DE19847314C2 - Saugvorrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Saugvor­ richtung zum Anziehen eines Werkstücks entsprechend dem Unterdruck eines unter Unterdruck stehenden Fluids, um beispielsweise den Transport des Werkstücks zu ermöglichen.

Eine herkömmliche Saugvorrichtung, wie sie beispielsweise aus der japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung Nr. 39-11426 bekannt ist, ist in Fig. 7 dargestellt. Die Saugvorrichtung 1 weist einen Napfabschnitt 2 mit mantelförmiger Gestalt und einen Verbindungsabschnitt 3 auf, der mit dem Napfabschnitt 2 verbunden ist. Der Napfabschnitt 2 weist ein Öff­ nungs/Schließventil 6 auf, das mit Hilfe der elastischen Kraft einer Feder 5, die in einer in dem Verbindungsabschnitt 3 ausgebildeten Ventilkammer 4 angebracht ist, immer nach unten vorgespannt ist. Ein nach unten vorstehender Vorsprung 7 ist an der Bodenfläche des Öffnungs/Schließventiles 6 ausgebildet.

Wenn ein nicht dargestelltes Werkstück angezogen wird, ist das Öffnungs/Schließventil 6 in einem Ventil-offen-Zustand, so daß der Vorsprung 7 gegen das Werkstück anliegt, und das Öff­ nungs/Schließventil 6 wird entsprechend der Druckwirkung des Werkstückes entgegen der elastischen Kraft der Feder 5 von einem Sitzabschnitt 8 abgehoben. Als Folge hiervon wird ein unter Unterdruck stehendes Fluid, das von einer nicht dargestellten Vakuumquelle zu der Ventilkammer 4 zugeführt wird, durch einen mit der Ventilkammer 4 in Verbindung stehenden Durchgang 9 in einen inneren Raum des Napfabschnit­ tes 6 eingeführt. Dementsprechend wird das Werkstück ent­ sprechend der Wirkung des unter Unterdruck stehenden Fluids angesaugt.

Bei der herkömmlichen Technik ist auch ein nicht dargestellter Vakuumschalter bekannt, der dazu verwendet wird, zu bestäti­ gen, ob das Werkstück an den Saugnapfangezogen wird oder nicht. Hierzu wird ein Druckunterschied zwischen einem Zustand, in welchem das Werkstück angezogen wird, und einem Zustand, in welchem das Werkstück nicht angezogen ist, verwendet. Der Vakuumschalter weist einen Halbleiterdrucksen­ sor auf, um den Druck des unter Unterdruck stehenden Fluids zum Anziehen des Werkstücks festzustellen. Der Vakuumschalter schaltet entsprechend der Detektionswirkung des Halbleiter­ drucksensors von einem OFF-Zustand in einen ON-Zustand, wenn sich der Druck von einem Atmosphärendruck, bei welchem das Werkstück nicht angezogen wird, in einen einen festgelegten Druck überschreitenden Druck ändert. Dementsprechend ist es möglich, zu bestätigen, daß das Werkstück wirklich von dem Saugnapfangezogen wird.

Ist jedoch beabsichtigt, zu überprüfen, ob das Werkstück gemäß dem ON/OFF-Zustand des Vakuumschalters angezogen wird, indem das Druckfluid in der Ventilkammer 4 mit Hilfe des Halbleiter­ drucksensors überprüft wird, wobei der Vakuumschalter mit der Vakuumkammer 4 der herkömmlichen Saugvorrichtung über ein nicht dargestelltes Rohr oder dergleichen verbunden ist, tritt folgender Nachteil auf. Wird das Werkstück nicht angezogen, liegt das Werkstück nicht gegen den Vorsprung 7 des Öff­ nungs/Schließventiles 6 an und das Öffnungs/Schließventil 6 ist in einem Ventil-geschlossen-Zustand. Daher kann der Unterdruck der Ventilkammer 4 den voreingestellten Druck des Vakuumschalters überschreiten, und der Vakuumschalter kann sich in einem ON-Zustand befinden.

