DE19807948A1 - Werkzeug zur Oberflächenbearbeitung mit einstellbarer Wirkhärte - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Werkzeug zur Oberflächenbearbeitung mit einstellbarer Wirkhärte, insbesondere zum Schleifen, Läppen und Polieren von mechanischen und optischen Funktionsflächen. Sie ist überall dort anwendbar, wo Oberflächen in ihrer Gesamtheit oder in bestimmten Bereichen mit veränderbarer Wirkhärte und damit veränderbarer Intensität durch Schleifen, Läppen und Polieren etc. mechanisch bearbeitet werden sollen.

Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeuge, insbesondere solche für die Bearbeitung von optischen Funktionsflächen, bestehen bekannterweise aus einem starren Grundkörper, auf dem ein plastischer, elastischer oder starrer sogenannter Wirkmittelträger stoffschlüssig (z. B. durch Kleben) oder formschlüssig (Klettverbindung) befestigt ist. Das Werkzeug wird unter Aufbringung einer Normalkraft, die einen bestimmten Bearbeitungsdruck zur Folge hat, relativ zur Werkstückoberfläche bewegt. Es kann zusätzlich ein Wirkmittel (Schleif-, Läpp- bzw. Poliermittel) unter Zuführung von Wasser oder anderen Flüssigkeiten verwendet werden; bzw. es kommt eine Wirksuspension zum Einsatz, die über mechanische und/oder chemische Einwirkungen auf die Werkstückoberfläche einen Abtrag und /oder eine Glättung unterstützt. Als Wirkmittelträger dienen u. a.:

• - natürliche Stoffe, wie Filz, Leder oder Holzpech (z. B. A. Lindquist, Applied Optics, 25,1986, 21 S. 3796-3797)
• - synthetische Flächengebilde, wie geschäumte Kunststoff-Folien, beispielsweise PUR-Folien, (z. B. T. Kasai, K. Horio, T. Karaki-Doy, Annals of the CfRP 39, 1990, 1)
• - Polierpellets (z. B. M. Würdig "Die Wirkungsweise von Polierpellets bei der Bearbeitung von Glaswerkstoffen" In: Beiträge zur Optik und Quantenelektronik, Berlin 1985, S. 37-38) oder vollflächige Körper aus Kunststoffen, die zusätzlich ein Poliermittel enthalten (z. B. CERPET - Cerium Oxide Abrasive Pellets for finish-polishing optical glass products - Firmenschrift der Fujimi Abrasive Supply Co. Ltd. - Nagoya, o.A.d.J.) und dieses durch Verschleiß kontinuierlich abgeben können. Die Polierwirkung geht dabei sowohl von den noch gebundenen als auch den freigegebenen Partikeln aus.

Die Wirkmittelträger können als vollflächiger oder auch als mehr oder weniger unterbrochener Belag zur Anwendung kommen.

Mit dem Aufbau des Bearbeitungswerkzeuges (Grundkörper und Wirkmittelträger) ist je nach vorgenannter Realisierung die Wirkhärte definitiv festgelegt. Sie kann ohne Unterbrechung des Bearbeitungsvorganges (z. B. Austausch der Komponenten), zumindest ohne zusätzlichen Aufwand von in-process-Verstellsystemen, nicht verändert werden. Dadurch ist die Verwendung des Werkzeuges bzw. seiner spezifischen Komponenten eingeschränkt.

Neben diesen in der Bearbeitungsgeometrie und in ihrer Wirkhärte bestimmten Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeugen, insbesondere mit hochviskoser oder fester Bearbeitungsoberfläche, sind auch Werkzeuge bekannt, bei denen die zum Materialabtrag notwendige Normalkraft zwischen Werkstück und Poliermittel

• - durch hydrodynamischen Druck in bewegten Flüssigkeiten, wie beim Elastic Emission Machining (z. B. Y. Mori et al. Precision Engineering 9, 1987, S. 123),
• - durch magnetfeldstabilisierte magnetorheologische Flüssigkeitsoberflächen (WO 94/29077, US-PS 5.577.948)
• - oder durch den hydrostatischen Druck über magnetorheologischen Flüssigkeiten (z. B. T. Shinmura, F.H. Wang, J. Japan Soc. Prec. Eng., Vol. 28, No. 3, 1994, S. 229) erzeugt wird.

