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Die
Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe, die folgendes aufweist:
einen
Pumpenkörper,
in dem ein Rotor in einem Lager drehbar gelagert ist und der eine
Heizung sowie einen Temperaturdetektor aufweist, und
eine Pumpensteuerung,
die eine digitale Verarbeitungseinrichtung aufweist, in der ein
Temperatursteuerungsprozeß für die Heizung
auf der Basis eines Ausgangssignals des Temperaturdetektors und
ein anderer Steuerungsprozeß als
der Temperatursteuerungsprozeß von
einem Software-Programm ausgeführt
werden.
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Herkömmlicherweise
kann eine Turbomolekularpumpe zur Lagerung eines Rotors in einer
kontaktfreien Weise mittels eines Magnetlagers mit einer Heizung
ausgerüstet
sein, die als Heizeinrichtung dient, um zu verhindern, daß komprimiertes
Gas im Innenraum der Pumpe kondensiert und dann haftet und sich
absetzt. Bei einer solchen Pumpe ist ein Temperaturdetektor in einem
Pumpenkörper
angeordnet, um ein Überheizen
der Heizung zu verhindern. Ferner ist ein Temperaturregler in einer
Pumpensteuerung vorgesehen, der separat von dem Pumpenkörper vorgesehen
ist, um das Magnetlager etc. zu steuern. Der Temperaturregler steuert
die Heizung in Abhängigkeit
von einem Ausgangssignal des Temperaturdetektors.
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Bei
der oben erwähnten
herkömmlichen
Turbomolekularpumpe mit Heizung führt das Vorsehen des Temperaturreglers
in der Pumpensteuerung dazu, daß die
Pumpensteuerung große
Abmessungen erhält,
was die Kosten erhöht.
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Aus
der
US-5 443 368 A ist
eine Turbomolekularpumpe der eingangs genannten Art gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1 bekannt. In dieser herkömmlichen Turbomolekularpumpe
werden Sensoreingangssignale und Antriebsausgangssignale von einer
digitalen Verarbeitungseinrichtung verarbeitet, die ihrerseits unter
der Steuerung eines Mikroprozessors arbeiten. Dabei wird eine Vielzahl
von Steuerungsparametern berücksichtigt,
wie z. B. Motorströme,
Temperaturen, Drücke
sowie Beschleunigungen als analoge Eingangssignale sowie Drehzahlwerte oder
andere Signale von Schaltern in Form von digitalen Eingangssignalen.
Allerdings lassen sich dieser Druckschrift keine Angaben darüber entnehmen,
wie die Lagerung im einzelnen ausgestaltet und gesteuert werden
soll.
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Aus
der
DE 42 37 972 C2 ist
eine Vakuumpumpe mit Rotor bekannt, wobei Magnetlagerungen in einem
Gehäuse
vorgesehen sind, um den Rotor in dem Gehäuse der Vakuumpumpe abzustützen. Die Magnetlager
sind dort teilweise passiv, teilweise aktiv ausgebildet. Allerdings
lassen sich dieser Druckschrift keinerlei Angaben darüber entnehmen,
wie eine kompakte und gleichwohl effiziente Steuerung auszubilden
ist, um sowohl die Temperatursteuerung als auch die Positionssteuerung
in einer Turbomolekularpumpe zu realisieren, derart, daß eine Positionssteuerung
Priorität
genießt,
um den hohen Anforderungen bei schnell laufenden Turbomolekularpumpen
Rechnung zu tragen.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine derartige Turbomolekularpumpe
dahingehend zu verbessern, daß die
Temperatursteuerung und die Positionssteuerung mit einer Steuerungseinrichtung mit
kleinen Abmessungen realisiert werden kann, um die Kosten zu reduzieren
und gleichwohl eine zuverlässige
und effiziente Anordnung zu bieten.
