DE19804150A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Aufbringung von Farbfiltern, Abdeckmatrizen oder dergleichen aus Fotoemulsionsschichten - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Aufbringung von Farbfiltern, Abdeckmatrizen oder dergleichen aus Fotoemulsionsschichten

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Aufbringung von Farbfiltern, Abdeckmatrizen oder dergleichen aus Fotoemulsionsschichten sowie ein Laminat, das wenigstens eine Fotoemulsionsschicht umfaßt.
Stand der Technik
Farbfilter und Abdeckmatrizen (Blackmatrix) werden insbesondere für den Aufbau von Flüssigkristallanzeigen benötigt.
Eine Flüssigkristallanzeige besteht im wesentlichen aus zwei planparallelen Substraten (z. B. Glassubstrate) mit einem dazwischen angeordneten, als Lichtventil dienenden Flüssigkristallmaterial. Im allgemeinen trägt das in Betrachtungsrichtung hintere Substrat Leiterbahnen und gegebenenfalls Halbleiterstrukturen. Auf dem vorderen Substrat sind bei farbfähigen Anzeigen Farbfilter aufgebracht, die regelmäßig in Matrixanzeigen in die Fenster einer Blackmatrix eingebracht sind. Der Hauptzweck der Blackmatrix besteht darin, eine optisch aktive Fläche eindeutig zu definieren. Bei Aktiv-Matrix-adressierten Flüssigkristallbildschirmen werden dazu Leiterbahnen und beispielsweise Dünnschichttransistorstrukturen auf den in Blickrichtung dahinter liegenden Substrat abgedeckt.
Nach heutigem Fertigungsstand werden die bei Matrixanzeigen mosaikartigen Farbfilter in einer Abfolge mehrerer fotolitographischer Prozesse aufgebracht. Hierbei wird zunächst die Blackmatrix erzeugt, in deren Fenster dann in drei aufeinanderfolgenden Prozeßschritten die Farbfilter in ihren Primärfarben (rot, grün, blau) eingebracht werden. Das Farbfiltermaterial besteht zumeist aus pigmentierten Farblacken.
In der Patentschrift DE 32 37 323 C2 wird eine elektrooptische Anzeigevorrichtung offenbart, bei der die Erzeugung der Farbfilter anstatt durch die aufeinanderfolgenden fotolitographischen Prozesse mit Hilfe einer Farb-Fotoemulsion erfolgt. Zur Erzeugung der Farbfilter werden beispielsweise auf eine Glasplatte drei Fotoemulsionen in einem Gießverfahren aufgebracht, die in unterschiedlichen Spektralbereichen fotoempfindlich sind und sich bei Belichtung mit einer Farbe in deren Komplementärfarbe einfärben. Nachteilig an diesem Verfahren sind jedoch die hohen Produktionskosten für Flüssigkristallanzeigen, die durch eine Beschichtung eines im wesentlichen starren Substrates (zum Beispiel Glassubstrat) entstehen, da großtechnisch praktizierte und daher kostengünstige Verfahren zur Beschichtung mit Fotoemulsion nur für flexible Kunststoffsubstrate existieren.
Aufgabe und Vorteile der Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist die Aufbringung von Farbfiltern, Abdeckmatrizen oder dergleichen auf ein im wesentlichen starres Substrat für insbesondere den Aufbau einer Flüssigkristallanzeige zu vereinfachen und damit kostengünstiger zu gestalten.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 sowie durch die nebengeordneten Ansprüche 10 und 16 löst. In den Unteransprüchen sind vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen angegeben.