Sie unterscheiden sich in der Einflußnahme auf die örtliche Abtrennwirkung von den vorherigen Lösungen. Während sich bei den zuerst genannten Lösungen die abbrasiv wirkenden Partikel immer im Spalt zwischen der Werkstückoberfläche und der Oberfläche eines festen oder hochviskosen, gegen die Werkstückoberfläche gedruckten Werkzeuges befinden und damit während des Bearbeitungsprozesses die Form dieser Werkzeugoberfläche auf das Werkstück übertragen, wird bei den zuletzt genannten Lösungen die in Richtung der Werkstückoberfläche zeigende Andruckkraft der einzelnen abbrasiven Partikel durch in Flüssigkeiten auf diese Partikel wirkende Kräfte erzeugt. Es existiert dort somit keine definiert geformte Werkzeugoberfläche deren Gestalt sich auf das Werkstück übertragen könnte.

Eine Zwischenstellung zwischen Verfahren mit geometrisch bestimmten und geometrisch unbestimmten Werkzeugoberflächen kommt den Verfahren zu, bei denen starre Grundkörper durch den hydrostatischen Druck in mit inhomogenen Magnetfeldern beaufschlagten Ferrofluiden gegen das Werkstück gedrückt werden (z. B. N. Umehara, K. Kato, JMMM 122, 1993, S. 428).

Eine Einflußnahme auf die örtliche Abtrennwirkung und damit insgesamt auf die Oberflächengestalt der bearbeiteten Werkstückoberfläche ist prinzipiell durch die lokale Relativgeschwindigkeit bzw. durch die zurückgelegten Wege zwischen Werkzeug und Werkstück sowie durch den örtlich aufgebrachten Bearbeitungsdruck möglich.

Dieser ergibt sich zunächst absolut in erster Näherung als Quotient aus der aufgebrachten Normalkraft und der realen Kontaktfläche von Werkstück und Werkzeug. Da bei den Werkzeugen mit geometrisch bestimmten Grundkörpern bzw. Wirkmittelträgern, zumindest zu Beginn der Bearbeitung von einer fehlenden Formanpassung zwischen Werkzeug und Werkstück auszugehen ist, weicht der lokal vorliegende Druck von dem o.g. nominellen Wert mehr oder weniger stark ab und führt zu entsprechend unterschiedlichen Intensitäten des Abtrennprozesses und damit Abtrennhöhen.

Bei den besagten Bearbeitungswerkzeugen mit PUR-Folien kann durch den Abrichtprozeß und die in dessen Ergebnis vorliegende Makrogeometrie des Werkzeuges Einfluß auf die Ausbildung der Oberflächengestalt des Werkstückes genommen werden. Diese Einflußnahme ist zum einen nur prozeßintermittierend möglich. Zum anderen ist damit auch ein Substanzverlust am Wirkmittelträger verbunden.

Weitere bekannte Lösungen bestehen darin, daß die Form eines Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeuges unter Nutzung eines geeigneten Wirkprinzipes gezielt deformiert wird. Dabei kommen zur Anwendung:

• - mechanische Verstellsysteme, wie Gewindespindeln, (z. B. W. Lehmann, "Untersuchungen zum Polieren optischer Funktionsflächen mit Pech- und Folienwerkzeugen", Dissertation Friedrich-Schiller-Universität Jena, 1992)
• - mechanisch-hydraulische Verstellsysteme (z. B. gleiche Literaturstelle)
• - piezoelektrische Verstellsysteme (z. B. DE-PS 44 07 148 C2).

Während die beiden zuerst genannten Prinzipien vorrangig im Zusammenhang mit einer prozeßintermittierenden Verschleißkompensation zu sehen sind, wäre beim Einsatz piezoelektrischer Verstellsysteme auch eine in-process-Beeinflussung der Werkzeugform denkbar.

Bei Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeugen mit Pech als Wirkmittelträger nutzt man das Fließverhalten des Peches um die Werkzeugform mehr oder weniger bestimmt zu beeinflussen. Auf der Grundlage von Erfahrungen werden dabei in die Pechschicht Einschnitte bzw. Vertiefungen in der Weise eingebracht, daß sich durch radiales Fließen des Peches eine angestrebte Werkzeugform und damit Druckverteilung ergibt. Die Beherrschung dieser Verfahrensweise ist stark durch subjektive Faktoren bestimmt. Problematisch kann darüber hinaus auch die starke Temperaturabhängigkeit des Fließverhaltens sein. Der Einfluß auf die Werkstückoberfläche ist im allgemeinen in zweifacher Hinsicht gegenüber der Einwirkung auf das Werkzeug verzögert (Dynamik der Formänderung des Werkzeuges, Formübertragung auf das Werkstück).