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Die
erfindungsgemäße Lösung besteht
darin, eine Turbomolekularpumpe der eingangs genannten Art derart
auszubilden, daß das
Lager als Magnetlager ausgebildet ist, um den Rotor in einer kontaktfreien
Weise magnetisch zu lagern; daß ein Positionsdetektor
vorgesehen ist, um das Magnetlager in Abhängigkeit von den Ausgangssignalen
des Positionsdetektors zu steuern; und daß die digitale Verarbeitungseinrichtung,
die sowohl die Heizung als auch das Magnetlager steuert, den Steuerungsprozeß zur kontaktfreien
Lagerung des Magnetlagers mit Priorität durchführt, derart, daß innerhalb
eines vorgegebenen Steuerungszyklus eine Vielzahl von Positionssteuerungsprozessen
durchgeführt
wird, während
der Temperatursteuerungsprozeß für die Heizung
intermittierend nur einmal in einem derartigen Steuerungszyklus
durchgeführt
wird.
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In
Weiterbildung einer derartigen erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe ist
vorgesehen, daß die
Pumpensteuerung eine Anzeigeeinrichtung aufweist, um den Zustand
der Pumpe anzuzeigen, und daß die
digitale Verarbeitungseinrichtung sowohl die Heizung als auch die
Anzeigeeinrichtung steuert.
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Zu
den Beispielen einer digitalen Verarbeitungseinrichtung gehören ein
Mikrocomputer oder ein Digitalsignal-Prozessor, der eine spezielle
Hardware-Komponente ist, die programmierbar und in der Lage ist,
eine Verarbeitung mit hoher Geschwindigkeit in Realzeit auszuführen. Derartige
Digitalsignal-Prozessoren werden nachstehen auch kurz als DSP bezeichnet.
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Bei
der erfindungsgemäßen Turbomolekularpumpe
führt die
digitale Verarbeitungseinrichtung, die in der Pumpensteuerung vorgesehen
ist, den Temperatursteuerungsprozeß für die Heizung zusätzlich zu
einem anderen Steuerungsprozeß durch, so
daß es
nicht erforderlich ist, einen Temperaturregler in der Pumpensteuerung
vorzusehen.
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Somit
kann die Pumpensteuerung mit kleineren Abmessungen realisiert werden,
was die Kosten reduziert. Unter Verwendung eines geeigneten Software-Programms
für die
digitale Verarbeitungseinrichtung können die Steuerungen der Heizung
und der Steuerungsprozeß zur
kontaktfreien Lagerung des Magnetlagers in flexibler Weise realisiert
werden, wobei sowohl die Temperatursteuerung als auch die Positionssteuerung
in hohem Maße
präzise
durchgeführt
werden können.
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Dabei
wird der Umstand ausgenutzt, daß der Temperatursteuerungsprozeß keine
häufige
Ausführung
erforderlich macht und daher in vergleichsweise großen Zeitabständen durchgeführt werden
kann, während
in der Zwischenzeit der Positionssteuerungsprozeß viele Male durchgeführt wird.
Damit wird eine exakte Positionssteuerung auch bei hohen Drehzahlen
gewährleistet,
ohne daß Beeinträchtigungen
hinsichtlich der Temperatursteuerungen zu befürchten sind.
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Die
Ausführung
der Positionssteuerungsprozesse kann eine Anzahl von 100 oder gar
1000 solcher Prozesse in einem Zyklus umfassen, während andererseits
nur ein einziger Temperatursteuerungsprozeß in diesem Zyklus durchgeführt wird,
beispielsweise an dessen Ende. Damit hat die Positionssteuerung
eine entsprechende Priorität,
ohne Beeinträchtigungen
im gesamten Steuerungsablauf hervorzurufen.
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Durch
die Anwendung eines derartigen Time-Sharing-Steuerungsvorganges
können
somit zwei völlig
verschiedene Steuerungsprozesse mit einem relativ einfachen Programm
mittels eines einzigen Prozessors realisiert werden. Dabei wird
in vorteilhafter Weise dem Umstand Rechnung getragen, daß Temperaturänderungen,
die möglicherweise
einer Korrektur bedürfen,
mit einer wesentlich größeren Trägheit stattfinden
als dies bei Positionsänderungen
der Fall ist.
