DE19850415C1

DE19850415C1 - Substrathalter für Mehrkammer-Vakuumbeschichtungsanlagen

Info

Publication number: DE19850415C1
Application number: DE1998150415
Authority: DE
Inventors: Bernd-Dieter Wenzel
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date: 1998-11-02
Filing date: 1998-11-02
Publication date: 2000-02-03
Anticipated expiration: 2018-11-03

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Substrathalter für Mehrkammer-Vakuumbeschichtungsanlagen, bestehend aus einem Verfahrwagen (Trolley) zur Halterung und zum Transport der Substrate auf angetriebenen Rollenbahnen durch die Mehrkammer-Vakuumanlage mit mindestens einer Beschichtungskammer und einer Vorheizkammer (Prozeßkammern), wobei in den Prozeßkammern in einer Andockposition jeweils eine Kupplungseinrichtung zur Versorgung des Trolleys mit Kühl- und Antriebsmedien und elektrischen Steuersignalen vorgesehen ist. DOLLAR A Durch die Erfindung soll insbesondere eine gleichmäßigere Beschichtung der Substrate und eine bessere Kühlung des Trolleys erreicht werden. DOLLAR A Erfindungsgemäß ist der Trolley (4) mehrteilig ausgeführt und besteht aus einer auf einer Rollenbahn (2) verfahrbaren Verfahreinrichtung (7), die mit der Kupplungseinrichtung versehen ist und einer auf einer weiteren Rollenbahn verfahrbaren Halteeinrichtung (8) für das Substrat (11). Die Verfahreinrichtung (7) und die Halteeinrichtung (8) sind über eine flexible Verbindung (16; 23, 24) miteinander verbunden.

Description

Die Erfindung betrifft einen Substrathalter für Mehrkammer- Vakuumbeschichtungsanlagen, bestehend aus einem Verfahrwagen (Trolley) zur Halterung und zum Transport der Substrate auf angetriebenen Rollenbahnen durch die Mehrkammer-Vakuumanlage mit mindestens einer Beschichtungskammer und einer Vorheizkam mer (Prozeßkammern), wobei in den Prozeßkammern in einer An dockposition jeweils eine Kupplungseinrichtung zur Versorgung des Trolleys mit Kühl- und Antriebsmedien und elektrischen Steuersignalen vorgesehen ist.

In derartigen Mehrkammer-Vakuumbeschichtungsanlagen werden Substrate, wie z. B. Schaufeln von Flugturbinen zwecks Wärme isolation mit keramischen Schichten bedampft. Durch die kera mischen Schichten soll entweder die Einsatztemperatur und damit der Wirkungsgrad der Flugturbinen oder aber deren Le bensdauer erhöht werden.

Die Mehrkammer-Vakuumanlagen enthalten Belade-/Entladekammern zum Ein- oder Ausladen der Substrate (technologische Kammern), Kammern zum Vorheizen der Substrate und wenigstens eine Kammer zum Aufdampfen der Schicht auf das Substrat (Prozeßkammern). Sämtliche Kammern sind durch Vakuumschieber voneinander ab trennbar.

Zur Erhöhung der Produktivität können auch mehrere Belade- /Entladekammern und Vorheizkammern an einer Bedampfungskammer angeordnet werden.

Für den Transport der Substrate durch die Mehrkammer-Vakuum anlagen sind verschiedene Transportsysteme bekannt geworden.

In einer ersten Variante werden die Substrate an einem Trage kopf einer mehrere Meter langen Transportstange (Sting) gehal ten, die vakuumdicht in die Belade-/Entladekammer eingeschoben wird und die in der Verbindungsachse der Kammern bewegt wird. Mit Hilfe dieser Transportstange werden die Substrate nachein ander durch die verschiedenen Kammern und wieder zurück trans portiert. Am Kopf der Transportstange sind die Substrate an Halterungen befestigt, die über geeignete Antriebe eine Bewe gung der Substrate während des Bedampfungsvorganges um zwei Achsen ermöglichen. Dadurch wird eine weitgehend gleichmäßige Erwärmung und Beschichtung der Substrate erreicht. Die An triebe greifen außerhalb des Vakuums am Sting an und werden durch den Sting vakuumdicht zu den Halterungen für das Sub strat geführt.

