DE19731586C2 - Richtkoppler für optische Signale - Google Patents
Richtkoppler für optische SignaleInfo
- Publication number
- DE19731586C2 DE19731586C2 DE1997131586 DE19731586A DE19731586C2 DE 19731586 C2 DE19731586 C2 DE 19731586C2 DE 1997131586 DE1997131586 DE 1997131586 DE 19731586 A DE19731586 A DE 19731586A DE 19731586 C2 DE19731586 C2 DE 19731586C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- waveguide
- waveguides
- output
- directional coupler
- traveling wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/31—Digital deflection, i.e. optical switching
- G02F1/313—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
- G02F1/3137—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions
- G02F1/3138—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions the optical waveguides being made of semiconducting materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Richtkoppler für optische Signale
aus der III-V-Halbleitergruppe in integriertem
Multi-Quantum-Well-Aufbau mit 1 × 2-Schaltfunktion über drei koppelbare
Wellenleiter und mit einer im Koppelbereich angeordneten Wanderwellen-
Ansteuerung im Gegentaktmodus über eine zu den Wellenleitern koplanar
ausgebildete und kapazitiv belastete Wanderwellenleitung mit einer mittleren
Impedanz von 50 Ω, die als integralen Bestandteil periodisch mit Abstand
zueinander auf den Wellenleitern angeordnete Einzelelektrodenpaare mit
Kapazitätsbelägen in einem Bereich von 90 pF/m aufweist.
Die Entwicklung moderner Kommunikationsnetze ist gekennzeichnet durch
ständig zunehmende Datenraten. Gegenwärtig werden Systeme mit 2,5 Gb/s
installiert, 10 Gb/s-Bausteine sind bereits im Labor entwickelt. Die nächste
Generation bilden Übertragungsstrecken mit Datenraten im Bereich von
40 Gb/s-160 Gb/s, wie sie in zahlreichen von der EU geförderten ACTS
(Advanced Communication Technologies and Services) -Projekten bereits
bearbeitet werden. An die optischen Bauelemente in derartig hochschnellen
Anwendungen sind entsprechende Anforderungen zu stellen.
Um mit geringen Schaltspannungen auszukommen, werden solche
Bauelemente aus Multi-Quantum-Well-Schichten aus der
III-V-Halbleiter-Materialgruppe (beispielsweise InGaAsP-InP oder GaAs-
AlGaAs) mit dem zur verlustarmen Lichtübertragung in Glasfasern optimalen
Wellenlängenbereich um 1,55 µm aufgebaut. Der Multi-Quantum-
Well (MQW)-Aufbau, d. h. mit Schichtstärken von einigen Atomlagen, erhöht
die Empfindlichkeit der Bauelemente durch verstärkte elektrooptische Effekte.
Hierbei handelt es sich um den Quantum-Confined-Stark-Effect (QCSE), der
dem Franz-Keldysh-Effekt (FKE) bei dickerem Schichtaufbau entspricht und
eine Verschiebung der Absorptions-Bandkante zu höheren Wellenlängen bei
Anlegen eines elektrischen Feldes beschreibt. Durch den verstärkten
elektrooptischen Effekt beim QCSE kann die erforderliche Schaltspannung
erheblich verringert werden.
Der Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, wird beschrieben in
dem Aufsatz "High-Speed III-V Semiconductor Intensity Modulators" von
R. G. Walker (IEEE Journal of Quantum Electronics, Vol. 27, No. 3, March 1991,
pp 654-667). Dieser Aufsatz befasst sich auf dem Gebiet der
Übertragungseinrichtungen für höchste Datenraten mit dem Thema der
Lasermodulation durch nachgeschaltete, externe hochschnelle Modulatoren
mit einer Wanderwellenansteuerung. Derartige interferometrische
Wellenleiter-Konfigurationen werden üblicherweise mit Mach-Zehnder-
Modulatoren ausgeführt, es können aber auch Richtkoppler eingesetzt
werden, die ebenfalls die oben beschriebenen elektrooptischen und
ähnlichen Effekte ausnutzen und dafür geeignet sind, 1 × 2 oder 2 × 2-
Schaltfunktionen auszuführen. Hierbei ist es jedoch in der Anwendung als
Modulator besonders wichtig, dass Lichtsignalanteile, die nicht in einen
Ausgang geleitet werden, nicht absorbiert, sondern auf den anderen Ausgang
abgelenkt werden. Derartige Richtkoppler haben also ein analoges
Schaltverhalten oder richtiger "Ablenkungsverhalten" - genau wie ein Mach-
Zehnder-Modulator. Die Lichtenergie-Überkopplung zwischen zwei
Wellenleitern erfolgt kontinuierlich, der Ausgangszustand des Richtkopplers
ist daher abhängig von seiner Baulänge. Dabei spielt das
Nebensprechverhalten nur eine untergeordnete Rolle.
