DE19821244A1 - Verfahren und Vorrichtung zur unmittelbaren optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphörendruckin Mikroplasmazellen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur unmittelbaren optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphörendruckin MikroplasmazellenInfo
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Abstract
Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zur unmittelbaren optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen. In einer solchen Mikroplasmazelle (1) ist wenigstens eine zur direkten Erfassung einer Plasmaemission geeignete integrierte optische Komponente integriert, z. B. ein Lichtwellenleiter, der in den optisch transparenten Schichten (15, 16, 17) integriert ist und bis in die oder bis zur Mikroplasmazelle reicht. Außer einer Erfassung charakteristischer Emissionslinien eines Plasmas bei einzelnen Mikroplasmazellen lassen sich Plasmaemissionen bei sequentiellem Betrieb vieler arrayförmig angeordneter Mikroplasmazellen (1) mit Hilfe eines einzigen Lichtdetektors oder Spektrometers analysieren. Ferner besteht die Möglichkeit ein Plasma zu regeln und außerdem durch die Zelle (1) strömende Gase zu analysieren.
Description
Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zur unmittelbaren optischen
Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei
Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen, einem Verfahren jeweils zur
Regelung eines Plasmas und zur Gasanalyse, die das Verfahren zur optischen
Diagnose verwenden, sowie einer zur Durchführung des optischen
Diagnoseverfahrens von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei
Atmosphärendruck geeigneten Mikroplasmazelle bzw. eines Mikroplasmaarrays.
Plasmabeschichtungsverfahren sind von großer Bedeutung für Oberflächen- und
Stoffmodifizierungen. Schwer zugängliche Bereiche sind mit konventio
nellen makroskopischen Verfahren nur selten in genügender Qualität
beschichtbar. Mikroplasmazellen in Form von Einzelzellen, Arrays von
Mikroplasmazellen und spezielle Zellengeometrien erlauben hier gezielt schwer
zugängliche Bereiche zu beschichten der Körper zu erreichen. Der Betrieb von
definierten Plasmen an Atmosphärendruck und Raumtemperatur ist ohne
direktes Feedback kaum möglich.
Befindet sich ein zu behandelnder Gegenstand in einem typischen Abstand von
1-1000 µm, so daß keine konventionelle Methode zur Online-Diagnose
eingesetzt werden kann, sind Betriebszustände nur schwer zu optimieren oder
einzuhalten, da der Abstand zur Probe, Gase und die Umweltbedingungen, wie
Druck und Temperatur auf das Plasma einwirken.
Somit benötigt man eine direkte Diagnose der Plasmaemission bei
Beschichtungs- oder Oberflächenmodifikationsvorgängen mit Hilfe von
Mikroplasmazellen, um damit die günstigsten Betriebsparameter zu erkennen
und reproduzierbare Qualitäten bei der Anwendung zu erhalten.
Erste Ansätze von Mikroplasmazellen wurden vorgestellt von K.H. Schoenbach,
M. Ciocca, A. El-Habachi, W. Shi, F.E. Peterkin, T. Tessnow in Microhollow
Electrode Discharges, Gas Discharges and their Applications, 7.9.-12.9.1997,
Greifswald, 1997, 280.
Es ist somit Aufgabe dieser Erfindung, ein Verfahren zur unmittelbaren (Online)
optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei
Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen ,sowie eine speziell zur Durchführung
des Verfahrens geeignete Mikroplasmazelle oder ein Mikroplasmaarray zu
ermöglichen, die bzw. das einen einfachen, kostengünstigen und unmittelbaren
Zugang zum emittierten Spektrum eines atmosphärennahen Plasmas in einer
Mikroplasmazelle ermöglichen bzw. ermöglicht.
Das Verfahren soll außerdem die Möglichkeit zur Analyse der durch die
Mikroplasmazelle strömenden Gase sowie zur Regelung eines in der
Mikroplasmazelle vorhandenen Plasmas ermöglichen.
