DE19782232B4 - Kühlvorrichtung und Verfahren zum Kühlen eines elektronischen Gerätes - Google Patents

Kühlvorrichtung und Verfahren zum Kühlen eines elektronischen Gerätes Download PDF

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Abstract

Kühlvorrichtung (20) mit einem Behälter (22), einer Tieftemperaturflüssigkeit (24) in dem Behälter (22) und einem Gas, welches mit der Tieftemperaturflüssigkeit (24) in Kontakt steht, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas eine zu der Tieftemperaturflüssigkeit (24) unterschiedliche chemische Zusammensetzung aufweist und in der Tieftemperaturflüssigkeit (24) löslich ist, derart, dass die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit dann tiefer ist als die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit (24), wenn das Gas nicht mit ihr in Berührung ist.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kühlvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Verfahren zum Kühlen eines elektronischen Gerätes.
  • Eine große Anzahl von Vorrichtungen, insbesondere elektronische Vorrichtungen, wird bei Temperaturen betrieben, die unterhalb der Umgebungstemperatur liegen. Diese reduzierte Temperatur wird benutzt, da entweder die Vorrichtung bei höheren Temperaturen nicht funktioniert oder weil ein verbesserter Betrieb durch die niedrigere Temperatur erreicht werden kann, oder auch aus beiden Gründen. Als Beispiel ist hier ein supraleitender Magnetfeldsensor zu nennen, der nur bei Temperaturen arbeitet, die unterhalb der kritischen Temperatur für die Supraleitung des verwendeten Materials liegen. Es ist häufig erwünscht, die Betriebstemperatur noch weiter zu verringern, um ein verbessertes Signal-/Rausch-Verhältnis zu erhalten, da bei niedrigeren Temperaturen ein geringeres thermisches Rauschen auftritt.
  • Es ist allgemeine Praxis, solche Vorrichtungen zu kühlen, indem eine Wärmesenke benutzt wird, z. B. ein Reservoir an Tieftemperaturflüssigkeit, die eine niedrige Siedetemperatur hat. Die Vorrichtung kann entweder in die Tieftemperaturflüssigkeit eingetaucht werden, oder kann mittels eines guten Wärmeleiters in thermischen Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit stehen. Die Wärme in der Vorrichtung wird in das Tieftemperatur-Reservoir geleitet und durch die Tieftemperaturflüssigkeit absorbiert.
  • Die Entdeckung von Hochtemperatur-Supraleitern, die eine kritische Temperatur für die Supraleitung von etwa der Siedetemperatur von flüssigem Stickstoff oder darüber haben, verspricht eine deutliche Verbesserung in einigen Bereichen der Techniken, bei denen supraleitende Vorrichtungen eingesetzt werden. Für die Erfinder ist ein technisches Gebiet von besonderem Interesse, nämlich ein supraleitender Magnetfeldsensor oder auch SQUID genannt, der aus einem Hochtemperatur-Supraleiter hergestellt ist und der bevorzugt bei etwa der Siedetemperatur (77 K) von flüssigem Stickstoff oder darunter betrieben wird, nämlich für die nun erhältlichen Hochtemperatur-Supraleiter, wobei herkömmliche Niedrigtemperatur-Supraleiter typischerweise bei der Siedetemperatur für flüssiges Helium (4,2 K) eingesetzt wurden. Die Fähigkeit bei solchen hohen Temperaturen zu funktionieren, erlaubt den Einsatz des relativ kostengünstigen Kühlmittels flüssiger Stickstoff, und verringert auch die erforderliche Isolation bemerkenswert.
  • Ein Magnetfeldsensor, der einen der verfügbaren Hochtemperatur-Supraleiter einsetzt, der eine kritische supraleitende Temperatur von etwa der oder knapp höher als die Siedetemperatur von flüssigem Stickstoff (z. B. 77–87 K) aufweist, kann betrieben werden, indem flüssiger Stickstoff als Wärmesenke eingesetzt wird. Auf der anderen Seite kann ein Hochtemperatur-Supraleiter, der eine supraleitende kritische Temperatur von knapp unterhalb der Siedetemperatur von flüssigem Stickstoff hat, nicht einfach betrieben werden, indem flüssiger Stickstoff als Kühlmittel eingesetzt wird. Jedenfalls ist es wünschenswert, die Siedetemperatur des flüssigen Stickstoffs um einen kleinen Betrag abzusenken, nämlich etwa um 10 k oder so, um eine Verringerung des Rauschens im ersteren Fall zu erreichen und um eine prinzipielle Funktionstüchtigkeit der Vorrichtung im zweiteren Fall zu erreichen.
