DE19818038A1 - Dualmode-Oberflächenwellenfilter - Google Patents

Abstract

Es wird ein DMS-Filter vorgeschlagen, welches symmetrisch oder unsymmetrisch betreibbar ist, bei dem zumindest zwei an sich bekannte DMS-Filltereinheiten inline nebeneinander angeordnet und seriell und/oder parallel verschaltet sind.

Description

Höchstselektive Hochfrequenz-Oberflächenwellenfilter werden heute als Longitudinalmodenresonatorfilter (= Dualmode-OFW-Fil­ ter = DMS-Filter) auf Lithiumniobat oder Lithiumtantalat realisiert.

Fig. 1A und 1B zeigen solche DMS-Filter, bestehend bei­ spielsweise aus insgesamt drei akustischen Wandlern, die ne­ beneinander in einer Spur zwischen zwei Reflektoren angeord­ net sind. Zwei der Wandler können dabei parallel oder seriell verschaltet mit dem Ein- oder Ausgang verbunden werden. Ein modifiziertes DMS-Filter ist beispielsweise aus der EP-A-0 605 884 bekannt. Die beiden äußeren Wandler sind wie in Fig. 1B mit einem symmetrischen Ein- oder Ausgang verbunden, der mittlere Wandler ist unsymmetrisch mit Aus- oder Eingang ver­ bunden. Die beiden äußeren Wandler werden dabei gegenphasig angesteuert, was bei gleichem Abstand zu dem mittleren Wand­ ler durch entsprechend umgekehrte Anordnung der Elektroden­ finger gewährleistet ist.

Bei der Realisierung solcher Filter mit niedriger Impedanz tritt bei sehr hohen Frequenzen als Problem auf, daß die ohm­ schen Verlustwiderstände der Elektrodenfinger zunehmen. Zur Lösung dieses Problems ist es bekannt, mehrere solcher Spuren mit jeweils für sich kleinerer Apertur parallel zueinander anzuordnen und parallel zu verschalten. Bei einer solchen Verschaltung treten insgesamt geringere ohmsche Verluste auf.

Aufgrund der symmetrischen Bauweise der DMS-Filter besitzen diese eine eingebaute BALUN-Funktionalität, das heißt, sie können symmetrisch oder unsymmetrisch betrieben werden. Ein symmetrischer Betrieb bedeutet, daß zwei Ein- oder Ausgänge auf entgegengesetzter Phase liegen, im Idealfall mit symme­ trischer Phasendifferenz von exakt 180°. Um bei symmetrischem Betrieb eine hohe Sperrselektivität zu erhalten, ist ein sym­ metrisches Filterlayout erforderlich. Dies bedeutet insbeson­ dere, die dem Filter innewohnenden Kapazitäten symmetrisch auf die Wandler zu verteilen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein DMS-Filter mit hochsymmetrischer Anordnung anzugeben, dessen Herstellung fertigungstechnisch erleichtert ist, das eine hohe Sperrse­ lektion zeigt und das niedrige ohmsche Verluste aufweist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein DMS-Filter nach Anspruch 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Das erfindungsgemäße DMS-Filter ist symmetrisch oder unsymme­ trisch betreibbar und weist zumindest zwei miteinander ver­ schaltete DMS-Filtereinheiten auf. Während bislang mehrere Filtereinheiten auf unterschiedlichen, parallel nebeneinander angeordneten Spuren realisiert waren, sind die DMS-Fil­ tereinheiten des erfindungsgemäßen DMS-Filters nun neben­ einander in einer "einzigen" Spur so angeordnet, daß ihre Aperturen in Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflä­ chenwelle auf gleicher Höhe liegen. Zur akustischen Entkopp­ lung ist zwischen den beiden Filtereinheiten zumindest ein Reflektor vorgesehen, der gemäß einer Ausführung der Erfin­ dung gemeinsam von beiden Filtereinheiten genutzt wird.