Ein die obige Aufgabe lösendes Verfahren zur unmittelbaren optischen
Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei
Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen ist gemäß einem wesentlichen Aspekt
der Erfindung gekennzeichnet durch folgende Schritte:
- - Integration wenigstens einer zur direkten Erfassung der Emission des Plasmas geeigneten integrierten optischen Komponente in oder auf einem Substrat einer Mikroplasmazelle;
- - Vorsehen eines mit der optischen Komponente gekoppelten Lichtdetektors; und
- - Diagnose von durch die optische Komponente aus dem Plasma abgeleiteten und dem Lichtdetektor zugeleiteten Spektrallinien der erfaßten Plasmaemission.
Die in dem Substrat der Mikroplasmazelle integrierte optischen Komponente
oder die optischen Komponenten, wie Lichtleiter, Filter und Koppler, bieten eine
vorteilhafte und kostengünstige Lösung an, die im Plasma emittierten
Spektrallinien mit Hilfe eines Lichtdetektors, z. B. einer Photodiode zu erfassen.
Das von der Photodiode erzeugte Signal kann auch für eine Regelung des
Plasmas herangezogen werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren bietet eine Diagnosemöglichkeit mit Hilfe
eines einzigen Lichtdetektors, wenn viele array-förmig angeordnete
Mikroplasmazellen sequentiell betrieben werden und die durch die in ihnen
integrierte optische Komponente erfaßten Emissionslinien des Plasmas über
die Zellen hinweg kombiniert werden.
Ferner läßt sich das erfindungsgemäße Verfahren vorteilhaft zur Regelung des
Plasmas verwenden.
Weiterhin besteht die Möglichkeit, mit Hilfe einer Mikroplasmazelle mit der
erfindungsgemäßen optischen Diagnose die durch die Zelle strömenden Gase
(Abgase) zu analysieren.
In der erfindungsgemäßen Mikroplasmazelle kann die auf dem Substrat
derselben integrierte optische Komponente oder die integrierten optischen
Komponenten wenigstens einen Lichtwellenleiter enthalten. Optionell sind
zusätzlich Verzweiger und wellenlängenselektive Elemente, wie z. B.
einbelichtete Gitter, auf dem Substrat der Mikroplasmazelle integriert, um damit
einzelne charakteristische Linien oder Spektralbereiche des Plasmas in der
Mikroplasmazelle auszufiltern.
Bevorzugt weist eine insbesondere zur Durchführung des Verfahrens geeignete
Mikroplasmazelle auch eine Gaszuführung auf.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden nachstehend in einer
anhand der einzigen Zeichnungsfigur erläuterten Ausführungsform einer
erfindungsgemäß gestalteten Mikroplasmazelle näher beschrieben.
Die Figur zeigt einen schematischen Querschnitt des Aufbaus einer allgemein
mit der Bezugszahl 1 bezeichneten, zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens besonders geeigneten Mikroplasmazelle, in der ein Lichtwellenleiter
integriert ist.
Auf einem Substrat 10 befindet sich optional eine Isolationsschicht 11 und
darüber eine als Grundelektrode fungierende Metallschicht 12. Über der
metallischen Elektrodenschicht 12 befindet sich ein Dielektrikum 13 bzw. eine
Kombination von optisch transparenten Dielektrika 17, 15, 16, in denen ein
Lichtwellenleiter ausgebildet ist. Optional können weitere (nicht gezeigte)
optische Strukturen in die Dielektrikumsschichten 15, 16, 17 integriert sein.
Über diesen Schichten 13, bzw. 17, 15, 16 ist eine Gegenelektrode 14
entweder ganzflächig oder, was nicht gezeigt ist, zur Einzelansteuerung
strukturiert aufgebracht. Eine Gaszuführung 18 führt von unten durch das
Grundsubstrat 10, die Isolationsschicht 11 und die Grundelektrode 12 in das
Innere der Mikroplasmazelle 1.
Über die Gaszuführung 18 können neben Gasen für Beschichtungs
anwendungen auch zu analysierende Gase bei einem die erfindungsgemäße
Mikroplasmazelle verwendenden Gasanalyseverfahren eingeleitet werden.
Die Auswertung der Plasmaemission erfolgt mit einem Spektrometer, dessen
optischer Eingang an den Lichtwellenleiter 15, 16, 17 angekoppelt ist.