Mit anderen Worten wird bei einer herkömmlichen Saugvorrichtung 1 das von der Vakuumquelle zugeführte Druckfluid direkt in die Ventilkammer 4 eingeführt, was zu einem Zustand führt, in welchem der Unterdruck in der Ventilkammer 4 den voreingestellten Druck für den Vakuumschalter überschreitet, unabhängig davon, ob das Öffnungs/Schließventil 6 in dem Ventil-offen-Zustand oder dem Ventil-geschlossen-Zustand ist. Aus diesem Grund befindet sich der Vakuum­ schalter immer in dem ON-Zustand, unabhängig davon, ob das Werkstück an­ gezogen wird oder nicht. Somit ist es unmöglich, zu überprüfen, ob das Werk­ stück wirklich angezogen wird, auch wenn die herkömmliche Saugvorrichtung 1 einen Vakuumschalter aufweist.

Der DE 43 14 999 A1 ist eine Saugvorrichtung mit einem Napfabschnitt zum Anziehen eines Werkstückes entsprechend einem aufgebrachten Unterdruck zu entnehmen. Es ist ferner ein selbstschließendes Ventil für die Steuerung der Unterdruckzufuhr zu dem Napfabschnitt vorgesehen. Mittel für die Detektion der Schaltstellung des Ventils sind bei der bekannten Saugvorrichtung nicht vorge­ sehen.

Aus der 196 09 975 A1 geht eine Saugvorrichtung mit einem Napfabschnitt zum Anziehen eines Werkstücks entsprechend einem aufgebrachten Unterdruck her­ vor. In einem Saugrohr ist ein Innenrohr axial bewegbar angeordnet, welches mit einem unteren Ende auf einem anzusaugenden Gegenstand auflegbar ist. In eine Bohrung des Absaugrohres ist ein Näherungssensor eingesetzt, welcher ein Innenrohr aus metallischem Werkstoff erfordert.

Es ist daher eine wesentliche Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Saug­ vorrichtung mit einem Öffnungs/Schließventil vorzuschlagen, die eine zuverläs­ sige Bestätigung über das Anziehen oder Nichtanziehen eines Werkstücks er­ möglicht.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 6 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprü­ chen.

Anhand der Figuren wird an Ausführungsbeispielen die Erfindung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorderansicht einer Saugvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Saugvorrichtung gemäß Fig. 1,

Fig. 3 einen Längsschnitt entlang der Linie III-III in Fig. 2,

Fig. 4 einen Längsschnitt, der einen Zustand darstellt, der bei einem Wechsel von einem Ventil-geschlossen- Zustand eines Öffnungs/Schließventiles gemäß Fig. 3 in einen Ventil-offen-Zustand erhalten wird,

Fig. 5 einen Längsschnitt durch eine Saugvorrichtung gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,

Fig. 6 einen Längsschnitt, der einen Zustand darstellt, der beim Wechsel von einem Ventil-geschlossen- Zustand eines Öffnungs/Schließventils gemäß Fig. 5 in einen Ventil-offen-Zustand erhalten wird, und

Fig. 7 einen Längsschnitt durch eine herkömmliche Saugvor­ richtung.

In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 10 eine Saugvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Die Saugvorrichtung 10 weist einen Napfabschnitt 12 für den Kontakt mit einem Werkstück W (vgl. Fig. 3 und 4) auf, um das Werkstück W gemäß der Wirkung eines unter Unterdruck stehenden Fluids anzuziehen, einen Detektorabschnitt 16, der einen mit dem Napfabschnitt 12 verbundenen Verbinder 14 aufweist, um festzustellen, ob das Werkstück W tatsächlich angezogen wird oder nicht, und ein Öffnungs/Schließventil 18 (vgl. Fig. 3 und 4), dessen eines Ende gegen das Werkstück W anliegt, um eine Aufwärtsverschiebung zu bewirken, so daß ein Wechsel von einem Ventil-geschlossen-Zustand in einen Ventil-offen-Zustand durchgeführt wird.