Der Nachteil aller bekannter Lösungen, welche die Gestalt des geometrisch bestimmten Schleif-, Läpp- und Polierwerkzeuges unter Nutzung eines geeigneten Wirkprinzipes gezielt deformieren, ist, daß zwar die globale Gestalt, nicht aber die lokale Wirkhärte des Werkzeuges beeinflußbar ist.

Der Nachteil der bekannten Bearbeitungswerkzeuge mit formloser Normalkraftübertragung, die in ihrer effektiven Wirkhärte einstellbar sind, ist der zwangsläufige Kontakt zwischen dem Werkstück und den dort verwendeten Flüssigkeiten mit dementsprechenden Auswirkungen, wie der Werkstück- und Umgebungskontamination sowie der unumgänglichen Mischung der abbrasiv wirkenden Medien mit den die Normalkraft erzeugenden Flüssigkeiten, was zu einem hohen Bedarf an Verbrauchsmitteln führt. Darüber hinaus setzen diese Werkzeuge aufwendige Spezialmaschinen voraus, da sie nicht kompatibel zu den in der Praxis eingeführten Werkzeugmaschinen sind. Die Kontaminierung des Werkstückes, des Werkzeuges und der Bearbeitungsumgebung erfordert ferner zusätzliche Reinigungsschritte, die den Bearbeitungsaufwand weiter erhöhen.

Ferner wird, vorrangig für andere Technikgebiete, neben der magnetorheologischen Flüssigkeit eine elektrorheologische Flüssigkeit beschrieben (z. B. J. Carlson, Proceedings Of The Second International Conference On ER Fluids, 1989, S. 437-444), die ihre Visikosität in Abhängigkeit eines elektrischen Feldes ändern kann. Ein Anwendung dieser Flüssigkeit in Verbindung mit Werkzeugen und Verfahren zur Oberflächenbearbeitung ist nicht bekannt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein zu jedem Bearbeitungszeitpunkt geometrisch bestimmtes Werkzeug zu schaffen, mit dem Oberflächen aufwandgering, insbesondere ohne bearbeitungsbedingten Verschleiß oder Verlust an viskositäts- bzw. elastizitätsveränderbarer Flüssigkeit, technologisch gut beherrschbar und universell anwendbar mit zonal definiert einstellbaren, ggf. auch extrem hohen, Wirkhärten sowie ohne störende Wechselwirkung zwischen der Flüssigkeit und der zu bearbeitenden Oberfläche und/oder dem Wirkmittel bearbeitet werden können. Das Werkzeug soll eine hohe Rotationssymmetrie, z. B. beim Bearbeiten optischer Funktionsflächen, ermöglichen.

Erfindungsgemäß ist der Träger für das Wirkmittel (z. B. Poliermittel) auf mindestens einem flexiblen, flüssigkeitsdicht abgeschlossenen Körper angeordnet, in dessen Innern sich die an sich bekannte und durch magnetische bzw. elektrische Felder in ihrer Viskosität und Elastizität veränderbare magneto- bzw. elektrorheologische Flüssigkeit befindet. Der Körper kann beispielsweise Schaumstoff enthalten, welcher mit der Flüssigkeit durchtränkt ist, oder gänzlich aus nach außen flüssigkeitsdichtem durchtränkten Schaumstoff bestehen. Damit befindet sich die Flüssigkeit in einem abgeschlossenen System ohne Wechselwirkung mit dem Wirkmittel, mit der zu bearbeitenden Oberfläche oder mit der Bearbeitungsumgebung. Es kann demzufolge nicht zu Vermischungen mit dem Wirkmittel kommen; die Flüssigkeit geht beim Bearbeitungsvorgang nicht mit diesem verloren und braucht nicht ständig nachgefüllt oder ersetzt zu werden. Die Gefahr einer Kontaminierung des Werkstückes, des Bearbeitungswerkzeuges oder der Bearbeitungsumgebung durch die magnetorheologische Flüssigkeit ist nicht gegeben. Diesbezügliche Aufwände zur Reinigung oder zur umweltschonenden Entsorgung entfallen.