Bei schweren Substraten, z. B. Schaufeln für Industriegasturbi nen, ist die Stabilität des langen frei schwebenden Stings, der nur an einem Ende (Antriebsende) gehalten werden kann, nicht ausreichend, um das freie Ende mit den schweren Sub straten zentrisch in der Achse der Kammern zu halten und auch in dieser Position zwischen den einzelnen Kammern zu verschie ben. Deshalb wird der Sting, an dem die Substrate an Halterun gen befestigt sind, in einer zweiten Variante an einem ver fahrbaren Wagen (Trolley) angeflanscht, an dem die Substrate an Halterungen befestigt sind. Die Substrate können auf diese Weise unter Bewegung um zwei Achsen durch die Kammern trans portiert werden. Der Trolley wird dabei auf einer Rollenbahn mit von außen angetriebenen Rollen durch die Kammern bewegt. Auch bei diesem Trolley erfolgt der Antrieb der Bewegungs elemente in den Halterungen über den Sting.

Aus der DE 195 37 092 C1 geht eine Elektronenstrahlbe dampfungsanlage hervor, bei der ein Trolley zum Transport von zu beschichtenden Substraten durch die Anlage vorgesehen ist. Der horizontale Transport und die Führung des Trolleys erfolgt durch synchron angetriebene Rollen. Diese Rollen bilden eine Rollenbahn, die sich durch die gesamte Anlage erstreckt, so daß ein paralleler Ablauf von Einschleusen, Heizen, Beschichten, Abkühlen und Ausschleusen des Trolleys mit dem daran befestigten zu beschichtenden Gut realisiert werden kann.

Die Verwendung von Tragekopf und Sting bzw. Trolley und Sting hat die Nachteile, daß die Vakuumentkopplung zwischen den Prozeßkammern entsprechend der Prozeßtiefe aufgehoben wird und daß die technologischen Kammern (Belade-/Entladekammern) und Vorheizkammern außer der Bedampfungskammer (Prozeßkammer) mindestens zweifach vorhanden sind, wenn in der Bedampfungs kammer kontinuierlich beschichtet wird.

Um die Vakuumentkopplung zwischen den verschiedenen Prozeß schritten zu gewährleisten, wird der Trolley anstelle des Stings mit einer Kupplungseinrichtung versehen. Nach dem Er reichen einer Andockposition wird die Kupplungseinrichtung, die aus einer Kupplung an der Kammerwand und einem Gegenkupp lungsstück am Trolley besteht, geschlossen.

Über diese Kupplungseinrichtung erfolgt der Antrieb für die Bewegung der Substrate. Außerdem muß der Trolley wegen der hohen Beaufschlagung mit Strahlungswärme in der Vorheizkammer bzw. mit Strahlungs- und Verdampfungswärme in der Verdamp fungskammer gekühlt werden.

Eine derartige Kupplungseinrichtung zum Andocken eines Trol leys in einer Andockposition ist in der DE 197 43 800 C1 be schrieben. Hierzu ist eine erste Zwischenkammer vorgesehen, welche die Außenwand der Vakuumkammer durchdringt und die mit einer zweiten Zwischenkammer innerhalb der Vakuumkammer kop pelbar ist. Die zweite Zwischenkammer ist Bestandteil des innerhalb der Vakuumkammer auf einer Rollenbahn verfahrbaren Trolleys, wobei die Kopplung beider Zwischenkammern in der Andockposition durch vertikales Verfahren der ersten Zwischen kammer erfolgt. In dieser Position wird dann die Ankopplung der Medienanschlüsse vorgenommen.

Der Trolley mit der beschriebenen Kupplungseinrichtung weist jedoch mehrere Nachteile auf.

Erstens wird der Trolley durch das Andocken an die Kupplungs einrichtung in der Andockposition festgesetzt. Eine an sich bei Substraten mit unregelmäßiger Oberfläche erwünschte Wob belbewegung des Trolleys innerhalb der Dampfwolke in axialer Richtung zur Erzielung einer gleichmäßigen Schichtdicke wird dadurch verhindert.

