DE19846879A1 - Form für Linsen, Verfahren zur Herstellung derartiger Formen und Verfahren zur Herstellung von Linsen - Google Patents

Abstract

Form zum Herstellen von Linsen, wie z. B. Linsen einer Mikrolinsenanordnung oder Lentikularlinsen. Die Form weist eine erste Metallschicht, eine isolierende Schicht, die mehrere Öffnungen aufweist, und eine zweite Metallschicht auf, die konvexe Oberflächenabschnitte aufweist. Die isolierende Schicht wird auf der ersten Metallschicht geformt und die zweite Metallschicht wird auf der isolierenden Schicht durch Elektroplattieren gebildet. Abgelagertes Metall erstreckt sich von den freigelegten Abschnitten der ersten Metallschicht durch die Öffnungen der isolierenden Schicht und bedeckt die isolierende Schicht. Die zweite Metallschicht weist dadurch konvexe Oberflächenabschnitte auf, die zu der Form herzustellender Linsen konform sind.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Form für Linsen und ein Verfahren zu deren Herstellung und ein Verfahren zur Her­ stellung von Linsen.

Eine Mikrolinsenanordnung ist aus winzigen Mikrolinsen aufge­ baut, die in einer ein- oder zweidimensionalen Anordnung ange­ ordnet sind. Eine Lentikularlinse ist aus mehreren halbzylin­ drischen Linsenelementen konfiguriert, die in einer eindimen­ sionalen Anordnung angeordneten sind. Die Mikrolinsenanord­ nung und die Lentikularlinsen finden breite Anwendung für vielfältige optische Vorrichtungen und Anzeigen. Im Falle, wo eine Mikrolinsenanordnung in einer Flüssigkristallanzeige verwendet wird, zum Beispiel als Kondensatorelemente, kann Licht wirkungsvoll auf die Pixel fokussiert werden, so daß die Lichtnutzungsrate verbessert ist und eine helle Anzeige er­ reicht werden kann. Auf dem Gebiet des optischen Fernmeldewe­ sens wird die Mikrolinsenanordnung für die Integration von optischen Zusammenschaltungen verwendet.

Eine Mikrolinsenanordnung wird hergestellt durch (a) ein Ver­ fahren, in dem winzige konkave Oberflächenabschnitte oder konvexe Oberflächenabschnitte in eine transparenten Platte durch Fotolithografie oder Ätzen geformt werden, und (b) ein Verfahren zum plastischen Formen, das eine Form für eine Mi­ krolinsenanordnung verwendet. Bei dem früheren Herstellungs­ verfahren verzehren Fotolithografie und Ätzen eine beträchtli­ che Zeit, was zu einem niedrigen Herstellungswirkungsgrad führt. Auch ist es schwierig, eine Mikrolinsenanordnung mit Mikrolinsen herzustellen, die miteinander ohne Spalten verbun­ den sind. Es ist auch schwierig, die optischen Kennlinien einer einzelnen Mikrolinse lokal in einer Mikrolinsenanordnung zu wechseln.

Das letztere Herstellungsverfahren wird verwendet, um eine Mikrolinsenanordnung mit vergleichbarer Leichtigkeit durch plastisches Formen mit Hilfe einer Mikrolinsenanordnungs-Form herzustellen. In diesem Fall jedoch ist es notwendig, eine Mikrolinsenanordnungs-Form zuerst herzustellen. Eine Mikro­ linsenanordnungs-Form kann, sobald, einmal hergestellt, wie­ derholt gebraucht werden. Die Herstellung einer Mikrolinsen­ anordnungs-Form ist zum Beispiel in den japanischen Offenle­ gungsschriften (Kokai) Nr. 61-67526 und Nr. 2-37334 offenbart.

Bei der in JP-A-61-67526 offenbarten Technik werden mehrere flache Metallabschnitte mit derselben Anordnung wie Mikrolin­ sen auf einem Substrat durch Galvanisieren geformt und die Metallabschnitte werden in einer runden Form erhitzt und ge­ schmolzen, um dadurch eine Mikrolinsenanordnungs-Form herzu­ stellen. Entsprechend JP-A-2-37334 wird andererseits die Substratsoberfläche maschinell bearbeitet, um mehrere pyrami­ denförmig geformte Abschnitte zu haben, und die Oberfläche, die die pyramidenförmigen geformten Abschnitte hat, wird meh­ reren Galvanisierungsdurchgängen unterzogen, so daß die pyra­ midenförmigen Formen fortschreitend gerundet werden, um da­ durch eine Mikrolinsenanordnungs-Form herzustellen.

Beim Galvanisieren wird eine Überzugschicht im allgemeinen mit einer im wesentlichen einförmigen Dicke geformt. In der JP-A-61-67526 ist deshalb der Metallabschnitt flach, der auf dem Substrat durch Galvanisieren geformt wird, und seine direkte Form kann nicht als eine Mikrolinsen-Form verwendet werden. Deshalb ist es notwendig, den flachen Metallabschnitt in einer runden Form zu erhitzen und zu schmelzen, um eine gewünschte Form der Linse zu produzieren. Bei diesem Herstellungsverfah­ ren jedoch nimmt ein Metall normalerweise eine sphärische Form an, wenn es erhitzt und gerundet wird, und es ist schwierig, zu einer gewünschten Linsenform zu gelangen.

Bei der in der JP-A-2-37334 offenbarten Technik wird anderer­ seits die Oberfläche, die pyramidenförmig geformte Abschnitte hat, mehreren Galvanisierungsdurchgängen unterzogen, um eine runde Linsenform zu produzieren, aber dieses Verfahren ist auch nicht in der Lage, eine gewünschte Form der Linse zu produzieren. Das Problem in diesem Fall ist, daß mehrere der Galvanisierungsdurchgänge unter genau kontrollierten Bedingun­ gen durchgeführt werden müssen.

Eine Lentikularlinsen-Form ist bisher durch maschinelle Bear­ beitung, Mahlen oder Metallformen hergestellt worden. Bei diesen Verfahren jedoch ist es schwierig, genau eine ge­ wünschte Form der Lentikularlinse zu produzieren. Ein anderes Problem ist die Zeit, die für das Herstellen einer Lentikular­ linse in der Form der Anordnung erforderlich ist.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Form für Lin­ sen zur Verfügung zu stellen, die leicht und genau hergestellt werden kann, und eine Verfahren zur Herstellung solcher Formen zu schaffen.

Eine andere Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren dafür zur Verfügung zu stellen, Linsen mit Hilfe der oben erwähnten Form herzustellen.

Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung wird eine Form für Lin­ sen zur Verführung gestellt, die eine erste Metallschicht, eine isolierende Schicht, die die erste Metallschicht abdeckt und mehrere Öffnungen aufweist, und eine zweite Metallschicht, die konvexe Oberflächenabschnitte hat, die sich von der ersten Metallschicht durch die Öffnungen erstrecken, um die isolie­ rende Schicht abzudecken, aufweist.

Nach dieser Erfindung, kann die oben beschriebene Form für Linsen durch ein Verfahren hergestellt werden, das folgende Schritte aufweist: Formen einer isolierenden Schicht auf der ersten Metallschicht, wobei die isolierende Schicht Öffnungen aufweist, an denen Abschnitte der ersten Metallschicht gezeigt sind; Formen durch Metallbeschichtung einer zweiten Metall­ schicht, die konvexe Oberflächenabschnitte hat, die sich von den freiliegenden Abschnitten der ersten Metallschicht durch die Öffnungen erstrecken, um die isolierende Schicht abzudecken.

Bei diesem Herstellungsverfahren kann die erste Metallschicht eine Metallplatte oder eine Metallschicht sein, die auf einem isolierenden Substrat geformt ist. Die isolierende Schicht, die Öffnungen hat, wird geformt, um die erste Metallschicht zu bedecken. Die erste Metallschicht wird durch die Öffnungen der isolierenden Schicht gezeigt. Zur Zeit der Elektrobe­ schichtung wird beispielsweise ein Beschichtungsmetall (zweite Metallschicht) an den Abschnitten der ersten Metallschicht abgelagert, die durch die Öffnungen freigelegt wird, und er­ streckt sich von der ersten Metallschicht in die Öffnungen der isolierenden Schicht. Die Querschnittsfläche der Öffnungen der isolierenden Schicht ist kleiner als die der herzustellen­ den Linse. Das Beschichtungsmetall, das das obere Ende der Öffnungen der isolierenden Schicht erreicht hat, erstreckt sich über und bedeckt die Oberflächenabschnitte der isolieren­ den Schicht. Das Beschichtungsmetall, das sich auf diese Art über der isolierenden Schicht erstreckt, erhebt sich im we­ sentlichen bis zu der Höhe der jeweiligen Öffnungen, während es sich gleichzeitig dementsprechend um die Öffnungen herum verdünnt. Insbesondere ist das Beschichtungsmetall so ge­ formt, um konvexe Oberflächenabschnitte zu haben, die bei­ spielsweise der Form von Mikrolinsen und Elementen einer Len­ tikularlinse entsprechen.