Eine Wanderwellenansteuerung ist hochschnell, da sie in ihrer
Grenzfrequenz und damit in ihrer Übertragungsbandbreite nicht wie
konzentrierte Plattenelektroden RC-begrenzt, sondern nur durch die
gegebenenfalls vorhandene Fehlanpassung zwischen den
Ausbreitungsgeschwindigkeiten der optischen und der elektrischen Welle und
durch die elektrische Dämpfung der Wanderwellenleitung in Abhängigkeit von
deren Länge begrenzt ist. Bei einer Wanderwellenansteuerung sollen
steuernde elektrische Welle und zu steuernde optische Welle deshalb die
gleiche Ausbreitungsgeschwindigkeit haben. Aus dieser Forderung und der
zusätzlichen Bedingung, dass die Wanderwellenleitung eine Impedanz von
50 Ω aufweisen sollte, lassen sich die erforderlichen Impedanz- und
Kapazitätsbeläge errechnen. Für das Substratmaterial InP ergibt sich
L' ≅ 570 nH/m und C' ≅ 230 pF/m. Da die elektrooptische Ansteuerung über
invers gepolte pn-Übergänge realisiert wird, ist der Kapazitätsbelag durch die
Geometrie von Wellenleiter, insbesondere Wellenleiterbreite b, und pn-
Übergang, insbesondere Sperrschichtweite s, bestimmt. In erster Näherung
erhält man C' = εrε0 . b/s. Die Kapazitätsbeläge, die man danach für typische
Abmessungen der integriert optischen Bauteile erhält, sind jedoch größer als
der geforderte Wert von 230 pF/m. Damit läge die Impedanz unterhalb von
50 Ω. Zudem wäre die elektrische Welle langsamer als die optische Welle, so
dass ein relativ großer Laufzeitunterschied die mögliche Grenzfrequenz
heruntersetzt.
Dieses Problem lässt sich lösen, wenn man eine Wanderwellenleitung mit
einer segmentierten Kapazitätsbelastung einsetzt, wie sie von Walker im
oben genannten Stand der Technik beschrieben wird. In dieser Anordnung
wird eine unbelastete Koplanarleitung, die eine Impedanz von 63 Ω hat, mit
Kapazitäten von 90 pF/m belastet, was zu einer Impedanz von 50 Ω führt.
Einen solch geringen Kapazitätsbelag erhält man, wenn man das bekannte
durchgängige Wanderwellenelektrodenpaar aufspaltet in eine Vielzahl von
Einzelelektrodenpaaren, die periodisch mit Abstand auf dem Wellenleiter
angeordnet und elektrisch parallel geschaltet sind. Das bedeutet, dass die
Länge LE jedes Einzelelektrodenpaars nur einen Bruchteil der Periodenlänge
LP ausmacht. Die Gesamtkapazität C' beträgt dann C' = LE/LP . CEinzelelektrodenpaar.
Dadurch, dass die Kapazitäten eines Einzelelektrodenpaars über die
gemeinsame n-Schicht jeweils in Reihe geschaltet sind, halbiert sich die
Kapazität noch einmal. Für die Einzelkapazität benötigt man also 180 pF/m.
Möchte man ein digitales 1 × 2-Umschaltverhalten des optischen Bauelements
bei gleichzeitig extrem geringem Nebensprechen haben, so ist ein
symmetrischer Gabelkoppler besonders geeignet. Dieser ist bekannt aus dem
Aufsatz: "Joint electrorefraction and electroabsorption in MQW's for digital
switching with extremely low cross talk (< -45 dB)" von D. Hoffmann et al.