Bei einer alternativen Ausführungsform werden vorzugsweise durch integrierte
optische Komponenten, wie Verzweiger und wellenlängenselektive Elemente,
einbelichtete Gitter sowie Koppler, einzelne charakteristische Linien oder
Spektralbereiche des diagnostizierenden Plasmas herausgefiltert, so daß die
Detektion charakteristischer Emissionen preiswert auch mit Hilfe einer
Photodiode durchgeführt werden kann.
Bei einer alternativen Ausführung werden mehrere Mikroplasmazellen array
förmig angeordnet und z. B. sequentiell betrieben. Die Information aus den
mehreren Mikroplasmazellen kann mit gleichfalls integrierten optischen
Verknüpfungsgliedern analysiert werden.
Bei einem sequentiellen Betrieb der einzelnen Mikroplasmazellen ist eine
Analyse des Plasmas der einzelnen Plasmazellen möglich.
Mit den oben beschriebenen Merkmalen bietet die Erfindung insbesondere
folgende Vorteile:
- - Sie ermöglicht eine unmittelbare optische Diagnose (Online-Diagnose) von atmosphärennahen Plasmen in Mikroplasmazellen bei typischen Betriebszuständen.
- - Die kostengünstige und einfache Integration optischer Komponenten ermöglicht eine preiswerte Diagnose charakteristischer Emissionslinien des Plasmas mittels einzelner Photodioden.
- - Es bietet sich die Möglichkeit, eine unmittelbare optische Diagnose bei sequentiellem Betrieb vieler Zellen in einem Array mit einem einzigen Detektor auszuführen.
- - Das erfindungsgemäße Verfahren eröffnet die Möglichkeit, ein Plasma zu regeln.
- - Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht ferner, durch die Mikroplasmazelle strömende Gase (Abgase) zu analysieren.
Claims (10)
1. Verfahren zur unmittelbaren optischen Diagnose von atmosphärennahen
Plasmen und Plasmen bei Atmosphärendruck in Mikroplasmazellen,
gekennzeichnet durch folgende Schritte:
- - Integration wenigstens einer zur direkten Erfassung der Emission des Plasmas geeigneten integrierten optischen Komponente in bzw. auf einem Substrat einer Mikroplasmazelle;
- - Vorsehen eines mit der optischen Komponente gekoppelten Lichtdetektors oder Spektrometers; und
- - Diagnose von durch die optische Komponente aus dem Plasma abgeleiteten und dem Lichtdetektor oder Spektrometer zugeleiteten Spektral linien der erfaßten Plasmaemission.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die von den
optischen Komponenten erfaßten Emissionen bei sequentiellem Betrieb
mehrerer array-förmig angeordneter Mikroplasmazellen kombiniert werden, und
daß die Diagnose mit einem gemeinsamen Lichtdetektor ausgeführt wird.
3. Verfahren zur Regelung eines Plasmas gekennzeichnet durch die
Verwendung des Diagnoseverfahrens nach Anspruch 1 oder 2.
4. Verfahren zur Gasanalyse insbesondere von einer Mikroplasmazelle
zugeführten Gasen gekennzeichnet durch die Verwendung des Diagnose
verfahrens nach Anspruch 1 oder 2.
5. Mikroplasmazelle (1) insbesondere zur Durchführung eines Verfahrens
nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens
eine zur direkten Erfassung einer Plasmaemission geeignete integrierte
optische Komponente (15, 16, 17), die bis in die Mikroplasmazelle (1) oder an
die Mikroplasmazelle hin reicht, auf dem Substrat (13) der Mikroplasmazelle (1)
integriert ist.
6. Mikroplasmazelle nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
integrierte optische Komponente wenigstens einen Lichtwellenleiter (15, 16, 17)
enthält.
7. Mikroplasmazelle nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet,
daß zusätzlich Verzweiger und wellenlängenselektive Elemente zum Ausfiltern
einzelner charakteristischer Linien oder Spektralbereiche des Plasmas in dem
Substrat integriert sind.
8. Mikroplasmazelle nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß sie eine Gaszuführung (18) enthält.
9. Mikroplasmazelle nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß die optische(n) Komponente(n) in einer eine metallische
Grundelektrode (12) von einer Gegenelektrode (14) isolierenden Dielektrikums
schicht (13) integriert ist bzw. sind.