Zweitens wird der Trolley während des Verfahrens von Kammer zu Kammer nicht gekühlt, so daß insbesondere bei unregelmäßiger Verfahrbewegung die Gefahr der Überhitzung des Trolleys be steht.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Sub strathalter für Mehrkammer-Vakuumbeschichtungsanlagen zu schaffen, bei dem die Nachteile des Standes der Technik ver mieden werden, insbesondere soll eine gleichmäßigere Be schichtung der Substrate und eine bessere Kühlung des Trolleys erreicht werden.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabenstellung wird bei einem Substrathalter für Mehrkammer-Vakuumbeschichtungsanlagen der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der Trolley mehrteilig ausgeführt ist und aus einer auf einer Rollenbahn verfahrbaren Verfahreinrichtung, die mit der Kupplungsein richtung versehen ist und einer auf einer weiteren Rollenbahn verfahrbaren Halteeinrichtung für das Substrat besteht und daß die Verfahreinrichtung und die Halteeinrichtung über eine flexible Verbindung miteinander verbunden sind.

Durch diese überraschend einfache Lösung werden die Vorausset zungen für eine wesentlich bessere und gleichmäßigere Be schichtung auch sehr unregelmäßig geformter Substrate geschaf fen. Insbesondere wird durch die Erfindung ermöglicht, daß während des Beschichtungsvorganges des Substrates neben dessen mehrdimensionaler Bewegung an der Halteeinrichtung auch eine Wobbelbewegung ausgeführt werden kann.

In einer Fortführung der Erfindung weist die flexible Verbin dung Mittel zur Versorgung der Halteeinrichtung mit Kühl- und Antriebsmedien und elektrischen Steuersignalen auf, wobei diese im einfachsten Fall aus einem vakuumdichten flexiblen Schlauch besteht, in dem die nötigen Versorgungsleitungen verlegt sind.

Die flexible Verbindung kann aber auch aus mehreren vakuum dichten, gelenkig miteinander verbundenen Rohrstücken für den Umlauf der Kühlflüssigkeit hergestellt werden. Die elektri schen Steuerleitungen sind hier außen an den Rohrstücken auf gehängt.

Eine weitere Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekenn zeichnet, daß die Verfahreinrichtung und die Halteeinrichtung auf unterschiedliche Rollenbahnen aufgesetzt sind und unabhän gig voneinander bewegbar sind. Insbesondere sind beide Rollen- bahnen parallel zueinander angeordnet und unabhängig vonein ander antreibbar.

Damit kann der Verfahrwagen (Trolley) einerseits auf einfache Weise durch die verschiedenen Kammern gefahren werden, indem die Rollenbahnen synchron angetrieben werden. Es ist somit nicht erforderlich, zum Zwecke des Verfahrens des Trolleys eine mechanische Kopplung zwischen der Verfahreinrichtung und der Halteeinrichtung herzustellen. Andererseits ist es dadurch problemlos möglich, mit der Halteeinrichtung für das Substrat nach Erreichen der Andockposition in einer Prozeßkammer die gewünschte Wobbelbewegung auszuführen.

Eine besondere Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekenn zeichnet, daß die Verfahreinrichtung aus zwei Fahrwagen be steht, die unabhängig voneinander auf einer Rollenbahn ver fahrbar sind, daß jedem Fahrwagen eine Kupplungseinrichtung zugeordnet ist, die aus einer Kupplung am Fahrwagen und einer zugehörigen feststehenden Gegenkupplung in der Prozeßkammer besteht, und daß jeder Fahrwagen über eine flexible Verbindung mit der Halteeinrichtung verbunden ist, die auf einer anderen Rollenbahn verfahrbar ist.

Durch diese Ausgestaltung der Erfindung wird erstmals die Möglichkeit geschaffen, daß die Halteeinrichtung ständig mit den benötigten Medien versorgt werden kann, auch während der Verfahrwagen von einer Prozeßkammer in die nächste Prozeßkam mer gefahren wird.

Zu diesem Zweck ist jede Prozeßkammer der Mehrkammer-Beschich tungsanlage mit zwei im Abstand zueinander angeordneten Kupp lungseinrichtungen versehen, wobei während der Bearbeitung des Substrates wenigstens einer der Fahrwagen mit einer der Kupp lungen verbunden ist.