Durch die erfindungsgemäße Anordnung mehrerer Filtereinheiten auf gleicher Höhe ist das Herstellen einer symmetrischen An­ ordnung fertigungstechnisch erleichtert. Bei nur einer aku­ stischen Spur können die elektrischen Anschlüsse für die Wandler ohne Probleme auf dem Substrat geführt werden. Die Kontaktierung ist so erleichtert, ohne daß unerwünschte Kapa­ zitäten (aufgrund nahe beieinanderliegender Leiterbahnen be­ fürchtet werden müssen. Wird ein zwischen zwei DMS-Fil­ tereinheiten liegender Reflektor von beiden Einheiten ge­ meinsam genutzt, so wird gegenüber bekannten DMS-Filtern ein Reflektor eingespart und damit zusätzlicher Platz auf dem Substrat gewonnen und Elektrodenmaterial eingespart.

Bei der Verschaltung der beiden DMS-Filtereinheiten sind alle Kombinationen möglich. Da im DMS-Filter zumindest zwei Fil­ tereinheiten mit je zumindest zwei Wandlern vorgesehen sind, weist ein erfindungsgemäßes DMS-Filter zumindest zwei Ein- und zwei Ausgangswandler auf. Die Eingangswandler können da­ bei parallel oder seriell miteinander verschaltet sein. Unab­ hängig von der Verschaltung der Eingänge können auch die Aus­ gänge parallel oder seriell verschaltet sein. Vorzugsweise sind jedoch zumindest die Aus- oder die Eingänge parallel verschaltet.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist neben den in einer ersten Spur inline angeordneten Filtereinheiten noch eine zweite dazu parallele Spur vorgesehen, die zumindest ei­ ne weitere DMS-Filtereinheit, vorzugsweise jedoch weitere in­ line angeordnete DMS-Filtereinheiten aufweist. Die beiden Spuren sind dabei kaskadierend miteinander verschaltet, wobei die Ausgänge der ersten Spur mit den Eingängen der zweiten Spur verbunden sind. Allgemein gilt, daß die Sperrselektivi­ tät des gesamten DMS-Filters mit zunehmender Anzahl an DMS-Fil­ tereinheiten zunimmt.

In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausgestaltung weist das DMS-Filter zumindest einen Wandler auf, der durch elektrische Auftrennung einer Stromschiene in zwei zueinander (achsen) symmetrische Teilwandler aufgeteilt ist. Eine solche als V-Split-Wandler bezeichnete Anordnung ermöglicht eine Impedanz­ anpassung ohne zusätzliche äußere Schaltelemente. Ein DMS-Filter mit einem V-Split-Wandler, insbesondere mit einem V-Split-Ausgangswandler ermöglicht es, am Eingang beispielswei­ se eine geringe Impedanz von 50 Ohm und am Ausgang eine höhe­ re und beispielsweise 200 Ohm betragende Impedanz vorzusehen. Dies ist besonders beim Übergang von symmetrischer zu unsym­ metrischer Betriebsweise von Bedeutung. Beim V-Split-Wandler sind die beiden Teilwandler spiegelsymmetrisch zueinander und in Serie geschaltet. Auf diese Weise wird die Impedanz dieser Struktur um den Faktor 4 erhöht. Die gemeinsame zweite Strom­ schiene der beiden Teilwandler kann floaten. Dabei liegt kein Festpotential auf der zweiten Stromschiene an, so daß sich deren elektrisches Potential in Abhängigkeit von dem an der anderen Stromschiene anliegenden Potential "frei" einstellen kann. Möglich ist es jedoch auch, die zweite gemeinsame Stromschiene des V-Split-Wandlers zu erden.

Gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung kann die Erdung der zweiten Stromschiene des V-Split-Wandlers über dessen beide außen liegende Elektrodenfinger vorgenommen werden, die dabei mit jeweils einer Stromschiene des benachbarten Wand­ lers und diese Stromschienen wiederum mit je einem geerdeten Reflektor verbunden sind. Auf diese Weise wird eine frei floatende Masse vermieden und das Filterverhalten wird bezüg­ lich der Ein- und Ausgänge symmetrischer. Außerdem werden mit dieser leitenden Verbindung zu einer geerdeten Struktur gege­ benenfalls bestehende Pyrospannungen abgebaut, die während eines mit Temperaturerhöhung verbundenen Herstellungsverfah­ rens im üblicherweise auch pyroelektrischen Substrat erzeugt werden können. Damit wird auch erreicht, daß die DMS-Fil­ tereinheiten ein geringeres Übersprechen zeigen. Im symme­ trischen Betrieb läßt sich dadurch die Selektion verbessern.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird das DMS-Fil­ ter in Kaskade mit Resonanzelementen und insbesondere mit Oberflächenwellenresonatoren geschaltet. Diese können seriell oder parallel zu den Ein- oder Ausgängen geschaltet sein. Durch eine solche Kaskadierung wird die Selektion und die Leistungsverträglichkeit des DMS-Filters verbessert.

Mehrere parallel- oder seriell verschaltete OFW-Resonatoren können weiterhin mit dem erfindungsgemäßen DMS-Filter zu Lad­ dertypestrukturen kombiniert werden.

Gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung weist das DMS-Filter zumindest zwei parallel verschaltete Filtereinheiten auf, die mit ersten Oberflächenwellenresonatoren in Serie ge­ schaltet sind, wobei die Eingänge über seriell verbundene zweite Oberflächenwellenresonatoren gegenseitig überbrückt sind, wobei eine sogenannte Balanced Bridge entsteht.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei­ spielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert.

Fig. 1 zeigt zwei Grundformen bekannter DMS-Filter.

Fig. 2 zeigt die Parallelschaltung zweier inline angeordne­ ter DMS-Filtereinheiten mit je drei Wandlern.

Fig. 3 zeigt die Parallelschaltung von zwei inline angeord­ neten DMS-Filtereinheiten mit je drei Wandlern und einem gemeinsam genutzten inneren Reflektor.

Fig. 4 zeigt zwei inline angeordnete DMS-Filtereinheiten mit seriell verschaltetem Eingang und parallel verschal­ tetem Ausgang.

Fig. 5 zeigt eine Inline-Anordnung mit zwei Filtereinheiten mit seriellem Eingang und parallelem Ausgang.

Fig. 6 zeigt ein Filter mit zwei Spuren mit jeweils zwei DMS-Filtereinheiten, die eine Serien-Pa­ rallelverschaltung aufweisen.

Fig. 7 zeigt eine DMS-Filtereinheit mit V-Split-Ein­ gangswandler und "verbundenen" Massen.

Fig. 8 zeigt eine parallel geschaltete Inline-Anordnung von zwei Filtereinheiten mit verbundenen Massen.

Fig. 9 zeigt eine Serien-Parallelverschaltung einer Inline- Anordnung von vier Filtereinheiten mit vertikal ge­ splitteten inneren Wandlern mit floatender Masse.

Fig. 10 zeigt eine Serien-Parallelschaltung einer Inline-An­ ordnung von zwei Filtereinheiten in Kaskade mit zwei seriell verschalteten Resonatoren.

Fig. 11 zeigt eine Serien-Parallelverschaltung einer Inline-An­ ordnung von zwei DMS-Filtereinheiten in Kaskade mit parallel verschaltetem Resonator.

Fig. 12 zeigt eine Serien-Parallelschaltung einer Inline-An­ ordnung von zwei Filtereinheiten in Kaskade mit ei­ ner Laddertypestruktur aus zwei Serienresonatoren und einem Parallelresonator.

Fig. 13 zeigt eine parallel verschaltete Inline-Anordnung von zwei Wandlereinheiten in Kaskade mit einer Balan­ ced Bridge, bestehend aus vier OFW-Resonatoren.