Auch liefert die Erfindung ein Verfahren dafür, eine Linse herzustellen, daß dadurch gekennzeichnet ist, daß eine Linse mit Hilfe der Form für Linsen geformt wird, die konvexe Ober­ flächenabschnitte haben und durch das oben erwähnten Herstel­ lungsverfahren hergestellt sind.

Die vorliegende Erfindung wird durch die folgende Beschreibung der bevorzugte Ausführungsformen mit Bezug auf die begleiten­ den Zeichnungen offensichtlicher, in welchen:

Fig. 1A bis 1C Ansichten sind, die ein Verfahren dafür erläu­ tern, eine Form für eine Mikrolinsenanordnung entsprechend der ersten Ausführungsform der Erfindung herzustellen;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer Struktur einschließ­ lich der isolierenden Schicht aus Fig. 1 ist;

Fig. 3 eine schematische perspektivische Ansicht der Form für eine Mikrolinsenanordnung ist, die entsprechend dem Herstel­ lungsverfahren aus Fig. 1 hergestellt ist;

Fig. 4A eine Draufsicht auf die Form für eine entsprechend dem Herstellungsverfahren aus Fig. 1 hergestellten Mikrolinsenan­ ordnung ist;

Fig. 4B eine Querschnittsansicht der Form ist;

Fig. 4C eine andere Querschnittsansicht des Form ist;

Fig. 5 eine Querschnittsansicht ist, die ein Beispiel dafür erläutert, eine zweite Form mit Hilfe einer Form für ein Mi­ krolinsenanordnung zu formen, die konvexe Oberflächenabschnit­ te hat;

Fig. 6 eine Querschnittsansicht ist, die ein Beispiel dafür erläutert, eine Mikrolinsenanordnung mit Hilfe der zweiten Form aus Fig. 5 zu formen;

Fig. 7A bis 7D Ansichten sind, die ein Beispiel dafür erläu­ tern, eine dritte Form mit Hilfe einer Form für eine Mikrolin­ senanordnung zu formen, die konvexe Oberflächenabschnitte hat, und eine Mikrolinsenanordnung mit Hilfe der dritten Form zu formen;

Fig. 8A bis 8C Ansichten sind, die ein Verfahren dafür erläu­ tern, eine Form für eine Mikrolinsenanordnung entsprechend der zweiten Ausführungsform der Erfindung herzustellen;

Fig. 9 eine Perspektivische Ansicht ist, die eine Struktur einschließlich der isolierenden Schicht von Fig. 8A bis 8C erläutert;

Fig. 10 eine Ansicht ist, die ein Beispiel für eine Mikrolin­ senanordnung ist, die nach dem Herstellungsverfahren aus Fig. 8A bis 8C hergestellt ist;

Fig. 11A bis 11E Ansichten sind, die einen Teil der Schritte für ein Verfahren zum Herstellen einer Form für eine Mikrolin­ senanordnung entsprechend der dritten Ausführungsform der Erfindung erläutern;

Fig. 12A bis 12C Ansichten sind, die die Schritte nach dem Schritt von Fig. 11E erläutern;

Fig. 13 eine Ansicht ist, die ein Beispiel für eine exzentri­ sche Mikrolinsenanordnung erläutert;

Fig. 14A bis 14D Ansichten sind, die ein Verfahren dafür er­ läutern, eine Form für eine Mikrolinsenanordnung entsprechend der vierten Ausführungsform der Erfindung herzustellen;

Fig. 15 eine perspektivische Ansicht der gitterartigen Wände und Öffnungen von Fig. 14A bis 14D ist;

Fig. 16 eine Ansicht ist, die ein Beispiel mit Hilfe einer Mikrolinsenanordnung mit einem Flüssigkristallpanel erläutert;

Fig. 17 eine Ansicht ist, die ein anderes Beispiel mit Hilfe einer Mikrolinsenanordnung mit einem Flüssigkristallpanel erläutert;

Fig. 18 eine perspektivische Ansicht ist, die die Beziehung zwischen einer Mikrolinsenanordnung und den Pixeln eines Flüs­ sigkristallpanel erläutert;

Fig. 19 eine Draufsicht ist, die die Beziehung zwischen der Mikrolinsenanordnung und den Pixeln des Flüssigkristallpanels aus Fig. 18 erläutert;

Fig. 20 eine Ansicht ist, die ein Beispiel für eine für die Konfiguration der Fig. 19 geeignete Mikrolinsenanordnung er­ läutert;

Fig. 21A bis 21C Ansichten sind, die ein Verfahren dafür er­ läutern, eine Form für eine Lentikularlinse entsprechend der fünften Ausführungsform der Erfindung herzustellen;

Fig. 22A bis 22D Ansichten sind, die ein modifiziertes Bei­ spiel für ein Verfahren dafür erläutern, eine Form für eine Lentikularlinse herzustellen;

Fig. 23A und 23B Ansichten sind, die ein Beispiel dafür erläu­ tern, eine zweite Form mit Hilfe einer Form für eine Lentiku­ larlinse zu formen, die konvexe Oberflächenabschnitte hat;

Fig. 24 eine perspektivische Ansicht eines Beispiels für eine mit Hilfe der in Fig. 23A und 23B geformten zweiten Form ge­ formten Lentikularlinse ist;

Fig. 25A bis 25D Ansichten sind, die ein Beispiel dafür erläu­ tern, eine dritte Form mit Hilfe der Form für eine Lentikular­ linse zu formen; und

Fig. 26 eine Ansicht ist, die ein Beispiel für eine mit Hilfe der in Fig. 25A bis 25D geformten dritten Form geformten Len­ tikularlinse erläutert.

Fig. 1A bis 1C sind Ansichten, die ein Verfahren dafür erläutern, eine Form für eine Mikrolinsenanordnung entspre­ chend der ersten Ausführungsform der Erfindung herzustellen. In Fig. 1A ist eine erste Metallschicht 12 auf einem isolie­ renden Substrat 10 geformt. Die erste Metallschicht 12 kann aus einem einzelnen Metall, einer Legierung oder einer Viel­ falt von Multilayered Metallen hergestellt sein, wobei die Verträglichkeit mit einem Metall, das anschließend beschichtet wird, berücksichtigt wird. Weiter ist eine isolierende Schicht 14 in Fig. 1A auf der ersten Metallschicht 12 geformt. Die isolierende Schicht 14 hat Öffnungen 16, an welchen Ab­ schnitte 12a der ersten Metallschicht 12 freigelegt sind.

Die isolierende Schicht 14 besteht aus einem Photoresist. Insbesondere kann die isolierende Schicht 14 durch Auftragen des Photolacks auf die erste Metallschicht 12, Belichten mit einer Maske und Entwickeln und selektiven Entfernen der Ab­ schnitte, die den Öffnungen 16 entsprechen, erhalten werden. Als eine Alternative, können die Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 durch reaktives Ätzen mit Hilfe von Silikonharz oder Polyamid gebildet werden. Als eine andere Alternative können die Öffnungen 16 mit einem mechanischen Mittel, wie z. B. einem Locher gebildet werden.

Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Struktur einschließlich der isolierenden Schicht 14 mit den Öffnungen 16 erläutert. Die Öffnungen 16 sind in derselben Anordnung, wie die zu bildenden Mikrolinsen angeordnet. Die Größe jeder Öffnung 16 ist kleiner als die Größe der zu bildenden Mikro­ linsen.