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Die
Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungs beispielen
und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Die
Zeichnungen zeigen in
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1 eine
schematische Darstellung einer Turbomolekularpumpe gemäß einer
ersten Ausführungsform
der Erfindung;
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2 ein
Flußdiagramm
zur Erläuterung
eines Beispiels eines Prozesses, der von einem Digitalsignal-Prozessor
ausgeführt
wird, der in einer Magnetlagersteuerung einer Pumpensteuerung gemäß 1 vorgesehen
ist;
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3 ein
Flußdiagramm
eines anderen Beispiels eines Prozesses, der von dem Digitalsignal-Prozessor
ausgeführt
wird, der in der Magnetlagersteuerung der Pumpensteuerung gemäß 1 vorgesehen
ist;
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4 eine
schematische Darstellung einer Turbomolekularpumpe gemäß einer
zweiten Ausführungsform
der Erfindung; und in
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5 ein
Flußdiagramm
zur Erläuterung
eines Beispiels ei nes Prozesses, der von einem Mikrocomputer ausgeführt wird,
der in einer Anzeigensteuerung in einer Pumpensteuerung gemäß 4 vorgesehen
ist.
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Die 1 und 2 zeigen
eine erste Ausführungsform,
bei der die Erfindung Anwendung findet bei einer Turbomolekularpumpe,
bei der ein Signalprozessor, insbesondere ein Digitalsignal-Prozessor,
der kurz als DSP bezeichnet wird, in einer Pumpensteuerung vorgesehen
ist, um ein Magnetlager zu steuern. Wie in 1 schematisch
dargestellt, besteht die Turbomolekularpumpe aus einem Pumpenkörper 1 und
einer Pumpensteuerung 2.
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Der
Pumpenkörper 1 weist
folgende Komponenten auf: ein Magnetlager 3 vom digitalen
Steuerungstyp, um einen Rotor einer Pumpe in einer kontaktfreien
Weise magnetisch zu lagern; einen Positionsdetektor 4,
um eine Position des Rotors abzutasten; eine Heizung 5 als
Heizeinrichtung, um einen vorgegebenen Bereich im Inneren des Pumpenkörpers 1 zu
heizen; und einen Temperatur detektor 6 zum Messen einer
Temperatur eines vorgegebenen Bereiches im Innenraum des Pumpenkörpers 1.
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Außerdem weist
die Pumpensteuerung 2 eine Magnetlagersteuerung 8 auf,
in der ein Signalprozessor oder DSP 7 vorgesehen ist, der
als Signalverarbeitungseinrichtung bzw. Digitalsignal-Verarbeitungseinrichtung
dient.
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Das
Magnetlager 3 besteht aus einem axialen Magnetlager und
einem radialen Magnetlager. Das axiale Magnetlager besteht aus einer
Vielzahl von Elektromagneten und ist derart angeordnet, daß es einen
Scheibenbereich des Rotors in einer kontaktfreien Weise magnetisch
lagert. Das bedeutet, an einer Position in der axialen Richtung
des Rotors ist der Scheibenbereich magnetisch gelagert in der axialen
Richtung des Rotors, und zwar unter Verwendung von magnetischen
Anziehungskräften
oder magnetischen Abstoßungskräften von
Elektromagneten.
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Das
radiale Magnetlager besteht aus einer Vielzahl von Elektromagneten
und ist derart angeordnet, daß es
den Rotor in einer kontaktfreien Weise magnetisch lagert. Das bedeutet,
an jeder von zwei Positionen in der axialen Richtung des Rotors
ist der Rotor in zwei radialen Richtungen, die sich unter rechten
Winkeln schneiden, magnetisch gelagert, und zwar unter Verwendung
von magnetischen Anziehungskräften
oder magnetischen Abstoßungskräften der
Elektromagneten.