Wie in den Fig. 3 und 4 dargestellt ist, weist der Napf­ abschnitt 12 einen proximalen Abschnitt 20 mit einer dickwan­ digen zylindrischen Gestalt und einen einstückig mit dem proximalen Abschnitt 20 ausgebildeten Mantelabschnitt 22 mit allmählich zunehmenden Durchmesser auf. Der Napfabschnitt 12 besteht beispielsweise aus einem Material wie H-NBR (H- Nitrilkautschuk). Das proximale Ende 20 weist eine erste Durchgangsöffnung 24 auf, die einen ringförmigen Stufen­ abschnitt aufweist und sich bis zu dem Mantelabschnitt 22 erstreckt.

Der Verbinder 14, der eine mit der ersten Durchgangsöffnung 24 in Verbindung stehende zweite Durchgangsöffnung 26 aufweist, ist mit einem oberen Abschnitt des Napfabschnittes 12 gekoppelt. Der Detektorabschnitt 16 ist an einem oberen Abschnitt des Verbinders 14 vorgesehen. Die zweite Durchgangs­ öffnung 26 besteht aus einer Öffnung 28a mit kleinem Durch­ messer, die an der Seite des Napfabschnittes 12 angeordnet ist und einer Öffnung 28b mit großem Durchmesser, die an der Seite des Detektorabschnittes 16 angeordnet ist. Das Bezugs­ zeichen 29 bezeichnet eine Verriegelungsring zur Befestigung des Napfabschnittes 12 an dem Verbinder 14.

Wie in den Fig. 3 und 4 dargestellt ist, weist der Detektor­ abschnitt 16 ein rechteckig parallelepipedförmiges Tragelement 30 auf, das über einen Schraubabschnitt an den Verbinder angeschraubt ist, und einen Leitungsschalter 34, der lösbar in einer langen Nut 32 (vgl. Fig. 2) angebracht ist, die mit elliptischem Querschnitt in Axialrichtung an einer Seiten­ fläche des Tragelements 30 ausgebildet ist. Eine Ventilkam­ mer 36, die mit der zweiten Durchgangsöffnung 26 in Verbindung steht, ist in dem Tragelement 30 ausgebildet. Ein Unterdruck­ zufuhranschluß 38, der mit der Ventilkammer 36 in Verbindung steht, ist an einer oberen Fläche des Tragelements 30 ausgebildet. Der Unterdruckzufuhranschluß 38 ist beispiels­ weise mit einem Rohr verbunden, das über nicht dargestellte Verbindungsmittel, beispielsweise einem Rohrverbinder mit einer Vakuumquelle verbunden ist.

Der Leitungsschalter 34 weist ein Paar von Leitungsstreifen (Leitungen) 40a, 40b auf, die in einem nicht dargestellten Glasrohr angeordnet und voneinander um einen festgelegten Abstand entfernt sind. Das Paar von Leitungen 40a, 40b berührt einander an seinen Enden gemäß der Wirkung eines magnetischen Feldes eines Magneten 42, der später beschrieben wird. Dementsprechend befindet sich der Leitungsschalter 34 in dem ON-Zustand.

In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 44 eine Einstell­ schraube zur Befestigung des Leitungsschalters 34 in der langen Nut 32. Das Bezugszeichen 46 bezeichnet ein Fenster zur visuellen Erkennung von von einer LED ausgesandtem Licht, wobei das Licht von einer nicht dargestellten LED emitiert wird, wenn der Leitungsschalter 34 in dem ON-Zustand ist.

Wie in den Fig. 3 und 4 dargestellt ist, ist das Öff­ nungs/Schließventil 18 in der Ventilkammer 36 und in den ersten und zweiten Durchgangsöffnungen 24, 26 zur Verbindung des Napfabschnittes 12, des Verbinders 14 und des Detektor­ abschnitts 16 angeordnet. Das Öffnungs/Schließventil 18 weist eine Ventilstange 48 auf, die durch die ersten und zweiten Durchgangsöffnungen 24, 26 und die Ventilkammer 36 im wesentlichen vertikal verschiebbar ist.