(Optical Fiber Communication Conference OFC '96, Februar, 25. -
March, 1. 1996, San Jose, California, paper ThQ2). Bei derartigen
Gabelkopplern liegt der Eingangswellenleiter im Koppelbereich symmetrisch
zwischen den beiden Ausgangswellenleitern. Hinter dem Koppelbereich
endet der Eingangswellenleiter in einem Absorber. Durch die Kombination
dieser Architektur in MQW-Ausführung in Verbindung mit dem Schaltprinzip,
das auf dem eine Veränderung der Absorption und des Brechungsindex
bewirkenden QCS-Effect beruht, erhält der Gabelkoppler ein digitales
Umschaltverhalten. Dazu ist das Anlegen nur einer einzigen Schaltspannung
erforderlich. Zum Erreichen des digitalen Umschaltverhaltens ist es
Voraussetzung, dass einmal übergekoppelte Lichtenergie auch in dem
entsprechenden Wellenleiter verbleibt. Ein Schwingungsverhalten, wie es
analoge Mach-Zehnder-Anordnungen zeigen, darf hierbei nicht auftreten.
Deshalb wird der bekannte Gabelkoppler über zwei konzentrierte
Plattenelektroden, die im Koppelbereich auf je einen der beiden
Ausgangswellenleiter einwirken, entsprechend angesteuert. Durch die RC-
Zeitkonstanten tritt jedoch eine Bandbegrenzung des möglichen
Übertragungsbandes auf, so dass sich derartig angesteuerte Gabelkoppler
nicht für den Einsatz in hochschnellen Anwendungen eignen.
In einem kaskadierten Aufbau, in dem vier einzelne Gabelkoppler zu einer
2 × 2-Schaltmatrix kombiniert sind, kann für eine Anwendung als hochschneller
Lasermodulator, dessen Ausgangssignal analog veränderbar ist, eine
Wanderwellenansteuerung im Gegentaktprinzip zum Einsatz gelangen. Bei
Verwendung von segmentierten Einzelelektrodenpaaren zur Erreichung der
erforderlichen niedrigen Kapazität, wie sie oben beschrieben ist, kann hierbei
eine Schwingung der Lichtwelle zwischen den beiden Ausgangswellenleitern
in den unbeeinflussten Abstandsbereichen zwischen den Einzelelektroden
akzeptiert werden. Als digitaler Umschalter ist eine derartige Konzeption
jedoch wegen dieser unerwünschten Kopplung und damit wegen des stark
erhöhten Nebensprechens und der zusätzlichen Dämpfung nicht zu
verwenden.
An dieser Stelle sei noch eine Erläuterung zu den mit
Wanderwellenelektroden anwendbaren "single-sided-" und "push-pull-
"("Gegentakt-") Ansteuermodi gegeben. Während beim ersten
Ansteuermodus nur auf einen Ausgangswellenleiter mit einer
Brechzahländerung, die eine Veränderung der Ausbreitungsgeschwindigkeit
zur Folge hat, eingewirkt wird, befindet sich beim zweiten Ansteuermodus auf
jedem Ausgangswellenleiter eine Wanderwellenelektrode, von denen jede
eine entgegengesetzte Phasenverschiebung um jeweils den Betrag p/2
bewirkt. Dadurch wird bei der Signalvereinigung eine Signalauslöschung
ohne resultierende Phasenänderung bewirkt, so dass das angesteuerte
Bauteil im Idealfall chirpfrei arbeitet. Unter "Chirp" versteht man dabei die
dynamische unerwünschte Änderung der Wellenlänge eines optischen
Pulses, die immer mit der gewünschten Amplitudenänderung verknüpft ist.
Nach einer gewissen Übertragungsstrecke können so beispielsweise die
Anstiegs- und die Abfallflanke des Pulses zeitlich soweit
auseinandergelaufen sein, dass der vorauseilende bzw. nachfolgende Puls
gestört wird. Das Chirp-Problem ist um so gravierender, je höher die
Datenrate ist. Ein weiterer Vorteil der seriellen Gegentaktsteuerung liegt in
der Halbierung der Kapazität durch Serienschaltung der Kapazitäten (Series
Push-Pull im Gegensatz zu Parallel Push-Pull), was zu einer nochmaligen
Verbesserung der Grenzfrequenz um den Faktor 2 führt.
Zusammenfassend ist es also einerseits bekannt, bei der hochschnellen
Wandervellen-Ansteuerung von analogen Mach-Zehnder-Richtkopplern mit
1 × 2-Schaltfunktion zur Erzeugung ausreichend kleiner Kapazitätsbelastungen
in Einzelelektrodenpaare segmentierte Wanderwellenelektroden vorzusehen.
