DE19744224C2 - Sensor zur Messung von Gaskonzentrationen - Google Patents
Sensor zur Messung von GaskonzentrationenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung von
Gaskonzentrationen in einem Gasgemisch mit einem einsei
tig geschlossenen, in einem Gehäuse angeordneten kerami
schen, an seiner äußeren Oberfläche mindestens teilweise
aus einem Festelektrolytmaterial gebildeten Sensorröhr
chen, an dessen Außenseite mindestens ein Sensorkontakt
und mindestens ein Heizkontakt mit einer aktiven Heizflä
che angeordnet sind. Desweiteren betrifft die Erfindung ein
Verfahren zur Herstellung des Sensors.
Ein derartiger Sensor ist aus DE 95 34 918 A1 bekannt.
Bei dem hier beschriebenen Sensor sind mehrere Sensor
kontakte neben einem Heizkontakt auf einem Festelektroly
tröhrchen angeordnet. Die hier offenbarte Anordnung ist gut
geeignet für Heizleistungen im mittleren oder unterem Be
reich, wobei eine langsame Aufheizung durch den Heizer
erfolgt. Bei ungleichmäßiger Aufheizung des Sensorröhr
chens besteht die Gefahr, daß die thermomechanischen
Spannungen zu einer Zerstörung des Röhrchens führen kön
nen oder daß sich die Kontaktschichten von dem Sensor
röhrchen lösen. Aus DE 30 35 608 C ist ein solcher Sensor
bekannt, bei dem ein drahtförmiger Heizer auf die Sensor
oberfläche gewickelt ist. Dabei ist ein Heizerkontakt durch
das Innere des Sensorröhrchens geführt. Eine derartige An
ordnung ist relativ aufwendig, um einen gleichmäßigen Halt
auf der Sensoroberfläche zu gewährleisten und den Draht im
Innern des Sensorröhrchens zu kontaktieren bzw. zu führen,
da dies unter anderem auch Dichtungsprobleme an der
Durchführung des Drahtes durch das Sensormaterial mit
sich bringen kann.
Aus DE 32 25 483 A1 ist es bekannt, Sensorkontakte (Au
ßenelektroden) mittels Tampondruck auf einen zylindri
schen Sensorkörper aufzubringen. Tampondruck ist aller
dings aufgrund der relativ weichen Farbübertragungsele
mente relativ ungenau und beispielsweise für Heizerstruktu
ren völlig ungeeignet, da derartige Heizerstrukturen, wie sie
beispielsweise aus DE 195 34 918 A1 bekannt sind, bereits bei
geringfügigen Abweichungen der Abmessungen zu einem
unkontrollierten Temperaturverhalten führen, da Abwei
chungen von der vorgegebenen Fläche unmittelbar Abwei
chungen des Widerstandes nach sich ziehen.
Aus DE 36 28 572 C1 ist eine Sensoranordnung bekannt,
bei der die Kuppe des Sensorröhrchens aus Festelektrolyt
material gebildet ist, während ein Heizer auf einem isolie
renden Material auf der Mantelfläche angeordnet ist. Diese
unterschiedlichen Oberflächenausbildungen des Sensors
bringen die in der Druckschrift beschriebenen thermome
chanischen Spannungen und damit eine Zerstörungsgefahr
des Sensors mit sich.
Ein völlig anderer Sensoraufbau ist aus DE 44 01 793 C1
oder aus DE 96 46 013 A1 bekannt. Bei diesem Sensorauf
bau ist ein Heizstab innerhalb des Sensorröhrchens angeord
net. Die Heizung der Oberfläche des Sensorröhrchens er
folgt über Wärmeleitung von dem Heizstab aus über die At
mosphäre innerhalb des Sensorröhrchens und das Sensor
röhrchen selbst bis zu dessen äußerer Oberfläche. Diese Hei
zung ist daher relativ träge. Durch den hohen thermischen
Widerstand zwischen Sensoraußenoberfläche und Heizer ist
es unmöglich, die Temperatur der Sensoraußenoberfläche,
an der sich die aktiven Sensorkontakte (Sensorelektroden)
befinden, genau zu regeln. Außerdem kann bei Abweichun
gen von einer rotationssymmetrischen Anordnung des Heiz
stabes innerhalb des Sensorröhrchens zu einer inhomogenen
Aufheizung dieses Sensorröhrchens führen. Diese Anord
nung hat allerdings den Vorteil, daß Ungenauigkeiten beim
Aufdrucken des Heizleiters auf den Heizstab nach dem aus
DE 32 25 483 A1 bekannten Verfahren relativ unkritisch
sind, da der Heizstab selbst massiv und damit relativ stabil
ist und eine inhomogene Aufheizung der Oberfläche des
Heizstabes durch die erforderliche Wärmeleitung bis zur
Oberfläche des Sensorröhrchens nicht zu einer analogen In
homogenität bei der Aufheizung der Oberfläche des Sensor
röhrchens führt.