Die Erfindung geht von einem Verfahren zur Aufbringung von Farbfiltern, Abdeckmatrizen oder dergleichen aus Fotoemulsionsschichten auf ein im wesentlichen starres Substrat, beispielsweise ein Glassubstrat für insbesondere den Aufbau einer Flüssigkristallanzeige aus. Der Kerngedanke der Erfindung liegt nun darin, daß wenigstens eine Fotoemulsionsschicht auf das Substrat auflaminiert wird, wobei die Haftung sich beispielsweise durch Adhäsion ergibt. Durch diese Vorgehensweise ist es nicht erforderlich, daß die Fotoemulsionsschicht direkt auf das starre Substrat aufgebracht werden muß. Damit entfallen hohe Produktionskosten, die bei der großtechnischen Beschichtung von starren Substraten mit Fotoemulsion zu erwarten sind. Denn die Beschichtung kann auf geeigneteren Materialien (Trägerschicht) stattfinden, von denen gegebenenfalls die Fotoemulsionsschicht auf das eigentliche Substrat übertragen und auflaminiert oder zusammen mit der Trägerschicht auflaminiert wird.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht mittels einer Kleberschicht auf das Substrat auflaminiert wird. Hierdurch kann eine verbesserte Haftung der Fotoemulsionsschicht erzielt werden.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht auf eine Seite einer flexiblen Folie und die Kleberschicht auf die andere Seite dieser Folie aufgebracht. Das gesamte Schichtengebilde läßt sich anschließend auf das Substrat mit der Kleberseite und der flexiblen Folie auflaminieren. Durch diesen Schichtaufbau ergibt sich eine einfache Handhabung beim Auflaminiervorgang, da die flexible Folie dem Gebilde eine gewisse Stabilität verleiht.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird auf die flexible Folie die Kleberschicht und unmittelbar darauf die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht aufgebracht und dieses Schichtengebilde auf das Substrat mit der Kleberseite auflaminiert, wobei beim Auflaminiervorgang die flexible Folie wieder abgezogen wird. Durch diese Maßnahme läßt sich ein besonders dünner Aufbau, beispielsweise eines Farbfilters erzielen (die Dicke liegt typischerweise im Bereich von 15 Mikrometern).
Um zu vermeiden, daß die Fotoemulsionsschicht nach dem Aufbringen auf eine Trägerschicht beschädigt oder verschmutzt wird, wird im weiteren vorgeschlagen, auf die Emulsionsschicht eine Schutzfolie aufzubringen, die unmittelbar vor dem Auflaminierungsvorgang wieder abgezogen wird.
Zur Verhinderung von Beschädigungen und Verschmutzungen der Kleberschicht, sofern sie auf der Emulsionsschicht gegenüberliegenden Seite einer Trägerfolie aufgebracht ist, und zur Vermeidung einer ungewollten Haftung, wird außerdem vorgeschlagen, daß auf die Kleberschicht ebenfalls eine Schutzfolie aufgebracht wird, die sich vor oder beim Auflaminiervorgang wieder entfernen läßt.
Für den Fall, daß die wenigstens eine Fotoemulsion auf der gleichen Seite wie die Kleberschicht angeordnet ist, wird überdies vorgeschlagen, daß vor Aufbringung der Kleberschicht die flexible Folie mit einer Antihaftschicht beschichtet wird. Auf diese Weise läßt sich das Schichtengebilde, Fotoemulsion und Kleberschicht vergleichsweise einfach von der Folie abziehen.
Für den Aufbau von herkömmlichen Farbfiltern für die Farben rot, grün und blau ist es besonders vorteilhaft, wenn drei Farbfotoemulsionsschichten für die jeweiligen Komplementärfarben zyan, magenta und gelb übereinander aufgebracht werden.
Um eine einfache Handhabung des Schichtengebildes vor dem Auflaminiervorgang auf ein Substrat zu gewährleisten, wird darüber hinaus vorgeschlagen, daß in einer Zwischenstufe das Schichtengebilde aufgerollt und für den Laminiervorgang wieder abgerollt wird.
Eine Vorrichtung zum Auflaminieren von Farbfiltern und/oder Abdeckschichten oder dergleichen auf ein im wesentlichen starres Substrat umfaßt vorteilhafterweise Mittel für die Realisierung einer Relativbewegung zwischen dem im wesentlichen starren Substrat und einer Druckwalze, wobei zwischen Druckwalze und Substrat das aufzulaminierende Schichtengebilde einlegbar ist. Hierdurch kann gewährleistet werden, daß das Schichtengebilde ohne Blaseneinschluß auf dem Substrat übertragen (auflaminiert) wird. Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind die Mittel für die Realisierung der Relativbewegung rotierende Walzen, auf denen das Substrat bezüglich der Druckwalze transportiert wird. Diese Maßnahme stellt eine vergleichsweise einfache Konstruktionslösung dar.