Der ringförmige Magnet 42, der mit Hilfe eines Halteringes 50 an einer ringförmigen Nut befestigt ist, ist an einem oberen Abschnitt des Ventilstopfens 48 angeordnet. Ein Ventil­ stopfen 52, der beispielsweise aus einem elastischen Element, das aus einem Material wie Gummi hergestellt ist, geformt ist, ist an einem an den Magneten 42 angrenzenden Abschnitt angebracht. Ein konischer Abschnitt 53, dessen Durchmesser allmählich nach unten abnimmt, ist an dem unteren Ende des äußeren Umfangs des Ventilstopfens 52 ausgebildet. Der Ventilstopfen 52 sitzt auf einem Sitzabschnitt 54 auf, der an dem Tragelement 30 entsprechend der Form des konischen Abschnitts 53 ausgebildet ist. Somit ist das Öff­ nungs/Schließventil 18 in dem Ventil-geschlossen-Zustand. Der Neigungswinkel Θ des konischen Abschnitts 53 (vgl. Fig. 4) beträgt etwa 60°. Dementsprechend kann jegliche in seitlicher Richtung nicht ausbalancierte Last, die auf die Ventil­ stange 4 8 auf gebracht wird, in ausreichendem Maße aufgenommen werden.

Ein Befestigungselement 58 ist an einem mittleren Abschnitt der Ventilstange 48 mit Hilfe eines Ringelementes 56 an­ gebracht. Ein Federelement 62 ist zwischen dem Tragelement 30 und einem an dem Befestigungselement 58 ausgebildeten ringförmigen Vorsprung 60 angeordnet. Die Ventilstange 58 ist in einem Zustand, in dem sie entsprechend der elastischen Kraft des Federelements 62 immer nach unten vorgespannt ist. Der ringförmige Vorsprung 60 liegt gegen den Stufenabschnitt des Verbinders 14 an und dient damit als Anschlag zur Regulierung der Abwärtsverschiebung der Ventilstange 48.

Ein elastisches Element 64, daß das Werkstück W schützt, wenn die Ventilstange 48 an dem Werkstück W anschlägt, ist an dem unteren Ende der Ventilstange 48 angebracht. Das elastische Element 46 ist in einem Zustand, in dem es um eine festgelegte Menge von der unteren Endfläche des Mantelabschnitts 22 nach außen vorsteht, wenn das Werkstück W nicht angezogen wird (vgl. Fig. 3).

Die Saugvorrichtung 10 gemäß der Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung ist im wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend wird ihre Betätigung, Funktion und Wirkung erläutert.

Zunächst werden nicht dargestellte Befestigungsmittel dazu verwendet, die Saugvorrichtung 10 beispielsweise an einem Arm eines Roboters anzubringen. Die Saugvorrichtung 10 wird so eingestellt, daß sie entsprechend der Betätigung des Armes verschiebbar ist. Der nicht dargestellte Rohrverbinder wird mit dem Unterdruckanschluß 28 des Tragelements 30 verbunden. Das Rohr, das mit der nicht dargestellten Vakuumquelle in Verbindung steht, wird zuvor an dem Rohrverbinder angebracht. Die Unterdruckflüssigkeit mit einem festgelegten Druck wird zuvor der Ventilkammer 36 über einen Unterdruckanschluß 38 gemäß der Wirkung der betätigten Vakuumquelle zugeführt.

In dieser Situation, die in Fig. 3 dargestellt ist, sitzt der Ventilstopfen 52 gemäß der elastischen Kraft des Federelements 62 auf dem Sitzabschnitt 54 auf und das Öffnungs/Schließventil 18 ist in dem Ventil-geschlossen-Zustand. Dementsprechend bleibt das der Ventilkammer 36 zugeführte und unter Unterdruck stehende Fluid in der Ventilkammer 36 und kann nicht zu dem Napfabschnitt 12 hin abfließen. In dem in Fig. 3 dargestellten Normalzustand ist der Leitungsschalter 34 nicht der durch den Magnet 42 ausgeübten Wirkung des magnetischen Feldes ausge­ setzt und daher in dem OFF-Zustand.