Weiterhin entspricht der Abstand zwischen den Kupplungsein richtungen einer Prozeßkammer dem Abstand zur nächsten Kupp lungseinrichtung der benachbarten Prozeßkammer, d. h. alle Kupplungseinrichtungen weisen den gleichen Abstand zueinander auf.

Um während der Verfahrens des Verfahrwagens in die nächste Prozeßkammer mit zwei Andockvorgängen auskommen zu können, entspricht die Länge der flexiblen Verbindungen zwischen den Fahrwagen und der Halteeinrichtung mindestens dem Abstand zwischen zwei benachbarten Kupplungseinrichtungen.

In einer weiteren Fortbildung der Erfindung enthält jede Kupp lungseinrichtung ein leckfreies vakuumdichtes Andocksystem.

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungsfiguren zeigen:

Fig. 1 einen mehrteiligen Trolley mit einer Verfahreinrich tung und einer Halteeinrichtung für ein Substrat in der Andockposition in einer Prozeßkammer; und

Fig. 2 einen mehrteiligen Trolley mit einer aus zwei Fahr wagen bestehenden Verfahreinrichtung.

In Fig. 1 ist eine Prozeßkammer 1 einer Mehrkammer-Vakuumbe schichtungsanlage schematisch dargestellt, die mit zwei im Abstand zueinander angeordneten und horizontal verlaufenden Rollenbahnen 2, 3 versehen ist. Diese Rollenbahnen 2, 3 sind über einen außerhalb der Prozeßkammer 1 befindlichen nicht dargestellten Antrieb antreibbar, so daß ein auf die Rollen bahnen aufgesetzter Verfahrwagen (Trolley) 4 durch die Prozeß kammer 1 gefahren werden kann.

Um die Prozeßkammer 1 vakuumdicht von den jeweils benachbarten Kammern abtrennen zu können, sind Vakuumschieber 5, 6 vor gesehen, deren Position aus Fig. 1 schematisch ersichtlich ist.

Der Verfahrwagen 4 besteht nach Fig. 1 aus einer Verfahrein richtung 7, die auf die obere Rollenbahn 2 aufgesetzt ist und einer Halteeinrichtung 8, die mit Aufnahmen 9, 10 zur Halte rung eines Substrates 11 versehen ist.

Wegen der für den Beschichtungsvorgang der Substrate 11 not wendigen hohen Temperaturen ist es notwendig, die diesen Tem peraturen ausgesetzten Bauteile, d. h. die Verfahreinrichtung 7, die Halteeinrichtung 8 und die Aufnahme 9, 10, zu kühlen. Die Kühlung erfolgt üblicherweise durch ein von außerhalb der Prozeßkammer 1 zugeführtes Kühlmedium. Außerdem müssen die Substrate 11 mehrachsig bewegt werden, um eine gleichmäßige Beschichtung zu erreichen.

Um das Kühlmedium zuführen zu können, wird der Verfahrwagen 4 zunächst in einer Andockposition in der Prozeßkammer 1 posi tioniert. Die Zuführung der Medien erfolgt durch eine Kupp lungseinrichtung 12, mit deren Hilfe die Medien in der Andock position dem Verfahrwagen zugeführt werden können. Die Kupp lungseinrichtung 12 enthält eine leckfreies Andocksystem und besteht aus einer Kupplung 13, die durch die Wandung 14 der Prozeßkammer 1 ragt und einer an der Verfahreinrichtung 7 angeordneten Gegenkupplung 15.

Weiterhin ist für die Übertragung der Medien von der Verfahr einrichtung 7 zur Halteeinrichtung 8 eine flexible Verbindung 16 vorgesehen. Diese flexible Verbindung 16 kann im einfach sten Fall aus einem vakuumdichten flexiblen Schlauch mit darin angeordneten Versorgungsleitungen bestehen. Selbstverständlich kann die flexible Verbindung 16 auch aus mehreren vakuumdicht und gelenkig miteinander verbundenen Rohrstücken bestehen. Damit ist es möglich, nach Erreichen der fest vorgegebenen Andockposition eine Wobbelbewegung der Substrate 11 durch zuführen, indem die Halteeinrichtung 8 mit Hilfe der unteren Rollenbahn 3 innerhalb der Prozeßkammer 1 vor- und zurückbe wegt wird.