Besonders vorteilhaft ist die Weiterbildung der Erfindung dahingehend, daß die Druckwalze beheizbar ist. Auf diese Weise wird die Haftung der auflaminierten Emulsionsschicht verbessert.
Um eine auf der Emulsionsschicht oder der Kleberschicht vorhandene Schutzfolie bzw. Trägerfolie definiert entfernen zu können, wird im weiteren vorgeschlagen, daß zum Aufrollen der Schutzschicht und/oder der Trägerfolie weitere Walzen vorgesehen werden. Vorzugsweise sind die Laufgeschwindigkeiten der Walzen zum Erreichen einer hohen Laminierqualität aufeinander abgestimmt.
Zeichnungen
Verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung unter Angabe weiterer Vorteile und Einzelheiten näher erläutert. Es zeigen
Fig. 1 eine erste erfindungsgemäße Schichtfolge mit drei Fotoemulsionsschichten vor dem Laminierprozeß im Querschnitt,
Fig. 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Laminieren der Schichtfolge gemäß Fig. 1 in schematischer Darstellung,
Fig. 3 ein Ausschnitt einer Aktiv-Matrix-adressierten Flüssigkristallanzeige mit erfindungsgemäß aufgebrachten Farbfiltern und Blackmatrix im Querschnitt,
Fig. 4 eine weitere erfindungsgemäße Schichtfolge vor dem Laminiervorgang im Querschnitt
Fig. 5 ein Ausschnitt einer Aktiv-Matrix-adressierten Flüssigkristallanzeige mit erfindungsgemäß aufgebrachten Farbfilter und Blackmatrix gemäß einer Schichtfolge nach Fig. 4 im Querschnitt,
Fig. 6 ein Ausschnitt eines mit Farbfiltern versehenes Substrats, die in einem herkömmlichen Fotolitographischen Prozeß aufgebracht wurden, im Querschnitt und
Fig. 7 ein Ausschnitt eines mit Farbfiltern versehenen Substrats, die nach einem bekannten Gießprozeß durch drei übereinandergelegte Fotoemulsionsschichten hergestellt wurden.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
Die Fig. 6 und 7 zeigen Substrate 1 für eine Matrix­ adressierte Flüssigkristallanzeige, die durch im Stand der Technik bekannte Verfahren mit einer Blackmatrix 2, 3 Farbfiltern 4a bis c, 5a bis c sowie einer Passivierungsschicht 6 und einer transparenten Elektrode 7 versehen wurden. Die Blackmatrix 2 gemäß Fig. 6 wurde beispielsweise durch Strukturierung einer metallischen Schicht erzeugt. In die Fenster der Blackmatrix wurden dann durch drei hintereinanderfolgende fotolitographische Prozesse die Farbfilter 4a bis c für die Farben rot, grün und blau aufgebracht.
Im Gegensatz hierzu wurden die Blackmatrix und die Farbfilter in Fig. 7 durch drei übereinandergegossene Fotoemulsionsschichten 8, 9, 10 erzeugt. Die Fotoemulsionsschichten sind in unterschiedlichen Spektralbereichen fotoempfindlich und färben sich bei entsprechender Belichtung mit einer bestimmten Farbe in deren Komplementärfarbe ein. Bei diesen Fotoemulsionsschichten werden die Primärfarben rot, grün und blau durch Farbsubtraktion innerhalb der drei Übereinandergelegten Schichten erzeugt (in Fig. 6 und 7 ist die Farbe des durchfallenden Lichtes durch die großen Pfeile mit den Buchstaben "r", "g", "b" für die Primärfarben rot, grün und blau symbolisiert dargestellt). Z. B. wird die Fotoemulsionsschicht 8 nach einer entsprechenden Belichtung "gelb", die Fotoemulsionsschicht 9 nimmt die Farbe "magenta" an und die Emulsion 10 färbt sich mit der Farbe "zyan" ein. Um rot zu erhalten, müssen unter diesen Voraussetzungen die Emulsionsschichten 8 und 10 kombiniert werden. Hierdurch entsteht eine Filteranordnung, die aus weißem Licht die Farben gelb und zyan subtrahiert, womit rot verbleibt. In entsprechender Weise entstehen die Farben grün und blau. D.h. eine der drei Schichten erhält jeweils keine Filtereigenschaften. An der Stelle, an welcher die Blackmatrix 3 in Fig. 7 ausgebildet werden soll, werden alle drei Fotoemulsionsschichten belichtet, so daß am Ende kein Licht durchdringt und die Dreierschicht schwarz erscheint.