Mit der Erfindung wird ein Werkzeug realisiert, das in jeder Bearbeitungsphase unabhängig vom Viskositäts- und Elastizitätszustand der elektro- bzw. magnetorheologischen Flüssigkeit eine feste Oberfläche besitzt und dessen Wirkhärte dennoch zonal während der Werkstückbearbeitung veränderbar ist. Das Werkzeug vereinigt die Vorzüge an sich bekannter Werkzeuge mit hochviskoser oder fester Bearbeitungsoberfläche mit den Vorteilen der besagten in-process veränderbaren Wirkhärte mittels Viskositäts- und Elastizitätsbeeinflussung, wie sie bei geometrisch unbestimmten Werkzeugen vom Grundsatz her bekannt ist. Die in-process Veränderung der Wirkhärte in Verbindung mit der statischen Kontaktierung von Werkzeug und Werkstück ermöglicht beispielsweise ein Anpassen an kompliziert geformte Oberflächen, was über eine insbesondere verschleißbedingte Formänderung des Werkzeuges nicht erreichbar wäre. Auch ist prinzipiell die Abformung von einem geometrisch nahezu idealen Körper möglich. Bearbeitungsvorgänge mit dem Ziel rotationssymmetrische Oberflächen zu erzeugen, wie das Schleifen, Läppen und Polieren optischer Linsen, können sehr formgenau durchgeführt werden.

Die zu bearbeitenden Oberflächen können mit an sich bekannten Schleif-, Läpp- und Polierverfahren in üblicher Weise bearbeitet werden, ohne besondere Vorkehrungen in bezug auf die zur Realisierung der einstellbaren Wirkhärte verwendete Flüssigkeit treffen zu müssen oder dementsprechende spezielle Verfahrensvoraussetzungen zur Vorbereitung und Durchführung der Schleif-, Läpp- bzw. Polierbehandlung beachten zu müssen. Der Körper mit der internen magneto- oder elektrorheologischen Flüssigkeit ist in seiner Form und in seiner technischen Ausführung grundsätzlich an gegebene Anwendungsbedingungen anpassungsfähig und kann universell nutzbar an vorhandene und herkömmlich bekannte Bearbeitungsvorrichtungen angebracht werden.

Die Wirkhärte des Bearbeitungswerkzeuges kann sowohl mit extern als auch mit intern erzeugten bzw. veränderbaren elektrischen oder magnetischen Feldern, insbesondere durch im, am oder außerhalb der Bearbeitungsvorrich­ tung angebrachte Elektromagnete/Spulen, verändert werden. Auch die Anwendung lageveränderlicher Permanentmagnete zur Viskositäts- und Elastizitätsbeeinflussung der magnetorheologischen Flüssigkeit ist möglich. Die Wirkhärte ist bei entsprechender, z. B. matrix- oder ringförmiger, Anordnung der Magnete/Spulen zonal auf der zu bearbeitenden Oberfläche veränderbar.

Die Erfindung gestattet ferner auch sensorgesteuerte Bearbeitungsgänge beim Schleifen, Läppen und Polieren mit unterschiedlicher Wirkhärte, da sich die Flüssigkeit in einem abgeschlossenen System befindet und die Wechselwirkung zwischen Werkzeug, Werkstückoberfläche und Sensor nicht beeinträchtigt.

Die Erfindung soll nachstehend von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.

Es zeigen:

Fig. 1 Prinzipaufbau einer Polierwerkzeugmaschine mit dem flüssigkeits­ dicht abgeschlossenen und die elektro- bzw. magnetorheologische Flüssigkeit enthaltenden Körper

Fig. 2 Polierwerkzeugmaschine nach Fig. 1 mit Schaumstoff als Körper, dessen Poren mit magnetorheologischer Flüssigkeit gefüllt sind, und mit lageveränderbaren Magneten zur Viskositäts- und Elastizitätsbeeinflussung der Flüssigkeit.

Fig. 3 Polierwerkzeugmaschine gemäß Fig. 2 mit elektromagnetischer Viskositätsbeeinflussung der magnetorheoligischen Flüssigkeit.

In Fig. 1 ist der Prinzipaufbau des erfindungsgemäßen Werkzeuges mit einstellbarer Wirkhärte am Beispiel einer Polierwerkzeugmaschine zum Bearbeiten eines Werkstückes 1 mit einer zu polierenden Oberfläche 2 dargestellt. Die Oberfläche 2, die eine optische Funktionsfläche sein kann, wird mittels eines üblichen flexiblen Poliermittelträgers 3 bearbeitet, der erfindungsgemäß auf einem geometrisch bestimmten, flachen und flüssigkeitsdicht abgeschlossenen Körper 4 aufsitzt, in dessen Innern sich eine in ihrer Viskosität und Elastizität veränderbare und in Fig. 1 aus Übersichtsgründen nicht näher dargestellte Flüssigkeit 5 befindet. Der Körper 4 ist wiederum mit einem Werkzeugkörper 6 fest verbunden, der intern Mittel 7 zur Beeinflussung der Viskosität und Elastizität der im Körper 4 befindlichen Flüssigkeit 5 enthält. Der Werkzeugkörper 6 ist über eine Spindel 8 mit einer herkömmlichen Poliermaschine 9 verbunden, wobei die Spindel 8 eine elektrische, hydraulische oder pneumatische Verbindung 10 zwischen einer entsprechenden Steuereinheit 11 und den Mitteln 7 zur Viskositäts- und Elastizitätsbeeinflussung der Flüssigkeit 5 ermöglicht.

