DE19739949B4 - Durchflußdetektor - Google Patents

Durchflußdetektor Download PDF

Info

Publication number
DE19739949B4
DE19739949B4 DE19739949A DE19739949A DE19739949B4 DE 19739949 B4 DE19739949 B4 DE 19739949B4 DE 19739949 A DE19739949 A DE 19739949A DE 19739949 A DE19739949 A DE 19739949A DE 19739949 B4 DE19739949 B4 DE 19739949B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
flow
sensor
detection tube
sensor holding
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19739949A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19739949A1 (de
Inventor
Tomoya Yamakawa
Masahiro Kawai
Akira Yamashita
Yutaka Ohashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of DE19739949A1 publication Critical patent/DE19739949A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19739949B4 publication Critical patent/DE19739949B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6847Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845Micromachined devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/69Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
    • G01F1/692Thin-film arrangements

Abstract

Durchflussdetektor umfassend:
– ein Tragelement (41), das in einem Fluidkanal (21) vorgesehen ist, wobei das Tragelement (41) einen Sensorhalteabschnitt (41b) und zumindest einen sich verbreiternden Abschnitt (41c) besitzt, wobei der Sensorhalteabschnitt (41b) eine vorbestimmte Breite hat und in einer Seitenfläche mit einer Ausnehmung (41a) vorgesehen ist und wobei der sich verbreiternde Abschnitt (41c) an einem Ende des Sensorhalteabschnitts (41b) liegt, wobei weiterhin die Breite des sich verbreiternden Abschnitts (41c) von dessen vom Sensorhalteabschnitt (41b) beabstandetem Ende zu dem Sensorhalteabschnitt (41b) hin zunimmt, und
– einen wärmeempfindlichen Durchflußsensor (42), der in der Ausnehmung (41a) eingebaut ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Durchflußsensor (42) gegenüber der Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts (41b) zurückversetzt ist