In Fig. 1 ist eine erste erfindungsgemäße Schichtfolge zum Auflaminieren auf beispielsweise ein Substrat einer Flüssigkristallanzeige dargestellt. Zum Aufbau dieses Schichtengebildes wird zunächst auf eine Trägerfolie (flexible Folie) 11, die mit einer nicht eingezeichneten Antihaftschicht beschichtet ist, eine Kleberschicht 12 aufgebracht. Auf die Kleberschicht 12 werden nach bekannten Verfahren drei Farbfotoemulsionsschichten 13, 14, 15 z. B. aufgegossen und erfindungsgemäß zum Schutz vor Beschädigungen und Verunreinigungen mit einer Schutzfolie 16 bedeckt. Dieses Schichtengebilde wird zu einer Rolle 17 (vgl. Fig. 2) aufgerollt.
Der Verfahrens schritt des Aufbringens der Fotoemulsion auf das Glassubstrat 1 ist in Fig. 2 dargestellt. Die Rolle 17 wird in die Laminiervorrichtung 18 eingelegt. Die zu beschichtenden Glassubstrate 1 werden durch rotierende Walzen 19 fortbewegt. Die kleber- und schutzfolienbeschichteten Fotoemulsionsschichten 20 werden durch eine ebenfalls rotierende, beheizte Walze 21 auf das entsprechende Glassubstrat laminiert und aufgeklebt. Die Schutzfolie 16 der Emulsionsschicht wird nach der Walze 21 auf eine Walze 22 aufgerollt. In gleicher Weise wird mit der Trägerfolie 11 verfahren, die auf einer weiteren Walze 23 aufgewickelt wird.
Eine mit diesem Substrat 1 aufgebaute Flüssigkristallanzeige 24 hat ein Schichtengefüge wie in Bild 3 dargestellt. Die Flüssigkristallanzeige ist im wesentlichen aus zwei Glassubstraten aufgebaut, dem bekannten Glassubstrat 1 und einem weiteren gegenüberliegenden Glassubstrat 25, das z. B. die Dünnschichttransistoren 26 zur Ansteuerung einer optisch aktiven Bildpunktfläche 27 und eines Speicherkondensators 28 trägt. Auf dem Glassubstrat 1 befand sich zunächst die Kleberschicht 12 und die Fotoemulsionsschichten 13, 14, 15. Nach dem Auflaminiervorgang wurden zusätzlich eine Passivierungsschicht 29, eine transparente Ansteuerelektrode 30 sowie eine Orientierungsschicht aus Polyimid 31 aufgebracht. In gleicher Weise ist auch auf dem Gegensubstrat 25 eine Orientierungsschicht 31 auf einer Passivierungsschicht 29 vorhanden. Die Orientierungsschicht 31 dient der Orientierung des Flüssigkristallmaterials 32, das zwischen den beiden Glassubstraten 1 und 25 angeordnet ist. Um einen kontrollierten Abstand der Substrate zu gewährleisten, sind Abstandshalter (Glasspacer) 33 eingefügt.
In Fig. 4 ist eine weitere Beschichtungsvariante zum Aufkleben von Fotoemulsionsschichten auf ein Glassubstrat 1 dargestellt. Diese Schichtfolge ist vor allem dann von Vorteil, wenn das zuvor beschriebene Transferverfahren, das insbesondere wegen der dünnen Fotoemulsionsschichten 13, 14, 15 sehr sorgfältig ausgeführt werden muß, durch einen robusteren Prozeß ersetzt werden soll.