Darüberhinaus ist es bekannt, zylindrische Substrate
durch unterschiedliche Verfahren zu beschichten. Beispiels
weise aus EP 501 593 A1 oder aus US 4 075 968 ist es be
kannt, Widerstandsschichten von zylindrischen Schichtwi
derständen durch Siebdrucken aufzubringen, wobei der Wi
derstandswert selbst durch die mäanderförmigen Schichten
bestimmt ist. Die inhomogene Verteilung der Widerstands
schichten auf den Substraten ist bei diesen Widerständen un
kritisch, da derartige Widerstände niedrige Temperaturen
unterhalb von etwa 100° aufweisen, so daß thermomechani
sche Spannungen innerhalb des Substratmaterials praktisch
nicht auftreten.
Aus DE 197 03 636 A1 ist ein Lambda-Sensor bekannt,
der ein Sensorröhrchen aufweist, auf dessen Außenseite ein
Sensorkontakt angeordnet ist, wobei oberhalb des Sensor
kontaktes eine Isolierschicht angeordnet ist, auf der, eben
falls oberhalb des Sensorkontaktes, ein Heizkontakt ange
ordnet ist. Diese Anordnung soll ein rasches Aufheizen des
Sensors bewirken, so daß der Sensor ohne Verzögerungszeit
funktionsfähig ist und Abgaskonzentrationen von Kraftfahr
zeugen auch bei noch kaltem Abgas messen kann. Die An
ordnung hat allerdings den Nachteil, daß das zu messende
Gas, bevor es an den Sensorkontakt gelangt, mit dem metal
lischen Heizer in Berührung kommt. Dabei reagiert das zu
messende Gas mit dem metallischen Heizer und gelangt
nicht mehr unverfälscht an den Sensorkontakt. Als Folge
dessen weist die Messung ein von den tatsächlichen Verhält
nissen im Gas abweichendes Ergebnis auf.
Ausgehend von dem bekannten Stand der Technik liegt
der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Gassensor zu
schaffen, der eine kurze Ansprechzeit aufweist und der auch
in heißen Abgasen exakt und langzeitstabil funktioniert. Der
Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, ein zur
Herstellung eines derartigen Sensors geeignetes Verfahren
anzugeben.
Diese Aufgabe wird für einen Sensor gemäß dem Oberbe
griff des Anspruchs 1 erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
Sensorkontakt und Heizkontakt auf das Sensorröhrchen ge
siebdruckt sind, daß mindestens die aktive Heizfläche rotati
onssymmetrisch um den Umfang des Sensorröhrchens
herum ausgebildet ist und daß der Heizkontakt auf einer auf
dem Festelektrolytmaterial aufgebrachten elektrisch isolie
renden Schicht derart angeordnet ist, daß er den mindestens
einen Sensorkontakt nicht überdeckt. Er ist also auf dem
Umfang des Sensors neben dem mindestens einen Sensor
kontakt angordnet. Es hat sich erwiesen, daß ein derartiger
Sensor sehr exakt und gleichmäßig aufheizbar ist und in den
beispielsweise in Kraftfahrzeug-Abgasen üblichen Tempe
raturen von etwa 400°C bis 1000°C einwandfrei arbeitet.
Durch die rotationssymmetrische Ausbildung des Heizkon
taktes werden thermomechanische Spannungen im Material
des relativ dünnen Sensorröhrchens vermieden, die sonst zu
einer Zerstörung des Röhrchens führen könnten. Außerdem
können Temperaturschwankungen, die zum Beispiel durch
Schwankungen der Abgasgeschwindigkeiten bei Kraftfahr
zeugen an der Sensoraußenoberfläche entstehen, durch eine
solche Heizeranordnung besser verhindert werden. Das
Siebdruckverfahren liefert auch bei den hohen Arbeitstem
peraturen des Sensors exakt haftende und in ihrer Geometrie
genau ausgebildete Kontakte, so daß die Heizleistung exakt
bestimmbar ist.
