzfilm 31 in Fig. 19 auf der gesamten Oberfläche des Substrates ausgebildet ist. Hierbei wurden die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4, der Stromquellenseitenwiderstand R5, und der Ausgangsseitenwiderstand R6 noch nicht hergestellt.

Die integrierte Schaltung 23 wird unter dem Schutzfilm 31 in der linken Hälfte des Magnetfeldmeßelements 40 hergestellt, und an der rechten Hälfte wird ein Aluminiumfilm, der mit dem Aluminiumfilm zur Ausbildung der integrierten Schaltung 23 übereinstimmt, durch den gleichen Herstellungsvorgang wie jenen für diesen Aluminiumfilm hergestellt, oder es wird der in Fig. 19 gezeigten Schutzfilm 31 nicht entfernt.

Daraufhin wird, wie in Fig. 21 gezeigt, der Photolack 41 auf die gesamte Oberfläche des Schutzfilms 31 von Fig. 20 durch Schleuderbeschichtung aufgebracht.

Dann wird, wie in Fig. 22 gezeigt, ein GMR-Elementfilm hergestellt (dieser Zustand ist nicht gezeigt), auf der gesamten Oberfläche des Photolacks 41, und wird dann der GMR-Elementfilm photolithographisch so mit einem Muster versehen, daß nur die Abschnitte übrigbleiben, die als die Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 verwendet werden sollen. Auf diese Weise werden die Meßwiderstände R1 bis R4, die aus GMR-Elementen bestehen, auf dem Photolack 41 ausgebildet.

Dann wird photolithographisch ein Lochabschnitt 36 zur Verbindung der Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4, des Stromquellenseitenwiderstands R5, und des Ausgangsseitenwiderstands R6 mit der integrierten Schaltung unter diesen Widerständen in dem Photolack 41 und dem Schutzfilm 31 ausgebildet, so daß die Aluminiumanschlußfläche 37 freigelegt wird, wie dies in Fig. 23 gezeigt ist.

Dann wird ein Aluminiumfilm auf dem Photolack 41 und den Meßwiderständen R1 bis R5 (dieser Zustand ist nicht gezeigt) hergestellt, und wird der Aluminiumfilm mit einem Muster vorbestimmter Form versehen, wie in Fig. 24 gezeigt, wobei wiederum ein photolithographisches Verfahren eingesetzt wird. Daher wird die Verdrahtung 22 zur Verbindung der Anschlußflächen für die Drahtverbindung 29, des Stromquellenseitenwiderstands R5, des Ausgangsseitenwiderstands R6, und der Meßwiderstände R1, R2, R3 und R4 mit der integrierten Schaltung 23 hergestellt.

Zuletzt werden, wie in Fig. 25 gezeigt, nachdem ein Schutzfilm 42 auf der gesamten Oberfläche des in Fig. 24 dargestellten Elements ausgebildet wurde, Lochabschnitte photolithographisch geöffnet, und werden die Anschlußflächen 29 für die Drahtverbindung ausgebildet.

Wie voranstehend geschildert kann bei der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung das Magnetfeldmeßelement miniaturisiert werden, und können dessen Herstellungskosten verringert werden, daß der Stromquellenseitenwiderstand R5 und der Ausgangsseitenwiderstand R6 so ausgebildet werden, daß sie auf die integrierte Schaltung auflaminiert sind.

AUSFÜHRUNGSFORM 4

Bei den Ausführungsformen 1 bis 3 wurden Magnetfeldmeßgeräte als Beispiele beschrieben, welche GMR-Elemente verwenden, jedoch läßt sich selbstverständlich die vorliegende Erfindung auch bei anderen Magnetfeldmeßgeräten einsetzen, welche beispielsweise Hall-Elemente oder Magnetwiderstandselemente verwenden, und darüber hinaus bei Magnetfeldmeßgeräten abgesehen von solchen, welche integrierte Schaltungen enthalten.

Wie voranstehend geschildert können gemäß Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung, da die vorliegende Erfindung auch bei Magnetfeldmeßgeräten einsetzbar ist, die Hall-Elemente oder Magnetwiderstandselemente verwenden, und bei Magnetfeldmeßgeräten ohne integrierte Schaltungen, auch diese Geräte ebenfalls miniaturisiert werden, und deren Herstellungskosten verringert werden.