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Der
Positionsdetektor 4 besteht aus einem axialen Positionsdetektor
und einem radialen Positionsdetektor. Der axiale Positionsdetektor
ist derart angeordnet, daß er
eine Position des Rotors in seiner axialen Richtung abtastet. Der
radiale Positionsdetektor ist derart angeordnet, daß er die
Positionen des Rotors in zwei radialen Richtungen abtastet, die einander
unter rechten Winkeln kreuzen, und zwar an jeder von zwei Positionen
in der axialen Richtung des Rotors.
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Im
folgenden kann eine detaillierte Beschreibung des Magnetlagers 3,
des Positionsdetektors 4, der Heizung 5 und des
Temperaturdetektors 6 entfallen. In diesem Zusammenhang
können
herkömmliche
Konstruktionen für
jede dieser Komponenten verwendet werden.
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Die
Magnetlagersteuerung 8 steuert das Magnetlager 3 in
Abhängigkeit
von einem Ausgangssignal des Positionsdetektors 4 oder
der Rotorposition. Ferner schaltet die Magnetlagersteuerung 8 die
Heizung 5 in Abhängigkeit
von einem Ausgangssignal des Temperaturdetektors 6 oder
der Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1 ein oder aus.
Genauer gesagt, in Abhängigkeit
von der Rotorposition liefert der DSP 7 elektromagnetische
Steuersignale für
die Elektromagneten des Magnetlagers 3 an die jeweiligen
Leistungsverstärker
für die
Elektromagneten. Die Leistungsverstärker liefern Erregungsströme in Abhängigkeit
von den elektromagnetischen Steuersignalen an die jeweiligen Elektromagneten.
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Somit
wird der Rotor in einer kontaktfreien Weise in einer vorgegebenen
Sollstellung magnetisch gelagert. Weiterhin prüft der DSP 7, ob die
Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1 innerhalb eines
vorgegebenen Toleranzbereiches liegt oder nicht. Der DSP 7 schaltet
die Heizung 5 ein, um sie in den Heizungszustand zu versetzen,
wenn die Temperatur niedriger ist als der Toleranzbereich, und der DSP 7 schaltet
die Heizung 5 ab, um sie in einen nicht-heizenden Zustand
zu versetzen, wenn die Temperatur höher ist als der Toleranzbereich.
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Auf
diese Weise wird die Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1 in
einem vorgegebenen Bereich gehalten, um auf diese Weise zu verhindern, daß komprimiertes
Gas kondensiert und dann in dem Pumpenkörper 1 haftet und
sich absetzt. Weiterhin wird dadurch, daß die Temperatur in dem vorgegebenen
Bereich gehalten wird, ein Überheizen
der Heizung 5 verhindert.
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Als
nächstes
wird ein Beispiel des Prozesses, der von dem DSP 7 durchgeführt wird,
der in der Magnetlagersteuerung 8 vorgesehen ist, unter
Bezugnahme auf das Flußdiagramm
in 2 näher
erläutert.
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Wenn
gemäß 2 die
Pumpe zu arbeiten beginnt, dann gibt der DSP 7 einen Temperatursollwert T im Inneren des Pumpenkörpers 1 vor
(Schritt 101), und dann gibt er einen Temperaturfehler
oder eine Temperaturtoleranz δ vor
(Schritt 102). Danach wird ein Positionssteuerungsprozeß in den
Schritten 103 bis 105 durchgeführt. Im Schritt 103 detektiert der
DSP 7 die Rotorposition aus einem Ausgangssignal vom Positionsdetektor 4.
Auf der Basis der so detektierten Rotorposition führt der
DSP 7 eine PID-Operation (Proportional-Integral-Differential-Operation)
durch (Schritt 104) und liefert Elektromagnet-Steuersignale
an die jeweiligen Leistungsverstärker
(Schritt 105).