Der Poliermittelträger 3 wird zur Bearbeitung der Oberfläche 2 mit dem Werkstück 1 in mechanischen Kontakt gebracht, wobei eine Relativbewegung zwischen dem Polierkopf (Werkzeugkörper 6 mit Körper 4 und dem Poliermittelträger 3) sowie dem Werkstück I herbeigeführt wird.

Fig. 2 zeigt die Polierwerkzeugmaschine gemäß Fig. 1, bei welcher der Körper 4 aus einem elastischen, offenporigen Schaumstoff 12 besteht, dessen äußere Kontur mit einer flüssigkeitsdichten Haut 13 abgeschlossen ist und dessen Poren 14 (quasi als Flüssigkeit 5 von Fig. 1) eine an sich bekannte magnetorheologische Flüssigkeit 15 enthalten, deren Viskosität und Elastizität mittels eines Magnetfeldes verändert werden können. Die Poren 14 des Schaumstoffes 12 können dabei vollständig oder teilweise (Mischung mit einem Gas) mit der magnetorheologischen Flüssigkeit 15 gefüllt sein. Jegliche Deformation des Schaumstoffes 12 (Körper 4) zwingt die magnetorheologische Flüssigkeit 15 zu einer Umverteilung innerhalb der Poren 14. Die Geschwindigkeit dieses Fließprozesses wird stark von der aktuellen magnetfeldabhängigen Viskosität dieser Flüssigkeit 15 bestimmt. Somit überträgt die magnetorheologische Flüssigkeit 15 ihre Viskositäts­ eigenschaften auf den von sich aus elastischen Schaumstoff 12, der sich bei kleinen Druckunterschieden zwischen den Poren 14 und hinreichend großen magnetischen Feldstärken wie ein Festkörper verhält und plastische Eigenschaften aufweist. Die im Werkzeugkörper 6 in Fig. 1 dargestellten Mittel 7 bestehen zur magnetfeldabhängigen Viskositätsbeeinflussung der magnetorheologischen Flüssigkeit 15 aus einer Anordnung lageveränderlicher Permanentmagnete 16, die über eine Verstelleinheit 17 in ihrer Abstandslage zum Körper 4 (Schaumstoff 12 mit der magnetorheologischen Flüssigkeit 15) bewegt werden können. Durch die Inhomogenität des Magnetfeldes der lageveränderlichen Permanentmagnete 16 kann der Körper 4 auf diese Weise durch Bewegung der Permanentmagnete 16 in Bereiche höherer oder niedrigerer magnetischer Feldstärken gebracht werden. Gleichzeitig führt die Inhomogenität des Magnetfeldes zu einer lokalen Magnetfeld-Beaufschlagung und damit zu lokalen Viskositätseinstellung der magnetorheologischen Flüssigkeit 15 im Körper 4.

Zur geometrischen Formung der von den Permanentmagneten 16 erzeugten Magnetfelder können zusätzliche ggf. lageveränderliche, weichmagnetische Teile im Werkzeugkörper 6 enthalten sein (nicht in den Figuren gezeigt). Die Verstelleinheit 17 besitzt als Antriebselemente beispielsweise Gewinde­ spindeln (aus Übersichtsgründen nicht in der Zeichnung dargestellt), die in-process bzw. prozessintermittierend mechanisch oder elektromechanisch über die Steuereinheit 11 und die Verbindung 10 angetrieben werden können.

Auch hydraulische, piezoelektrische oder andere Verstellmöglichkeiten der Permanentmagnete 16 wären denkbar.