In Fig. 1B wird Galvanisieren oder Elektrobeschichten mit Hilfe der Abschnitte 12a der ersten Metallschicht 12, die von den Öffnungen 16 freigelegt sind, als eine Elektrode durchge­ führt. Als Folge des Galvanisierens wird ein Beschichtungsme­ tall (zweite Metallschicht) 18 an Abschnitten 12a der ersten Metallschicht 12 abgelagert, die von den Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 freigelegt sind. Das Beschichtungsme­ tall 18 erstreckt sich von den Abschnitten 12a der ersten Metallschicht 12 in die Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 und nach dem Erreichen der oberen Enden der Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 erstreckt es sich über die Ober­ fläche der isolierenden Schicht 14 von den zentralen Abschnit­ ten der oberen Enden der Öffnungen 16.

Wie in Fig. 1C gezeigt, erhebt sich das Beschichtungsmetall 18, das sich über die isolierende Schicht 14 erstreckt, am meisten an Positionen über den Zentren der oberen Enden der Öffnungen 16 und verdünnt sich von den Zentren der oberen Enden der Öffnungen 16 weg. Folglich formt das Beschichtungs­ metall 18 einen konvexen Oberflächenabschnitt 18a, der einer Mikrolinse für jede Öffnung 16 der isolierenden Schicht 14 entspricht. Auf diese Weise, wird eine Form 20 für eine Mikro­ linsenanordnung (hierin als Mikrolinsenanordnungs-Form be­ zeichnet) geformt.

Fig. 3 ist eine schematische perspektivische Ansicht der auf diese Weise geformten Mikrolinsenanordnungs-Form 20. Das Beschichtungsmetall 18 ist zu solch einem Ausmaß geformt, daß die Lücke zwischen zwei anstoßenden konvexen Oberflächenab­ schnitten 18a verschwindet.

Fig. 4A ist eine Aufnahme der auf diese Weise geformten Mi­ krolinsenanordnungs-Form 20. In Fig. 4A ist jeder konvexe Oberflächenabschnitt 18a zum Formen einer Einheit der Mikro­ linsen in einem viereckigen Bereich von a × a geformt, wobei a 70 µm in dieser Ausführungsform ist. Unter dieser Bedingung ist der Durchmesser der Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 10 µm.

Fig. 4B ist eine Ansicht, die zeigt, daß die horizontal oder senkrecht anstoßenden konvexen Oberflächenabschnitt 18a in Fig. 4A gerade zum Berührungspunkt miteinander gewachsen sind. Jeder konvexe Oberflächenabschnitt 18a wächst in eine halbsphärische Form, die einen Radius "r" über das Zentrum des oberen Endes der Öffnung 16 hat. Fig. 4C zeigt den Zustand des Beschichtungsmetalls 18, das weiter als der in Fig. 4B gestri­ chelt gezeigte Zustand gewachsen ist. Unter diesem Zustand sind die diagonal anstoßenden konvexen Oberflächenabschnitte 18a in Fig. 4A auch in Kontakt miteinander, so daß all die konvexen Oberflächenabschnitte 18a miteinander ohne jede Lücke verbunden sind. In Fig. 4C, wo horizontal oder senkrecht anstoßende konvexe Oberflächen 18a gezeigt sind, sind die beschichteten Abschnitte 18b zwischen anstoßenden konvexen Oberflächenabschnitten 18a einer mit dem anderen vereint, so daß der periphere Abschnitt jedes konvexen Oberflächenab­ schnitts 18a nicht-sphärisch werden kann. Auf diese Weise wird die Mikrolinsenanordnungs-Form 20 geformt.

Es ist möglich, eine Mikrolinsenanordnung mit Hilfe dieser Mikrolinsenanordnungs-Form 20 durch Harzformen herzustellen. Gemäß der vorliegenden Erfindung wurde herausgefunden, daß die Mikrolinsenanordnungs-Form 20, die für eine Mikrolinsenanord­ nung mit gewünschter optischer Leistung geeignet ist, durch geeignetes einstellen der Galvanisierungsbedingungen produ­ ziert werden kann. Jedoch wird eine konkave Mikrolinsenanord­ nung hergestellt, wenn die Mikrolinsenanordnungs-Form 20, die konvexe Oberflächenabschnitte hat, direkt verwendet wird.

Mit der Zunahme der Größe der Öffnungen (Elektroden) 16, ver­ glichen mit der Größe einer Einheitsmikrolinse, vergrößert sich der Betrag des abgelagerten Metalls und es ist deshalb schwierig, einen glatten konvexen Oberflächenabschnitt zu formen. Deshalb ist eine Öffnung, ausreichend kleiner als der Durchmesser einer Einheitsmikrolinse, wünschenswert. Insbe­ sondere ist eine kreisförmige Öffnung, die einen Durchmesser von mehreren um bis zu zehn und mehreren µm hat, vorzuziehen. Die Ablagerung von Metall entwickelt sich von dem Zentrum jeder Öffnung 16 aus, so daß der Krümmungsradius der Einheits­ mikrolinse im wesentlichen gleich der Höhe des konvexen Ober­ flächenabschnitts ist, d. h. der Dicke des abgelagerten Me­ talls. Entsprechend dem oben erwähnten Verfahren kann eine Mikrolinsenanordnungs-Form ohne Lücken produziert werden. Im Fall, wo eine Mikrolinsenanordnung für ein Flüssigkristallpaneel verwendet wird, tritt Lichtleckage auf, wenn zwischen Ein­ heitsmikrolinsen Lücken existieren, und der optische Verwen­ dungswirkungsgrad ist reduziert. Die Mikrolinsen werden des­ halb vorzugsweise eng zueinander ohne Lücken angeordnet.

Fig. 5 zeigt ein Beispiel dafür, eine zweite Form 22 zu for­ men, die eine Mikrolinsenanordnungs-Form 20 verwendet, die konvexe Oberflächenabschnitte 18a hat. Insbesondere wird Galvanisieren mit Hilfe der Mikrolinsenanordnungs-Form 20 durchgeführt, um dadurch eine zweite Form 22 zu formen, die konkave Oberflächenabschnitte hat. Das Material zum Galvani­ sieren, das für das Herstellen der zweiten Form 22 verwendet wird, ist am vorteilhaftesten verschieden von dem für das Herstellen der Mikrolinsenanordnungs-Form 20, so daß die zwei­ te Form 22 leicht aus der Mikrolinsenanordnungs-Form 20 ent­ fernt werden kann. Solange die zweite Form 22 von der Mikro­ linsenanordnung 20 getrennt werden kann, kann jedoch das Mate­ rial zum Galvanisieren, das die zweite Form 22 bildet, das gleiche wie das für das Herstellen der Mikrolinsenanordnungs- Form sein.

Fig. 6 zeigt ein Beispiel dafür, eine Mikrolinsenanordnung 26 zu formen, wobei die sich in Fig. 5 gebildete zweite Form 22 verwendet wird. Die Mikrolinsenanordnung 26 wird durch Harz­ gießen geformt. Dadurch ist es möglich, eine Mikrolinsenan­ ordnung 26 mit konvexen Mikrolinsen als Komponentenelemente zu erhalten. Übrigens kann die zweite Form 22 an einem entspre­ chenden Substrat 24 angebracht sein.

Fig. 7A bis 7D zeigen ein Beispiel dafür, eine dritte Form zu formen, die die Mikrolinsenanordnungs-Form 20 mit den kon­ vexen Oberflächenabschnitten 18a verwendet, und dann eine Mikrolinsenanordnung zu formen. Wie in Fig. 7A gezeigt, wird das Harzformen mit Hilfe der Mikrolinsenanordnungs-Form 20 bewirkt, um die zweite Form 22a dadurch zu formen, die konkave Oberflächenabschnitte hat. Die zweite Form 22a kann alterna­ tiv beim Galvanisieren gebildet werden. Dann ist die zweite Form 22a an einem entsprechenden Substrat 24a angebracht. Fig. 7B zeigt die zweite Form 22a in dieser Weise geformt.

Fig. 7C zeigt die Art, in der die dritte Form 28, die konvexe Oberflächenabschnitte hat, durch das Galvanisierungsverfahren mit Hilfe der zweiten Form 22a, die konkave Oberflächenab­ schnitte aufweist, geformt wird. Fig. 7D zeigt die Art, in welch eine Mikrolinsenanordnung 32 durch Harzgießen produziert wird, wobei die dritte Form 28 mit konvexen Oberflächenab­ schnitten verwendet wird. Diese Mikrolinsenanordnung 32 umfaßt mehrere konkave Mikrolinsen. Solch eine Mikrolinse kann als eine Kondensatorlinse beispielsweise für das Verdichten des Lichtes in einem Glasfaserübertragungssystem verwendet werden. Alternativ kann die Mikrolinse als eine Komposit-Linse verwen­ det werden, bei der Harz in die konkaven Oberflächenabschnitte gefüllt ist. Die dritte Form 28 kann an einem entsprechenden Substrat 30 angebracht sein.