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Durchflußdetektor, der zur Messung der beispielsweise in einen Verbrennungsmotor eingeleiteten Luftmenge verwendet wird, aber auch für andere Anwendungen einsatzfähig ist, und der zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit oder des Durchflusses eines Fluids unter effektiver Ausnutzung des Phänomens ausgestaltet ist, daß Wärme von einem Heizelement oder einem durch das Heizelement erwärmten Heizabschnitt auf das Fluid übertragen wird.
  • Ein beispielhafter Stand der Technik ist in der deutschen Offenlegungsschrift DE 31 35 793 A1 offenbart, die den nächstkommenden Stand der Technik darstellt. Es wird ein Durchflussdetektor beschrieben, der insbesondere zur Messung der Ansaugluftmenge von Verbrennungsmotoren beschrieben wird. Hierzu sind mehrere temperaturabhängige Messwiderstände auf einem Träger aufgebracht.
  • Ein weiterer beispielhafter Stand der Technik ist anhand der 18 bis 22 nachfolgend erläutert. Die 18 zeigt eine Querschnittsansicht durch einen herkömmlichen wärmeempfindlichen Durchflußsensor des Brückentyps, der beispielsweise in der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 5-7659 offenbart ist. Die 19 zeigt eine Draufsicht auf den in 18 gezeigten Durchflußsensor, wobei eine Schutzfolie bzw. ein Schutzfilm entfernt ist. In den Zeichnungen ist ein aus Siliziumnitrid bestehender Isoliertragfilm 2 auf einem flachen Substrat 1 gebildet, das aus einem Silizium-Halbleiter besteht. Auf dem Tragfilm 2 sind ein Wärme erzeugender Widerstand 3, Temperaturmeßwiderstände 4 und 5 und ein Vergleichswiderstand 6 ausgebildet, die aus Permalloy bestehen, d.h. wärmeempfindliche Widerstände. Der Wärme erzeugende Widerstand 3 ist zwischen den Temperaturmeßwiderständen 4 und 5 angeordnet. Der Vergleichswiderstand 6 ist in einem vorbestimmten Abstand zum Temperaturmeßwiderstand 4 angeordnet.
  • Auf dem Tragfilm 2 und den Widerständen 4 bis 6 ist ein isolierender Schutzfilm 7 ausgebildet, der aus Silizumnitrat besteht. Ein Luftspalt 8 ist in einem Bereich des Substrats 1 geschaffen, wo der Wärme erzeugende Widerstand 3 und die Temperaturmeßwiderstände 4 und 5 plaziert sind, wodurch ein Brückenabschnitt 9 gebildet ist. Der Luftspalt 8 ist durch das Entfernen eines Teils des Substrates 1 durch eine Öffnung 10 hindurch unter Verwendung eines Siliziumnitrid nicht angreifenden Ätzmittels bzw. einer Ätzflüssigkeit gebildet.
  • Bei einem derartigen herkömmlichen Durchflußsensor wird der dem Wärme erzeugenden Widerstand 3 zugeführte Heizstrom durch einen nicht gezeigten Steuer- oder Regelkreis gesteuert, so daß die Temperatur des Wärme erzeugenden Widerstandes 3 um 200 °C höher ist als die am Vergleichswiderstand 6 gemessene Temperatur des Substrates 1. Da der Luftspalt 8 unter dem Wärme erzeugenden Widerstand 3 vorhanden ist, wird die am Wärme erzeugenden Widerstand 3 erzeugte Wärme fast nicht auf den Vergleichswiderstand 6 übertragen und die Temperatur des Vergleichswiderstandes 6 wird nahezu gleich der Lufttemperatur.
  • Die am Wärme erzeugenden Widerstand 3 erzeugte Wärme wird hauptsächlich über den Tragfilm 2 und den Schutzfilm 3 auf die Temperaturmeßwiderstände 4 und 5 übertragen. Da der Wärme erzeugende Widerstand 3 und die Temperaturmeßwiderstände 4, 5 eine symmetrische Form haben, besteht, wenn keine Luft strömt, zwischen den Temperaturmeßwiderständen 4 und 5 bezüglich des Widerstands kein Unterschied. Wenn ein Luftstrom erzeugt wird, wird der stromaufwärts liegende Temperaturmeßwiderstand durch die Luft gekühlt, während der stromabwärts liegende Temperaturmeßwiderstand nicht so stark gekühlt wird wie der stromaufwärts liegende Temperaturmeßwiderstand, da die Wärme vom wärme erzeugenden Widerstand 3 über die Luft übertragen wird.
  • Wenn beispielsweise ein Luftstrom in der durch den Pfeil A in 19 angezeigten Richtung erzeugt wird, wird die Temperatur des Temperaturmeßwiderstands 4 niedriger werden als die Temperatur des Temperaturmeßwiderstandes 5. Der Widerstandsunterschied zwischen den zwei Temperaturmeßwiderständen erhöht sich sowie die Strömungsgeschwindigkeit zunimmt. Folglich kann die Strömungsgeschwindigkeit durch Erfassung des Widerstandsunterschieds zwischen den Temperaturmeßwiderständen 4 und 5 gemessen werden. Außerdem kann die Strömungsrichtung eines Fluids dadurch erfaßt werden, daß festgestellt wird, welcher der Temperaturmeßwiderstände 4 und 5 eine niedrigere Temperatur besitzt.
  • Die 20 zeigt eine Querschnittsansicht durch einen wärmeempfindlichen Durchflußsensor mit Membrane. Die 21 wiederum zeigt eine Draufsicht des in 20 gezeigten Durchflußsensors, wobei ein Schutzfilm entfernt ist. Der Abschnitt des Substrates 1, wo der Wärme erzeugende Widerstand 3 und die Temperaturmeßwiderstände 4, 5 ausgebildet sind, wurde durch Entfernen eines Teils des Substrates 1 von der Rückseite durch Ätzen oder einem anderen Verfahren hergestellt, um so eine Membrane 11 auszubilden. Dieser Durchflußsensor mit Membrane arbeitet gemäß dem gleichen Prinzip wie der Durchflußsensor des Brückentyps, um die Durchflußgeschwindigkeit oder den Durchfluß zu erfassen.
  • Die 22 zeigt eine Querschnittsansicht eines Beispiels der Anordnung eines herkömmlichen wärmeempfindlichen Durchflußsensors. Der wärmeempfindliche Durchflußsensor ist als Lufteinlaßvolumensensor für einen Verbrennungsmotor in einem Kraftfahrzeug eingesetzt. In den Zeichnungen ist ein Durchflußdetektor 14, der einen wärmeempfindlichen Durchflußsensor 12 und eine Schaltung 13, die mit dem Durchflußsensor 12 verbunden ist, umfaßt, mit der stromabwärts liegenden Seite eines Luftreinigungselementes 15 verbunden. Eine Drosselklappe 16 ist stromabwärts des Durchflußdetektors 14 vorhanden.
  • Bei der zuvor beschriebenen Ausbildung werden in der eingeführten Luft befindliche Staub- oder Schmutzteilchen 17 durch das Luftreinigungselement 15 festgehalten. Dadurch verstopft das Luftreinigungselement 15 im Durchwanderungsverlauf, was bewirkt, daß der Luftstrom stromabwärts des Luftreinigungselementes 15 abgelenkt oder allgemein gestört wird. Genauer gesagt, der Luftstrom strömt zu Beginn größtenteils in der Weise, wie es durch den Pfeil B angedeutet ist, wird jedoch, sobald sich Staubteilchen auf dem Luftreinigungselement 15 angesammelt haben, abgelenkt und strömt entsprechend den durch die Pfeile C oder D angedeuteten Richtungen. Da die Drosselklappe 16 stromabwärts des Durchflußsensors 12 liegt, wird auch die Strömung auf der stromabwärts gelegenen Seite des Durchflußsensors 12 abgelenkt.
  • Beim Einbauen dieses herkömmlichen wärmeempfindlichen Durchflußsensors, der in der oben beschriebenen Art und Weise ausgebildet ist, in einem Strömungs- oder Fluidkanal, bewirkt, daß der Luftstrom an der Vorderkante des Sensors auf irgendwelche Wirbel erzeugt. Die erzeugten Wirbel laufen am Sensor zusammen und treffen dort auf, addieren sich zu den Störungen in der Strömung auf der Sensoroberfläche, wodurch der Rauschabstand sinkt, was es unmöglich macht, eine zufriedenstellende Empfindlichkeit zu erzielen.