Fig. 1 zeigt zwei aus dem Stand der Technik bekannte Fil­ tereinheiten mit jeweils drei, zwischen zwei Reflektoren an­ geordneten Wandlern. Fig. 1a zeigt eine klassische Fil­ tereinheit, bei der die beiden äußeren Wandler bei jeweils gleichem Abstand zum mittleren Wandler spiegelsymmetrisch zu­ einander aufgebaut und daher gleichartig elektrisch kontak­ tiert sind. Die beiden äußeren Wandler der in Fig. 1b darge­ stellten Filtereinheit sind bei gleichem Abstand zum mittle­ ren Wandler unsymmetrisch bezüglich einer Spiegelebene. Dem­ entsprechend liegen die beiden obenliegenden Stromschienen der beiden äußeren Wandler auf unterschiedlichem Potential.

Fig. 2 zeigt ein erstes erfindungsgemäßes DMS-Filter mit zwei inline angeordneten Filtereinheiten F1 und F2. Jede Fil­ tereinheit besteht dabei aus drei Wandlern Wa, Wb und Wc, die wie die übrigen Filterbestandteile in der Figur zusätzlich mit einem Zahlenindex, der die Zugehörigkeit zur entsprechen­ den Filtereinheit F1 oder F2 ausdrückt, bezeichnet. Jede Fil­ tereinheit F ist beidseitig von je einem Reflektor Ra, Rb be­ grenzt. Die Eingangswandler Wb der beiden Filtereinheiten F1, F2 sind parallel verschaltet. Auch die insgesamt vier Aus­ gangswandler Wa, Wc der beiden Filtereinheiten sind parallel so verschaltet, daß am Ausgang OUT ein Balanced Betrieb mit einem Phasenunterschied von 180° möglich ist. Wird einer der beiden Ausgänge auf ein festes Potential gelegt (z. B. auf Masse), so ist auch unsymmetrischer Betrieb möglich. Die Ab­ stände der Wandler W zueinander und zu den Reflektoren sind so gewählt, daß die Funktionalität der parallel geschalteten Filtereinheiten erhalten bleibt. Dies bedeutet, daß die elek­ trische Phase mit der akustischen Phase der Oberflächenwelle übereinstimmt. Entscheidend für die Übereinstimmung ist der Abstand zwischen den beiden äußersten Elektrodenfinger be­ nachbarter Wandler bzw. der Abstand der äußersten Elektroden­ finger zu den Reflektoren, der jeweils ein entsprechendes Vielfaches von Lamda/2 (λ/2) beträgt. Die zusätzlich zu den akustisch durch die Verbindungsleitung und Anschlüsse erzeug­ ten elektrischen Beiträge sind bei dieser Anordnung hochsym­ metrisch, das heißt, diese zusätzlichen Beiträge sind an den einzelnen symmetrischen Ausgängen "+" und "-" gleich. Damit ist gewährleistet, daß ein symmetrischer Betrieb mit einem exakten Phasenunterschied von 180° am Ausgang OUT möglich ist.

Fig. 3 zeigt ein DMS-Filter mit zwei parallel verschalteten Filtereinheiten F1, F2, die jeweils aus drei Wandlern W be­ stehen. Der Wandleraufbau dieses Filters ist identisch mit dem in Fig. 2 dargestellten Filter mit der Ausnahme, daß der innere Reflektor R12 beiden Filtereinheiten gemeinsam ange­ hört und somit doppelt genutzt wird. In der Figur ist außer­ dem der zweite Ausgang auf Festpotential gelegt, während am Eingang mit Plus und Minus bezeichnete symmetrische Potentia­ le vorgesehen sind. Ohne Einschränkung der Funktionsfähigkeit ist jedoch auch ein umgekehrter Betrieb möglich, bei dem ei­ nes der Eingangspotentiale auf Festpotential gelegt wird, wo­ bei gleichzeitig die beiden Ausgänge als symmetrische Ausgän­ ge geschaltet werden können.