Fig. 8A bis 8C zeigen eine Verfahren dafür, eine Mikrolin­ senanordnungs-Form 34 entsprechend der zweiten Ausführungsform der Erfindung herzustellen. Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Struktur einschließlich einer isolierenden Schicht 14 mit Öffnungen 16 zeigt. Fig. 10 zeigt eine exzen­ trische Mikrolinsenanordnung 36, die durch Verwendung der Mikrolinsenanordnungs-Form 34 erhalten wurde.

In Fig. 10 umfaßt die Mikrolinsenanordnung 36 mehrere recht­ eckige Mikrolinsen, die an Teilungen "c" in der Querrichtung und an Teilungen "d" in der Längsrichtung angeordnet sind. Die Teilung "c" in der Querrichtung ist verschieden von der Tei­ lung "d" in der Längsrichtung. Die Höhe "e" der Einheitsmi­ krolinse, wie im diagonalen Querschnitt betrachtet, ist nicht gleich der Höhe "f", wie im längslaufenden Querschnitt be­ trachtet.

In Fig. 8A ist eine erste Metallschicht 12 auf einem isolie­ renden Substrat 10 geformt, und eine isolierende Schicht 14, die Öffnungen 16 hat, ist auf der ersten Metallschicht 12 geformt. Wie in Fig. 8A und Fig. 9 gezeigt, ist die Größe jeder Öffnung 16 beträchtlich kleiner, als die Größe der zu bildenden Mikrolinsen, und zwei Öffnungen 16, die in der Nähe voneinander angeordnet sind, werden für das Formen einer Ein­ heitsmikrolinse verwendet. Derartige Öffnungen 16 sind als ein Paar in der Nähe voneinander angeordnet. Die zwei Öffnungen 16, die ein Paar bilden, sind entlang der langen Seite eines Rechtecks angeordnet in welchem die Einheitsmikrolinsen aus Fig. 10 geformt werden. Der Abstand "c" zwischen der geraden Linie, die durch die zwei Öffnungen 16 geht, die ein Paar bilden, und der anstoßenden geraden Linienparallelen zur er­ sten geraden Linie entspricht der QuerTeilung "c" aus Fig. 10. Auch der Abstand "d" zwischen der geraden Linie, die die Zen­ tren von den zwei Öffnungen 16 verbindet, die ein Paar bilden, ist gleich der längslaufenden Teilung "d" der zu bildenden Mikrolinsenanordnung 36.

In Fig. 8B wird das Galvanisieren mit Hilfe von Abschnitten der ersten Metallschicht als eine Elektrode durchgeführt, die aus den Öffnungen 16 freigelegt sind. Sobald das Galvanisieren durchgeführt worden ist, ist ein Beschichtungsmetall (zweite Metallschicht) 18 auf den Abschnitten der von den Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 freigelegten ersten Metallschicht 12 abgelagert. Das auf diese Art abgelagerte Beschichtungsme­ tall erstreckt sich von der ersten Metallschicht 12 durch die Öffnungen 16 der isolierenden Schicht 14 derart, um die iso­ lierende Schicht 14 abzudecken, wodurch konvexe Oberflächenbe­ reiche 18c gebildet werden.

Wie in Fig. 18C gezeigt, erstrecken sich die konvexen Oberflä­ chenabschnitte 18c des Beschichtungsmetalls 18, um die isolie­ rende Schicht 14 in fortschreitend wachsender Dicke zu be­ decken. Zwei konvexe Oberflächenabschnitte 18c vereinen sich miteinander in einem einzelnen konvexen Oberflächenabschnitt 18a. Der konvexe Oberflächenanabschnitt 18a ist länger ent­ lang der geraden Linie und geht durch die zwei Öffnungen 16, die ein Paar bilden, und kürzer entlang der geraden Linien­ senkrechten zur ersten geraden Linie. Auf diese Art wird die Einheitsmikrolinse in einem in Fig. 10 gezeigten rechteckigen Bereich geformt.

Die Ablagerung vom Beschichtungsmetall 18 stammt von den Elek­ trodenabschnitten (Öffnungen 16). Zwei benachbarte Paare von Elektrodenabschnitten, die zwei Mikrolinsen entsprechen, die einander gegenüberliegen, kommen zuerst an den kurzen Seiten der Rechtecke die von den Einheitsmikrolinse eingenommenen sind in Kontakt miteinander, so daß die Höhe der Grenze zwi­ schen ihnen gesteigert ist. Die zwei benachbarten Paare der Abschnitte, die zueinander an der langen Seite des Rechtecks nebeneinander liegen, kommen andererseits später in Kontakt miteinander, und die Höhe der Grenze zwischen ihnen wird des­ halb nicht so viel gesteigert. Folglich ist, wie in Fig. 10 gezeigt, die Höhe "e" im diagonalen Querschnitt nicht gleich der Höhe "f" im längslaufenden Querschnitt. Diese Form ist sehr schwierig durch Ätzen o. ä. zu formen.

Auf diese Weise erhält das Beschichtungsmetall 18 die konvexen Oberflächenabschnitte 18a konform mit der Form der Mikrolinse. Das Harzgießen wird durch direkte Verwendung der Mikrolinsen­ anordnungs-Form 34, die auf diese Weise hergestellt ist, oder durch Verwendung der zweiten Form 22 oder der dritten Form 28 der Ausführungsform aus Fig. 5 oder 7 ausgeführt, wodurch eine Mikrolinsenanordnung hergestellt wird. Als ein Beispiel ist anzunehmen, daß "c" 50 µm ist, "d" 100 µm ist und die Dicke des Beschichtungsmetalls 18 274 µm beträgt. Der Brenn­ punktabstand der Mikrolinsen ist 474 µm (der Wert in der Luft umgewandelt, die Dicken der entgegengesetzten Substrate des Flüssigkristallpanel annehmend). Die Dicke des Beschichtungs­ metalls 18 ist ausreichend größer als die längslaufende oder diagonale Länge der Einheitsmikrolinse, so daß ein Mikrolin­ senanordnung und ein Form ohne jede Lücke hergestellt werden können.

In dieser Ausführungsform wird das Substrat 10 aus Glas herge­ stellt und mißt 70 mm × 70 mm in Größe und 1,1 mm in Dicke. Die erste Metallschicht 12 wird aus einer dünnen Kupferschicht hergestellt. Obwohl ein Glassubstrat, das aus einer dünnen Kupferschicht geformt ist, in diesem Fall verwendet wird, können das Substrat 10 und die erste Metallschicht 12 aus einer Kupferplatte hergestellt sein. Die erste Metallschicht 12 ist mit einem Abdecklack in der Dicke von 1 µm als eine isolierende Schicht 14 abgedeckt, so daß ein kreisförmiges Öffnungsmuster, das einen Durchmesser von 3 µm hat, durch Belichtung und Entwicklung geformt wird. Dann wird eine Be­ schichtungslösung, die aus einer Mischung aus 450 g/L Nickel­ sulfamat, 30 g/L Nickelchlorid und 5 g/L Borsäure besteht, in ein 300 Liter Galvanisierungsbad eingebracht, worin ein zu beschichtendes Objekt für die Galvanisierung gestellt ist. Im Galvanisierungsverfahren wird ein 8A Strom 5 Stunden aufrecht­ erhalten und dann wird ein 15A Strom 7 Stunden aufrechterhal­ ten. Folglich kann eine Gießform für eine exzentrische Mikro­ linsenanordnung, die eine Einheitsmikrolinse mit 280 µm Krüm­ mungsradius hat, geformt werden.

Fig. 11A bis 12C zeigen ein Verfahren dafür, eine Mikrolin­ senanordnungs-Form 38 entsprechend der dritten Ausführungsform der Erfindung herzustellen. Diese Mikrolinsen-Form 38 ist zur Herstellung der in Fig. 13 gezeigten exzentrischen Mikro­ linsenanordnungen 40 geeignet. Die Mikrolinsenanordnung 40 ist derart, daß eine Einheitsmikrolinse in einem rechteckigen Gebiet geformt wird und der Fokus F der Mikrolinse aus dem Zentrum der Einheitsmikrolinse verschoben ist. Auch wird der Fokus F der Mikrolinse für jede Spalte variiert.