Nach Beendigung des Beschichtungsvorganges in der Prozeßkammer 1 wird die Kupplungseinrichtung 12 gelöst und einer der Vaku umschieber 5, 6 geöffnet, so daß der Trolley 4 in die nächste Kammer gefahren werden kann. Bei diesem Vorgang erfolgt ein synchroner Antrieb der Rollenbahnen 2, 3.

Fig. 2 zeigt eine besondere Variante, bei der in jeder Prozeß kammer 1 in der Andockposition jeweils zwei Kupplungseinrich tungen 17, 18; 19, 20, die jeweils eine Kupplung 13 und eine Gegenkupplung 15 enthalten, vorgesehen sind. Die Verfahrein richtung 7 des Trolleys 4 besteht hier aus zwei Fahrwagen 21, 22, die unabhängig voneinander verfahrbar sind.

Für die Medienübertragung von den Fahrwagen 21, 22 zur Hal teeinrichtung 8 ist jeweils eine flexible Verbindung 23, 24 mit innenliegenden Versorgungsleitungen vorhanden, so daß die Medienversorgung für den Trolley ununterbrochen über eine der Kupplungseinrichtungen 17, 18 oder 19, 20 erfolgen kann. Die gewünschte Wobbelbewegung des Substrates 11 wird hier eben falls durch die flexiblen Verbindungen 23, 24 ermöglicht.

Die Aufteilung der Verfahreinrichtung 7 in zwei Fahrwagen 21, 22 ermöglicht in Verbindung mit den flexiblen Verbindungen 23, 24 darüberhinaus eine unterbrechungsfreie Medienversorgung der Halteeinrichtung 8, auch wenn diese von einer Prozeßkammer 1 in die benachbarte Prozeßkammer verfahren wird. Dazu ist le diglich die, in Fahrtrichtung gesehen, vordere Kupplungsein richtung 18 zu lösen, der zugehörige Fahrwagen 22 nach dem öffnen des Vakuumschiebers 6 in die nächste Prozeßkammer bis zur übernächsten Kupplungseinrichtung 20 zu fahren und die in dieser Kupplungseinrichtung 20 befindliche leckfreie Andock vorrichtung anzudocken. Die Halteeinrichtung 8 nimmt in diesem Fall eine mittige Position zwischen den Kupplungseinrichtungen 17 und 20 ein.

Anschließend kann die Kupplungseinrichtung 17 geöffnet und der Fahrwagen 21 bis zur übernächsten Andockposition 19 gefahren werden. Worauf dann die in der Kupplungseinrichtung 19 befind liche leckfreie Andockvorrichtung anzudocken ist.

Voraussetzung hierfür ist, daß die flexiblen Verbindungen 23, 24 in ihren Längenabmessungen so bemessen sind, daß diese ausreichen, um den Fahrwagen 21 an der Kupplungseinrichtung 17 und den Fahrwagen 22 gleichzeitig an der Kupplungseinrichtung 20 andocken zu können.

Bezugszeichenliste

1

Prozeßkammer

2

Rollenbahn

3

Rollenbahn

4

Verfahrwagen (Trolley)