Andererseits ist es bekannt, dass Gabelkoppler in MQW-Ausführung ein
digitales Umschalt- und extrem niedriges Nebensprechverhalten aufweisen,
zur Aufrechterhaltung dieses Verhaltens aber nur mit konzentrierten
Plattenelektroden angesteuert werden können. Deren relativ niedrige
Grenzfrequenz für die Übertragungsrate verhindert einen Einsatz solcher
Gabelkoppler in hochschnellen Anwendungen.
Die der Erfindung zugrundeliegende Problematik ist daher darin zu sehen,
einen Richtkoppler der eingangs beschriebenen Art
mit segmentierter Wanderwellenansteuerung dergestalt
weiterzubilden, dass er ein echtes Umschaltverhalten bei gleichzeitig
besonders guten Übertragungseigenschaften aufweist. Dabei sollen die
Gestaltungsmittel einfach, unempfindlich und damit kostengünstig sein,
gerade im Hinblick auf eine Massenbauteilfertigung.
Die Hauptproblematik wird durch den Richtkoppler nach der Erfindung
dadurch gelöst, dass er als symmetrischer Gabelkoppler mit digitalem
Umschaltverhalten ausgeführt ist,
dessen Kopplungsvermögen zwischen den Wellenleitern in den
Abstandsbereichen zwischen den Einzelelektrodenpaaren durch eine dort
ausgebildete Asymmetrie der Wellenleiterarchitektur über alle drei
Wellenleiter und durch eine Wahl der Länge der Abstandsbereiche in
Übereinstimmung mit der Schwebungswellenlänge der lokalen Moden des zu
übertragenden optischen Signals mit steigendem Grad der Asymmetrie
minimiert ist, die sich periodisch in den Abstandsbereichen wiederholt. Eine
Segmentierung der Wanderwellenelektroden allein - wie im Fall des aus der
ersten Druckschrift bekannten Mach-Zehnders - ist bei einem solchen
Gabelkoppler nicht ausreichend. Sie würde im Gegenteil dazu führen, dass in
den Abstandsbereichen das Licht zurückkoppeln und damit das digitale
Umschaltverhalten zunichte machen würde.
Durch die erfindungsgemäße Minimierung des Kopplungsvermögens in den
Abstandsbereichen zwischen den Einzelelektrodenpaaren wird die
unerwünschte Überkopplung in einfacher Weise erheblich vermindert. Der
Betrag der Reduzierung steigt mit zunehmender Asymmetrie der
Wellenleiterarchitektur zwischen dem Eingangs- und den
Ausgangswellenleitern. Bei geeigneter Wahl der Asymmetrie und der Länge
der Abstandsbereiche ist die Intensitäts- und Phasenverteilung des zu
übertragenden optischen Signals am Ende der Abstandslücke genauso groß
wie an deren Anfang. Trotz der noch vorhandenen schwachen Kopplung ist
die Phasenbeziehung zwischen den Moden am Anfang und am Ende des
Abstandsbereichs gleich. Dies ist gleichbedeutend damit, dass die Länge des
Abstandsbereichs identisch ist mit der Schwebungswellenlänge der lokalen
Moden durch deren Überlagerung. Für das Schaltverhalten sind die
Abstandsbereiche damit quasi nicht existent und die besonders guten
Schalteigenschaften des Gabelkopplers bleiben erhalten. In ihrer Wirkung
liegen die Koppelabschnitte optisch in Reihe und elektrisch parallel.