Vorzugsweise sind Heizkontakt und/oder Sensorkontakt
mäanderförmig auf dem Sensorröhrchen angeordnet, wobei
die Mäanderform in Umfangsrichtung um das Sensorröhr
chen herum ausgebildet ist. Auf diese Weise ist eine sehr
gleichmäßige Ausbildung der Kontakte und damit beispiels
weise eine sehr gleichmäßige Erwärmung des Sensorröhr
chens möglich. Insbesondere ist es zweckmäßig, daß der
Mäander des Heizers aus alternierend in Achsrichtung und
in Umfangsrichtung des Sensorröhrchens verlaufenden Ab
schnitten gebildet ist, wobei die Breite der in Achsrichtung
verlaufenden, aktive Heizflächen bildenden Abschnitte ge
ringer ist, als die Breite der in Umfangsrichtung verlaufen
den Abschnitte. Vorteilhaft ist es weiterhin, daß die Rotati
onssymmetrie zwei- bis zehnzählig, insbesondere vierzählig
ist, da dadurch eine homogene Sensorausbildung (beispiels
weise in Bezug auf die Aufheizung) bei gleichzeitig einfa
chem Aufbau gegeben ist. Der mindestens eine Sensorkon
takt kann vollständig oder teilweise auf dem Festelektrolyt
material oder auf einem elektrisch isolierenden Material,
insbesondere auf einer auf dem Festelektrolytmaterial auf
gebrachten elektrisch isolierenden Schicht (Isolierschicht)
angeordnet sein. Dadurch können sowohl resistive als auch
potentiometrische bzw. amperometrische Sensoren gebildet
werden. Vorteilhafterweise ist die elektrisch isolierende
Schicht aus Aluminiumoxid oder aus Spinell gebildet, aus
Materialien also, die relativ einfach aufzubringen sind und
die gleichzeitig die nötige Temperaturfestigkeit und chemi
sche Beständigkeit aufweisen.
Das Sensorröhrchen kann aus einem Grundkörper aus ei
nem hochtemperaturbeständigen Material, insbesondere aus
Spinell oder aus Aluminiumoxid gebildet sein, auf dem das
Festelektrolytmaterial, beispielsweise Zirkonoxid, angeord
net ist. Das Sensorröhrchen kann auch vollständig aus dem
Festelektrolytmaterial gebildet sein.
Die Aufgabe wird für das erfindungsgemäße Verfahren
zur Herstellung des erfindungsgemäßen Sensors dadurch ge
löst, daß sowohl der Sensorkontakt als auch der Heizkontakt
auf das keramische Sensorröhrchens mittels Siebdruckver
fahren aufgebracht werden. Dabei hat es sich als zweckmä
ßig erwiesen, das Heizkontakt und Sensorkontakt nachein
ander aufgedruckt werden, wobei insbesondere der Heiz
kontakt zuerst aufgedruckt werden kann. Es kann allerdings
auch vorteilhaft sein, Heizkontakt und Sensorkontakt
gleichzeitig aufzudrucken. Hierfür muß die für den Heiz
kontakt erforderliche elektrisch isolierende Beschichtung
Aussparungen aufweisen, in denen der Sensorkontakt un
mittelbar auf dem Festelektrolytmaterial des Sensorröhr
chens angeordnet werden kann, sofern er nicht ebenfalls auf
einer Isolierschicht angeordnet wird. Die elektrisch isolie
rende Schicht (Isolierschicht) kann vorzugsweise ebenfalls
gesiebdruckt sein.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung
anhand einer Zeichnung näher erläutert.
In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine Darstellung des Sensorröhrchens,
Fig. 2 eine Darstellung der Mantelfläche des Sensors,
Fig. 3 eine Schnittdarstellung des Sensors.
In Fig. 1 ist das Sensorröhrchen des erfindungsgemäßen
Sensors schematisch dargestellt. Das Sensorröhrchen kann
in einer dem Fachmann bekannten Weise in einem Gehäuse
angeordnet und kontaktiert sein. Derartige Anordnungen
sind beispielsweise aus DE-A1-197 03 636 bekannt und
dort ausführlich beschrieben. Das Sensorröhrchen 1 weist
einen Heizkontakt 2 und mehrere Sensorkontakte 3; 4 auf.
Die Kontakte 2; 3; 4 sind im wesentlichen längs des Sensor
röhrchens 1 geführt. Sie weisen an dem offenen Ende des
Sensorröhrchens 1 Kontaktflächen 2'; 3'; 4' auf, die der elek
trischen Kontaktierung des Sensorröhrchens 1 dienen (siehe
auch Fig. 2). In der Querschnittsdarstellung in Fig. 3 ist eine
im Inneren des Sensorröhrchens 1 angeordnete Innenelek
trode 5 angeordnet, die an dem offenen Ende des Sensor
röhrchens 1 eine Anschlußfläche 5, aufweist.