  • Ein Sensor, der auf der Innenwand der Fläche eines Fluidkanals oder auf der Innenwandfläche des im Fluidkanal eingebauten Gehäuses angeordnet ist, ist beispielsweise in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 5-142008 oder der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 6-50783 offenbart. Dieser Sensor versagt jedoch dabei, eine ausreichend zufriedenstellende Erfassungsleistung bereitzustellen, wenn die Strömung Ablenkungen erzeugt, wie es in der 22 gezeigt ist. Wenn die Strömung im Fluidkanal abgelenkt wird, nimmt im allgemeinen die Strömungsgeschwindigkeitsänderung an der Kanalinnenwand beträchtlich zu im Vergleich zu der Änderung der Strömungsgeschwindigkeit im Zentrum des Kanals. Folglich wird die Durchflußerfassungsleistung beträchtlich beeinflußt, wenn der Sensor auf der Wandfläche des Fluidkanals angebracht ist.
  • Des weiteren ist ein in einem flachen rechteckförmigen Gehäuse untergebrachter Sensor in der offengelegten japanischen Patentanmeldung Nr. 6-50783 offenbart. Dieser Sensor ist jedoch nicht zur Strömungsrichtung eines zu messenden Fluids axialsymmetrisch. Aufgrund dessen bewirken Strömungsablenkungen eine von der Ablenkungsrichtung abhängige Durchflußänderung des durch das Gehäuse passierenden Fluids, sogar wenn der Durchfluß eines durch den Fluidkanal strömenden Fluids gleich bleibt, wodurch ungünstigerweise die Durchflußerfassungsleistung beeinflußt wird.
  • Darstellung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf die Lösung der oben beschriebenen Probleme gemacht. Dementsprechend liegt der Erfindung das technische Problem zugrunde, einen Durchflußdetektor bereitzustellen, der eine verbesserte Meßempfindlichkeit und einen höheren Rauschabstand gestattet und der sogar, wenn die Strömung in einem Fluidkanal abgelenkt wird, dazu fähig ist, eine Änderung der Durchflußerfassungscharakteristik zu minimieren.
  • Zu diesem Zweck ist ein Durchflußdetektor geschaffen, der ein Detektionsrohr, das in einem Fluidkanal vorgesehen ist, und ein Tragelement umfaßt, das in dem Detektionsrohr geschaffen ist. Das Tragelement weist einen Sensorhalteabschnitt und zumindest einen sich verbreiternden Abschnitt auf. Der Sensorhalteabschnitt hat eine vorbestimmte Breite. Der sich verbreiternde Abschnitt ist an einem Ende des Sensorhalteabschnitts angeordnet. Die Breite des sich verbreiternden Abschnitts nimmt von seinem distalen Ende zu dem Sensorhalteabschnitt hin allmählich zu. Schließlich umfaßt der Durchflußdetektor einen wärmeempfindlichen Durchflußsensor, der in einer Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts eingebaut ist, so daß er in dem Detektionsrohr ausgesetzt ist.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Durchflußdetektor geschaffen, der ein in einem Fluidkanal geschaffenes Tragelement umfaßt, das einen Sensorhalteabschnitt und zumindest einen sich verbreiternden Abschnitt besitzt. Der Sensorhalteabschnitt hat eine vorbestimmte Breite und ist an einer Seite mit einer Ausnehmung ausgebildet. Der sich verbreiternde Abschnitt ist an einem Ende des Sensorhalteabschnitts benachbart angeordnet. Die Breite des sich verbreiternden Abschnitts nimmt von seinem distalen Ende zu dem Sensorhalteabschnitt hin allmählich zu. Schließlich umfaßt der Durchflußdetektor gemäß dem zweiten Aspekt einen wärmeempfindlichen Durchflußsensor, der in der Ausnehmung in solch einer Weise eingebaut ist, daß er in der Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts eingelassen ist, also gegenüber der Seitenfläche zurücksteht.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Im folgenden sind zur weiteren Erläuterung und zum besseren Verständnis der Erfindung mehrere Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher beschrieben und erläutert. Es zeigt:
  • 1 eine Vorderansicht eines Durchflußdetektors gemäß einer ersten Ausführungsform
  • 2 eine Querschnittsansicht entlang der Linie II-II in 1;
  • 3 eine Querschnittsansicht entlang der Linie III-III in 2;
  • 4 eine Vorderansicht eines Durchflußdetektors gemäß einer zweiten Ausführungsform
  • 5 eine Querschnittsansicht entlang der Linie V-V in 4;
  • 6 eine Querschnittsansicht entlang der Linie VI-VI in 5;
  • 7 eine Vorderansicht eines Durchflußdetektors gemäß einer dritten Ausführungsform;
  • 8 eine Querschnittsansicht entlang der Linie VIII-VIII in 7;
  • 9 eine Querschnittsansicht entlang der Linie IX-IX in 8;
  • 10 eine Vorderansicht eines Durchflußdetektors gemäß einer erfindungsgemäßen vierten Ausführungsform
  • 11 eine Querschnittsansicht entlang der Linie XI-XI in 10,
  • 12 eine vergrößerte Seitenansicht eines Detektionsaufbaus der 11,
  • 13 eine Querschnittsansicht entlang der Linie XIII-XIII in 12;
  • 14 eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung eines zu messenden Fluidstroms, der in einem Zustand gezeigt ist, bei dem ein wärmeempfindlicher Durchflußsensor aus einer Seitenfläche eines Tragelementes herausragt;
  • 15 eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung des zu messenden Fluidstroms, der in einem Zustand gezeigt ist, bei dem die Oberfläche des wärmeempfindlichen Durchflußsensors mit der Seitenfläche des Tragelementes fluchtet;
  • 16 eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung des zu messenden Fluidstroms, der in einem Zustand gezeigt ist, bei dem der wärmeempfindliche Durchflußsensor in der Seitenfläche des Tragelementes eingelassen ist;
  • 17 eine schematische Darstellung zur Veranschaulichung des zu messenden Fluidstroms, der in einem Zustand gezeigt ist, bei dem sich Staubteilchen an der Vorderkante des wärmeempfindlichen Durchflußsensors gemäß der 14 angesammelt haben und dort anhaften;
  • 18 eine Querschnittsansicht durch einen herkömmlichen wärmeempfindlichen Durchflußsensor;
  • 19 eine Draufsicht auf einen Sensor gemäß der 18, wobei ein Schutzfilm entfernt ist;
  • 20 eine Querschnittsansicht durch einen anderen herkömmlichen wärmeempfindlichen Durchflußsensors;
  • 21 eine Draufsicht auf den in 20 gezeigten Sensor, wobei ein Schutzfilm entfernt ist, und
  • 22 eine Querschnittsansicht auf eine bespielhafte Anordnung eines herkömmlichen wärmeempfindlichen Durchflußsensors.
  • Beschreibung von Ausführungsbeispielen
  • 1. Ausführungsform
  • Nachfolgend wird anhand der 1 bis 3 eine erste Ausführungsform eines Durchflußdetektors erläutert.
  • Wie aus den Zeichnungen ersichtlich ist, ist ein Strömungs- oder Fluidkanal 21 in einer Hauptkanalleitung 22 ausgebildet. Ein Gehäuse 24, das eine Schaltung 23 enthält, ist an der Außenwandung der Hauptkanalleitung 22 angebracht. Die Schaltung 23 ist mit einer Heizwert-Regelschaltung, einer Ausgabeschaltung etc. versehen. An dem Gehäuse 24 ist ein Tragarm 25 befestigt, der in den Strömungskanal 21 hineinragt. Ein zylindrisches Detektionsrohr 26 ist an dem beabstandeten bzw. freien (distalen) Ende des Tragarms 25 befestigt, so daß das Detektionsrohr 26 mit der Hauptkanalleitung 22 koaxial ausgerichtet ist.