Nach Durchführung der oben beschriebenen Vorbereitungsschritte wird der nicht dargestellte Roboter betrieben, um den Arm zu bewegen, so daß der Napfabschnitt 12 an dem Werkstück W anliegt. Hierbei liegt, wie in Fig. 4 dargestellt ist, das elastische Element 64 gegen das Werkstück W an und die Ventilstange 48 wird nach oben gedrückt. Dementsprechend wird die Ventilstange 48 gemeinsam mit dem Ventilstopfen 52 nach oben verschoben. Daher wird der Ventilstopfen 52 von dem Sitzabschnitt 54 abgehoben, so daß das Öff­ nungs/Schließventil 18 in dem Ventil-offen-Zustand ist. Das unter Unterdruck stehende Fluid, das der Ventilkammer 36 zugeführt wurde, wird über die miteinander in Verbindung stehenden ersten und zweiten Durchgangsöffnungen 24, 26 in den Freiraum in dem Napfabschnitt 12 eingeführt.

Der Mantelabschnitt 22 des Napfabschnitts 12 berührt das Werkstück W, so daß in dem Mantelabschnitt 22 ein geschlosse­ ner Raum ausgebildet ist. Das Werkstück W wird entsprechend der Wirkung des in diesen Raum eingeführten unter Unterdruck stehenden Fluids angezogen. In dieser Situation wird der Magnet 42 gemeinsam mit der Ventilstange 48 nach oben verschoben. Das Paar von Leitungen 40a, 40b, die den Leitungs­ schalter 34 bilden, treten entsprechend der Wirkung des entsprechenden Feldes des Magneten 42 miteinander in Kontakt, so daß der ON-Zustand erreicht wird.

Somit ist es, sobald der Leitungsschalter 34 in dem ON-Zustand ist, möglich, festzustellen, daß das Werkstück W tatsächlich von dem Napfabschnitt 12 angezogen wird. Ein von dem Leitungs­ schalter 34 ausgegebenes Detektionssignal wird über eine Leitung einer nicht dargestellten Steuerung zugeführt. Somit wird die gewünschte Kontrolle durchgeführt.

Eine nicht dargestellte LED bewirkt eine Lichtemission, wenn der Leitungsschalter 34 in dem ON-Zustand ist. Dementsprechend kann der Betreiber überprüfen, daß das Werkstück W tatsächlich durch den Napfabschnitt 12 angezogen wird, indem er das von der LED ausgesandte Licht durch das Fenster 46 einfach visuell erkennen kann.

Nachfolgend wird eine Saugvorrichtung 70 gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wie sie in den Fig. 5 und 6 dargestellt ist, beschrieben. Diejenigen Komponenten oder Teile, die denen der Saugvorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform entsprechen, werden mit denselben Bezugszeichen unter Hinzufügung des Buchstabens "a" bezeich­ net.

Die Saugvorrichtung 70 weist einen Napfabschnitt 12a bestehend aus einem proximalen Abschnitt 20a und einem Mantelab­ schnitt 22a, einen Verbinder 14a, der mit einem oberen Abschnitt des Napfabschnitts 12a verbunden ist, und einen Puffermechanismus 74 auf, der mit dem Verbinder 14a verbunden ist und ein Stangenelement 72 aufweist, das einen mit einer Ventilkammer 36a in Verbindung stehenden Durchgang 71 aufweist.

Die Saugvorrichtung 70 gemäß dieser Ausführungsform unter­ scheidet sich von der Saugvorrichtung 10 gemäß der vor­ angehenden Ausführungsform dahingehend, daß ein drucksensiti­ ger leitender Gummi 76 an Stelle des Leitungsschalter 34 verwendet wird.