Das Sensorröhrchen 1 ist einseitig geschlossen und weist
als Festelektrolyten 10 Zirkonoxid auf. Es kann vollständig
aus Zirkonoxid gebildet sein oder lediglich an seiner äuße
ren Oberfläche Zirkonoxid in den Bereichen, in denen die
aktiven Sensorflächen 6; 7 angeordnet sind, aufweisen. Die
Sensorkontakte 3; 4 weisen an ihrem dem geschlossenen
Ende des Sensorröhrchens 1 zugewandten Ende aktive Sen
sorflächen 6; 7 auf. Die Sensorkontakte 3; 4 umfassen also
neben den längs des Sensorröhrchens 1 geführten Leiterbah
nen auch die Kontaktflächen 3'; 4' und die aktiven Sensorflä
chen 6; 7. Der Heizkontakt 2 weist in unmittelbarer Nähe
der aktiven Sensorflächen 6; 7 aktive Heizflächen 8 auf.
Diese aktiven Heizflächen 8 weisen einen gegenüber den
benachbarten Bereichen 9 Heizkontaktes 2 geringeren Quer
schnitt auf. Der Heizkontakt 2 umfaßt also neben längs des
Sensorröhrchens 1 geführten Leiterbahnen auch die Kon
taktfläche 2', die aktive Heizfläche 8 und die benachbarten
Bereiche 9. In den benachbarten Bereichen 9 ist der Wider
stand des Heizkontaktes wesentlich geringer, so daß die Er
wärmung dieser Flächen bei weitem nicht so hoch ist wie
die Erwärmung der aktiven Heizflächen 8. Die aktiven Heiz
flächen 8 sind in Umfangsrichtung des Sensorröhrchens 1
neben den aktiven Sensorflächen 6; 7 rotationssymmetrisch
angeordnet. Dadurch ist eine gute thermische Ankopplung
des Heizkontaktes 2 mit den aktiven Heizflächen 8 an die
Sensorkontakte 3; 4 gegeben, so daß eine schnelle Aufhei
zung der aktiven Sensorflächen 6; 7 erfolgt. Gleichzeitig
wird das gesamte Sensorröhrchen 1 gleichmäßig erwärmt,
so daß Spannungen innerhalb des Sensormaterials, die zur
Zerstörung des Sensorröhrchens 1 führen könnten, vermie
den werden.
Der Heizkontakt 2 ist auf einer auf dem Festelektrolyten
10 des Sensorröhrchens 1 angeordneten Isolierschicht 11
aufgebracht. Die Isolierschicht 11 ist beispielsweise aus
Aluminiumoxid gebildet.
Die Sensorkontakte 3; 4 mit ihren aktiven Sensorflächen
6; 7 können unterschiedlich ausgebildet sein. Beispielsweise
kann die aktive Sensorfläche 7 unmittelbar auf dem Fest
elektrolyten 10 angeordnet sein, das heißt, diesen elektrisch
kontaktieren und einen Meßkreis mit der Innenelektrode 5
zur Messung eines Bestandteiles des den Sensor umgeben
den Gasgemisches bilden, während die zweite aktive Sen
sorfläche 6 auf der Isolierschicht 11 angeordnet sein kann,
das heißt, sie berührt den Festelektrolyten 10 nicht. Die Iso
lierschicht 11 kann mittels Siebdruck aufgebracht werden.
In Fig. 3 (Sensorquerschnitt längs der Linie A-A in Fig. 2)
1 ist eine solche Anordnung mit zwei unterschiedlichen Sen
sorkontakten 3; 4 mit entsprechend unterschiedlich ausge
bildeten aktiven Sensorflächen 6; 7 dargestellt. Die zweite
aktive Sensorfläche 6 umfaßt zwei Sensorelektroden 12 und
ein die beiden Sensorelektroden 12 verbindendes aktives
Sensormaterial 13. Die Sensorelektroden 12 sind zum Bei
spiel aus Platin oder Gold gebildet. Das aktive Sensormate
rial 13 kann als Festelektrolyt dienen und aus Zirkonoxid
gebildet sein; im Falle der Ausbildung als resistiver Sensor
kann es aus Zinnoxid, Strontiumtitanat oder Titanoxid gebil
det sein. Die aktive Sensorfläche 6 mit dem aktiven Sensor
material 13 dient der Messung von Kohlenwasserstoffen,
Kohlenmonoxid oder Stickoxiden.
Die aktive Sensorfläche 7 ist beispielsweise aus Platin
oder einer Mischung aus Platin mit Zirkonoxid gebildet und
dient der Messung von Sauerstoff.