Die Filterstrukturen, also die Wandler und Reflektoren sind in den Figuren nur schematisch dargestellt und können in der Realität eine beliebige und in der Regel weitaus höhere An­ zahl von Elektrodenfingern bzw. Reflektorstreifen aufweisen. Durch den gemeinsam von beiden Filtereinheiten genutzten mittleren Reflektor R12 ist diese Ausführung gemäß Fig. 3 deutlich kürzer als die in Fig. 2 dargestellte, so daß Substratoberfläche eingespart werden kann, was sich zum einen in einer möglichen höheren Integrationsdichte und zum andern in einem Kostenvorteil niederschlägt.

Fig. 4 zeigt einen aus zwei Filtereinheiten bestehendes DMS-Filter mit jeweils drei Wandlern und einem dazwischenliegen­ den gemeinsam genutzten Reflektor R12. In Aufbau und Anord­ nung der Wandler und Reflektoren stimmt dieses Filter mit dem in Fig. 3 dargestellten weitgehend überein mit der Ausnahme, daß die Elektrodenfingeranordnung der beiden Ausgangswandler W2a, W2c der Filtereinheit F2 gegenüber einer zur Ausbrei­ tungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle parallelen Achse gespiegelt sind. Auf diese Weise wird die elektrische Phase der beiden Ausgangswandler bei gleichbleibendem Abstand der Wandler zueinander um 180° verschoben. Die Eingänge der beiden Filtereinheiten F1, F2 sind seriell verschaltet, die Ausgänge der beiden Filtereinheiten dagegen parallel.

Fig. 5 zeigt ein weiteres Filter, bei dem die Ausgestaltung der Wandler und Reflektoren exakt mit der des in Fig. 4 dar­ gestellten Filters übereinstimmt. Allerdings sind hier die Eingänge auf die in jeder Filtereinheit jeweils außenliegen­ den Wandler Wa, Wc gelegt, während die Ausgänge mit den je­ weils innenliegenden Wandlern Wb verbunden sind. Bezüglich der Eingänge sind die beiden Filtereinheiten seriell, bezüg­ lich der Ausgänge parallel verschaltet. Der in der Figur dar­ gestellte Filter ist unsymmetrisch betreibbar, da der "zweite Ausgang" mit Festpotential verbunden ist. Durch entsprechende Parallelverschaltung dieses "zweiten Ausgangs" kann daraus auch ein symmetrischer Ausgang erhalten werden.

Fig. 6 zeigt ein erfindungsgemäßes DMS-Filter, das aus zwei Inline-Anordnungen von jeweils zwei Filtereinheiten mit je­ weils drei Wandlern besteht. Die beiden Inline-Anordnungen sind dabei kaskadiert. Dies bedeutet, daß die in den Fil­ tereinheiten jeweils außenliegenden "Ausgangswandler" der er­ sten Inline-Anordnung A mit den "Eingangswandlern" der zwei­ ten Inline-Anordnung B verbunden sind. Der Eingang ist mit den beiden jeweils mittleren Wandlern W1b, W2b in jeder Fil­ tereinheit der ersten Inline-Anordnung, die Ausgänge dagegen mit den jeweils mittleren Wandlern der beiden Filtereinheiten der zweiten Inline-Anordnung B verbunden. In der Figur sind die Eingänge der beiden Filtereinheiten F der ersten Inline-An­ ordnung A seriell, die Ausgänge der beiden Filtereinheiten der zweiten Inline-Anordnung B dagegen parallel verschaltet. Möglich ist es jedoch, bei diesem Filter, ebenso wie bei al­ len bislang dargestellten, Ein- und Ausgänge jeweils mitein­ ander zu vertauschen, wobei im dargestellten DMS-Filter der Fig. 6 parallel geschaltete Eingänge und seriell geschaltete Ausgänge erhalten werden.