Für diesen Prozeß ergibt sich folgender Aufbau für das zu laminierende Schichtengebilde. Auf eine flexible Folie 11 wird auf der einen Seite die Kleberschicht 12 und auf der anderen Seite die Fotoemulsionsschichtung 13, 14, 15 aufgebracht. Sowohl die Kleberschicht 12 als auch die Fotoemulsionsschichten 13, 14, 15 werden mit einer Schutzfolie 16 bedeckt. Beim Laminiervorgang werden nun die Fotoemulsionsschichten samt flexibler Folie auf das zu beschichtende Substrat aufgeklebt. Der sich hieraus ergebende Aufbau einer Aktiv-Matrix-adressierten Flüssigkristallzelle ist entsprechend dem zu Fig. 3, mit dem einzigen Unterschied, daß im Schichtaufbau nunmehr die Trägerfolie 11 enthalten ist (vgl. hierzu Fig. 5). Die Aufbringung dieses Schichtengebildes mit Trägerfolie erfolgt in analoger Weise zu dem ohne Trägerfolie. Beim Laminiervorgang ist jedoch zu beachten, daß in einer Laminiervorrichtung gemäß Fig. 2 auf der Walze 23 anstatt der flexiblen Folie 11 nun eine weitere Schutzfolie 16 aufzuwickeln ist.
Durch beide beschriebenen Varianten lassen sich im Vergleich zu den bekannten Prozessen die Blackmatrix und Farbfilterstrukturen kostengünstiger auf beispielsweise ein Glassubstrat für eine Flüssigkristallzelle aufbringen, wobei sich beide Varianten für einen großtechnischen Einsatz eignen. Als flexible Folien können unter anderem Glasfolien, herkömmliche Kunststoffolien oder eine Polarisatorfolie zum Einsatz kommen. Insbesondere die Polarisatorfolie hat den Vorteil, daß sie, sofern sie gemäß der zweiten Variante mit aufgeklebt wird, im Zelleninneren zu liegen kommt und damit nicht wie bei einem bekannten Aufbau problematischen Umweltbedingungen ausgesetzt ist. Ein Standardpolarisator besteht aus einer dünnen, einseitig gereckten Polyvinylalkohol (PVA)-Folie mit eingebetteten Jodmolekülen. Zum Schutz gegen klimatische Einflüsse wird diese Folie zwischen zwei Schutzfolien einlaminiert. Diese Schutzfolien können entfallen und die PVA-Folie kann direkt als Träger für die Fotoemulsionsschichten benutzt werden. Hier kommt der Umstand zu Hilfe, daß die PVA-Folie gegen Flüssigkristall unempfindlich ist und außerdem durch die Emulsion geschützt wird. Hinzu kommt, daß bei einem innenliegenden Polarisator, sehr effiziente Oberflächenentspiegelungen auf der Glasaußenseite eingesetzt werden können. Darüber hinaus hat ein solcher Aufbau den Vorteil, daß die Glasoberfläche, im Gegensatz zu der Polarisatoroberfläche wesentlich kratzunempfindlicher ist.