Durch die vorliegende Erfindung können folgende Vorteile erzielt werden. Da ein Magnetfeldmeßelement ein Riesenmagnetwiderstandselement aufweist, welches zu dem Zweck auf einem Substrat vorgesehen ist, eine Änderung eines Magnetfelds festzustellen, eine auf dem Substrat vorgesehene integrierte Schaltung zur Durchführung einer vorbestimmten Arithmetikverarbeitung auf der Grundlage einer Änderung des Magnetfeldes, die von dem Riesenmagnetwiderstandselement festgestellt wird, und ein Eingangsseitenschutzwiderstand sowie ein Ausgangsseitenschutzwiderstand, die an der Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung vorgesehen sind, und der Metallfilm, auf welchem der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand hergestellt werden, mit dem Metallfilm übereinstimmt, aus welchem die integrierte Schaltung hergestellt wird, können die mühsamen Arbeiten des Lötens von Widerständen auf ein Substrat ausgeschaltet werden, und daher kann die Produktivität erhöht werden, können die Herstellungskosten verringert werden, und kann das Magnetfeldmeßelement miniaturisiert werden.

Da ein Magnetfeldmeßelement bei einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine integrierte Schaltung aufweist, die zu dem Zweck auf einem Substrat vorgesehen ist, eine vorbestimmte Arithmetikverarbeitung auf der Grundlage einer Änderung eines Magnetfelds durchzuführen, welche von einem Riesenmagnetwiderstandselement festgestellt wird, eine Niveaudifferenzpufferschicht auf der integrierten Schaltung vorgesehen ist, und eine glatte Oberfläche aufweist, ein Eingangsseitenschutzwiderstand und ein Ausgangsseitenschutzwiderstand zusammen mit dem Riesenmagnetwiderstandselement auf der Niveaudifferenzpufferschicht vorgesehen sind, und an die Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung angeschlossen sind, und die Verdrahtung zur Verbindung des Eingangsseitenschutzwiderstands mit der integrierten Schaltung und zur Verbindung des Ausgangsseitenschutzwiderstands mit der integrierten Schaltung vorgesehen ist, wobei der Metallfilm, aus welchem der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand hergestellt werden, mit dem Metallfilm übereinstimmt, aus welchem die Verdrahtung ausgebildet wird, kann die mühsame Arbeit des Lötens von Widerständen auf ein Substrat ausgeschaltet werden, und kann so die Produktivität verbessert werden, können die Herstellungskosten verringert werden, und kann das Magnetfeldmeßgerät miniaturisiert werden.

Da der Metallfilm einen spezifischen Widerstand von 2 × 10^-6 Ohm.cm oder höher aufweist, können darüber hinaus der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand mit einer kleinen Fläche ausgebildet werden, und kann das Substrat kleiner ausgebildet werden, so daß sich das Magnetfeldmeßgerät kostengünstig herstellen läßt.

Da der Metallfilm hauptsächlich aus Aluminium besteht, lassen sich darüber hinaus der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand mit jeweils kleiner Fläche ausbilden, und lassen sich die Herstellungskosten verringern.

Da der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand, die aus dem Metallfilm hergestellt werden, mit einer Breite von 10 bis 20 µm hergestellt werden, lassen sie sich durch kleine Flächen erzeugen, und kann so ein verläßliches Magnetfeldmeßgerät erhalten werden, welches keine Elektromigration zeigt, und nicht zum Bruch neigt.

Da der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand, die aus dem Metallfilm hergestellt werden, mit einer Dicke von 1 bis 2 µm hergestellt werden, können sie mit kleiner Fläche ausgebildet werden, und kann so ein verläßliches Magnetfeldmeßgerät erhalten werden, welches keine Elektromigration zeigt, und nicht zum Bruch neigt.

Da der Eingangsseitenwiderstand und der Ausgangsseitenwiderstand auf dem Substrat vorgesehen sind, und der Eingangsseitenwiderstand, der Ausgangsseitenwiderstand und die Verdrahtung um diese herum nicht zum Bruch neigen, läßt sich darüber hinaus ein verläßliches Magnetfeldmeßgerät erhalten.

Da ein Magnetfeldmeßgerät gemäß der vorliegenden Erfindung einen magnetischen Drehkörper aufweist, der Vorsprünge und Ausnehmungen entlang seinem Außenumfang aufweist, und sich um eine Drehachse drehen kann, und einen Magneten aufweist, der so angeordnet ist, daß er dem Außenumfang des magnetischen Drehkörpers gegenüberliegt, und das voranstehend erwähnte Magnetfeldmeßelement an einer Oberfläche des Magneten angebracht ist, welche dem Außenumfang des magnetischen Drehkörpers gegenüberliegt, und das magnetische Element eine Änderung des Magnetfelds zwischen dem magnetischen Drehkörper und dem Magneten bei einer Drehung des magnetischen Drehkörpers feststellt, und auf der Grundlage des Ergebnisses dieser Erfassung das Ausmaß der Drehung des magnetischen Drehkörpers berechnet, kann ein Magnetfeldmeßgerät kostengünstig zur Verfügung gestellt werden, welches eine hohe Meßempfindlichkeit aufweist.