5

Vakuumschieber

6

Vakuumschieber

7

Verfahreinrichtung

8

Halteeinrichtung

9

Aufnahme

10

Aufnahme

11

Substrat

12

Kupplungseinrichtung

13

Kupplung

14

Wandung

15

Gegenkupplung

16

flexible Verbindung

17

Kupplungseinrichtung

18

Kupplungseinrichtung

19

Kupplungseinrichtung

20

Kupplungseinrichtung

21

Fahrwagen

22

Fahrwagen

23

flexible Verbindung

24

flexible Verbindung

Claims

1. Substrathalter für Mehrkammer-Vakuumbeschichtungsanlagen, bestehend aus einem Verfahrwagen (Trolley) zur Halterung und zum Transport der Substrate auf angetriebenen Rollen bahnen durch die Mehrkammer-Vakuumanlage mit mindestens einer Beschichtungskammer und einer Vorheizkammer (Prozeß kammern), wobei in den Prozeßkammern in einer Andockposi tion jeweils eine Kupplungseinrichtung zur Versorgung des Trolleys mit Kühl- und Antriebsmedien und elektrischen Steuersignalen vorgesehen ist, dadurch ge kennzeichnet, daß der Trolley (4) mehrteilig ausgeführt ist und aus einer auf einer Rollenbahn (2) verfahrbaren Verfahreinrichtung (7), die mit der Kupp lungseinrichtung versehen ist und einer auf einer weiteren Rollenbahn verfahrbaren Halteeinrichtung (8) für das Sub strat (11) besteht und daß die Verfahreinrichtung (7) und die Halteeinrichtung (8) über eine flexible Verbindung (16; 23, 24) miteinander verbunden sind.

2. Substrathalter nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die flexible Verbindung (16; 23, 24) Mittel zur Versorgung der Halteeinrichtung (8) mit Kühl- und Antriebsmedien und elektrischen Steuersignalen aufweist.

3. Substrathalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die flexible Verbindung (16; 23, 24) aus einem vakuumdichten flexiblen Schlauch besteht, in dem Versorgungsleitungen verlegt sind.

4. Substrathalter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die flexible Verbindung (16; 23, 24) aus mehreren vakuumdichten, gelenkig mitein ander verbundenen Rohrstücken für den Umlauf der Kühl flüssigkeit besteht, wobei die elektrischen Steuerleitun gen außen an den Rohrstücken aufgehängt sind.

5. Substrathalter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da durch gekennzeichnet, daß die Verfahr einrichtung (7) und die Halteeinrichtung (8) auf unter schiedliche Rollenbahnen (2, 3) aufgesetzt sind und un abhängig voneinander bewegbar sind.

6. Substrathalter nach Anspruch 5, dadurch ge kennzeichnet, daß beide Rollenbahnen (2, 3) parallel zueinander angeordnet und unabhängig voneinander antreibbar sind.

7. Substrathalter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da durch gekennzeichnet, daß die Verfahr einrichtung (7) aus zwei Fahrwagen (21, 22) besteht, die unabhängig voneinander auf einer Rollenbahn (2) verfahrbar sind, daß jedem Fahrwagen (21, 22) eine Kupplungseinrich tung (17, 18, 19, 20) zugeordnet ist, die aus einer Kupp lung (15) am Fahrwagen und einer zugehörigen feststehenden Gegenkupplung (13) in der Prozeßkammer (1) besteht, und daß jeder Fahrwagen (21; 22) über eine flexible Verbindung (23, 24) mit der Halteeinrichtung (8) verbunden ist, die auf einer anderen Rollenbahn (3) verfahrbar ist.

8. Substrathalter nach Anspruch 7, dadurch ge kennzeichnet, daß jede Prozeßkammer (1) der Mehrkammer-Beschichtungsanlage mit zwei im Abstand zuein ander angeordneten Kupplungseinrichtungen (17, 18; 19, 20) versehen ist und daß während der Bearbeitung des Substra tes (11) wenigstens einer der Fahrwagen (21; 22) mit einer der Kupplungseinrichtungen (17, 18; 19, 20) verbunden ist.

9. Substrathalter nach Anspruch 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen den Kupplungseinrichtungen (17, 18; 19, 20) einer Prozeßkammer (1) dem Abstand zur nächsten Kupplungseinrichtung der benachbarten Prozeßkammer (1) entspricht.

10. Substrathalter nach Anspruch 7 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge der flexiblen Verbindungen (23, 24) zwischen den Fahrwagen (21, 22) und der Halteeinrichtung (8) mindestens dem Abstand zwischen zwei benachbarten Kupplungseinrichtungen (17, 18, 19, 20) entspricht.

11. Substrathalter nach einem der Ansprüche 1 bis 10, da durch gekennzeichnet, daß jede Kupp lungseinrichtung (17, 18, 19, 20) ein leckfreies vakuum dichtes Andocksystem enthält.