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Anschließend wird
ein Heizungssteuerungsprozeß (Temperatursteuerungsprozeß) in den
Schritten 106 bis 110 durchgeführt. Im Schritt 106 detektiert der
DSP 7 die Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1 aus
einem Ausgangssignal des Temperaturdetektors 6. Die so
ermittelte Temperatur wird als t angesetzt.
Dann wird die Temperatur t mit
einem Temperaturgrenzwert (T – δ) des Temperatur-Toleranzbereiches
verglichen (Schritt 107). Wenn die Temperatur t kleiner als (T – δ) ist, geht der Prozeß zu einem
Schritt 108 weiter, um die Heizung 5 einzuschalten.
Danach kehrt der DSP 7 zum Schritt 103 zurück.
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Wenn
die Temperatur t nicht kleiner
als (T – δ) beim Schritt 107 ist,
geht der Programmablauf zu einem Schritt 109 weiter. Im
Schritt 109 wird die Temperatur t mit einem oberen Grenzwert (T + δ) des Temperaturtoleranzbereiches
verglichen. Wenn die Temperatur t größer ist
als der obere Temperaturgrenzwert (T + δ), geht der Ablauf zu einem
Schritt 110 weiter, in welchem die Heizung 5 abgeschaltet wird.
Danach kehrt der DSP 7 zum Schritt 103 zurück. Wenn
die Temperatur t beim Schritt 109 nicht größer ist
als (T + δ),
dann kehrt der DSP 7 zum Schritt 103 zurück. Die
Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1 kann aufrechterhalten
werden innerhalb eines vorgegebenen Bereiches, der im wesentlichen
gleich dem Temperaturtoleranzbereich von (T – δ) bis (T + δ) ist.
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Bei
dem oben beschriebenen Prozeß werden
der mit hoher Geschwindigkeit durchzuführende Positionssteuerungsprozeß und die
Heizungssteuerung in einer Schleife durchgeführt, die aus den Schritten 103 bis 110 besteht.
Dementsprechend erfordert die Ausführung der Schleife eine Zeit,
die länger
ist als die Zeit, die für
die Ausführung
des Positionssteuerungsprozesses allein erforderlich ist. Der DSP 7,
dem jedoch immer noch ein hohes Maß an Leistungsvermögen bleibt,
ist in der Lage, beide Steuerungen ohne wesentliche Verzögerung für die Positionssteuerung
durchzuführen.
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Wenn
der DSP ein unzureichendes Leistungsvermögen besitzt, um beide Steuerungsvorgänge mit
hoher Geschwindigkeit durchzuführen,
oder wenn die Positionssteuerung mit extrem hoher Geschwindigkeit
durchgeführt
werden muß,
dann kann ein anderer Prozeß anstelle
des oben beschriebenen Prozesses verwendet werden. Beispielsweise
kann der Positionssteuerungsprozeß viele Male während einer
vorgegebenen Zeitspanne für
eine intermittierende Ausführung
des Heizungssteuerungsprozesses ausgeführt werden, der im Vergleich
mit dem Positionssteuerungsprozeß keine so häufige Ausführung erfordert.
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3 zeigt
ein Flußdiagramm
zur Erläuterung
einer anderen Verarbeitungsschleife bei dem Positionssteuerungsprozeß und dem
Heizungssteuerungsprozeß.
Bei diesem Flußdiagramm
sind die Schritte 111, 112 und 113 zusätzlich zu
den Schritten 101 bis 110 vorgesehen, welches
die gleichen wie beim Flußdiagramm
in 2 sind. In 3 läuft der Prozeß folgendermaßen ab:
Nach der Beendigung der Einstellung des Temperatursollwertes T und des Temperaturfehlers
oder der Temperaturtoleranz δ setzt
der DSP 7 eine Zählerzahl n auf 1 (Schritt 111). Anschließend führt der
DSP 7 den Positionssteuerungsprozeß in den Schritten 103 bis 105 durch. Wenn
die Zählerzahl n kleiner ist als ein vorgegebener
Wert X (Anzahl der Ausführungen
vom Positionssteuerungsprozeß,
z. B. 100, 1000 oder dergleichen), dann ersetzt im Schritt 112 der
DSP 7 den Zählerwert n durch n + 1, um den Zählerwert
um eins zu erhöhen
(Schritt 113). Danach kehrt der DSP 7 zum Schritt 103 zurück und führt wiederholt
den Positionssteuerungsprozeß durch.