Bezugszeichenliste
1
Substrat
2
Blackmatrix
3
Blackmatrix
4
a-c Farbfilter
5
a-c Farbfilter
6
Passivierungsschicht
7
transparente Elektrode
8
Fotoemulsionsschicht
9
Fotoemulsionsschicht
10
Fotoemulsionsschicht
11
flexible Folie
12
Kleberschicht
13
Farb-Fotoemulsionsschicht
14
Farb-Fotoemulsionsschicht
15
Farb-Fotoemulsionsschicht
16
Schutzfolie
17
Rolle
18
Laminiervorrichtung
19
Walze
20
kleber- und schutzfolienbeschichtete Fotoemulsionsschichten
21
Walze
22
Walze
23
Walze
24
Flüssigkristallanzeige
25
Glassubstrat
26
Dünnschichttransistor
27
optisch aktiver Bildpunkt
28
Speicherkondensator
29
Passivierungsschicht
30
transparente Ansteuerelektrode
31
Orientierungsschicht
32
Flüssigkristallmaterial
33
Abstandshalter

Claims (22)

1. Verfahren zur Aufbringung von Farbfiltern und/oder Abdeckmatrizen oder dergleichen aus Fotoemulsionsschichten (13, 14, 15) auf ein im wesentlichen starres Substrat, vorzugsweise ein Glassubstrat (1) für insbesondere den Aufbau einer Flüssigkristallanzeige (24), dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Fotoemulsionsschicht auf das Substrat laminiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht mittels einer Kleberschicht (12) auf das Substrat laminiert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht auf eine Seite einer flexiblen Folie 11 und die Kleberschicht (12) auf die andere Seite der Folie aufgebracht wird und daß diese Schichtengebilde auf das Substrat (1) mit der Kleberseite und der Folie laminiert wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf die flexible Folie (11) die Kleberschicht (12) und darauf die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht aufgebracht wird und daß dieses Schichtengebilde auf das Substrat (1) mit der Kleberseite laminiert wird, wobei beim Laminiervorgang die flexible Folie (11) entfernt wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Fotoemulsionsschicht eine Schutzfolie (16) aufgebracht und vor oder beim Laminiervorgang wieder entfernt wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2, 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Kleberschicht (12) eine Schutzfolie (16) aufgebracht und vor oder beim Laminiervorgang wieder entfernt wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2, 4, oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß vor Aufbringung der Kleberschicht (12) die flexible Folie (11) mit einer Antihaftschicht beschichtet wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß drei Farbfotoemulsionsschichten (13, 14, 15) für die jeweiligen Komplementärfarben (zyan, magenta, und gelb) aufgebracht werden.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Schichtengebilde in einer Zwischenstufe aufgerollt und für den Laminiervorgang wieder entrollt wird.
10. Vorrichtung zur Aufbringung von Farbfiltern und/oder Abdeckschichten oder dergleichen aus Fotoemulsionsschichten auf ein im wesentlichen starres Substrat, vorzugsweise ein Glassubstrat für insbesondere den Aufbau einer Flüssigkristallanzeige, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel für die Realisierung einer Relativbewegung zwischen dem Substrat (1) und einer Druckwalze (21) vorgesehen sind, wobei zwischen Druckwalze (21) und Substrat (1) ein zu laminierendes Schichtengebilde aus wenigstens einer Fotoemulsionsschicht einlegbar ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel für die Realisierung der Relativbewegung rotierende Walzen (19) für den Transport des Substrats (1) umfassen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckwalze (21) beheizbar ist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß eine Walze (22) zur Aufwicklung einer auf der wenigstens einen Fotoemulsionsschicht aufgebrachten Schutzfolie (16) vorgesehen ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Walze (23) zur Aufwicklung einer weiteren Schutzfolie, die gegebenenfalls auf der Kleberschicht (12) aufgebracht ist oder einer Trägerfolie (11) die die Schutzfolie ersetzt, vorhanden ist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Walzen (21, 22, 23) bezüglich ihrer Laufgeschwindigkeit aufeinander abgestimmt sind.
16. Laminat für vorzugsweise Flüssigkristallanzeigen, dessen Schichtaufbau eine flexible Folie (11), eine Kleberschicht (12) und wenigstes eine Fotoemulsionsschicht umfaßt.
17. Laminat nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens eine Fotoemulsionsschicht auf einer Seite der Folie (11) und die Kleberschicht (12) auf der anderen Seite der Folie angeordnet ist.
18. Laminat nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß auf die flexible Folie (11) die Kleberschicht (12) und darauf wenigstens eine Fotoemulsionsschicht aufgebracht ist.
19. Laminat nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen flexibler Folie (11) und Kleberschicht (12) eine Haftschicht aufgebracht ist.
20. Laminat nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß auf der wenigstens einen Fotoemulsionsschicht eine Schutzfolie (16) aufgebracht ist.
21. Laminat nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Kleberschicht (12) eine Schutzfolie (16) aufgebracht ist.
22. Laminat nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß drei Farbfotoemulsionsschichten (13, 14, 15) für die jeweiligen Komplementärfarben zyan, magenta und gelb aufgebracht sind.
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