  • In dem Detektionsrohr 26 ist ein Tragelement 27 dergestalt befestigt, daß es den senkrecht zur Rohrachse liegenden Querschnitt in zwei gleiche Segmente unterteilt. Das Tragelement 27 weist einen Sensorhalteabschnitt 27a auf, der zum einen im Mittelteil eine vorbestimmte Breite aufweist, zum anderen sich verbreiternde Abschnitte 27b und 27c besitzt, die zu beiden Enden des Sensorhalteabschnittes 27a benachbart liegen und sich von deren beabstandeten Enden zum Sensorhalteabschnitt 27a hin allmählich erweitern. Sowohl stromauf- wie auch stromabwärts des Traglementes 27 des Detektionsrohrs 26 sind gerade Rohrabschnitte 26a und 26b geschaffen, deren Längen halb so groß oder größer sind wie der Innendurchmesser D des Erfassungsrohrs 26, d.h. des Radiuses, (L1 ≥ D/2, L2 ≥ D/2), und die einen vorbestimmten Innendurchmesser aufweisen.
  • Ein wärmeempfindlicher Durchflußsensor, d.h. ein Durchflußerfassungselement 28, ist in einer Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts 27a des Tragelementes 27 so eingebaut, daß es im Inneren des Detektionsrohrs 26 freiliegt. Die Ausgestaltung und das Arbeitsprinzip des Durchflußsensors 28 ist mit dem des in der 18 oder der 20 gezeigten Sensors identisch. Eine Detektionsaufbau 29 ist durch das Tragelement 27 und den Durchflußsensor 28 gebildet. Der Durchflußsensor 28 und die Schaltung 23 sind über eine Anzahl entlang des Tragarms 25 verlaufender, leitend ausgebildeter Stromkabel 30 elektrisch verbunden. Das Gehäuse 24 ist mit einem Anschluß 31 zur Zuführung von Strom und der Ausgabe an externe Geräte versehen.
  • In einem derart ausgebildeten Durchflußdetektor wird die Strömungsgeschwindigkeitsänderung auf der Achse der Hauptkanalleitung 22 so lange minimiert, wie die Durchflußgeschwindigkeit die gleiche bleibt, sogar, wenn die Verteilung der Strömungsgeschwindigkeit eines zu messenden Fluids, das durch den Strömungskanal 21 strömt, ungleich wird oder sogar, wenn sich die Ablenkungsrichtung ändert. Demzufolge ist eine Durchflußänderung des in das Detektionsrohr 26 eingeführten Fluids minimiert.
  • Wenn die Strömungsgeschwindigkeit des Fluids so verläuft, wie es durch den Pfeil A gemäß der 2 angedeutet ist, verengt sich der Abschnitt des Kanals in dem Detektionsrohr 26, da sich das Tragelement 27 auf der stromaufwärts gelegenen Seite des Durchflußsensors 28 allmählich verbreitert, was zur Folge hat, daß die Strömungsgeschwindigkeit zunimmt. Somit wird eine Ablösung an der Oberfläche des Tragelementes 27 verhindert bzw. zurückgehalten. Da des weiteren die Oberfläche des Durchflußsensors 28 der Innenwandfläche des Detektionsrohrs 26 gegenüberliegt, wird die Strömung so gesteuert, daß sie parallel verläuft, um so zu gewährleisten, daß eine ablösungsfreie, stabile (Laminar-)Strömung beibehalten wird, und somit ein guter Rauschabstand erzielbar ist. Überdies verhindert die Strömung, die parallel zur Oberfläche des Durchflußsensors 28 verläuft, daß im Fluid befindliche Staubteilchen oder dergleichen gegeneinander stoßen und am Durchflußsensor 28 anhaften. Folglich kann sogar bei längerer Benutzung eine Änderung in der Durchflußerfassungscharakteristik kontrolliert werden.
  • Da der sich verbreiternde Abschnitt 27c auch auf der stromabwärts liegenden Seite des Sensorhalteabschnitts 27a vorgesehen ist, kann ferner die Ablösung der Strömung an diesem Punkt zurückgehalten oder vermieden werden, was zu einem niedrigen (Luft-)Widerstand im Detektionsrohr 26 führt. Dies macht es möglich, die Strömungsgeschwindigkeit des sich auf der Oberfläche des Durchflußsensors 28 bewegenden Fluids zu erhöhen, was eine zu erzielende gute Erfassungsempfindlichkeit erlaubt und auch Änderungen von Störungen in der Strömung auf der Oberfläche des Durchflußsensors 28 minimiert, mit dem Ergebnis eines guten Rauschabstandes.
  • Des weiteren ist das Tragelement 27 so angeordnet, daß es den Kanalquerschnitt im Detektionsrohr 26 in zwei gleiche Segmente unterteilt. Der Durchflußsensor 28 ist im Mittelpunkt des Detektionsrohrs 26 angeordnet. Aufgrund dessen können sogar im Falle, daß die Strömungsablenkung im Detektionsrohr 26 bestehen bleibt, deren Einflüsse minimiert werden. Demgemäß werden die Meßfehler minimiert.
  • Außerdem ist die Strömungsrichtung des in das Detektionsrohr 26 eingeführten Fluids im geraden Rohrabschnitt 26a geradlinig und der sich verbreiternde Abschnitt 27b des Tragelementes 27 funktioniert als Korrekturflosse zur Korrektur der Strömungsrichtung. Aufgrund dessen wird die Strömungsablenkung des Fluids im Strömungskanal 21 korrigiert, was weiter eine Änderung in der Strömungsgeschwindigkeiterfassungscharakteristik verhindert.
  • Der korrigierende Effekt, der durch den geraden Rohrabschnitt 26a bewirkt wird, wird vergrößert, wenn der gerade Rohrabschnitt 26a länger ausgeführt wird. Die Ergebnis der durch die Erfinder ausgeführten Versuche haben aufgezeigt, daß ein zufriedenstellender Korrektureffekt erzielt werden kann, wenn die Länge des geraden Rohrabschnitts gleich oder als der Radius (D/2) des Kanals ist, wenn der durch den sich verbreiternden Abschnitt 27b des Tragelementes 27 bewirkte Korrektureffekt mit dem durch den geraden Rohrabschnitt bewirkten Korrektureffekt kombiniert wird. Somit kann ein zufriedenstellender Korrektureffekt erreicht werden, ohne daß das Detektionsrohr 26 unnötigerweise lang ausgeführt wird.
  • Bei der oben beschriebenen Ausführungsform sind die sich verbreiternden Abschnitte 27b und 27c an beiden Enden des Sensorhalteabschnitts 27a vorhanden. Des weiteren sind die geraden Rohrabschnitte 26a und 26b auf der stromaufwärts liegenden Seite bzw. auch auf der stromabwärts liegenden Seite des Tragelementes 27 ausgebildet. Aufgrund dessen kann auch dann, wenn die Strömungsrichtung des zu messenden Fluids umgekehrt wird, eine gute Meßempfindlichkeit und ein guter Rauschabstand erzielt werden. Überdies kann eine Änderung in der Strömungsgeschwindigkeitserfassungscharakteristik gegenüber einer Strömungsablenkung im Fluidkanal minimiert werden.
  • 2. Ausführungsform:
  • Eine zweite Ausführungsform wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 erläutert. Bei dieser Ausführungsform wird ein Detektionsrohr 32 eingesetzt, das einen Fluideinlaß 32a mit einer glockenförmig ausgebildeten Mündungsöffnung besitzt. Die restlichen Teile der zweiten Ausführungsform entsprechen der Ausbildung gemäß der zuvor beschriebenen ersten Ausführungsform.
  • Bei dem Durchflußdetektor gemäß der zweiten Ausführungsform wird aufgrund des Fluideinlasses 32a mit der glockenförmigen Mündungsöffnung die Strömung verengt, um eine gleichförmige Strömungsgeschwindigkeitsverteilung im Detektionsrohr 32 herzustellen, auch dann, wenn die Strömung auf der stromaufwärts liegenden Seite abgelöst und somit abgelenkt ist, was erlaubt, daß eine Änderung in der Strömungsgeschwindigkeitserfassungscharakteristik verhindert wird.
  • Bei dieser Ausführungsform ist nur ein Endstück des Detektionsrohrs 32 im Öffnungsbereich glockenförmig ausgebildet. Es kann natürlich auch das andere Ende des Rohrs 32 mit einer glockenförmigen Mündungsöffnung versehen sein. Dieser Aufbau erbringt die gleichen Vorteile, wenn die Strömungsrichtung des zu messenden Fluids umgekehrt wird.