Durch die Kaskadierung zweier Inline-Anordnungen wird die Frequenzselektivität des DMS-Filters im Vergleich zu einem Filter mit nur einer Inline-Anordnung wesentlich erhöht. Dies bedeutet, daß Signale außerhalb des Durchlaßbereichs liegen­ der Frequenzen stärker unterdrückt werden.

In Fig. 7 ist eine einzelne Filtereinheit F dargestellt, die alternativ in erfindungsgemäßen DMS-Filtern eingesetzt werden kann. Als Besonderheit weist diese Filtereinheit einen soge­ nannten V-Split-Wandler auf, der durch symmetrische Auftei­ lung einer Stromschiene in zwei Teilwandler Va, Vb aufge­ trennt ist.

Aufgrund der symmetrischen Aufteilung des V-Split-Wandlers liegen die beiden Eingänge an den beiden Teilwandlern Va, Vb auf entgegengesetztem Potential. Die beiden Ausgangswandler Wa, Wc beiderseits des V-Split-Wandlers dieser drei Wandler umfassenden Filtereinheit sind parallel mit dem Ausgang ver­ bunden. Bei gleichem Abstand der beiden äußeren Wandler-vom V-Split-Wandler wird die unterschiedliche Phase durch zuein­ ander spiegelbildlich angeordnete äußere Wandler Wa, Wc rea­ lisiert. Neben dem unsymmetrischen (Single Ended) Ausgang liegt der entsprechende Gegenpol der Ausgangswandler auf Festpotential, insbesondere auf Masse. Dies wird in der dar­ gestellten Filtereinheit dermaßen realisiert, daß die auf Festpotential liegende Stromschiene der äußeren Wandler ver­ längert ist und mit dem jeweils benachbarten äußeren Reflek­ tor R verbunden ist. Dieser wiederum besitzt einen Anschluß an ein Festpotential. Die durchgängige Stromschiene des V-Split Wandlers liegt auf frei einstellbarem (floatendem) Po­ tential.

Die elektrisch leitende Verbindung der äußeren Wandler mit den auf Festpotential liegenden Reflektoren hat den Vorteil, daß für die äußeren Wandler kein eigener Masseanschluß vorge­ sehen werden muß.

Fig. 8 zeigt ein weiteres erfindungsgemäßes DMS-Filter, bei dem zwei Filtereinheiten mit V-Split-Wandler inline angeord­ net sind. Im Unterschied zu der in Fig. 7 dargestellten Fil­ tereinheit weist dieses Filter keinerlei floatende Wandler­ teile auf. Damit wird die Gesamtperformance des Filters ver­ bessert. Bei symmetrischer Betriebsweise weisen die beiden Ein- bzw. Ausgänge aufgrund der hohen Symmetrie einen Phasen­ unterschied von exakt 180° auf. Auch können sich zwischen den einzelnen Wandlerteilen keine Pyrospannungen aufbauen, bzw. solche Pyrospannungen, die aufgrund des Herstellungsverfah­ rens im Substrat erzeugt wurden, werden auf diese Weise leicht abgebaut. Dies vermeidet Beschädigungen des Filters durch Spannungsüberschläge. Die entsprechenden Teilwandler der V-Split-Eingangswandler beider Filtereinheiten sind par­ allel verschaltet, ebenso die Ausgänge. Zwischen den beiden Filtereinheiten F1 und F2 liegt ein gemeinsamer genutzter Re­ flektor R12.

Fig. 9 zeigt eine Inline-Anordnung von vier Filtereinheiten F1 bis F4 mit zwischen je zwei Filtereinheiten liegendem ge­ meinsam genutzten Reflektor. Die mittleren Wandler jeder Fil­ tereinheit sind als V-Split-Wandler mit floatender Masse aus­ gebildet. Die jeweils äußeren Wandler einer jeden Filterein­ heit sind parallel überbrückt und durch Verlängerung der ent­ sprechenden Strömschiene mit den Reflektoren R verbunden. Auf diese Weise auf gleichem Potential liegende Reflektoren sind parallel verschaltet (???) und mit dem Ausgang verbunden.