  • Die Siedetemperatur des flüssigen Stickstoffs ist eine physikalische Konstante von etwa 77 K bei Umgebungsdruck. Diese Siedetemperatur kann etwa reduziert werden, indem der flüssige Stickstoff einem Vakuum ausgesetzt wird, jedoch ist das Vorsehen eines Vakuumsystems und die zugehörige Pumpenausrüstung schwierig zu handhaben, teuer und kann ein elektromagnetisches Rauschen erzeugen, die den Betrieb der Vorrichtung negativ beeinflusst. Während der Erzeugung des Vakuums um den flüssigen Stickstoff muss mit großer Vorsicht vorgegangen werden, um eine Verfestigung des Stickstoffs zu vermeiden, wodurch eine Beschädigung der zerbrechlichen elektronischen Komponenten verursacht werden kann. Der Einsatz eines Vakuumsystems kann auch die Verfügbarkeit bestimmter Systempackungsfunktionen beeinträchtigen. Zum Beispiel ist es sehr schwierig oder gar unmöglich, einen dünnwandige, flexiblen Behälter einzusetzen, falls es erforderlich ist, das Innere des Behälters luftleer zu pumpen. Mechanische Tieftemperaturkühlvorrichtungen (Kältemaschinen) können für die Kühlung auch eingesetzt werden, anstatt eines Tieftemperaturflüssigkeitsreservoirs, aber die Tieftemperaturkühlvorrichtung/Kältemaschine ist euer und die Quelle mechanischer Geräusche und elektrischen Rauschens.
  • Bei einer aus der EP 0 369 827 B1 bekannten Kühlvorrichtung der eingangs genannten Art ist der Tieftemperaturflüssigkeit (hier flüssiger Stickstoff) ein Gas, nämlich Fluorkohlenwasserstoff, beigemischt. Das Fluorkohlenwasserstoffgas ist in einem zweiten Gefäß durch eine Kühlschlange geführt, die in flüssigem Stickstoff eingetaucht ist. Mit anderen Worten, das Fluorkohlenwasserstoffgas wird gekühlt zugeführt. Obwohl das Fluorkohlenwasserstoffgas in heruntergekühlter Weise der Tieftemperaturflüssigkeit geperlt zugeführt wird, steigt die Tieftemperaturflüssigkeit nach Zuführen des Fluorkohlenwasserstoffgases an, nimmt also einen höheren Wert als dem Temperaturwert der reinen Tieftemperaturflüssigkeit entspricht. Diese Tieftemperaturflüssigkeit soll durch das Lösen des Fluorkohlenwasserstoffgases eine höhere Kühlkapazität erhalten.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Verbesserung der Kühlung der supraleitenden Vorrichtungen, die unter Einsatz eines Tieftemperatur-Kühlmittels betrieben werden, und zwar um einen relativ kleinen Betrag, nämlich um wenige Grade zu erreichen, ohne dabei ein Vakuum oder eine Tieftemperaturkühlvorrichtung/Kältemaschine einzusetzen. Eine solche Funktionsfähigkeit könnte weiten Einsatz finden, sowohl bei supraleitenden Vorrichtungen als auch bei vielen anderen Anwendungen, auch zum Beispiel bei Strahlungssensoren und Computerschaltkreisen.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe sind bei einer Kühlvorrichtung der genannten Art die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale vorgesehen.
  • Die Erfindung setzt dazu ein Reservoir an Tieftemperaturflüssigkeit als Wärmesenke ein, und reduziert die Siedetemperatur der Tieftemperaturflüssigkeit auf weniger als deren natürliche Siedetemperatur. Es wird keine Vakuumpumpe und keine mechanische Kältemaschine eingesetzt, obwohl die vorliegende Erfindung wahlweise in Verbindung mit einer Vakuumpumpe oder einem mechanisch gekühlten Tieftemperaturreservoir benutzt werden kann. Die vorliegende Erfindung erlaubt es, bequem auf eine Temperatur im Größenbereich von etwa 10 K oder mehr unterhalb der Siedetemperatur des flüssigen Stickstoffs herunterzukühlen, wobei flüssiger Stickstoff die Tieftemperaturflüssigkeit ist, die am häufigsten eingesetzt wird. In einem bevorzugten Fall wird die Siedetemperatur von flüssigem Stickstoff bei Umgebungsdruck und damit dessen effektive Temperatur als Tieftemperatur-Kältemittel, einfach von 77 K auf etwa 68 bis 71 K reduziert, wobei hierzu nur wenig zusätzliches Geld oder zusätzliche Betriebskosten erforderlich sind. Diese relativ kleine Reduktion in der Temperatur kann das Rauschen in einem SQUID um ein beträchtliches Ausmaß reduzieren, der aus einem Material besteht, welches eine supraleitende kritische Temperatur von etwa 77 K hat. Bei einem SQUID, der aus einem Hochtemperatur-Supraleiter gefertigt ist, der eine kritische supraleitende Temperatur von wenigen Grad oberhalb von 77 K hat, kann die Reduktion des Rauschens den Faktor 100 oder mehr betragen. Die vorliegende Erfindung schafft daher eine kostengünstige, einfach ausführbare Technik zur Reduzierung der Temperatur eines Tieftemperaturreservoirs.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen eines oder mehrerer der Ansprüche 2 bis 12.