Der drucksensitive leitfähige Gummi 76 ist so angeordnet, daß er leicht aus der Öffnung 78 des proximalen Abschnitts 20a vorsteht, so daß seine Bodenfläche an dem Werkstück W anliegt, wenn das Werkstück W angezogen wird. Der drucksensitive leitfähige Gummi 76 besteht beispielsweise aus einem Komposit­ material, das Silikonkautschuk und feine Metallpartikel aufweist. Der drucksensitive leitfähige Gummi 76 befindet sich normalerweise in einem isolierten Zustand, wenn keine Druckkraft ausgeübt wird. Wird jedoch durch das anliegende Werkstück W eine Druckkraft ausgeübt, ändert sich der Widerstand des drucksensitiven leitfähigen Gummis 76 und er befindet sich in leitendem Zustand.

Somit wird, wie in Fig. 6 dargestellt ist, der leitende Zustand als Folge einer Verringerung des Widerstands eines Abschnitts 80 erreicht, auf welchen die Druckkraft durch das Werkstück W ausgeübt wird. Dementsprechend fließt ein Strom zwischen einem Paar von Elektroden 82a, 82b, und der ON- Zustand wird hergestellt. Somit ist es möglich, festzustellen, daß das Werkstück W tatsächlich durch den Napfabschnitt 12a angezogen wird. Ein von dem drucksensitiven leitfähigen Gummi 76 ausgegebenes Detektionssignal wird über eine Leitung einer nicht dargestellten Steuerung zugeführt.

Der Puffermechanismus 74 weist ein zylindrisches Element 84 auf, das an seiner äußeren Umfangsfläche ein Gewinde aufweist, und ein Federelement 86, das zwischen dem zylindrischen Element 84 und dem Stangenelement 72 angebracht ist. Wenn der Napfabschnitt 12a an dem Werkstück W anschlägt, sind, wie in Fig. 6 dargestellt ist, das zylindrische Element 84 und das Stangenelement 72 relativ zueinander verschoben, um das Federelement 86 zusammenzudrücken, so daß der Stoß absorbiert wird. Somit kann das Werkstück W sanft angezogen werden. Ein ringförmiger Vorsprung 87 ist an der unteren Seite des Stangenelements 72 ausgebildet. Wenn das untere Ende des zylindrischen Elements 84 anschlägt, dient der ringförmige Vorsprung 87 als Stopper, um die Verschiebung zu regulieren.

Die Bezugszeichen 88a, 88b bezeichnen ein Paar von Ring­ elementen zur Befestigung der Saugvorrichtung 70 an einem Arm eines Roboters oder dergleichen und zur Höheneinstellung. Im übrigen ist die Funktion und Wirkung der Saugvorrichtung 70 ähnlich der der vorangegangenen Ausführungsform, so daß auf ihre erneute detaillierte Beschreibung verzichtet wird.

Die oben beschriebenen Ausführungsformen wurden anhand des Leitungsschalters 34 und des drucksensitiven leitfähigen Gummis 76 als Detektionsmitteln beschrieben. Eine Beschränkung hierauf ist jedoch nicht gegeben. Es ist ebenso möglich, andere mechanische Schalter, magnetische Schalter oder elektrische Schalter zu verwenden.

Claims (9)

1. Saugvorrichtung mit einem Napfabschnitt (12a) zum Anziehen eines Werkstücks entsprechend einem aufgebrachten Unterdruck, einem Öff­ nungs/Schließventil (18a) für die Zufuhr des Unterdrucks zu dem Napfabschnitt (12a), wenn ein Vorsprung (64a) gegen das Werkstück anliegt und eine Ventil­ stange (48a) verschoben wird, um einen Wechsel von einem Ventil- geschlossen-Zustand in einen Ventil-offen-Zustand zu bewirken, und einem De­ tektionsabschnitt (16a), der einstückig mit dem Napfabschnitt (12a) vorgesehen ist, um festzustellen, daß das Öffnungs/Schließventil (18a) von dem Ventil-ge­ schlossen-Zustand in den Ventil-offen-Zustand gewechselt hat, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Detektionsabschnitt (16a) einen Detektionsmechanis­ mus (76) aufweist, um festzustellen, daß das Öffnungs/Schließventil (18a) von dem Ventil-geschlossen-Zustand in den Ventil-offen-Zustand gewechselt hat, indem er gegen das Werkstück (W) anliegt, um mittels einer Druckkraft durch das angesaugte Werkstück (UV) eine elektrische Änderung zu erzeugen.

2. Saugvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektionsmechanismus wenigstens einen drucksensitiven Gummi (76) auf­ weist, der sich als Folge der Abnahme seines Widerstandes, die bewirkt wird, wenn die Druckkraft des Werkstücks (W) ausgeübt wird von einem isolierten Zustand in einen leitenden Zustand ändert.

3. Saugvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der drucksensitive Gummi (76) ein Paar von Elektroden (82a, 82b) aufweist, die voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet sind, um ein Detekti­ onssignal festzustellen, das erhalten wird, wenn der drucksensitive Gummi (76) in den leitenden Zustand überführt wird.

4. Saugvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen Puffermechanismus (74), der über einen Verbinder (14a) mit dem Napfabschnitt (12a) verbunden ist, wobei der Puffermechanismus (74) ein mit dem Verbinder (15a) verbundenes Stangenelement (72), ein eine äußere Um­ fangsfläche des Stangenelements (72) umgebendes zylindrisches Element (84) und ein zwischen dem Stangenelement (72) und dem zylindrischen Element (84) angeordnetes Federelement (86) aufweist, und wobei das Stangenelement (72) und das zylindrische Element (84) entgegen einer elastischen Kraft des Federelements (86) relativ zueinander verschoben werden, so daß alle Stöße beim Anziehen des Werkstücks (W) absorbiert werden.

5. Saugvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Stangenelement (72) ein Paar von Ringelementen (88a, 88b) aufweist, die in ein an einer äußeren Umfangsfläche ausgebildetes Gewinde eingesetzt sind, um eine Höheneinstellung des Napfabschnitts (12a) zu ermöglichen.

6. Saugvorrichtung mit einem Napfabschnitt (12) zum Anziehen eines Werk­ stücks (W) entsprechend einem aufgebrachten Unterdruck, einem Öff­ nungs/Schließventil (18) mit einer Ventilstange (48) in einem Durchgang für die Zufuhr des Unterdrucks zu dem Napfabschnitt (12), wenn ein Vorsprung (64) gegen das Werkstück (W) anliegt und eine Ventilstange (48) verschoben wird, um einen Wechsel von einem Ventil-geschlossen-Zustand in einen Ventil-offen- Zustand zu bewirken, wobei ein an der Ventilstange (48) vorgesehener Ven­ tilstopfen (52) auf/von einem Sitzabschnitt (54) aufgesetzt oder abgehoben wird, um den Fluiddurchgang zu schließen bzw. zu öffnen, dadurch gekennzeichnet, daß einstückig mit dem Napfabschnitt (12) ein Detektionsabschnitt (16) mit ei­ nem Detektionsmechanismus vorgesehen ist, um gemäß einer Änderung des Magnetfeldes oder des elektrischen Stromes festzustellen, daß das Öff­ nungs/Schließventil (18) von dem Ventil-geschlossen-Zustand in den Ventil- offen-Zustand gewechselt hat.

7. Saugvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektionsabschnitt (16) einen Detektionsmechanismus mit einem Magnetfeld­ detektor zur Feststellung des Wechsels von dem Ventil-geschlossen-Zustand in den Ventil-offen-Zustand gemäß der Wirkung eines Magnetfeldes eines Magne­ ten (42) aufweist, welcher an der Ventilstange (48) des Öffnungs/Schließven­ tils (18) angebracht ist.

8. Saugvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Detektionsmechanismus wenigstens einen Leitungsschalter (34) aufweist.

9. Saugvorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ventilstopfen (52) zum Schließen einer Ventilkammer (86) durch Aufsetzen auf einem Sitzabschnitt (54) an der Ventilstange (48) des Öff­ nungs/Schließventiles (18) angebracht ist, und daß ein konischer Abschnitt (58) zur Absorption von in seitlicher Richtung unbalanciert aufgebrachten Lasten an dem Ventilstopfen (52) ausgebildet ist.