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Wenn
der Zählerwert n bis zu dem vorgegebenen
Wert X im Schritt 112 erhöht worden
ist, dann geht der DSP 7 zum Schritt 106 weiter
und führt
den Heizungssteuerungsprozeß durch.
Nach der Beendigung des Heizungssteuerungsprozesses kehrt der DSP 7 zum
Schritt 111 zurück.
Somit wird der Heizungssteuerungsprozeß während vorgegebener Male der
Ausführung
des Positionssteuerungsprozesses durchgeführt, so daß auf diese Weise eine Ausführung des
Positionssteuerungsprozesses mit hoher Geschwindigkeit gewährleistet
ist.
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Dabei
kann die Magnetlagersteuerung auch aus einer anderen digitalen Verarbeitungseinrichtung bestehen,
beispielsweise aus einem Mikrocomputer.
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Obwohl
nicht eigens dargestellt, ist in dem Pumpenkörper 1 ein Elektromotor
vorgesehen, um den Rotor mit einer Drehbewegung anzutreiben. Es können Vorkehrungen
getroffen werden, daß der Elektromotor
ebenfalls von dem DSP 7 der Magnetlagersteuerung 8 oder
von einer anderen Motorsteuerung gesteuert wird, die dann zusätzlich vorgesehen
wird.
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4 und 5 zeigen
eine zweite Ausführungsform,
bei der die Erfindung Anwendung findet bei einer Turbomolekularpumpe,
die eine Pumpensteuerung mit einem Mikrocomputer aufweist, um eine
Flüssigkristallanzeige
zu steuern. Bei dieser zweiten Ausführungsform sind entsprechende
Teile mit den gleichen Bezugs zeichen wie bei der ersten Ausführungsform
bezeichnet, so daß deren
Beschreibung an dieser Stelle entbehrlich ist.
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Der
Pumpenkörper 1 der
zweiten Ausführungsform
hat eine Konfiguration, die identisch ist mit der bei der ersten
Ausführungsform.
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Eine
Pumpensteuerung 10 dieser zweiten Ausführungsform besteht aus einer
Magnetlagersteuerung 11, einer Flüssigkristallanzeige 12 als
Anzeigeeinrichtung und einer Anzeigesteuerung 14, die einen
Mikrocomputer 13, insbesondere einen Mikrocomputer als
einzelnen Chip aufweist, der als digitale Verarbeitungseinrichtung
oder Signalverarbeitungseinrichtung dient.
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Die
Magnetlagersteuerung 11 steuert ein Magnetlager 3 in
Abhängigkeit
von einem Ausgangssignal des Positionsdetektors 4. Als
Magnetlagersteuerung 11 können auch andere herkömmliche Konfigurationen
verwendet werden, beispielsweise eine Steuerung vom digitalen Typ
unter Verwendung einer Digitalsignal-Verarbeitungseinrichtung, wie
z. B. ein Digitalsignal-Prozessor oder DSP oder ein Mikrocomputer;
sowie eine Steuerung vom analogen Typ oder dergleichen. Eine detaillierte
Beschreibung der Magnetlagersteuerung 11 ist daher an dieser Stelle
entbehrlich.
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Die
Flüssigkristallanzeige
dient zur Anzeige von Information, beispielsweise zur Anzeige des
Zustandes einer Pumpe, und hat eine Vielzahl von Flüssigkristall-Anzeigeeinrichtungen.