  • Das Gas weist eine unterschiedliche chemische Zusammensetzung auf, verglichen mit der Tieftemperaturflüssigkeit und ist in der Tieftemperaturflüssigkeit löslich. Die Berührung bzw. der Kontakt des Gases mit der Tieftemperaturflüssigkeit verringert die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit, so dass die Temperatur einer Vorrichtung, die in thermischen Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit steht, wobei die Tieftemperaturflüssigkeit als eine Wärmesenke eingesetzt wird, ebenfalls verringert wird. In einem bevorzugten Fall wird als Tieftemperaturflüssigkeit flüssiger Stickstoff eingesetzt, und das Gas ist Helium, jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht hierauf beschränkt.
  • Das Gas wird mit der Tieftemperaturflüssigkeit in Kontakt gebracht, und zwar grundsätzlich auf beliebige Art und Weise, wobei es jedoch zwei bevorzugte Vorgehensweisen gibt. Die eine Vorgehensweise ist es, das Gas in Bläschen durch die Tieftemperaturflüssigkeit zu blasen. Die Gaseinleitungseinrichtung umfasst eine Röhre, die sich unterhalb der Oberfläche der Tieftemperaturflüssigkeit befindet und eine Druckquelle für das Gas. Die Andere Vorgehensweise sieht vor, das Gas mit der Oberfläche der Tieftemperaturflüssigkeit in Kontakt zu bringen, typischerweise durch Vorsehen eine Abdeckung an dem Behälter und Ausfüllen des Zwischenraums zwischen der Oberfläche der Tieftemperaturflüssigkeit und der Abdeckung mit Gas.
  • Die Tieftemperaturflüssigkeit mit reduzierter Temperatur kann auf unterschiedliche Art und Weise eingesetzt werden. Bei einer besonderen Anwendung wird ein Gerät in thermischen Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit gebracht, entweder durch Eintauchen oder durch einen Wärmeleiter. Das Gerät kann ein solches sein, welches unterhalb der Umgebungstemperatur arbeitet. Die Erfinder sind besonders interessiert an der Kühlung von Magnetsensoren und der Kühlung von SQUIDs, jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Anwendungen beschränkt.
  • Versuche haben gezeigt, dass der Kontakt des Heliums mit dem flüssigen Stickstoff die Siedetemperatur des flüssigen Stickstoffs bei Umgebungsdruck sehr schnell von 77 K auf etwa 68 bis 71 K reduziert. Die Betriebstemperatur der Geräte, die in thermischen Kontakt mit dem flüssigen Stickstoff stehen, wird gleichfalls reduziert. Diese reduzierte Temperatur wird für einen verlängerten Zeitraum aufrecht erhalten. Diese relativ kleine Verringerung der Temperatur reduziert das Signal-/Rauschverhältnis des Sensors um eine Faktor von etwa 2 bis 100, wobei die Betriebskosten nur unwesentlich erhöht werden.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum kühlen eines elektronischen Gerätes nach den Merkmalen des Anspruchs 13.
  • Weitere Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden, detaillierten Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform deutlich, die in Verbindung mit den zugehörigen Zeichnungen zu sehen ist, die rein beispielhaft das Prinzip nach der vorliegenden Erfindung darstellen.
  • Es zeigt:
  • 1 eine schematische Ansicht einer ersten Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine schematische Ansicht einer zweiten Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung;
  • 3 eine schematische Ansicht einer dritten Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung;
  • 4 eine schematische Ansicht einer vierten Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung;
  • 5 ein Blockdiagramm einer bevorzugten Ausführungsform der Ausgestaltung des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung;
  • 6 eine Funktion der Temperatur des flüssigen Stickstoffs über der Zeit, wenn Heliumgas in den flüssigen Stickstoff einströmt;
  • 7 eine Funktion der Temperatur des flüssigen Stickstoffs, wenn Heliumgas in den Zwischenraum über dem flüssigen Stickstoff eingeleitet wird und anschließend damit aufgehört wird;
  • 8 eine Funktion der Temperatur des flüssigen Stickstoffs über der Zeit, wenn Neongas in den flüssigen Stickstoff einströmt; und
  • 9 eine Funktion der Temperatur des flüssigen Stickstoffs, wenn das Neongas nicht mehr einströmt.