Fig. 10 zeigt ein weiteres erfindungsgemäßes Filter mit zwei inline angeordneten Filtereinheiten, welches ähnlich wie das in Fig. 5 dargestellte Filter aufgebaut ist. Zusätzlich ist dieses Filter jedoch über die seriell geschalteten Eingänge seriell mit jeweils einem weiteren Resonanzelement RE_a ver­ bunden, insbesondere einem hier dargestellten Eintor-OFW-Re­ sonator. Durch diese Kaskadierung mit weiteren Resonanzele­ menten kann die Selektion und die Leistungsverträglichkeit des Bauteils verbessert werden.

Auch Fig. 11 zeigt ein der Fig. 5 entsprechendes DMS-Fil­ ter, bei dem die seriell verschalteten Eingänge mit einem Resonanzelement RE_b parallel überbrückt sind. Auch diese Art der Kaskadierung mit zusätzlichem Resonanzelement (hier: Ein­ tor-OFW-Resonator) erhöht die Selektion und die Leistungsver­ träglichkeit. Zur einfacheren Verschaltung und zur Vermeidung floatender Wandlerteile sind hier die beiden Stromschienen verlängert und mit jeweils einem Reflektor des Eintorresona­ tors verbunden. Die Verschaltung des Eintorresonators erfolgt über die Reflektoren.

Fig. 12 zeigt ein weiteres DMS-Filter mit einer Filtergrund­ struktur entsprechend der Fig. 5, wobei dieses Filter zu­ sätzlich noch mit zu den Eingängen seriell geschalteten er­ sten Resonanzelementen RE_a und einem die beiden Eingänge par­ allem überbrückenden zweiten Resonanzelement RE_b in Kaskade geschaltet ist. Eine Kaskadierung mit mehreren seriellen und parallelen Resonanzelementen wird auch als Ladder-Type-Struk­ tur bezeichnet.

Fig. 13 zeigt eine Inline-Anordnung von zwei DMS-Fil­ tereinheiten mit jeweils drei Wandlern und einem dazwi­ schenliegenden gemeinsam genutzten Reflektor. Die in den Fil­ tereinheiten außenliegenden Eingangswandler sind parallel mit dem Eingang über ein serielles Resonanzelement RE verschaltet und zusätzlich über Kreuz überbrückt. Eine solche Anordnung wird auch als Balanced Bridge bezeichnet. Für diese Balanced Bridge sind insgesamt vier Resonanzelemente RE erforderlich, die aus zwei unterschiedlichen Eintor-OFW-Resonatoren RE_a und RE_b bestehen, die gegeneinander verstimmt sind. Durch die ge­ genseitige Verstimmung werden die erwünschten Übertragungsei­ genschaften erhalten. Auch durch diese Kaskadierung wird die Selektion und die Leistungsverträglichkeit des Baueteils ver­ bessert.

Über die in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele hinaus läßt sich die Erfindung noch in einer Vielzahl weite­ rer Kombinationen verwirklichen. Insbesondere können Inline-An­ ordnungen mit mehr als den dargestellten vier Filtereinhei­ ten realisiert werden. Auch ist es möglich, mehr als zwei In­ line-Anordnungen parallel nebeneinander anzuordnen. Auch kann eine einzelne Filtereinheit mit nur zwei Wandlern realisiert werden. Auch vier und mehr Wandler pro Filtereinheit sind möglich, wobei sich dann Ein- und Ausgangswandler alternie­ rend abwechseln. Auch Laddertypestrukturen mit mehr als den dargestellten Resonanzelementen können aufbaut werden. Prin­ zipiell ist es auch möglich, in jedem der dargestellten Fil­ ter eine Sorte, ausgewählt aus Ein- und Ausgangswandlern durch V-Split-Wandler zu ersetzen, um eine Impedanzanpassung zu erreichen. Alle dargestellte unsymmetrischen Ein- und Aus­ gänge mit festem Festpotential können auch so betrieben wer­ den, daß das Potential floatet. Alternativ können sie auch symmetrisch betrieben werden.