In Fig. 11A ist eine erste Metallschicht 12 auf einem isolie­ renden Substrat 10 geformt und eine isolierende Schicht 14, die Öffnungen 16 hat, ist auf der ersten Metallschicht 12 geformt. Die Öffnungen 16 sind an Positionen angeordnet, die dem Fokus der Mikrolinse in Fig. 13 entsprechen. Das Galvani­ sieren wird mit den Abschnitten der von den Öffnungen 16 als eine Elektrode freigegebenen ersten Metallschicht 12 durchge­ führt, so daß sich das Beschichtungsmetall (zweite Metall­ schicht) 18 von der isolierenden Schicht 14 durch die Öffnun­ gen 16 erstreckt und die isolierende Schicht 14 bedeckt.

In dieser Ausführungsform ist das Beschichtungsmetall (zweite Metallschicht) 18 in der folgenden Art geformt. In Fig. 11B, wird eine erste Abschirmschicht 42a auf der isolierenden Schicht 14 geformt, um die ersten Regionen der isolierenden Schicht 14 zu bedecken und die zweiten Regionen der isolieren­ den Schicht 14 zu zeigen, wobei die erste Abschirmschicht 42a exzentrisch in bezug auf die Öffnungen 16 von der isolierenden Schicht 14 angeordnet ist. Die erste Abschirmschicht 42a wird durch einen Abdecklack, der beschichtet, belichtet, entwickelt und entfernt wird, hergestellt.

In Fig. 11C werden Abschnitte 18a des Beschichtungsmetalls (zweite Metallschicht) 18 durch Galvanisieren auf den zweiten Regionen der isolierenden Schicht 14 geformt. Bei dem Verfah­ ren, werden die Abschnitte 18a des Beschichtungsmetalls 18 exzentrisch in bezug auf die Öffnungen 16 aufgrund der Posi­ tionen der Öffnungen 16 relativ zu den ersten Abschirmschich­ ten 42a geformt. Dann, in Fig. 11D, werden die ersten Ab­ schirmschichten 42a entfernt.

In Fig. 11E und 12A wird eine zweite Abschirmschicht 42b ge­ formt, welche die Abschnitte 18a von der Metallschicht 18 bedeckt, die sich auf den zweiten Regionen der isolierenden Schicht 14 befindet und die erste Region der isolierenden Schicht 14 zeigt, und exzentrisch in bezug auf die Öffnungen 16 angeordnet. Die zweite Abschirmschicht 42b wird auch durch einen Abdecklack geformt, welcher aufgetragen, belichtet, entwickelt und entfernt wird. Fig. 11E zeigt den Zustand in welchem der Abdecklack aufgetragen wird.

In Fig. 12B werden übrige Abschnitte 18b des Beschichtungsme­ talls 18 durch Galvanisieren auf die ersten Regionen der iso­ lierenden Schicht 14 geformt. In dem Verfahren werden die Abschnitte 18b des Beschichtungsmetalls 18 exzentrisch in bezug auf die Öffnungen 16 aufgrund der Positionen der Öffnun­ gen 16 relativ zu der zweiten Abschirmschicht 42b geformt. Dann wird die zweite Abschirmschicht 42b entfernt, wie in Fig. 12C gezeigt. Folglich kann eine exzentrische Mikrolinsenan­ ordnungs-Form 38 hergestellt werden, und eine exzentrische Mikrolinsenanordnung 40 kann dann mit Hilfe der exzentrischen Mikrolinsenanordnungs-Form 38 oder der zweiten oder dritten Form hergestellt werden.

Fig. 14A bis 14D zeigen eine Verfahren dafür, eine Mikro­ linsenanordnungs-Form 44 entsprechend der vierten Ausführungs­ form der Erfindung herzustellen. Die Mikrolinsenanordnungs- Form 44 ist dafür geeignet, die in Fig. 13 gezeigte, exzentri­ sche Mikrolinsenanordnung 40 herzustellen. In Fig. 14A ist eine erste Metallschicht 12 auf einem isolierenden Substrat 10 geformt und eine isolierende Schicht 14, die Öffnungen 16 hat, ist auf der ersten Metallschicht 12 geformt. Die Öffnungen 16 sind an Positionen angeordnet, die dem Fokus der Mikrolinsen aus Fig. 13 entsprechen.

In Fig. 14B sind gitterförmige Wände 46 für das Definieren von Regionen einschließlich der Öffnungen 16 auf der isolierenden Schicht 14 unter Verwendung eines Abdecklackes o. ä. geformt. Die Öffnungen 16 befinden sich exzentrisch in den auf diese Art definierten jeweiligen Regionen. Fig. 15 ist eine per­ spektivische Ansicht, die die gitterartigen Wände 46 und die Öffnungen 14, die in Fig. 14B verwendet werden, zeigt.

In Fig. 14C wird das Galvanisieren mit den Abschnitten der von den Öffnungen 16 als eine Elektrode freiliegenden ersten Me­ tallschicht 12 durchgeführtgeführt, so daß das Beschichtungs­ metall (zweite Metallschicht) 18 sich von der ersten Metall­ schicht 12 durch die Öffnungen 16 von der isolierenden Schicht 14 erstreckt und die isolierende Schicht 14 bedeckt. Das Be­ schichtungsmetall 18 wird nur auf die nicht von der gitterar­ tigen Wand 46 abgeschirmten Abschnitte aufgetragen. Das Be­ schichtungsmetall 18 wird auf diese Art exzentrisch in bezug auf die Öffnungen 16 aufgrund der relativen Positionen der Öffnungen 16 zu den gitterartigen Wänden 46 geformt. Die git­ terartigen Wände 46 sind auf solch eine Größe eingestellt, um nicht die Form der Mikrolinsen zu beträchtlich zu ändern, und müssen nach dem Ablagern des Beschichtungsmetalls 18 nicht entfernt werden.

In dieser Ausführungsform ist eine 1 µm dicke Resistschicht auf einem Glassubstrat, das 70 mm × 70 mm in Größe und 1,1 mm in Dicke mißt, aufgetragen, auf dem eine dünne Kupferschicht gebildet ist. Ein kreisförmiges Öffnungsmuster von 3 µm im Durchmesser wird durch Belichten und Entwicklung geformt. Das in diesem Fall verwendete Glassubstrat, daß mit einer dünnen Kupferschicht geformt ist, kann durch eine Kupferplatte er­ setzt werden. Ferner wird eine Abdeckschicht von 200 µm Dicke angebracht, und Wände von 5 µm Breite werden durch Belichtung mit Röntgenstrahlen geformt. Obwohl die Wände unter Verwendung eines Abdecklacks geformt werden, können die Wände alternativ durch Drücken einer Glaspaste o. ä. mit einer Form gebildet werden. Die Wände sind an den in Fig. 15 in bezug auf das Öffnungsmuster gezeigten Positionen angeordnet, und das Galva­ nisieren wird durchgeführt. Eine Mischung aus 450 g/L Nickel­ sulfamat, 30 g/L Nickelchlorid und 5 g/L Borsäure wird in ein 300 Liter Beschichtungsbad eingebracht und dann wird ein zu beschichtendes Objekt in das Beschichtungsbad gestellt. Ein 8A Strom wird 4 Stunden aufrechterhalten, und ein 15A Strom wird weitere 5 Stunden aufrechterhalten. Folglich kann eine enge exzentrische Mikrolinsenanordnungs-Form frei von Lücken mit Einheitslinsen mit einem Krümmungsradius von 200 µm ge­ formt werden.

Im Fall, wo eine Mikrolinsenanordnung durch Reproduzieren und Übertragen der Form mit Hilfe eines Foto-aushärtbaren Harzes o. ä. von der Form hergestellt ist, die nach oben erwähntem Verfahren hergestellt ist, ist der kontaktierenden Bereich der Metallelektrode und des abgelagerten Metalls so klein und es gibt eine Möglichkeit, daß das abgelagerte Metall sich vom Substrat ablöst. Die zweite Form 22 und die dritte Form 28, wie in Fig. 5 bis 7 gezeigt, sind in Produktionswiderstandsfä­ higkeit überlegen. Eine Mikrolinsenanordnung und eine exzen­ trische Mikrolinsenanordnung des gewünschten Brechungsoberflä­ chenprofils und eines gewünschten Anordnungsmusters können aus Harz mit Hilfe der Mikrolinsenanordnungs-Form und der exzen­ trischen Mikrolinsenanordnungs-Form hergestellt werden, die in der oben erwähnten Art hergestellt sind.