  • In der 1 ist eine Vorrichtung 20 dargestellt, die nach der vorliegenden Erfindung arbeitet. Diese Vorrichtung umfaßt einen Behälter 22 und eine Menge an Tieftemperaturflüssigkeit 24 in dem Behälter 22. Der Behälter 22 ist vorzugsweise isoliert, um den Wärmeverlust der Tieftemperaturflüssigkeit 24 zu minimieren, und ist beispielsweise in Form eines Dewar-Kessels ausgeführt. Die Tieftemperaturflüssigkeit dient als thermisches Reservoir, um die Wärme zu absorbieren.
  • Die Vorrichtung 20 umfaßt darüber hinaus eine Gasquelle 26, die unterhalb der Oberfläche 28 der Tieftemperaturflüssigkeit 24 angeordnet ist. In diesem Fall ist die Gasquelle 26 das untere Ende 30 eines Rohres 32, welches sich nach unten, bis unterhalb der Oberfläche 28 erstreckt. Ein oberes Ende 34 des Rohres 32 erhält das Gas von einer Gasquelle 36 mit komprimierten Gas, und zwar über eine einstellbare Druck-/Strömungsregeleinrichtung 38. Wahlweise kann die Tieftemperaturflüssigkeit gerührt werden, um den Kontakt und die Dispersion des eingeleiteten Gases in die Tieftemperaturflüssigkeit zu verbessern. Vorzugsweise, jedoch nicht notwendigerweise befindet sich eine Einrichtung 40 in thermischem Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit 24. Die Einrichtung 40 ist in der 1 gezeigt und ist in der Tieftemperaturflüssigkeit 24 eingetaucht und durch eine elektrische Leitung 42 mit der externen Elektronik 44 verbunden. Für die in den 6 bis 9 diskutierten Messungen der Temperatur ist die Einrichtung 40 als ein Silikondiodenthermometer ausgeführt. Bei anderen Anwendungen kann die Einrichtung 40 von jedem beliebigen Typ sein, der eine Kühlung benötigt, wie etwa ein Magnet feldsensor, eine supraleitende Quanteninterferenzeinrichtung, ein Energiesensor, ein Strahlungssensor, ein elektronischer Schaltkreis, usw.
  • Die Tieftemperaturflüssigkeit 24 ist ein verflüssigtes Gas, vorzugsweise flüssiger Stickstoff (als LN2 bezeichnet). Andere Tieftemperaturflüssigkeiten, wie etwa flüssiger Sauerstoff, flüssiges Neon, flüssiger Wasserstoff, flüssiges Helium, flüssiges CH4, flüssiges C2H6, oder flüssiges C3H8 können auch benutzt werden. Das Gas, welches von der Quelle 26 eingeleitet wird, ist ein reines Gas oder eine Mischung aus Gasen. Dieses Gas weist eine chemische Zusammensetzung auf, die sich von der chemischen Zusammensetzung der Tieftemperaturflüssigkeit unterscheidet, und das Gas ist in der Tieftemperaturflüssigkeit löslich. Vorzugsweise löst sich das Gas in der Tieftemperaturflüssigkeit endothermisch auf. Solche gasförmigen Komponenten können zum Beispiel sein: Helium, Wasserstoff, Neon, Stickstoff, Sauerstoff, Krypton, Tetrafluormethan, Methan, C2H6, oder C3H8.
  • Jede Tieftemperaturflüssigkeit hat eine kennzeichnende Siedetemperatur bei einem bestimmten Überdruck und die spezifische Tieftemperaturflüssigkeit wird in Verbindung mit den Anforderungen der Anwendung ausgewählt, wie etwa der erforderlichen Temperatur und den Kosten für die Tieftemperaturflüssigkeit. Flüssiger Stickstoff wird insbesondere bevorzugt, da er eine Siedetemperatur bei Umgebungsdruck von 77 K hat, und was ausreichend niedrig ist für viele Anwendungen, da er eine hohe Verdampfungswärme aufweist, da er nicht teuer ist, und da er nicht sehr reaktiv ist (z. B. entzündlich) im Hinblick auf viele Anwendungen. Im bevorzugten Fall des flüssigen Stickstoffs als Tieftemperaturflüssigkeit ist das bevorzugte Gas, welches mit dem flüssigen Stickstoff in Kontakt tritt, Helium.