Der Effekt des "Unsichtbarmachens" der Abstandsbereiche für das zu
übertragende Lichtsignal kann durch unterschiedliche Wellenleiter
architekturen umgesetzt werden. Je größer die dadurch bewirkte Asymmetrie
ist, desto "unsichtbarer" ist der Abstandsbereich. Zu der Umsetzung mit
geometrischen Mitteln zählt eine erste, besonders vorteilhafte Ausgestaltung
der Erfindung, bei der die Asymmetrie in den Abstandsbereichen durch von
der Wellenleiterbreite in den Bereichen der Einzelelektrodenpaare
abweichende Wellenleiterbreiten des Eingangswellenleiters und der
Ausgangswellenleiter in der Form umgesetzt ist, dass die Ausgangs
wellenleiter schmaler sind, wenn der Eingangswellenleiter breiter ist oder
umgekehrt. Alle drei Wellenleiter weisen dadurch ein stufenförmiges
Breitenprofil auf. Dabei treten die Ausgangswellenleiter beispielsweise eine
Stufe zurück, wenn der Eingangswellenleiter eine Stufe vortritt. Da die
Ausbreitungsgeschwindigkeit des optischen Signals in einem Wellenleiter
abhängig von dessen Breite ist, breitet sich die optische Welle in einem
schmalen Wellenleiter durch ständige Brechung an den Wellenleiterkanten
schneller aus als in einem breiten Wellenleiter. Der bereits übergekoppelte
Anteil des optischen Signals ist also in den schmaleren Abschnitten der
Ausgangswellenleiter schneller als in den Einzelelektrodenbereichen,
wohingegen der Restanteil in den breiteren Abstandsbereichen langsamer als
in den Einzelelektrodenbereichen ist. Diese Laufzeitveränderung in den
einzelnen Abschnitten jedes Wellenleiters und zwischen den Wellenleitern
reduziert die Überkopplung der Moden zwischen den Wellenleitern in diesen
Bereichen durch den oben näher beschriebenen Effekt. Die gleiche
Asymmetrie lässt sich auch erzielen, wenn die Breitenverhältnisse genau
umgekehrt ausgeführt sind, d. h. dass die Ausgangswellenleiter in den
Abstandsbereichen breiter werden, während der Eingangswellenleiter
schmaler wird. Dabei bestimmt die Stufenhöhe die Stärke der Asymmetrie.
Schon bei kleinsten Stufen im nm-Bereich erfolgt eine befriedigende
Entkoppplung, die aber mit zunehmender Stufenhöhe bis in den µm-Bereich
und damit zunehmender Asymmetrie noch verbessert wird.
Diese Effekt kann auch durch eine andere geometrische Maßnahme
umgesetzt werden. Nach einer weiteren Erfindungsausgestaltung ist die
Asymmetrie in den Abstandsbereichen durch von der Wellenleiterhöhe in den
Bereichen der Einzelelektrodenpaare abweichende Wellenleiterhöhen des
Eingangswellenleiters und der Ausgangswellenleiter in der Form umgesetzt,
dass die Ausgangswellenleiter flacher sind, wenn der Eingangswellenleiter
höher ist oder umgekehrt. Hierbei liegt als eine Variation der Rippenhöhe vor,
vorzugsweise wieder in einer Abstufung.
Ebenfalls möglich ist eine geometrische Maßnahme, bei der nicht die
Geometrie der Wellenleiter selbst, sondern ihre relative Lage zueinander
variiert wird. Dabei handelt es sich nach einer Erfindungsfortführung darum,
dass die Asymmetrie in den Abstandsbereichen durch von dem
Wellenleiterabstand in den Bereichen der Einzelelektrodenpaare
abweichende Wellenleiterabstände zwischen dem Eingangswellenleiter und
den Ausgangswellenleitern in der Form umgesetzt ist, dass die
Ausgangswellenleiter einen größeren mittleren Wellenleiterabstand vom
Eingangswellenleiter aufweisen. Die Ausgangswellenleiter verlaufen also
abschnittsweise sinusförmig, während der Eingangswellenleiter ungekrümmt
bleibt. Eine Verringerung des Abstandes ist bei dieser Ausführungsvariante
aufgrund der bereits sehr geringen Wellenleiterabstände im Grundzustand
ebenso wie eine Vertauschung des sinusförmigen Verlaufs nicht sinnvoll.
Der Dimensionierung aller geometrischen Maßnahmen übergeordnet ist
immer deren Abhängig von der Zulässigkeit durch die Wellenleiter selbst und
durch die oben formulierte Bedingung der gleichen Phasenbeziehung
zwischen den überlagerten lokalen Moden am Anfang und am Ende eines
Abstandsbereiches. Dabei gilt jedoch stets, dass der Entkopplungseffekt mit
zunehmender Asymmetrie und damit zunehmender Dimensionierung
zunimmt.
Eine physikalische Maßnahme zur Wellenleiterasymmetrie sieht nach einer
nächsten Erfindungsausgestaltung vor, dass die Asymmetrie in den
Abstandsbereichen durch von den Wellenleiter-Brechungsindizes in den
Bereichen der Einzelelektrodenpaare abweichende Brechungsindizes des
Eingangswellenleiters und der Ausgangswellenleiter in der Form umgesetzt
ist, dass die Ausgangswellenleiter einen niedrigeren Brechungsindex
aufweisen, wenn der Eingangswellenleiter einen höheren Brechungsindex
aufweist oder umgekehrt. Eine derartige Maßnahme hat ebenfalls eine
Veränderung der Ausbreitungsgeschwindigkeit der Moden und damit den
beschriebenen Effekt zur Folge, ist jedoch im Gegensatz zu den besonders
einfach geometrischen Maßnahmen bei der Umsetzung mit einem etwas
größeren Aufwand verbunden. Die unterschiedlichen Brechungsindizes sind
durch unterschiedliche Materialien oder durch elektrooptische Effekte
erzielbar.