Claims (12)

1. Dualmode-Oberflächenwellenfilter (DMS-Filter),

• - das symmetrisch oder unsymmetrisch betreibbar ist,
• - bei dem zumindest zwei seriell und/oder parallel miteinan­ der verschaltete, Filtereinheiten (F1, F2) auf einem piezo­ elektrischen Substrat vorgesehen sind,
• - bei dem jede Filtereinheit zumindest zwei, zwischen jeweils zwei Reflektoren (R) angeordnete, mit Ein- und/oder Ausgän­ gen (IN, OUT) verbundene akustische Wandler (W) aufweist,
• - bei dem zumindest zwei Filtereinheiten in einer ersten Spur mit zumindest einem dazwischen liegenden Reflektor neben­ einander in einer Inline-Anordnung angeordnet sind, so daß ihre Aperturen senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der aku­ stischen Oberflächenwelle auf gleicher Höhe liegen.

2. DMS-Filter nach Anspruch 1, bei dem sowohl die Eingänge (IN) der zumindest zwei Fil­ tereinheiten (F) der ersten Spur als auch die Ausgänge (OUT) der Filtereinheiten (F) parallel verschaltet sind.

3. DMS-Filter nach Anspruch 1, bei dem die Eingänge (IN) der zumindest zwei Filtereinheiten (F) der ersten Spur parallel und bei dem die Ausgänge (OUT) der Filtereinheiten (F) in Serie geschaltet sind oder umge­ kehrt.

4. DMS-Filter nach Anspruch 1, bei dem sowohl die Eingänge (IN) der Filtereinheiten (F) als auch die Ausgänge (OUT) der Filtereinheiten (F) in Serie ge­ schaltet sind.

5. DMS-Filter nach einem der Ansprüche 1-4, bei dem die nebeneinander in einer ersten Spur (A) angeordne­ ten Filtereinheiten (F) in Kaskade mit weiteren, in einer pa­ rallelen zweiten Spur (B) angeordneten Filtereinheiten (F) verschaltet sind.

6. DMS-Filter nach Anspruch 5, bei dem die Filtereinheiten (F) in der parallelen zweiten Spur (B) eine Inline-Anordnung besitzen.

7. DMS-Filter nach einem der Ansprüche 1-6, bei dem zumindest ein Wandler (V) durch symmetrische Auftren­ nung einer Stromschiene in zwei zueinander achsensymmetrische Teilwandler (Va, Vb) aufgeteilt ist.

8. DMS-Filter nach Anspruch 7, bei dem die beiden äußeren Fingerelektroden der nicht aufge­ trennten Stromschiene des aufgeteilten Wandlers (V_a, V_b) mit jeweils einer Stromschiene der beiden benachbarten Wandler verbunden sind, die wiederum an Masse angeschlossen sind.

9. DMS-Filter nach einem der Ansprüche 1-8, das in Kaskade mit einem seriellen Oberflächenwellen-Re­ sonator (RE_a) geschaltet ist.

10. DMS-Filter nach einem der Ansprüche 1-8, das in Kaskade mit einem parallelen Oberflächenwellen-Re­ sonator (RE_b) geschaltet ist.

11. DMS-Filter nach einem der Ansprüche 1-8, das in Kaskade mit einer Laddertypestruktur geschaltet ist, die mehrere parallel und/oder seriell verschaltete Oberflä­ chenwellen-Resonatoren (RE) umfaßt.

12. DMS-Filter nach einem der Ansprüche 1-11, mit zumindest zwei parallel verschalteten Filtereinheiten (F), die mit ersten Oberflächenwellen-Resonatoren (RE) in Se­ rie geschaltet sind, wobei die Eingänge über seriell verbun­ dene zweite Oberflächenwellen-Resonatoren (RE) gegenseitig überbrückt sind.