  • In der 2 ist eine zweite Ausführungsform der Vorrichtung 20 dargestellt. Viele Bauteile, die in der 1 auch dargestellt sind und bereits erläutert sind, sind auch in der 2 vorhanden. Solche gemeinsamen Bauteile haben die gleichen Bezugszeichen und auf deren Beschreibung wird hier Bezug genommen. Bei dieser Ausführungsform weist der Behälter 22 einen Deckel 50 auf. Die Quelle 26 für das Gas ist das untere Ende 30 einer Röhre 32, jedoch im vorliegenden Fall erstreckt sich die Röhre 32 nicht bis unterhalb die Oberfläche 28 der Tieftemperaturflüssigkeit 24. Statt dessen liegt das untere Ende 30 der Röhre 32 über der Oberfläche 28 und ein Gasraum 52 ist zwischen der Abdeckung 50 und der Oberfläche 28 vorhanden.
  • Die Ausführungsform nach der 2 zeigt auch die Vorrichtung 40, die nicht unbedingt in der Tieftemperaturflüssigkeit 24 eingetaucht sein muß. In diesem Fall erstreckt sich ein thermischer Leiter 54 zwischen dem Inneren des Behälters 22 und dem Äußeren des Behälters 22 und steht mit der Tieftemperaturflüssigkeit 24 in Berührung. Die Vorrichtung 40 ist in einem Vakuum untergebracht, an einem Abschnitt des thermischen Leiters 54, der sich außerhalb des Behälters 22 befindet. Ein isoliertes Vakuumgehäuse 56 umgibt die Vorrichtung 40 vorzugsweise und auch den Abschnitt des thermischen Leiters 54, der sich nach außerhalb des Behälters 22 erstreckt. Die Ausführungsform nach der 2 leitet die Wärme von der Vorrichtung 40 in das Tieftemperaturflüssigkeitsreservoir ab, während die Ausführungsform nach der 1 die Wärme durch den Tauchkontakt ableitet. Der thermische Leiter nach der 2 kann zusammen mit der Gasbläschenanordnung nach der 1 eingesetzt werden, oder die Tauchanordnung nach der 1 kann gemeinsam mit der Gasraumanordnung nach der 2 benutzt werden, falls erwünscht.
  • Die 3 und 4 zeigen Ausführungsformen, die noch weitere wahlweise Merkmale umfassen. Die Ausführungsformen nach den 3 und 4 sind den Ausführungsformen nach der 1 ähnlich, nämlich insoweit als die Quelle 26 das untere Ende 30 der Röhre 32 ist, die bis unterhalb der Oberfläche der Tieftemperaturflüssigkeit 24 eingetaucht ist. Die gleichen Merkmale bzw. Bauteile in der 3 und 4 haben die gleichen Bezugszeichen wie in der 1, und insoweit wird auf die Beschreibung der 1 bezug genommen.
  • Bei der Ausführungsform nach der 3 ist eine zweite Gasquelle 60 vorgesehen. Bevorzugt ist dieses zweite Gas das gleiche Gas, welches produziert wird, wenn die Tieftemperaturflüssigkeit siedet. D. h., wenn die Tieftemperaturflüssigkeit vorzugsweise flüssiger Stickstoff ist, so ist das zweite Gas auch gasförmiger Stickstoff. Die zweite Quelle 60 ist ein Ende 62 einer zweiten Röhre 64, dessen anderes Ende 66 das zweite Gas von einer Gasdruckquelle 68 erhält, nämlich durch eine zweite einstellbare Druck-/Strömungsregeleinrichtung 70. Das Ende 62 ist bis unter die Oberfläche 28 der Tieftemperaturflüssigkeit 24 eingetaucht.
  • Das zweite Gas wird der Einfachheit halber in die Tieftemperaturflüssigkeit 24 durch Zirkulieren der Tieftemperaturflüssigkeit durch eine Regenerationsschleife 72 unter Einsatz einer Pumpe 74 eingeleitet. Die zweite Quelle 60 ist in der Regenerationsschleife 72 angeordnet, so daß das zweite Gas eingeleitet wird, wenn die Tieftemperaturflüssigkeit hinter der zweiten Quelle 60 zirkuliert.
  • Bei einer anderen Ausführungsform, die in der 4 gezeigt ist, unterteilt eine Abtrennung 76 den Behälter 22 in zwei Abteilungen. Die Quelle 26 für das erste Gas ist eine erste Seite 78 des Behälters 22, und die Quelle 60 für das zweite Gas ist eine zweite Seite 80 des Behälters 22. Die Pumpe 74 saugt die Tieftemperaturflüssigkeit von der ersten Seite 78 ab, und leitet sie durch eine erste Öffnung 82 in der Abtrennung 76 auf die zweite Seite 80. Nach der Regeneration strömt die Tieftemperaturflüssigkeit von der zweiten Seite 80 zurück zu der ersten Seite 78, nämlich durch den hydraulischen Druck und durch eine zweite Öffnung 84 in der Abtrennung 76.