10. Mikroplasmazelle nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Dielektrikumsschicht eine Kombination optisch transparenter Dielektrika (15,
16, 17) enthält, in die die optische(n) Komponente(n) integriert ist bzw. sind.
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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| DE1998121244 Ceased DE19821244A1 (de) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | Verfahren und Vorrichtung zur unmittelbaren optischen Diagnose von atmosphärennahen Plasmen und Plasmen bei Atmosphörendruckin Mikroplasmazellen |
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|---|---|
| DE (1) | DE19821244A1 (de) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10259831A1 (de) * | 2002-12-19 | 2004-07-08 | Imt Innovative Messtechnik Gmbh | Plasmagenerator |
| WO2006075008A1 (de) | 2005-01-12 | 2006-07-20 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Mikroplasmaarray |
| DE102006047047A1 (de) * | 2006-10-05 | 2008-04-10 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Plasmagenerator für die spektroskopische Gasanalytik |
| EP2153221A4 (de) * | 2007-03-26 | 2011-01-19 | Harry E Ruda | Luftqualtiätsmessung mit einem mikrooptischen mechanischen gassensor |
| DE102016200517A1 (de) * | 2016-01-18 | 2017-07-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikroelektronische Bauelementanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren für eine mikroelektronische Bauelementanordnung |
| DE102022208770A1 (de) * | 2022-08-24 | 2024-02-29 | Hochschule Reutlingen, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Vorrichtung zum Erfassen von mindestens einer gasförmigen Komponente in einem Gas |
| WO2025087536A1 (en) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | Respiro B.V. | Gas analysis system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4256404A (en) * | 1979-09-28 | 1981-03-17 | Phillips Petroleum Company | Optoelectronic feedback control for a spectrometer |
| US5353113A (en) * | 1993-07-15 | 1994-10-04 | Cetac Technologies Incorporated | Single and multiple radiation transparent afterglow electric discharge detector systems |
-
1998
- 1998-05-12 DE DE1998121244 patent/DE19821244A1/de not_active Ceased
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4256404A (en) * | 1979-09-28 | 1981-03-17 | Phillips Petroleum Company | Optoelectronic feedback control for a spectrometer |
| US5353113A (en) * | 1993-07-15 | 1994-10-04 | Cetac Technologies Incorporated | Single and multiple radiation transparent afterglow electric discharge detector systems |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Applied Optics, 36, 1997, S. 4349-4353 * |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10259831A1 (de) * | 2002-12-19 | 2004-07-08 | Imt Innovative Messtechnik Gmbh | Plasmagenerator |
| DE10259831B4 (de) * | 2002-12-19 | 2005-06-09 | Imt Innovative Messtechnik Gmbh | Plasmagenerator |
| WO2006075008A1 (de) | 2005-01-12 | 2006-07-20 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Mikroplasmaarray |
| DE102005002142A1 (de) * | 2005-01-12 | 2006-07-20 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Mikroplasmaarray |
| US8545764B2 (en) | 2005-01-12 | 2013-10-01 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Microplasma array |
| DE102006047047A1 (de) * | 2006-10-05 | 2008-04-10 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Plasmagenerator für die spektroskopische Gasanalytik |
| DE102006047047B4 (de) * | 2006-10-05 | 2009-04-16 | Gesellschaft zur Förderung der Analytischen Wissenschaften e.V. | Plasmagenerator für die spektroskopische Gasanalytik |
| EP2153221A4 (de) * | 2007-03-26 | 2011-01-19 | Harry E Ruda | Luftqualtiätsmessung mit einem mikrooptischen mechanischen gassensor |
| DE102016200517A1 (de) * | 2016-01-18 | 2017-07-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikroelektronische Bauelementanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren für eine mikroelektronische Bauelementanordnung |
| DE102022208770A1 (de) * | 2022-08-24 | 2024-02-29 | Hochschule Reutlingen, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Vorrichtung zum Erfassen von mindestens einer gasförmigen Komponente in einem Gas |
| WO2025087536A1 (en) * | 2023-10-26 | 2025-05-01 | Respiro B.V. | Gas analysis system |
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