Fig. 16 zeigt ein Beispiel für eine Flüssigkristall-Anzeige­ vorrichtung, die die Mikrolinsenanordnung 48 zusammen mit einem Flüssigkristallpanel 50 verwendet. Die Flüssigkristall- Anzeigevorrichtung in dieser Ausführungsform umfaßt weiter ein Beugungsgitter 52 als Farbtrenneinrichtung. Wenn ein einfal­ lendes Licht L_i durch ein Beugungsgitter 52 gesandt wird, werden Beugungslichter L_R, L_G, L_B erzeugt. Das Hauptbeugungs­ licht L_R enthält einen roten Wellenlängenbestandteil, das Hauptbeugungslicht L_G enthält einen grünen Wellenlängenbe­ standteil und das Hauptbeugungslicht L_B enthält einen blauen Wellenlängenbestandteil.

Das Flüssigkristallpanel 50 umfaßt einen flüssigen Kristall 58, der zwischen einem Paar Glassubstrate 54 und 56 eingeführt ist. Eine gemeinsame Elektrode 60 und eine Ausrichtungsschicht 62 sind auf der Innenoberfläche des Glassubstrats 54 angeord­ net, und Pixelelektroden 64 und eine Ausrichtungsschicht 66 sind auf der Innenoberfläche des anderen Glassubstrat 56 ange­ ordnet. Der flüssige Kristall 58 wird dazu gebracht, eine Anzeige zu machen, wenn eine Spannung zwischen der gemeinsamen Elektrode 60 und den Pixelelektrode 64 angelegt ist. Ein Pola­ risationsfilter 68 und ein Analysierer 70 sind auf jeder Seite des Flüssigkristallpanels 50 angeordnet.

Die Mikrolinsenanordnung 48 ist auf dem Polarisationsfilter angeordnet 68. Die Mikrolinsenanordnung 48 umfaßt Einheitsmi­ krolinsen 48a.

Fig. 17 zeigt ein anderes Beispiel für eine Flüssigkristall- Anzeigevorrichtung, die eine Mikrolinsenanordnung 48 zusammen mit dem Flüssigkristallpanel 50 verwendet. Bei dieser Ausfüh­ rungsform werden dichroitische Spiegel 72R, 72G, 72B als Far­ betrenneinrichtung verwendet. Der dichroitische Spiegel 72R reflektiert den roten Wellenlängenbestandteil L_R des Lichtes, der dichroitische Spiegel 72G reflektiert den grünen Wellen­ längenbestandteil L_G des Lichtes und der dichroitische Spiegel 72B reflektiert den blauen Wellenlängenbestandteil des Lich­ tes. Die Ausführungsform in Fig. 17 ist ähnlich derjenigen aus Fig. 16, bis auf die Konfiguration der Spektraltrennein­ richtung.

Fig. 18 und 19 zeigen einem Beispiel für die Verteilung von Pixelelektroden 64 und der Mikrolinsenanordnung 48. Die Pixe­ lelektroden 64 beziehen G, R und B Pixelelektroden ein, die in der Deltaanordnung angeordnet sind. Die Mikrolinsenanordnung 48 ist in einer viereckigen Anordnung angeordnet. Jede Mikro­ linse 48a ist an einer Position angeordnet, die den drei Pixe­ lelektroden 64 von G, R und B entspricht. In diesem, Fall ist die Mikrolinsenanordnung 48 am vorteilhaftesten eine exzentri­ sche Mikrolinsenanordnung, wie in Fig. 20 gezeigt.

Der rote Wellenlängenbestandteil L_R des Lichtes, der durch das Beugungsgitter 52 oder die dichroitischen Spiegel 72R, 72G und 72B abgetrennt ist, wird an der R Pixelelektrode 64 durch die Einheitsmikrolinse 48a verdichtet, der grüne Wellenlängenbe­ standteil L_G des Lichtes wird an der G Pixelelektrode 64 durch die Einheitsmikrolinse 48a verdichtet, und das blaue Wellen­ längenbestandteil des Lichtes wird an der B Pixelelektrode 64 durch die Einheitsmikrolinse 48a verdichtet.

Die Verwendung von diesen Farbtrenneinrichtungen und Kondensa­ toreinrichtungen kann eine Farbanzeigevorrichtung realisieren, die eine höhere Lichtverwendungsrate hat, verglichen mit dem Fall, wo ein konventioneller Farbfilter verwendet wird.

Im Falle, wo die Pixelelektroden 64 in der Deltaanordnung und die Mikrolinsenanordnung 48 in einer viereckigen Anordnung angeordnet sind, ist es möglich, ein Bild der Tetragonalanord­ nung zu beobachten, von solch einer Konfiguration, daß die Fokusse der Ausgabeabbildung auf die Mikrolinsen konzentriert sind. Die Pixelanordnung ist ein sehr wichtiger Faktor für das Zeigen einer schönen Abbildung, und Auswahl der für eine besondere Anwendung geeigneten Pixelanordnung ist notwendig. Die Verwendung der exzentrischen Mikrolinsenanordnung 48, bei dem die Mikrolinsenanordnung verschieden von der Pixelanord­ nung des Flüssigkristallpaneels ist, ist darin wirksam, daß die Pixelanordnung der Ausgabeabbildung leicht geändert werden kann. Bei dieser Erfindung kann sogar solch eine exzentrische Mikrolinsenanordnung 48 leicht und zuverlässig hergestellt werden.

Fig. 21A bis 21C zeigen eine Verfahren zum Herstellen einer Form für eine Lentikularlinse (eine Lentikularlinsenform) entsprechend der fünften Ausführungsform der Erfindung. Eine Lentikularlinse kann zum Beispiel als ein Bildschirm von einer Abbildungsanzeigevorrichtung verwendet werden. In solch einem Fall können halbzylindrische Linsen ohne Lücken oder mit Lücken, die schwarze Streifen bilden, gelegt werden. Die Lenti­ kularlinse entsprechend dieser Ausführungsform ist auf beide Fälle anwendbar.

In Fig. 21A ist eine erste Metallschicht 82 auf einem isolie­ renden Substrat 80 geformt. Die erste Metallschicht 82 kann aus einem einzelnen Metall oder einer Legierung oder aus meh­ reren geschichteten Metallen sein, wobei das Metall, das be­ schichtet werden soll, später berücksichtigt wird. Weiter ist eine isolierende Schicht 84 in Fig. 21A auf der ersten Metall­ schicht 82 geformt. Die isolierende Schicht 84 hat Öffnungen 86, um Abschnitten 82a der ersten Metallschicht 82 zu erlauben abgelöst zu werden.

Die Konfiguration der Fig. 21A ist mit der von Fig. 1A iden­ tisch, außer daß die Öffnungen 86 sich linear der Länge nach erstrecken und auf diese Art die Abschnitte 84a der isolieren­ den Schicht 84, die auf jeder Seite von den Öffnungen vorhanden sind, sich in langen Streifen erstrecken. Die Abschnitte 84a und die Öffnungen 16 von der isolierenden Schicht 84 sind in derselben Art wie die Lentikularlinsen angeordnet, um geformt zu werden, und die Breite jeder Öffnung 16 ist beträchtlich kleiner als die der Einheitslentikularlinse, die geformt wer­ den soll.

Die isolierende Schicht 84 kann aus einem Photoabdecklack zusammengesetzt werden. Insbesondere kann die isolierende Schicht 84 durch Beschichten eines Photoabdecklacks auf der ersten Metallschicht 82 produziert werden, die mit Hilfe einer Maske darauf belichtet und entwickelt wird, und wobei die Abschnitte des Photoabdecklacks, der den Öffnungen 86 ent­ spricht, selektiv entfernt werden. Als eine Alternative können die Öffnungen 86 von der isolierenden Schicht 84 durch reakti­ ves Ätzen mit Hilfe des Harzes der Silikongruppe oder Polyamid geformt werden. Als eine andere Alternative können die Öff­ nungen 86 mit mechanischen Mitteln wie Lochen gebildet werden.