  • 3. Ausführungsform:
  • Eine dritte Ausführungsform wird nachfolgend unter Bezugnahme aud die 7 bis 9 näher beschrieben und erläutert. Bei dieser dritten Ausführungsform nimmt der Außendurchmesser eines Detektionsrohres 33 vom in Längsrichtung gesehen Mittelpunkt zu beiden Enden hiervon allmählich ab. Genauer gesagt: der stromaufwärts gelegene Außendurchmesser des Detektionsrohrs 33 nimmt in Strömungsrichtung, d.h. stromabwärts, allmählich zu, wohingegen der stromabwärts liegende Außendurchmesser in Strömungsrichtung, d.h. auf der stromaufwärts liegenden Seite, allmählich abnimmt. Die restliche Ausgestaltung der dritten Ausführungsform ist mit der der ersten Ausführungsform, die eingangs beschrieben wurde, identisch.
  • Der Durchflußdetektor gemäß der dritten Ausführungsform verhindert, daß sich die Strömung an dem Außenumfang bzw. der Außenumfangsfläche des Detektionsrohres 33 ablöst und verhindert die Erzeugung von Wirbeln an der Vorderkante des Detektionsrohres 33, was erlaubt, daß ein Druckabfall verringert wird. Dieser Vorteil ist insbesondere wichtig oder bemerkenswert, wenn die Strömung des zu messenden Fluids abgelenkt wird.
  • 4. Ausführungsform:
  • Unter Bezugnahme auf die 10 bis 13 wird im nachfolgenden eine vierte Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Wie aus den Zeichnungen ersichtlich ist, ist ein Tragelement 41 am freien Ende eines Tragarms 25, der in den Strömungskanal 21 hineinragt, angebracht. Ein wärmeempfindlicher Durchflußsensor ist im Tragelement 41 eingebaut. Durch das Tragelement 41 und den Strömungsgeschwindigkeitssensor 42 ist eine Erfassungsstruktur 43 gebildet.
  • Wie insbesondere aus den 12 und 13 ersichtlich ist, besitzt das Tragelement 41 einen Sensorhalteabschnitt 41b, der eine vorbestimmte Breite aufweist und in einer Seitenfläche mit einer Ausnehmung 41a versehen ist. Ferner umfaßt es einen sich verbreiternden Abschnitt 41c, der benachbart zu einem Ende des Sensorhalteabschnitts 41b liegt und sich von dem freien Ende zu dem Sensorhalteabschnitt 41b hin allmählich verbreitert. Der Strömungsgeschwindigkeitssensor 42 ist in der Ausnehmung 41a so eingebaut, daß er gegenüber der Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts 41b nach hinten versetzt ist, d.h. eingelassen ist.
  • Genauer gesagt: die Oberfläche des Durchflußsensors 42 fluchtet nicht mit der Seitenfläche des Tragelementes 41. Er ist nämlich so angeordnet, daß er in der Seitenfläche um die Abmessung L3 eingelassen ist. Die Abmessung L3 ist dergestalt gewählt, daß sie nicht Null wird, wenn der Durchflußsensor 42 in dem Tragelement 41 eingebaut ist, auch wenn Herstellungsfehler mit einbezogen werden. Folglich ragt der Durchflußsensor 42 nicht über die Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts 41b vor, auch in dem Fall, daß das Tragelement 41 und der Durchflußsensor 42 mit Herstellungsfehlern behaftet sind.
  • Bei einem derartigen Strömungsdetektor ist der Durchflußsensor 42 so eingebaut, daß er immer gegenüber der Seitenfläche des Tragelementes 41 nach hinten versetzt ist, was Variationen in der Erfassungscharakteristik von einem Detektor zum anderen minimiert. Überdies wird verhindert, daß sich die in dem zu messenden Fluid befindlichen Staub- oder Schmutzteilchen an der Vorderkante des Durchflußsensors 42 ansammlen und anhaften. Demzufolge kann eine Änderung der Erfassungseigenschaften beim Messen des Durchflusses über eine längere Zeitspanne verhindert werden.
  • Die 14 zeigt eine schematische Darstellung des zu messenden Fluids, in dem Zustand, bei dem der Durchflußsensor aus der Seitenfläche des Tragelementes vorsteht. Die 15 zeigt eine andere schematische Strömungsdarstellung des zu messenden Fluids, wobei ein Zustand gezeigt ist, in dem die Oberfläche des Durchflußsensors mit der Seitenfläche des Tragelementes fluchtet. Die 16 hingegen zeigt eine schematische Strömungsdarstellung des zu messenden Fluids in einer Stellung, bei der der Durchflußsensor gegenüber der Seitenfläche des Tragelementes zurückversetzt ist. Die 17 zeigt schließlich eine Darstellung, bei der die Strömung des zu messenden Fluids in solch einem Zustand gezeigt ist, bei dem bereits Staubteilchen an der Vorderkante des Durchflußsensors gemäß der 14 anhaften. In diesen Zeichnungen bezeichnen die Pfeile E-H die Strömungslinien des zu messenden Fluids an.
  • Wie in der 14 gezeigt ist, löst sich die Strömung an der Vorderkante des Durchflußsensors 42 ab, wenn der Durchflußsensor 42 von der Seitenfläche des Tragelementes 41 vorsteht. Dann legt sie sich stromabwärts wieder an. Wenn, wie es in der 15 gezeigt ist, die Oberfläche des Durchflußsensors 42 mit der Seitenfläche des Tragelementes 41 eben ist bzw. fluchtet, strömt das zu messende Fluid entlang der Fläche des Durchflußsensors 42. Bei dem in 16 dargestellten Zustand wird an dem abgestuften Abschnitt ein Staupunkt 44 erzeugt.
  • Demzufolge ändert sich je nach dem, in welcher Weise der Durchflußsensor 42 eingebaut ist, der Strömungsweg des zu messenden Fluids beträchtlich und die Wärmeleitfähigkeit auf der Oberfläche des Durchflußsensors 42 variiert demgemäß, was zu Schwankungen der Erfassungskennlinie für den Durchfluß führt.
  • Bei der vierten Ausführungsform verbleibt aber der Durchflußsensor 42 immer nach hinten versetzt, also eingelassen. Aufgrund dessen können Strömungsänderungen des zu messenden Fluids unabhängig von der Art des eingesetzten Durchflußsensors, d.h. von einem Durchflußsensor zum anderen, verhindert werden. Des weiteren ist ein Durchflußdetektorabschnitt 42a des Durchflußsensors 42 ausreichend weit weg vom Staupunkt 44 stromabwärts plaziert. Demzufolge können Änderungen bei der Erfassungskennlinie für den Durchfluß verhindert werden.
  • Wenn der in der 15 gezeigte Durchflußdetektor für eine längere Zeitspanne verwendet wird, werden sich Staubteilchen 45 oder dergleichen absetzen und anhaften und an der Vorderkante des Durchflußsensors 42 aufbauen, wie es in der 17 gezeigt ist. In solch einem Fall wird je nach der veranlassten Strömungsänderung bewirkt, daß die Erfassungskennlinie im Hinblick auf den zu messenden Durchfluß schwankt. In dem Fall, daß der Durchflußsensor 42 gegenüber der Seitenfläche des Tragelementes 41 zurückversetzt ist, wie es in der 16 gezeigt ist, kann das Anhaften der Staubteilchen 45 oder dergleichen verhindert werden.
  • Die zuvor beschriebene vierte Ausführungsform ist nicht mit einem Detektionsrohr versehen. Diese Ausbildung kann jedoch ebenso, wie zuvor beschrieben, mit einem Detektionsrohr ausgerüstet werden.
  • Bei all den zuvor beschriebenen Ausführungsformen umfassen die Durchflußsensoren Wärme erzeugende Widerstände und Temperaturmeßwiderstände. Es ist aber darauf hinzuweisen, daß der Durchflußsensor gemäß der vorliegenden Erfindung nicht hierauf beschränkt ist. Der Durchflußsensor kann beispielsweise nur einen Wärme erzeugenden Widerstand oder eine Anzahl von Wärme erzeugenden Widerständen umfassen, um den Durchfluß entsprechend den Heizstromwerten der Wärme erzeugenden Widerstände zu erfassen.