Weiterhin kann nach einer anderen Erfindungsausgestaltung vorteilhaft
vorgesehen sein, dass in den Abstandsbereichen die drei Wellenleiter an
einen breiten Multimodenwellenleiter-Abschnitt angekoppelt sind. Bei
geeigneter Länge des Multimodenwellenleiter-Abschnittes, die dann die
Länge des Abtsandsbereiches bestimmt, entsteht eine Selbstabbildung der
Eingangsmodenverteilung in den Abstandsbereichen. Diese verhalten sich
damit in ihrer Wirkung so, als seien sie nicht vorhanden.
Die Einsatzmöglichkeiten des erfindungsgemäßen hochschnellen
Richtkopplers als Gabelkoppler mit digitalem Umschaltverhalten und äußerst
geringem Nebensprechen sind vielfältig. Er kann beispielsweise als
Multiplexer oder als Demultiplexer in Verteilungssystemen eingesetzt werden.
Besonders günstig ist es, wenn er nach einer Erfindungsvariante zusammen
mit weiteren Richtkopplern derselben Bauart in einer Schaltmatrix kaskadiert
ausgebaut ist. Im Gegensatz zu den bekannten Schaltmatrizen mit
Wanderwellenansteuerung büßt der erfindungsgemäße Richtkoppler in einer
derartigen Anordnung nicht sein digitales Umschaltverhalten ein.
Als besonders vorteilhaft ist noch eine Ausführungsvariante des
erfindungsgemäßen Richtkopplers zu beschreiben, bei der vorgesehen ist,
dass dieser mit einem Sendelaser monolithisch integriert aufgebaut ist und
mit beiden Ausgangswellenleitern, die beide die gleiche Endflächen
reflektivität aufweisen, in gleicher Länge bis zur vom Sendelaser
abgewandten Kante des integrierten Bauteils führt und nur einer der beiden
Ausgangswellenleiter an eine weiterführende Glasfaser angekoppelt ist.
Damit bildet er für den Sendelaser einen optimalen externen Modulator mit
echtem digitalem Umschaltverhalten. Neben den oben bereits erwähnten
Vorteilen und dem Vorteil, dass durch eine monolithische Integration keine
Stoßstelle zwischen Laser und Modulator vorliegt, entsteht nunmehr der
gravierende Vorteil, dass ein derartiger Sendebaustein nahezu chirpfrei
arbeitet, insbesondere auch keinen Laserchirp aufweist. Das wird dadurch
erreicht, dass der zweite unbelegte Ausgang des Gabelkopplers als
invertierter Ausgang benutzt wird. Im angesteuerten Zustand a mit der
Spannung Va wird ein in seinen Eingang eingekoppeltes Signal "1" vollständig
beispielsweise auf seinen oberen Ausgang geleitet. Im angesteuerten
Zustand b mit der Spannung Vb wird die eingekoppelte "1" dann vollständig
auf den unteren Ausgang geleitet, so dass hier eine "1" ansteht, während im
oberen Ausgang durch Auslöschung die "0" ansteht. Die Ausgänge sind also
zueinander invertiert ausgelegt. Da der digitale Umschalter reziprok arbeiten
kann, d. h. eine Umkehr der Lichtrichtung zulässt und in jeder Richtung die
gleiche Dämpfung aufweist, und seine beiden Ausgänge die gleiche
Reflektivität aufweisen, wird also in jedem Schaltzustand von einem seiner
beiden Ausgänge die gleiche maximale Lichtleistung auf den Laser reflektiert,
so dass kein Laserchirp auftritt. Dabei versteht man unter Laserchirp die
Beeinflussung der Wellenlängenstabilität des Lasers aufgrund
unterschiedlicher von der Chipkante des Sendebausteins reflektierter
optischer Leistung in Abhängigkeit vom Schaltzustand eines normalen
verwendeten optischen Bauteils, beispielsweise eines Mach-Zehnder-
Modulators.