In Fig. 21B wird das Galvanisieren mit Hilfe der Abschnitte 82a von der von den Öffnungen 86 freigelegten ersten Metall­ schicht 82 als Elektroden durchgeführt. In Folge des Galvani­ sierens wird ein Beschichtungsmetall (zweite Metallschicht) 88 an den Abschnitten 82a der von den Öffnungen 86 der isolieren­ den Schicht 84 freigelegten ersten Metallschicht 82 abgela­ gert. Das Beschichtungsmetall 88 erstreckt sich von den Ab­ schnitten 82a der ersten Metallschicht 82 in die Öffnungen 86 der isolierenden Schicht 84 und nach dem Erreichen des oberen Endes der Öffnungen 86 der isolierenden Schicht 84 erstreckt sich das Beschichtungsmetall 88 vom zentralen Abschnitt des oberen Endes der Öffnungen 86 über die Oberfläche der isolie­ renden Schicht 84.

Wie in Fig. 21C gezeigt, erhebt sich das Beschichtungsmetall 88, das sich über die isolierende Schicht 84 erstreckt, am meisten an einer Position über dem zentralen Abschnitt des oberen Endes der Öffnungen 86 und verdünnt sich allmählich von dem zentralen Abschnitt des oberen Endes der Öffnungen 16 weg. Folglich wird ein konvexer Oberflächenabschnitt 88a entspre­ chend zu einem Einheitslentikularlinsenelement für jede Öff­ nung 86 der isolierenden Schicht 84 geformt. Auf diese Weise wird eine Lentikularlinsenform 90 geformt.

Auf diese Weise hat das Beschichtungsmetall 88 halbzylindri­ sche, konvexe Oberflächenabschnitte 88a, die sich der Form der Lentikularlinse anpassen. Durch Verwenden der Lentikularlin­ senform 90, die auf diese Art direkt hergestellt wird, oder durch Herstellen und Verwenden einer in Fig. 23 gezeigten zweiten Form 92 oder einer in Fig. 25 gezeigten dritten Form 94, die auf der Lentikularlinsenform 90 basiert, wird Harz geformt, um dadurch eine Lentikularlinse zu produzieren.

In der Ausführungsform ist das Substrat 80 ein Glassubstrat, das 100 mm × 100 mm in Größe und 1,1 mm in Dicke mißt. Die erste Metallschicht 12 ist eine dünne Kupferschicht. Obwohl die oben erwähnte Ausführungsform ein geformtes Glassubstrat mit eine dünnen Kupferschicht verwendet, können das Substrat 80 und die erste Metallschicht 82 aus Kupfer hergestellt sein. Eine Abdeckschicht von 2 µm Dicke, die die isolierende Schicht 84 bildet, ist auf der ersten Metallschicht 82 aufgetragen, und ein lineares Öffnungsmuster, das Teilungen von 100 µm und die Breite von 3 µm hat, wird durch Belichten und Entwickeln geformt. Dann wird eine aus einer Mischung aus 450 g/L Nickelsulfamat, 30 g/L Nickelchlorid und 5 g/L Borsäure zusammen­ gesetzte Beschichtungslösung in ein 300 Liter Beschichtungsbad eingebracht. Dann wird ein zu beschichtendes Objekt in das Beschichtungsbad gestellt und galvanisiert. Bei dem Galvani­ sierungsverfahren wird ein 8A Strom 5 Stunden aufrechterhalten und dann ein 15A Strom 7 Stunden aufrechterhalten. Als Ergeb­ nis kann eine Lentikularlinsenform geformt werden, in der streifenartige Einheitslentikularlinsenelemente mit 280 µm Krümmungsradius ohne Lücke angeordnet sind. Wenn eine Lücke zwischen den streifenartigen Einheitslentikularlinsenelementen gebildet werden soll, sind die Parameter des oben erwähnten Beschichtungsprozesses andere. Zum Beispiel wird die Beschich­ tungszeit reduziert und der Strom ist in Größenordnungen geän­ dert.

Fig. 22A bis 22D zeigen ein modifiziertes Beispiel für ein Verfahren dafür, eine Lentikularlinse herzustellen. Dieses Verfahren ist dafür geeignet, eine exzentrische Lentikularlin­ senform herzustellen, und ist dem von Fig. 14A bis 14D ähn­ lich.

In Fig. 22A wird eine erste Metallschicht 82 auf einem isolie­ renden Substrat 80 geformt, und eine isolierende Schicht 84, die Öffnungen 86 hat, ist auf der ersten Metallschicht 82 geformt. In Fig. 22B werden gitterartige Wände 96 zum Definie­ ren von Regionen einschließlich der Öffnungen 86 auf der iso­ lierenden Schicht 84 unter Verwendung eines Abdecklacks o. ä. geformt. Die Öffnungen 86 befinden sich exzentrisch innerhalb der auf diese Art definierten Region.

In Fig. 22C wird das Galvanisieren mit Hilfe der Abschnitte der ersten Metallschicht 82, die von den Öffnungen 82 freige­ legt sind, als eine Elektrode, durchgeführt, so daß das Be­ schichtungsmetall (zweite Metallschicht) sich von der ersten Metallschicht 82 durch die Öffnungen 86 der isolierenden Schicht 84 erstreckt und die isolierende Schicht 84 bedeckt. Das Beschichtungsmetall 88 wird nur an den nicht von den git­ terartigen Wänden 96 abgeschirmten Abschnitten abgelagerte. Auf diese Weise, wird das Beschichtungsmetall exzentrisch in bezug auf die Öffnungen 96 aufgrund der relativen Positionen der Öffnungen 86 zu den gitterartigen Wänden 96 geformt. Die gitterartigen Wände 96 sind auf solch eine Größe eingestellt, um nicht die Form der Einheitslentikularlinsenelemente be­ trächtlich zu ändern, und brauchen nicht nach Ablagerung des Beschichtungsmetall 88 entfernt zu werden. Bei Verwendung einer Lentikularlinsenform 91, die auf diese Weise hergestellt ist, kann eine exzentrische Lentikularlinse hergestellt wer­ den, die dazu fähig ist, die Richtung einfallender Lichtachsen abzulenken.

Fig. 23A und 23B zeigen ein Beispiel dafür, eine zweite Form 92 unter Verwendung der Lentikularlinsenform 90 mit kon­ vexen Oberflächenabschnitten 88a zu formen. Insbesondere wird das Galvanisieren, wie in Fig. 23A gezeigt, mit Hilfe der Lentikularlinsenform 90 durchgeführt, um dadurch eine zweite Form 92 zu formen, die konkave Oberflächenabschnitte hat. Dann wird die zweite Form 92, die konkave Oberflächenabschnit­ te hat, von der Lentikularlinsenform 90 entfernt, wie in Fig. 23B gezeigt. Das Material zum Galvanisieren, das die, zweite Form 92 formt, ist am vorteilhaftesten verschieden von dem für das Herstellen der Lentikularlinsenform 90, so daß die zweite Form 92 leicht von der Lentikularlinsenform 90 getrennt werden kann. Solange die zweiten Form 92 von der Lentikularlinse 90 entfernt werden kann, kann jedoch das Material zum Galvanisie­ ren, das die zweite Form 92 formt, das gleiche wie das zur Herstellung der Lentikularlinsenform 90 sein.

Fig. 24 zeigt einem Beispiel für eine Lentikularlinse 98, die aus Harzgießen geformt mit Hilfe der in Fig. 23 produzierten zweiten Form 92 geformt ist. Auf diese Weise ist es möglich, die Lentikularlinse 98 zu erhalten, die halbzylindrische Ein­ heitslentikularelemente hat. Die zweite Form 92 kann an ein entsprechendes Substrat 93 im voraus angebracht werden.

Fig. 25A bis 25D zeigen ein Beispiel dafür, eine dritte Form mit Hilfe der Lentikularlinsenform 90, die konvexe Ober­ flächenabschnitte 88a hat, zu formen, und dann eine Lentiku­ larlinse formen. Wie in Fig. 25A gezeigt, wird eine zweite Form 98, die konkave Oberflächenabschnitte hat, mit Hilfe des Lentikularlinsenform 90 aus Harz geformt. Die zweite Form 98 kann alternativ durch Galvanisieren gebildet werden. Dann ist die zweite Form 98 an einem entsprechenden Substrat 99 ange­ bracht. Fig. 25B zeigt die zweite Form 98, die in dieser Weise geformt ist.