Es ist auch möglich, anstatt der lageveränderlichen Permagnentmagnete 16 Elektromagnete 18 im Werkzeugkörper 6 (siehe Fig. 3) vorzusehen, deren Magnetfeld durch Veränderung des Stromflusses durch die Spulen der Elektromagneten 18 verändert werden kann. In diesem Fall erfolgt die Ansteuerung der Steuereinheit 11 über die Verbindung 10 elektrisch. Die Verwendung einer elektrorheologischen Flüssigkeit als Flüssigkeit 5 ist ebenfalls möglich (nicht in der Zeichnung dargestellt), wobei deren Viskositätsbeeinflussung im Gegensatz zu den vorgenannten Ausführungs­ beispielen gemäß Fig. 2 und Fig. 3 nicht durch magnetische bzw. elektroma­ gnetische Felder, sondern durch ein oder mehrere elektrische Felder hervorgerufen wird. Diese elektrischen Felder können durch von der Steuereinheit 11 über die Verbindung 10 auf in oder am Körper 4 befindliche Elektroden geleitete Spannungen erzeugt werden.

Der Körper 4 kann auch (in der Zeichnung nicht separat dargestellt) aus einzelnen jeweils flüssigkeitsdicht abgeschlossenen Segmenten (z. B. Schaumstoffsegmenten) oder aus durch Trennwände geteilten Kammern bestehen, die jeweils mit magneto- bzw. elektrorheologischer Flüssigkeit (5) gefüllt sind. Auf diese Weise ist in den Kammern und Segmenten jeweils eine unabhängige und lokalisierte Beeinflussung des Fließverhaltens der enthaltenen Flüssigkeit (5) möglich.

Bezugszeichenliste

1

Werkstück

2

Oberfläche

3

Poliermittelträger

4

Körper

5

Flüssigkeit

6

Werkzeugkörper

7

Mittel

8

Spindel

9

Poliermaschine

10

Verbindung

11

Steuereinheit

12

Schaumstoff

13

Haut

14

Poren

15

magnetorheologische Flüssigkeit

16

Permanentmagnete

17

Verstelleinheit

18

Elektromagnete

Claims (11)

1. Werkzeug zur Oberflächenbearbeitung mit einstellbarer Wirkhärte, insbesondere zum Schleifen, Läppen und Polieren von technischen und optischen Funktionsflächen, mit einem Träger für ein auf die zu bearbeitende Oberfläche Einfluß nehmendes Wirkmittel, z. B. Schleif-, Läpp- oder Poliermittel, sowie mit einer in ihrer Viskosität bzw. Elastizität veränderbaren Flüssigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (3) auf mindestens einem flexiblen und flüssigkeitsdicht abgeschlossenen Körper (4) angeordnet ist, in dessen Innern sich die Flüssigkeit (5, 15) befindet.

2. Werkzeug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der flexible, flüssigkeitsdicht abgeschlossene Körper (4) Schaumstoff (12) enthält, welcher mit der Flüssigkeit (15) getränkt ist.

3. Werkzeug nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper (4) aus mehreren flüssigkeitsdicht abgeschlossenen Kammern oder Segmenten besteht.

4. Werkzeug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit (5) aus einer magnetorheologischen Flüssigkeit (15) besteht, die durch ein magnetisches Feld in ihrer Viskosität bzw. Elastizität veränderbar ist.

5. Werkzeug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit (5) aus einer elektrorheologischen Flüssigkeit besteht, die durch ein elektrisches Feld in ihrer Viskosität bzw. Elastizität veränderbar ist.

6. Werkzeug nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß, vorzugsweise in ring- oder matrixförmiger Anordnung, innerhalb und/oder außerhalb des Werkzeugkörpers (6) Magnete (16, 18) zur Beeinflussung der Viskosität und Elastizität von der im Körper (4) befindlichen magnetorheologischen Flüssigkeit (15) vorgesehen sind.

7. Werkzeug nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnete aus Elektromagneten (18) bestehen.

8. Werkzeug nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnete aus lageveränderbaren Permanentmagneten (16) bestehen.

9. Werkzeug nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß, vorzugsweise in ring- oder matrixförmiger Anordnung, innerhalb und/oder außerhalb des Werkzeugkörpers (6) Elektroden zur Beeinflussung der Viskosität und Elastizität von der in dem Schichtkörper befindlichen elektrorheologischen Flüssigkeit vorgesehen sind.

10. Werkzeug nach Ansprüchen 1, 4 und 6 dadurch gekennzeichnet, daß sich in oder außerhalb des Werkzeugkörpers (6) zusätzliche weichmagnetische Teile zur geometrischen Formung des magnetischen Feldes befinden.

11. Werkzeug nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die weichmagnetischen Teile zur geometrischen Formung des magnetischen Feldes lageveränderlich angeordnet sind.