Das komplette Sensorröhrchen 1 einschließlich der Sen
sorkontakte 3; 4 und der Heizkontakte 2 kann von einer po
rösen Schutzschicht aus einem inerten Material, beispiels
weise Aluminiumoxid oder Spinell umgeben sein. Diese
Schutzschicht ist in den Figuren der Übersichtlichkeit halber
nicht dargestellt.
Sowohl die Struktur des Heizkontaktes 2 als auch die
Struktur der Sensorkontakte 3; 4 werden gesiebdruckt. Der
Vorgang des Siebdruckens von Heizkontakten ist dem Fach
mann beispielsweise aus DE-A-197 03 636 bekannt. Die
Reihenfolge des Siebdruckens der unterschiedlichen
Schichten 2; 3; 4; 6; 7; 8; 11; 12; 13 hängt im wesentlichen
von der Materialwahl der Schichten ab, wobei die Materia
lien mit hohen Sintertemperaturen zuerst gedruckt, getrock
net und gesintert werden. Vor dem Siebdrucken wird der
Festelektrolyt 10 mit einer Isolierschicht umgeben, wobei
die Isolierschicht nicht an der Stelle angeordnet wird, an der
ein Sensorkontakt unmittelbar auf den Festelektrolyten 10
aufgebracht werden soll. Abschließend wird nach dem Sieb
drucken eine poröse Schutzschicht auf das komplette Sen
sorröhrchen einschließlich der Kontakte 2; 3; 4 aufgebracht.
Claims (13)
1. Sensor zur Messung von Gaskonzentrationen in ei
nem Gasgemisch mit einem einseitig geschlossenen, in
einem Gehäuse angeordneten keramischen, an seiner
äußeren Oberfläche mindestens teilweise aus einem
Festelektrolytmaterial gebildeten Sensorröhrchen, an
dessen Außenseite mindestens ein Sensorkontakt und
mindestens ein Heizkontakt mit einer aktiven Heizflä
che angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß
Sensorkontakt (3; 4) und Heizkontakt (2) auf das Sen
sorröhrchen (1) gesiebdruckt sind, daß mindestens die
aktive (8) Heizfläche rotationssymmetrisch um den
Umfang des Sensorröhrchens (1) herum ausgebildet ist
und daß der Heizkontakt (2) auf einer auf dem Fest
elektrolytmaterial (10) aufgebrachten elektrisch isolie
renden Schicht (11) derart angeordnet ist, daß er den
mindestens einen Sensorkontakt (3; 4) nicht überdeckt.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß Heizkontakt (2) und/oder Sensorkontakt (3; 4) mä
anderförmig auf dem Sensorröhrchen (1) angeordnet
sind und daß die Mäanderform in Umfangsrichtung um
das Sensorröhrchen (1) herum ausgebildet ist.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Mäander des Heizerkontaktes (2) aus
alternierend in Achsrichtung und in Umfangsrichtung
des Sensorröhrchens (1) verlaufenden Abschnitten ge
bildet ist und daß die Breite der in Achsrichtung verlau
fenden, aktive Heizflächen (8) bildenden Abschnitte
geringer ist als die Breite der in Umfangsrichtung ver
laufenden Abschnitte.
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Sensorröhrchen (1) einen
Grundkörper aus einem hochtemperaturbeständigen
Material, insbesondere aus Spinell oder aus Alumini
umoxid aufweist, auf dem das Festelektrolytmaterial
(10) angeordnet ist.
5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Sensorröhrchen (1) vollstän
dig aus dem Festelektrolytmaterial (10) gebildet ist.
6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Rotationssymmetrie zwei- bis
zehnzählig, insbesondere vierzählig ist.
7. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der mindestens eine Sensorkon
takt (3; 4) vollständig oder teilweise auf dem Festelek
trolytmaterial oder auf einem elektrisch isolierenden
Material, insbesondere auf einer auf dem Festelektro
lytmaterial (10) aufgebrachten elektrisch isolierenden
Schicht (11) angeordnet ist.
8. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Schicht
(11) aus Aluminiumoxid oder aus Spinell gebildet ist.
9. Verfahren zur Herstellung eines Sensors nach einem
der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß
der Sensorkontakt (3; 4) und der Heizkontakt (2) auf
das keramische Sensorröhrchen (1) mittels Siebdruck
verfahren aufgebracht werden.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich
net, daß Heizkontakt (2) und Sensorkontakt (3; 4)
nacheinander aufgedruckt werden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Heizkontakt (2) zuerst aufgedruckt
wird.
12. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich
net, daß Heizkontakt (2) und Sensorkontakt (3; 4)
gleichzeitig aufgedruckt werden.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, da
durch gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende
Schicht (11) gesiebdruckt wird.
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