  • Die Wirkung der Berührung des zweiten Gases mit der Tieftemperaturflüssigkeit ist es, die Siedepunktreduktionswirkungen des ersten Gases umzukehren. Das erste Gas bewirkt, daß der Siedepunkt der Tieftemperaturflüssigkeit reduziert wird. Das zweite Gas dreht diese Wirkung um, indem es das erste Gas aus der Lösung treibt, und bewirkt, daß der Siedepunkt der Tieftemperaturflüssigkeit auf den Wert zurückkehrt bzw. ansteigt, der in Richtung der Wertes für den Umgebungsdruck liegt. Bei einer typischen Anwendung der Vorrichtung 20 wird die erste Quelle 26 durch Öffnen der Regeleinrichtung 38 betätigt, um es dem Gas zu ermöglichen, aus der Gasquelle 36 unter Druck auszuströmen. Das erste Gas bewirkt danach eine Reduktion der Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit in dem Behälter 22. Zu dieser Zeit werden die Pumpe 74 und die zweite Gasquelle 60 nicht betrieben. Später, falls es erwünscht ist, die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit anzuheben, wird die Regeleinrichtung 38 geschlossen, wodurch die Quelle 26 verschlossen wird. Die Pumpe 74 wird in Betrieb genommen, wodurch eine Zirkulation der Tieftemperaturflüssigkeit hinter der zweiten Quelle 60 erfolgt. Die Regeleinrichtung 70 wird geöffnet, wodurch es erlaubt wird, daß das zweite Gas von der zweiten Gasquelle 68 in die Tieftemperaturflüssigkeit strömt.
  • Das zweite Gas kann eingeleitet werden, um letztendlich die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit anzuheben. Für diesen Fall braucht man keine Regenerationsschleife 72 oder Abtrennung 76. Das zweite Gas kann auch eingeleitet werden, um eine lang anhaltende Aufrechterhaltung der Siedepunktreduktionswirkungen des ersten Gases zu ermöglichen. Es ist beobachtet worden, daß, wenn das erste Gas in die Tieftemperaturflüssigkeit eingeleitet wird, die Temperatur der Tief temperaturflüssigkeit reduziert wird, und zwar für einen längeren Zeitraum. Jedoch nach einer langen Zeit kann die Temperatur wieder ansteigen, sogar wenn das erste Gas immer noch eingeleitet wird. Der Kontakt des zweiten Gases mit der Tieftemperaturflüssigkeit treibt das erste Gas aus der Lösung, hebt die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit etwa an, und re generiert die Tieftemperaturflüssigkeit, so daß der folgende Kontakt mit dem ersten Gas die Tieftemperaturflüssigkeit wieder auf die reduzierte Temperatur zurück bringt.
  • Die unterschiedlichen Merkmale der Vorrichtungen nach den 1 bis 4 können in jeder betriebsfähigen Kombination eingesetzt werden.
  • Ein bevorzugtes Verfahren zum Ausführen der vorliegenden Erfindung ist in der 5 illustriert. Die frühere Beschreibung der Tieftemperaturflüssigkeiten, der Gase und anderer Merkmale der vorliegenden Erfindung sind umfaßt. Die Tieftemperaturflüssigkeit hat das Bezugszeichen 90. Das Gas, welches zu der Tieftemperaturflüssigkeit eine unterschiedliche chemische Zusammensetzung aufweist und welches in der Tieftemperaturflüssigkeit löslich ist, wird mit der Tieftemperaturflüssigkeit in Kontakt gebracht, und weist das Bezugszeichen 92 auf. Wahlweise kann eine Einrichtung vorgesehen werden, die in thermischen Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit steht und die von dieser gekühlt wird und das Bezugszeichen 94 hat.
  • Die Siedepunktsreduktionswirkungen der vorliegenden Ausführungsform werden durch den Einsatz einer Vorrichtung erreicht, wie sie in den 1 und 2 dargestellt ist, wobei flüssiger Stickstoff die Tieftemperaturflüssigkeit ist, Helium das Kontaktgas ist, und ein Silikondiodenthermometer die gekühlte Einrichtung ist. Die Bläschenvorrichtung nach der 1 wurde eingesetzt, um die Temperatur-Zeit-Datenreihe nach der 6 zu erhalten. Helium wird mit einem Druck von 5 psi (Pfund pro Quadratinch) durch den flüssigen Stickstoff geblasen, und die Temperatur ist als eine Funktion der Zeit in der 6 dargestellt. Die Temperatur reduziert sich von 77 K bis zu einer Sättigungstemperatur von etwa 69 K in ca. einer Stunde und verringert sich danach nicht mehr. Nach etwa 2½ Stunden wird der Druck des Gases auf 10 psi erhöht, um die Strömungsrate des Heliumgases zu erhöhen, so daß die Tem peratur des flüssigen Stickstoffes weiter auf einen Sättigungswert von etwa 68 K reduziert wird. Der Behälter, in dem diese Versuche durchgeführt werden, war offen, so daß die Änderung im Druck eine Änderung der Flußrate wiedergibt, jedoch keine Änderung im angelegten Überdruck an der Tieftemperaturflüssigkeit.