An dieser Stelle sei noch erwähnt, dass die hochschnelle Modulation eines
Sendelasers auch über einen externen, aber monolithisch mit dem Laser
integrierten 1 × 2-Mach-Zehnder-Umschalter mit einer ggf. segmentierten
Wanderwellen-Ansteuerung und gleichen Bauteileigenschaften wie der
Richtkoppler nach der Erfindung erfolgen kann. Dieses Bauelement verhält
sich genauso wie oben beschrieben. Bei der Verwendung eines 2 × 2-Mach-
Zehnder-Umschalters als Modulator bleibt ein Eingangswellenleiter
entsprechend unbelegt.
Bevorzugte Ausbildungsformen der Erfindung werden nachfolgend anhand
der Figuren näher erläutert. Zur Vermeidung von Wiederholungen wird bei
den zugrundeliegenden Funktionsprinzipien jedoch auf den allgemeinen
Beschreibungsteil mit seinen ausführlichen Erläuterungen verwiesen. Die
Figuren zeigen im einzelnen:
Fig. 1 die Prinzipdarstellung eines erfindungsgemäßen Richtkopplers
mit breitenvariierten Wellenleitern,
Fig. 2 die Prinzipdarstellung eines erfindungsgemäßen Richtkopplers
mit abstandsvariierten Wellenleitern,
Fig. 3 die Prinzipdarstellung eines erfindungsgemäßen Richtkopplers
mit selbstabbildenden Multimodenwellenleiter und
Fig. 4 die Prinzipdarstellung eines erfindungsgemäßen breiten
variierten Richtkopplers in monolithischer Integration mit einem
Sendelaser.
In Fig. 1 ist ein Richtkoppler in Form eines symmetrischen Gabelkopplers 1
in MQW-Struktur (beispielsweise 16 Paare von InGaAsP-Lagen (13 nm) und
InP-Barrieren (6 nm)) dargestellt, der sich durch sein digitales
Umschaltverhalten und sein extrem niedriges Nebensprechen auszeichnet. Er
weist einen Eingangswellenleiter 2, der in einem Absorber 3 endet, und zwei
symmetrisch dazu angeordnete Ausgangswellenleiter 4, 5 auf. Die drei
Wellenleiter 2, 4, 5 sind sehr eng benachbart in einem Koppelbereich 6 der
Länge LK.
In der Ebene der Wellenleiter 2, 4, 5 ist zu deren beiden Seiten eine
koplanare Wanderwellenleitung 7 angeordnet, die eine mittlere Impedanz von
50 Ω aufweist. Im Koppelbereich 6 sind als integraler Bestandteil der
Wanderwellenleitung 7, die in diesem Bereich eine Impedanz von ca. 63 Ω
aufweist, mehrere Einzelelektrodenpaare 8 aus einander gegenüber
liegenden Einzelelektroden 9, 10 auf den beiden Ausgangswellenleitern 4, 5
angeordnet. Diese Einzelelektrodenpaare 8 weisen bei einer entsprechenden
Auslegung einer Periodenlänge LP der Periode einen Kapazitätsbelag von ca.
90 pF/m auf. Damit kann die resultierende Impedanz der
Wanderwellenleitung 7 im Koppelbereich 6 ebenfalls zu 50 Ω dimensioniert
werden. Da die beiden Einzelelektroden 9, 10 jedes Einzelelektrodenpaars 8
über die nicht weiter dargestellte negativ-leitende Schicht des Gabelkopplers
1 miteinander in Reihe geschaltet sind, weist jede Einzelelektrode 9, 10 auf
der Periodenlänge LP eine Einzelkapazität von ca. 180 pF/m auf. Alle
Einzelelektrodenpaare 8 im Koppelbereich 6 sind elektrisch parallel
geschaltet.
Die Einzelelektrodenpaare 8 sind mit der Periodenlänge LP auf den
Ausgangswellenleitern 4, 5 angeordnet. Jedes Einzelelektrodenpaar 8 weist
eine Elektrodenlänge LE auf, die kleiner als die Periodenlänge LP ist, so dass
zwischen den einzelnen Einzelelektrodenpaaren 8 ein Abstandsbereich 11
der Länge LA liegt. Diese Länge LA ist so gewählt, dass sie gleich der
Schwebungswellenlänge der lokalen Moden ist. Im Abstandsbereich 11 ist
eine Asymmetrie der Wellenleiterarchitektur über alle drei Wellenleiter 2, 4, 5
ausgebildet. Im gewählten Ausführungsbeispiel in Fig. 1 wird diese dadurch
umgesetzt, dass der Eingangswellenleiter 2 in den Abstandsbereichen 11
eine Wellenleiterbreite b1 aufweist, die größer ist als die Wellenleiterbreite b2
auf der Elektrodenlänge LE im Bereich der Einzelelektrodenpaare 8.