Claims (9)

  1. Durchflussdetektor umfassend: – ein Tragelement (41), das in einem Fluidkanal (21) vorgesehen ist, wobei das Tragelement (41) einen Sensorhalteabschnitt (41b) und zumindest einen sich verbreiternden Abschnitt (41c) besitzt, wobei der Sensorhalteabschnitt (41b) eine vorbestimmte Breite hat und in einer Seitenfläche mit einer Ausnehmung (41a) vorgesehen ist und wobei der sich verbreiternde Abschnitt (41c) an einem Ende des Sensorhalteabschnitts (41b) liegt, wobei weiterhin die Breite des sich verbreiternden Abschnitts (41c) von dessen vom Sensorhalteabschnitt (41b) beabstandetem Ende zu dem Sensorhalteabschnitt (41b) hin zunimmt, und – einen wärmeempfindlichen Durchflußsensor (42), der in der Ausnehmung (41a) eingebaut ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchflußsensor (42) gegenüber der Seitenfläche des Sensorhalteabschnitts (41b) zurückversetzt ist
  2. Durchflussdetektor nach Anspruch 1, bei dem der sich verbreiternde Abschnitt (41c) an beiden Enden des Sensorhalteabschnitts (41) vorhanden ist.
  3. Durchflussdetektor nach Anspruch 1, ferner ein Detektionsrohr umfassend, das in dem Fluidkanal (21) vorgesehen ist, wobei das Tragelement in dem Detektionsrohr vorgesehen ist.
  4. Durchflussdetektor nach Anspruch 3, wobei das Tragelement so angeordnet ist, daß es den senkrecht zur Achse des Detektionsrohres liegenden Querschnitt in zwei gleiche Segmente unterteilt.
  5. Durchflussdetektor nach Anspruch 3, wobei der Fluidkanal (21) in einer Hauptkanalleitung (22) ausgebildet ist und das Detektionsrohr koaxial zu der Hauptkanalleitung (22) angeordnet ist.
  6. Durchflussdetektor nach Anspruch 3, wobei ein gerader Rohrabschnitt, der eine Länge besitzt, die zumindest halb so groß ist wie der Innendurchmesser des Detektionsrohres, und der einen vorbestimmten Innendurchmesser aufweist, stromaufwärts des Tragelementes des Detektionsrohrs vorgesehen ist.
  7. Durchflussdetektor nach Anspruch 3, wobei ein gerader Rohrabschnitt , der eine Länge besitzt, die zumindest halb so groß ist wie der Innendurchmesser des Detektionsrohres, und der einen vorbestimmten Innendurchmesser aufweist, stromabwärts des Tragelementes des Detektionsrohrs vorgesehen ist.
  8. Durchflussdetektor nach Anspruch 3, wobei das Detektionsrohr einen Fluideinlaß mit einer glockenförmigen Mündungsöffnung aufweist.
  9. Durchflussdetektor nach Anspruch 3, bei dem sich der Außendurchmesser des Detektionsrohres in Längsrichtung gesehen vom Mittelpunkt zu beiden Enden hiervon allmählich verkleinert.
DE19739949A 1997-04-17 1997-09-11 Durchflußdetektor Expired - Fee Related DE19739949B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9-100584 1997-04-17
JP10058497A JP3404251B2 (ja) 1997-04-17 1997-04-17 流量検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19739949A1 DE19739949A1 (de) 1998-10-22
DE19739949B4 true DE19739949B4 (de) 2005-07-14