  • Bei einem anderen Versuch wurde flüssiger Stickstoff auf etwa 70 K gekühlt, indem gasförmiges Helium durchgeblasen wurde. Die Durchströmung mit dem gasförmigen Helium wurde unterbrochen und es wurde die Durchströmung mit gasförmigen Stickstoff begonnen. Die Temperatur des flüssigen Stickstoffs erhöhte sich auf etwa 77 K.
  • In einem anderen Versuch wurde die Gasraumanordnung nach der 2 verwendet. Ein Heliumgas wurde mit 5 psi Druck eingeleitet und in dem Gasraum aufrecht erhalten, oberhalb des flüssigen Stickstoffs. Die Temperatur verringerte sich dann als eine Funktion der Zeit auf eine Art und Weise, die in der 7 dargestellt ist. Nach etwa 30 Minuten wurde der Druck des Heliumgases aufgehoben und die Temperatur des flüssigen Stickstoffs stieg gleichmäßig auf etwa 77 K an.
  • Ähnliche Ergebnisse wurde erzielt, indem Neongas als das Gas eingesetzt worden ist, bei einer Anordnung nach der 1. In der 8 ist der Rückgang der Temperatur als eine Funktion der Zeit dargestellt, nachdem das Durchströmen bzw. Durchblasen der Neongases durch den flüssigen Stickstoff begonnen wurde. Nach dem Anhalten des Neongases stieg die Temperatur des flüssigen Stickstoffs langsam wieder an, zurück auf den Wert bei Umgebungsdruck, wie es in der 9 gezeigt ist.
  • Die genauen thermodynamischen Prinzipien, die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegen, sind letztendlich nicht bekannt. Es wird jedoch angenommen, daß die Lösung des Gases in der Tieftemperaturflüssigkeit endothermisch ist und sich dar aus die Abkühlung der Tieftemperaturflüssigkeit ergibt. Die Anwendbarkeit und Funktionsfähigkeit der vorliegenden Erfindung ist jedoch nicht auf solche Erklärungen angewiesen.
  • Die vorliegende Erfindung schafft somit eine Anordnung zur Kontrolle der Temperatur einer Tieftemperaturflüssigkeit, um deren Siedetemperatur zu verringern, und zwar um etwa 10 K für den Fall eines flüssigen Stickstoffs. Diese Reduzierung der Siedetemperatur wird sehr kostengünstig erreicht, ohne eine nachteilige Beeinflussung der Leistung der Vorrichtung, die in thermischem Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit steht. Obwohl eine besondere Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben worden ist, und zwar zu rein illustrativen Zwecken, können unterschiedliche Modifikationen und Verbesserungen ausgeführt werden, ohne sich vom Kern der vorliegenden Erfindung weg zu bewegen. Dementsprechend ist die vorliegende Erfindung hierdurch nicht beschränkt, und wird durch die zugehörigen Patentansprüche definiert.

Claims (13)

  1. Kühlvorrichtung (20) mit einem Behälter (22), einer Tieftemperaturflüssigkeit (24) in dem Behälter (22) und einem Gas, welches mit der Tieftemperaturflüssigkeit (24) in Kontakt steht, dadurch gekennzeichnet, dass das Gas eine zu der Tieftemperaturflüssigkeit (24) unterschiedliche chemische Zusammensetzung aufweist und in der Tieftemperaturflüssigkeit (24) löslich ist, derart, dass die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit dann tiefer ist als die Temperatur der Tieftemperaturflüssigkeit (24), wenn das Gas nicht mit ihr in Berührung ist.
  2. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Tieftemperaturflüssigkeit (24) aus einer Gruppe, bestehend aus flüssigem Stickstoff, flüssigem Argon, flüssigem Neon, flüssigem Helium und flüssigem Sauerstoff, ausgewählt wird.
  3. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gas aus der Gruppe, bestehend aus Helium, Neon, Wasserstoff, Stickstoff und Argon ausgewählt wird.
  4. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Tieftemperaturflüssigkeit (24) flüssiger Stickstoff ist und das Gas gasförmiges Helium ist.
  5. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Behälter (22) eine Abdeckung (50) aufweist, und das Gas oberhalb der Oberfläche (28) der Tieftemperaturflüssigkeit (24) eingeleitet wird.
  6. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kühlvorrichtung weiterhin umfasst: – eine Gasquelle (26), die unterhalb der Oberfläche (28) der Tieftemperaturflüssigkeit (24) angeordnet ist.