Claims

1. Magnetfeldmeßelement (19, 35), welches aufweist:
ein Riesenmagnetwiderstandselement (R1, R2, R3, R4), welches zur Feststellung einer Änderung eines Magnetfeldes auf einem Substrat vorgesehen ist;
eine auf dem Substrat (18) vorgesehene integrierte Schaltung (23) zur Durchführung einer vorbestimmten Arithmetikverarbeitung auf der Grundlage einer Änderung des Magnetfeldes, die von dem Riesenmagnetwiderstandselement (R1, R2, R3, R4) festgestellt wird; und
einen Eingangsseitenschutzwiderstand (R5) und einen Ausgangsseitenschutzwiderstand (R6), die auf der Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung (23) vorgesehen sind;
wobei der Metallfilm (28), aus welchem der Eingangsseitenwiderstand (R5) und der Ausgangsseitenwiderstand (R6) hergestellt werden, mit dem Metallfilm (28) übereinstimmt, aus welchem die integrierte Schaltung (23) hergestellt wird.

2. Magnetfeldmeßelement (40), welches aufweist:
eine auf einem Substrat (18) vorgesehene integrierte Schaltung (23) zur Durchführung einer vorbestimmten Arithmetikverarbeitung auf der Grundlage einer Änderung eines Magnetfeldes, welche von einem Riesenmagnetwiderstandselement (R1, R2, R3, R4) festgestellt wird;
eine Niveaudifferenzpufferschicht (41), die auf der integrierten Schaltung (23) vorgesehen ist und eine glatte Oberfläche aufweist;
einen Eingangsseitenschutzwiderstand (R5) und einen Ausgangsseitenschutzwiderstand (R6), die auf der Niveaudifferenzpufferschicht (41) zusammen mit dem Riesenmagnetwiderstandselement (R1, R2, R3, R4) vorgesehen sind, und an die Eingangsseite bzw. Ausgangsseite der integrierten Schaltung (23) angeschlossen sind; und
eine Verdrahtung (22) zur Verbindung des Eingangsseitenschutzwiderstands (R5) mit der integrierten Schaltung (23) und zur Verbindung des Ausgangsseitenschutzwiderstands (R6) mit der integrierten Schaltung (23);
wobei der Metallfilm (28), aus welchem der Eingangsseitenwiderstand (R5) und der Ausgangsseitenwiderstand (R6) ausgebildet werden, mit dem Metallfilm (28) übereinstimmt, aus welchem die Verdrahtung (22) ausgebildet wird.

3. Magnetfeldmeßelement (19, 35, 40) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallfilm (28) einen spezifischen Widerstand von 2 × 10^-6 Ohm.cm oder mehr aufweist.

4. Magnetfeldmeßelement (19, 35, 40) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallfilm (28) im wesentlichen aus Aluminium besteht.

5. Magnetfeldmeßelement (19, 35, 40) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangsseitenwiderstand (R5) und der Ausgangsseitenwiderstand (R6), die aus dem Metallfilm (28) ausgebildet werden, eine Breite von 10 bis 20 µm aufweisen.

6. Magnetfeldmeßelement (19, 35, 40) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangsseitenwiderstand (R5) und der Ausgangsseitenwiderstand (R6), die aus dem Metallfilm (28) ausgebildet werden, eine Dicke von 1 bis 2 µm aufweisen.

7. Magnetfeldmeßelement (19, 35, 40) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Eingangsseitenwiderstand (R5) und der Ausgangsseitenwiderstand (R6) auf dem Substrat vorgesehen sind.

8. Magnetfeldmeßgerät (15), welches aufweist:
einen magnetischen Drehkörper (11), der an seinem Außenumfang Vorsprünge (11b) und Ausnehmungen (11a) aufweist, und sich um eine Drehachse drehen kann;
einen Magneten (5), der so angeordnet ist, daß er dem Außenumfang des magnetischen Drehkörpers (11) gegenüberliegt; und
ein Magnetfeldmeßelement (19, 35, 40), welches an einer Oberfläche des Magneten (5) angeordnet ist, die dem Außenumfang des magnetischen Drehkörpers (11) gegenüberliegt, wobei das magnetische Element (19, 35, 40) eine Änderung eines Magnetfelds zwischen dem magnetischen Drehkörper (11) und dem Magneten (5) bei einer Drehung des magnetischen Drehkörpers (11) erfaßt, und auf der Grundlage des Ergebnisses dieser Erfassung das Ausmaß der Drehung des magnetischen Drehkörpers (11) berechnet.