Family

ID=14277944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19739949A Expired - Fee Related DE19739949B4 (de) 1997-04-17 1997-09-11 Durchflußdetektor

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6079264A (de)
JP (1) JP3404251B2 (de)
KR (1) KR100251025B1 (de)
DE (1) DE19739949B4 (de)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999027327A1 (fr) * 1997-11-21 1999-06-03 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Detecteur de debit, detecteur de temperature, et instrument de mesure de debit
US6911894B2 (en) * 1998-12-07 2005-06-28 Honeywell International Inc. Sensor package for harsh environments
US7258003B2 (en) * 1998-12-07 2007-08-21 Honeywell International Inc. Flow sensor with self-aligned flow channel
JP3475853B2 (ja) 1998-12-21 2003-12-10 三菱電機株式会社 流量測定装置
DE19960822B4 (de) * 1999-06-08 2005-11-03 Mitsubishi Denki K.K. Flussratensensor
JP3484372B2 (ja) 1999-06-10 2004-01-06 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
JP3555017B2 (ja) * 1999-09-22 2004-08-18 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
US6615655B1 (en) * 2000-05-19 2003-09-09 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Heat-sensitive type flow rate detecting element and holder therefor
JP4811695B2 (ja) * 2000-05-30 2011-11-09 株式会社デンソー 流量測定装置
JP3706300B2 (ja) * 2000-10-13 2005-10-12 三菱電機株式会社 流量測定装置
JP3764860B2 (ja) * 2001-09-11 2006-04-12 株式会社日立製作所 流量計測装置
US6938473B2 (en) * 2001-11-19 2005-09-06 Denso Corporation Apparatus for measuring flow amount
US6899081B2 (en) 2002-09-20 2005-05-31 Visteon Global Technologies, Inc. Flow conditioning device
US7194920B2 (en) * 2005-03-15 2007-03-27 Welker Engineering Company Sensor probe and pipeline construction and method
DE102006027420B4 (de) * 2006-06-13 2008-05-08 Siemens Ag Heißfilm-Anemometer mit in einem Strömungskörper eingebetteten Sensorelementen
JP4317556B2 (ja) * 2006-07-21 2009-08-19 株式会社日立製作所 熱式流量センサ
US20100162809A1 (en) * 2007-05-10 2010-07-01 Acque Ingegneria S.R.L. Flow rate sensor for water ducts and a method for measuring water flow
JP4488031B2 (ja) * 2007-06-14 2010-06-23 株式会社デンソー 空気流量測定装置
US9273986B2 (en) 2011-04-14 2016-03-01 Trane International Inc. Water flow measurement device
DE102012224049A1 (de) * 2012-12-20 2014-06-26 Robert Bosch Gmbh Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums
JP5980155B2 (ja) * 2013-03-21 2016-08-31 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
DE102014217870A1 (de) 2014-09-08 2016-03-10 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Messkanal strömenden fluiden Mediums
JP6690899B2 (ja) * 2015-06-29 2020-04-28 株式会社デンソー 空気流量測定装置
US20180058894A1 (en) * 2016-08-31 2018-03-01 Atrex Energy, Inc. Gas flow sensor housing and assembly providing reduced turbulence