Hinsichtlich der Flüssigkristall-Anzeige 12 ist
ebenfalls eine detaillierte Beschreibung entbehrlich, da herkömmliche
Konfigurationen wahlweise verwendet werden können.
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Die
Anzeigesteuerung 14 steuert die Flüssigkristall-Anzeige 12 und
steuert auch den EIN/AUS-Zustand der Heizung 5 in Abhängigkeit
von einem Ausgangssignal des Temperaturdetektors 6, d.
h. in Abhängigkeit
von der Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1. Genauer gesagt,
wenn eine Komponente (nicht dargestellt) der Pumpensteuerung 10 einen
Anzeigebefehl an den Mikrocomputer 13 geliefert hat, dann
liefert der Mikrocomputer 13 ein Anzeigesteuersignal an
die entsprechende Flüssigkristall-Anzeige.
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In
gleicher Weise wie der DSP 7 bei der ersten Ausführungsform
prüft der
Mikrocomputer 13, ob die Temperatur im Inneren des Pumpenkörpers 1 innerhalb
eines vorgegebenen Fehlerbereiches oder Toleranzbereiches liegt
oder nicht. Der Mikrocomputer 13 schaltet die Heizung 5 ein,
wenn die Temperatur niedriger ist als der Toleranzbereich, und schaltet die
Heizung 5 ab, wenn die Temperatur höher ist als der Toleranzbereich.
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Unter
Bezugnahme auf das Flußdiagramm
in 5 wird nachstehend ein Beispiel eines Prozesses
erläutert,
der von dem Mikrocomputer 13 in der Anzeigesteuerung 14 ausgeführt wird.
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Wenn
gemäß 5 die
Pumpe zu arbeiten beginnt, dann gibt der Mikrocomputer 13 einen
Temperatursollwert T im Inneren
des Pumpenkörpers 1 vor
(Schritt 201) und gibt dann einen Temperaturfehler oder
eine Temperaturtoleranz δ vor
(Schritt 202). Danach werden eine Anzeigesteuerung gemäß den Schritten 203 bis 205 und
eine Heizungssteuerung gemäß den Schritten 206 bis 210 wiederholt
durchgeführt.
In der Anzeigesteuerung wird zunächst
geprüft,
ob der Mikrocomputer 13 einen Anzeigebefehl erhalten hat
oder nicht (Schritt 203). Wenn der Anzeigebefehl empfangen
worden ist, geht der Mikrocomputer 13 zum Schritt 204 weiter,
in welchem der Anzeigebefehl eingegeben wird, und ein Anzeigesteuersignal
entsprechend dem Anzeigebefehl wird der entsprechenden Flüssigkristall-Anzeige 12 zugeführt (Schritt 205).
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Dann
geht der Mikrocomputer 13 zum Schritt 206 weiter.
Wenn in dem oben erwähnten
Schritt 203 entschieden wird, daß kein Anzeigebefehl empfangen
worden ist, springt der Mikrocomputer 13 zum Schritt 206 weiter.
Der Heizungssteuerungsprozeß gemäß den Schritten 206 bis 210 ist
der gleiche wie in den Schritten 106 bis 110 in
der ersten Ausführungsform.
Der Mikrocomputer 13 kehrt zum Schritt 203 zurück, wenn
der Prozeß im
Schritt 208 beendet ist, und zwar wenn t nicht größer als (T + δ) im Schritt 209 ist
oder wenn der Prozeß im
Schritt 210 beendet ist.
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Dabei
kann die Anzeigesteuerung 14 auch aus anderen digitalen
Verarbeitungseinrichtungen aufgebaut sein, beispielsweise aus einem
Digitalsignal-Prozessor oder DSP.
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Abgesehen
von den oben beschriebenen speziellen Konfigurationen kann der Elektromotor zum
Antreiben des Rotors mit einer Drehbewegung auch von der Magnetlagersteuerung 11 oder
von einer anderen Motorsteuerung gesteuert werden, die dann zusätzlich vorgesehen
ist.