DE19757321A1 - Optische Komponente und Verwendung einer Beschichtung für eine solche Komponente - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Komponente gemäß dem Ober­ begriff des Anspruchs 1.

Aus "Application of porous silicon technology to optical wave­ guiding" A. Loni et al., Proceedings of the IEE colloquium "Microengineering Applications in Optoelectronics", 27. Februar, 1996, London, Digest No. 96/39 sind als Stand der Technik passive Applikationen aus porösem Silicium, wie z. B. Interferenzfilter, Waveguides und Sensoren, bekannt. Sie stellen aufgrund ihrer schnellen und preiswerten Herstellbarkeit ein großes Anwendungs­ potential von porösem Silicium dar. Bisher sind diese Elemente jedoch nur durch Beschichtung mit dichroitischen Schichten rea­ lisierbar, die nachteilig nicht die Temperaturbeständigkeit und Flexibilität im Schichtdesign wie zum Beispiel durch graduelle Variation des Brechungsindexes aufwiesen.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung eine optische Komponente zu schaffen, bei dem eine verbesserte Flexibilität im Schichtdesign möglich ist.

Die Aufgabe wird gelöst durch eine optische Komponente gemäß der Gesamtheit der Merkmale nach Anspruch 1. Weitere zweckmäßige oder vorteilhafte Ausführungsformen finden sich in den auf die­ sem Anspruch rückbezogenen Unteransprüchen.

Es wurde erkannt, daß zur Lösung der Aufgabe bekannte optische Komponenten wie z. B. Linsen, Filter oder Prismen oder auch Me­ talle in verschiedenen Formen mit Hilfe von porösidierbarem, insbesondere amorphem, polykristallinem oder mikrokristallinem Silicium zu beschichten. Anschließend werden diese Schichten porösidiert ausgebildet. Diese eine oder mehrere solcher poröser Schichten enthaltenden, optischen Komponenten sind bei geeigne­ ter Parameterwahl als Interferenzfilter, coatings oder Rugate Filter einsetzbar. Ein solches erfindungsgemäßes, optisches Sy­ stem eröffnet auf diese Weise einen breiten, neuen Anwendungsbe­ reich, wie zum Beispiel farbselektive Linsen, Hohlspiegel oder spektral selektiv absorbierende Schichten, gegebenenfalls in Kombination mit einem wärmeabführenden Metall.

Im einzelnen werden zur erfindungsgemäßen Herstellung von Trans­ missionsfiltern, oder in Kombination mit bekannten optischen Komponenten aus anderen Materialien oder zur Herstellung von Filtern aus porösem Silicium auf gekrümmten Oberflächen, wie zum Beispiel Linsen oder Hohlspiegel vorgeschlagen, in vorteilhafter Weise diese erfindungsgemäßen Komponenten mit einer Schicht aus amorphem, polykristallinem oder mikrokristallinem Silicium zu beschichten und anschließend diese Schicht zu ätzen.

Die Erfindung ist im weiteren an Hand von Figur und Ausfüh­ rungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 erfindungsgemäße Beschichtung einer gewölbten Linsen­ oberfläche zum Zwecke deren anschließenden Ätzung zur porösen Ausbildung. Es können Interferenz-, Rugatefil­ ter, Antireflexschichten oder Schichten mit anderen op­ tischen Eigenschaften aus porösem Silicium hergestellt werden.

Ausführungsbeispiel

In der Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Linse in Seitenansicht gezeigt. Die gewölbte Linsenoberfläche wurde zunächst erfin­ dungsgemäß beschichtet. Anschließend wurde durch Ätzung diese Schicht porös ausgebildet. Die poröse Schicht kann dabei je nach Ausbildung als Interferenzfilter, Rugatefilter, Antireflex­ schichten oder Schichten mit anderen optischen Eigenschaften ge­ staltet sein. Die optische Komponente kann aus Metall, Glas oder einem anderen, die Beschichtung tragfähigen Material gebildet sein.

Claims (6)

1. Optische Komponente mit einer für die optische Anwendung vor­ gesehenen Oberfläche, gekennzeichnet durch eine porö­ se Beschichtung wenigstens eines Teils dieser Oberfläche oder der gesamten Oberfläche.

2. Optische Komponente nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Beschichtung polykristallin, mikrokri­ stallin oder amorph ausgebildet ist.

3. Optische Komponente nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeich­ net durch eine als Interferenzfilter oder Rugate-Filter oder Antireflexschicht wirkende, poröse Beschichtung.

4. Optische Komponente nach Anspruch 1, 2 oder 3, gekenn­ zeichnet durch eine weitere Beschichtung aus anderem, insbesondere dichroitischem Material.

5. Optische Komponente nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Silizium als Material zur Bildung der porösen Beschichtung.

6. Linse, Prisma oder Spiegel mit für optische Anwendung geeigne­ ter Oberfläche als optische Komponente nach einem der vorherge­ henden Ansprüche.