  7. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kühlvorrichtung weiterhin umfasst: – ein elektronisches Gerät (40), welche sich in thermischen Kontakt mit der Tieftemperaturflüssigkeit (24) befindet.
  8. Kühlvorrichtung nach Anspruch 7, wobei das elektronische Gerät (40) aus einer Gruppe, bestehend aus einem Magnetfeldsensor, aus einem supraleitenden Quanteninterferenzgerät, aus einem Strahlungssensor und aus einem Computer-Schaltkreis, ausgewählt wird.
  9. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin mit: – einer Gasquelle (60) für eine gasförmige Tieftemperaturflüssigkeit (24), die unterhalb der Oberfläche (28) der Tieftemperaturflüssigkeit (24) angeordnet ist.
  10. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin mit: – einer Einrichtung (74) zur Zirkulation der Tieftemperaturflüssigkeit in dem Behälter (22).
  11. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin mit: – einer Einrichtung zur Zugabe des Gases zu der Tieftemperaturflüssigkeit (24), welches entsteht, wenn die Tieftemperaturflüssigkeit (24) siedet.
  12. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei sich das Gas in der Tieftemperaturflüssigkeit endothermisch löst.
  13. Verfahren zum Kühlen eines elektronischen Geräts, mit den folgenden Schritten: – Vorsehen eines Reservoirs an flüssigem Stickstoff; – Anordnen des elektronischen Geräts in thermischen Kontakt mit dem Reservoir aus flüssigem Stickstoff; und – Lösen von Heliumgas in dem flüssigen Stickstoff, wodurch der flüssige Stickstoff unter seine normale Siedetemperatur abgekühlt wird.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9702095D0 (en) * 1997-01-31 1997-03-19 Boc Group Plc Method of storing acetylene
US6151900A (en) * 1999-03-04 2000-11-28 Boeing Northamerican, Inc. Cryogenic densification through introduction of a second cryogenic fluid
US6431750B1 (en) * 1999-12-14 2002-08-13 Sierra Lobo, Inc. Flexible temperature sensing probe
US6453681B1 (en) * 2000-01-10 2002-09-24 Boeing North American, Inc. Methods and apparatus for liquid densification
US6823679B2 (en) * 2003-01-27 2004-11-30 The Boeing Company Anti-icing fluid injection nozzle
US20090241558A1 (en) * 2008-03-31 2009-10-01 Jie Yuan Component cooling system
JP2015175733A (ja) * 2014-03-14 2015-10-05 株式会社東芝 超電導特性の評価方法、その評価装置およびその評価プログラム
US11744041B2 (en) * 2014-06-24 2023-08-29 David Lane Smith System and method for fluid cooling of electronic devices installed in an enclosure
CN109686709A (zh) * 2018-12-13 2019-04-26 上海新储集成电路有限公司 一种快速降温装置及方法
CN115333329B (zh) * 2022-06-23 2023-04-07 北京航天试验技术研究所 双蒸发冷凝循环的氢能飞机高温超导电机冷却装置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0369827B1 (de) * 1988-11-18 1994-06-29 Fujitsu Limited Herstellung und Verwendung eines Kühlmittels für Kryogenvorrichtungen
DE4437436C2 (de) * 1994-10-20 1997-04-03 Forschungszentrum Juelich Gmbh Vorrichtung zur zerstörungsfreien Materialprüfung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3710549A (en) * 1971-01-29 1973-01-16 Parker Hannifin Corp Fuel tank inerting system
GB1336892A (en) * 1971-05-17 1973-11-14 Nii Kriogennoi Elektroniki Refrigerant for a cryogenic throttling unit
US4088193A (en) * 1976-02-02 1978-05-09 Colgate Stirling A Apparatus for inhibiting explosive mixing of liquid natural gas and water
JPS60102716A (ja) * 1983-11-10 1985-06-06 Mitsubishi Electric Corp 蒸発冷却式ガス絶縁電気装置
US4593537A (en) * 1984-05-25 1986-06-10 Klaas Visser Vertical plate freezer apparatus
US4970868A (en) * 1989-06-23 1990-11-20 International Business Machines Corporation Apparatus for temperature control of electronic devices
US5441658A (en) * 1993-11-09 1995-08-15 Apd Cryogenics, Inc. Cryogenic mixed gas refrigerant for operation within temperature ranges of 80°K- 100°K

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0369827B1 (de) * 1988-11-18 1994-06-29 Fujitsu Limited Herstellung und Verwendung eines Kühlmittels für Kryogenvorrichtungen
DE4437436C2 (de) * 1994-10-20 1997-04-03 Forschungszentrum Juelich Gmbh Vorrichtung zur zerstörungsfreien Materialprüfung

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