Fig. 25C zeigt die Art, in der eine dritte Form 94, die kon­ vexe Oberfläche hat, durch Galvanisieren mit Hilfe der zweiten Form 98, die konkave Oberflächenabschnitte hat, geformt wird. Fig. 25D zeigt die dritte Form 94, die konvexe Oberflächenab­ schnitte hat. 100 bezeichnet ein entsprechendes Substrat.

Fig. 26 zeigt eine Lentikularlinse 102, die aus Harz mit Hilfe der dritten Form 94 geformt ist, die konvexe Oberflä­ chenabschnitte hat. Die Lentikularlinse 102 hat eine konkave Oberfläche. Ein Harz 104, das einen anderen Brechungsindex hat, wird in den konkaven Abschnitt der Lentikularlinse 102 gefüllt. Auf diese Art, kann die Lentikularlinse 102 in dersel­ ben Art wie die Lentikularlinse verwendet werden, die konvexe Oberflächen hat.

Wie oben beschrieben, kann eine Lentikularlinse mit einem gewünschten brechenden Oberflächenprofil und einer gewünschten Anordnung durch Harzformen o. ä. unter Verwendung einer Lenti­ kularlinsenform entsprechend der Erfindung hergestellt werden.

Wie oben entsprechend der vorliegenden Erfindung beschrieben kann eine Mikrolinse mit gewünschten optischen Eigenschaften leicht und zuverlässig hergestellt werden. Weiter kann eine Lentikularlinse mit den gewünschten optischen Eigenschaften entsprechend dieser Erfindung leicht und zuverlässig herge­ stellt werden.

Claims (13)

1. Form für Linsen, mit einer ersten Metallschicht, einer isolierenden Schicht, die die erste Metallschicht bedeckt und mehrere Öffnungen aufweist, und einer zweiten Metallschicht, die konvexe Oberflächenabschnitte aufweist, die sich von der ersten Metallschicht durch die Öffnungen erstrecken, um die isolierende Schicht abzudecken.

2. Form für Linsen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die konvexen Oberflächenabschnitte exzentrisch in bezug auf die Öffnungen angeordnet sind.

3. Form für Linsen nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Linsen eine Anordnung von Mikrolinsen auf­ weisen.

4. Form für Linsen nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen Linsenelemente einer Lentikularlinse umfassen.

5. Verfahren zum Herstellen einer Form für Linsen, welches Verfahren die folgenden Schritte aufweist:
Formen einer isolierenden Schicht auf einer ersten Me­ tallschicht, welche die isolierende Schicht Öffnungen auf­ weist, an denen Abschnitte der ersten Metallschicht freigelegt sind; und
Formen, durch Metallbeschichten, einer zweiten Metall­ schicht, die konvexe Oberflächenabschnitte aufweist, die sich von den gezeigten Abschnitten der ersten Metallschicht durch die Öffnungen erstreckt, um die isolierende Schicht abzu­ decken.

6. Verfahren zum Herstellen einer Form für Linsen nach An­ spruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Formens der zweiten Metallschicht folgende Schritte umfaßt:
Formen einer ersten Abschirmschicht auf der isolierenden Schicht, um erste Regionen der isolierenden Schicht abzudecken und zweite Regionen der isolierenden Schicht freizulegen, wobei die erste Abschirmschicht exzentrisch in bezug auf die Öffnungen der isolierenden Schicht angeordnet ist;
Formen von Abschnitten der zweiten Metallschicht auf den zweiten Regionen der isolierenden Schicht;
Entfernen der ersten Abschirmschicht;
Formen einer zweiten Abschirmschicht, um Abschnitte der zweiten Metallschicht abzudecken, die auf den zweiten Regionen der isolierenden Schicht angeordnet ist, und, um die ersten Regionen der isolierenden Schicht zu zeigen, wobei die zweite Abschirmschicht exzentrisch in bezug auf die Öffnungen ange­ ordnet ist;
Formen der übrigen Abschnitte der zweiten Metallschicht auf den ersten Regionen der isolierenden Schicht; und
Entfernen der zweiten Abschirmschicht.

7. Verfahren zum Herstellen von Linsen, dadurch gekenn­ zeichnet, daß Linsen mit Hilfe einer Form für Linsen gegossen werden, die konvexe Oberflächenabschnitte haben, die durch ein Verfahren zum Herstellen einer Form für Linsen hergestellt sind, das folgende Verfahrensschritte aufweist:
Formen einer isolierenden Schicht auf einer ersten Me­ tallschicht, wobei die isolierende Schicht Öffnungen hat, an denen Abschnitte der ersten Metallschicht gezeigt sind; und
Formen einer zweiten Metallschicht, die konvexe Oberflächenab­ schnitte hat, die sich von dem freigelegten Abschnitt der ersten Metallschicht durch die Öffnungen erstreckt, um die isolierende Schicht durch Metallablagerung abzudecken.

8. Verfahren zum Herstellen von Linsen nach Anspruch 7, das weiter die Schritte aufweist, Formen mindestens einer weiteren Form mit Hilfe der Form für Linsen, die die konvexen Oberflä­ chenabschnitte haben, und Gießen von Linsen, wobei mindestens eine weitere Form verwendet wird.

9. Optisches Element, das mit Hilfe einer Form hergestellt ist, die derart geformt ist, daß eine erste Schicht auf einer ersten Metallschicht geformt ist, wobei die erste Schicht Öffnungen aufweist, an denen die erste Metallschicht freige­ legt ist, und wobei eine zweite Metallschicht auf der ersten Metallschicht mit der ersten Schicht darauf geformt aufge­ bracht wird.

10. Verfahren zum Herstellen einer Form für Linsen, welches Verfahren folgende Schritte aufweist:
Formen einer isolierenden Schicht auf einer ersten Me­ tallschicht, wobei die isolierende Schicht Öffnungen aufweist, an welchen Abschnitte der ersten Metallschicht freigelegt sind;
Formen, durch Metallplattieren, einer zweiten Metall­ schicht, die konvexe Oberflächenabschnitte aufweist, die sich von den gezeigten Abschnitten der ersten Metallschicht durch die genannten Öffnungen ertrecken, um die isolierende Schicht zu bedecken, um eine erste Form zu formen;
Formen einer dritten Metallschicht auf der ersten Form; und
Entfernen der dritte Metallschicht von der ersten Form, um eine zweite Form zu formen.

11. Verfahren zum Herstellen von Linsen, das die folgenden Schritte aufweist:
Formen einer isolierenden Schicht auf einer ersten Me­ tallschicht, wobei die isolierende Schicht Öffnungen aufweist, an denen Abschnitte der ersten Metallschicht freigelegt sind;
Formen, durch Metallplattieren, einer zweiten Metall­ schicht, die konvexe Oberflächenabschnitte aufweist, die sich von den freigelegten Abschnitten der ersten Metallschicht durch die genannten Öffnungen erstrecken, um die isolierende Schicht zu bedecken, um eine erste Form zu formen;
Formen einer dritten Metallschicht auf der ersten Form;
Entfernen der dritten Metallschicht von der ersten Form, um eine zweite Form zu formen;
Formen einer Schicht aus einem lichtübertragenden Mate­ rial auf der zweiten Form; und
Entfernen der Schicht des lichtübertragenden Materials aus der zweiten Form.

12. Optisches Element, das mit Hilfe einer Form hergestellt ist, die derart geformt ist, daß eine erste Schicht, auf einer ersten Metallschicht geformt ist, wobei die erste Schicht Öffnungen hat, an denen die erste Metallschicht freigelegt ist; eine zweite Metallschicht auf der ersten Metallschicht abgelagert ist, auf der die erste Schicht geformt ist, um eine erste Form zu formen; eine dritte Metallschicht auf der ersten Form geformt ist und die dritte Metallschicht von der ersten Form entfernt ist, um eine zweite Form zu formen.

13. Form für Linsen mit einer ersten Metallschicht, einer isolierende Schicht, die die erste Metallschicht bedeckt und mehrere Öffnungen hat, und einer zweiten Metallschicht, die durch Metallablagerung hergestellt ist und sich von der ersten Metallschicht durch die genannten Öffnungen erstreckt, um die isolierende Schicht abzudecken.