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3135793A1 (de) * 1981-09-10 1983-03-24 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und vorrichtung zur messung der masse eines in einem stroemungsquerschnitt stroemenden pulsierenden mediums
EP0295647A1 (de) * 1987-06-17 1988-12-21 Hitachi, Ltd. Luftmengenmesser vom Hitzdrahttyp.
US4843882A (en) * 1985-08-13 1989-07-04 Nippon Soken, Inc. Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity response speed
JPH057659B2 (de) * 1983-12-27 1993-01-29 Yamatake Honeywell Co Ltd
JPH05142008A (ja) * 1991-11-19 1993-06-08 Tokico Ltd センサ装置
JPH0650783A (ja) * 1992-06-13 1994-02-25 Robert Bosch Gmbh 質量流量センサ

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS607659A (ja) * 1983-06-24 1985-01-16 Hitachi Ltd 磁気デイスク装置
JPS6013220A (ja) * 1983-07-04 1985-01-23 Esutetsuku:Kk ガス流量センサ−及びその製造方法
DE3818385A1 (de) * 1987-06-04 1988-12-22 Mazda Motor Hitzdraht-stroemungsmengensensor
JPH0367128A (ja) * 1989-08-04 1991-03-22 Yamatake Honeywell Co Ltd サンプリングプローブフローセンサ
US4981035A (en) * 1989-08-07 1991-01-01 Siemens Automotive L.P. Dust defelector for silicon mass airflow sensor
JP3240733B2 (ja) * 1993-03-17 2001-12-25 株式会社日立製作所 熱式空気流量計
US5631417A (en) * 1995-09-06 1997-05-20 General Motors Corporation Mass air flow sensor structure with bi-directional airflow incident on a sensing device at an angle

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3135793A1 (de) * 1981-09-10 1983-03-24 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und vorrichtung zur messung der masse eines in einem stroemungsquerschnitt stroemenden pulsierenden mediums
JPH057659B2 (de) * 1983-12-27 1993-01-29 Yamatake Honeywell Co Ltd
US4843882A (en) * 1985-08-13 1989-07-04 Nippon Soken, Inc. Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity response speed
EP0295647A1 (de) * 1987-06-17 1988-12-21 Hitachi, Ltd. Luftmengenmesser vom Hitzdrahttyp.
JPH05142008A (ja) * 1991-11-19 1993-06-08 Tokico Ltd センサ装置
JPH0650783A (ja) * 1992-06-13 1994-02-25 Robert Bosch Gmbh 質量流量センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10293052A (ja) 1998-11-04
KR100251025B1 (ko) 2000-04-15
KR19980079415A (ko) 1998-11-25
JP3404251B2 (ja) 2003-05-06
DE19739949A1 (de) 1998-10-22
US6079264A (en) 2000-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19739949B4 (de) Durchflußdetektor
DE19636095C2 (de) Meßfühler und Abfühlverfahren für einen Luftmengenstrom
DE19964452B4 (de) Flussratensensor
DE19852015B4 (de) Flussratensensor
EP0991920B1 (de) Messvorrichtung zum messen der masse eines in einer leitung strömenden mediums
DE4005801A1 (de) Mikrobruecken-stroemungssensor
DE3637541A1 (de) Vorrichtung zur bestimmung des massenstromes und der durchflussrichtung
DE102007023840A1 (de) Thermischer Massendurchflussmesser und Verfahren zu dessen Betrieb
DE19724659A1 (de) Vorrichtung zum Messen einer Gasflußrate
DE4112601C2 (de) Vorrichtung zur Messung eines Gasstroms
DE19919398B4 (de) Wärmeempfindlicher Flußratensensor
DE19751101A1 (de) Wärmeempfindliches Flussratenmesselement und dieses verwendender Flussratensensor
EP3097388B1 (de) Sensoranordnung zur bestimmung wenigstens eines parameters eines durch eine kanalstruktur strömenden fluiden mediums
WO2008000494A2 (de) Schichtwiderstand im abgasrohr
DE102013108099A1 (de) Thermisches Durchflussmessgerät
DE19855884A1 (de) Wärmeempfindlicher Durchsatzsensor
DE3627465A1 (de) Direkt-beheizte stroemungsmessvorrichtung
EP2909593B1 (de) Temperatursensor und thermisches durchflussmessgerät
WO2016102124A1 (de) Thermisches durchflussmessgerät
EP0266480B1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Durchflussrichtung
DE102006060343B4 (de) Durchflussdetektorelement eines thermosensiblen Durchflusssensors
CH669263A5 (de) Anordnung mit einer messzelle zur messung der waermeleitfaehigkeit von gasen.
DE19832964A1 (de) Thermischer Flußsensor
DE10221615B4 (de) Thermosensitiver Flussratensensor
EP0866950B1 (de) Luftmassenmesser

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20150401