Demgegenüber weisen die beiden Ausgangswellenleiter 4, 5 eine
Wellenleiterbreite b3 auf, die geringer ist als die Wellenleiterbreite b4 auf der
Elektrodenlänge LE im Bereich der Einzelelektrodenpaare 8. Durch diese
stufenartige Ausbildung der drei Wellenleiter 2, 4, 5 im Koppelbereich 6, die
sich in allen Abstandsbereichen 11 periodisch wiederholt, wird die
Überkopplung minimiert. Dabei gilt, dass diese Minimierung mit dem
Stufenabstand, d. h. dem Grad der Asymmetrie zunimmt. Im Zusammenhang
mit der Länge LA des Abstandsbereiches 11 ist so die Phasen- und
Intensitätsbeziehung der Moden an Anfang und Ende des Abstandsbereiches
11 gleich, so dass dieser für die zu übertragende optische Lichtwelle quasi
nicht existent ist.
In Fig. 2 ist eine andere Möglichkeit der Asymmetrie-Umsetzung dargestellt.
Alle hier nicht weiter erläuterten Bezugszeichen sind der Fig. 1 zu
entnehmen. Bei dieser Ausgestaltung haben die beiden Ausgangswellenleiter
4, 5 in den Abstandsbereichen 11 einen größeren mittleren Wellenleiter
abstand d vom Eingangswellenleiter 2 als auf der Elektrodenlänge LE im
Bereich der Einzelelektrodenpaare 8. Die beiden Ausgangswellenleiter 4, 5
verlaufen abschnittsweise sinusförmig, während der Eingangswellenleiter 2
gerade verläuft. Der erzielte Effekt ist der gleiche wie bei der Ausgestaltung
gemäß Fig. 1. Eine weitere geometrische Veränderungsmöglichkeit der
Asymmetrie liegt in einer Variation der Rippenhöhe der einzelnen
Wellenleiter, bei einer physikalischen Möglichkeit kann der Brechungsindex
abschnittsweise durch unterschiedliches Material oder elektrooptisch
verändert werden.
Fig. 3 zeigt die Erzielung des Effekts durch Einfügung von
selbstabbildenden Multimodenwellenleiter-Abschnitten 12 in den
Abstandsbereichen 11. In diese werden jeweils die drei Wellenleiter 2, 4, 5
gemeinsam eingekoppelt und am Ende des Abstandsbereiches 11 wieder
ausgekoppelt.. Die verschiedenen Moden haben räumlich periodisch eine
unterschiedliche Laufzeit, nach einer bestimmten Länge haben sich die
Phasen der Moden um jeweils ganzzahlige Vielfache von 2π verändert. Durch
die richtige Längenwahl LA der Multimodenwellenleiter-Abschnitte 12 in
Abhängigkeit von dieser Selbstabbildung kann wiederum die Überkopplung
zwischen den Wellenleitern 2, 4, 5 minimiert werden.
In Fig. 4 ist ein Sendebaustein 13 dargestellt, bei dem ein Sendelaser 14
mit einem 1 × 2-Gabelkoppler 15 als externer mikrowellengesteuerter
Modulator monolithisch integriert ist. Die Ansteuerung erfolgt durch zwei in
einem Koppelbereich 16 angeordnete, in Einzelelektrodenpaare 17
segmentierte Wanderwellenelektroden 18, 19 in serieller Gegentakt
schaltung. Durch das gute digitale Schaltverhalten ohne Absorption in
Verbindung mit dem extrem niedrigen Nebensprechen des als Modulator
eingesetzten Gabelkopplers 15 tritt kein Modulator-Chirp auf (Brechungs
indexänderung in Abhängigkeit einer Absorptionsänderung - Kramers-
Kronig-Relation). Der Gabelkoppler 15 weist einen Eingangswellenleiter 20
und zwei Ausgangswellenleiter 21, 22 auf. Mit dem Eingangswellenleiter 20
ist er mit dem Sendelaser 14 über eine Stoßkopplung 23 verbunden. Der
Ausgangswellenleiter 21 ist mit einem das modulierte Ausgangssignal
weiterführenden Wellenleiter in Form einer Glasfaser 24 an einer Chipkante
25 über eine weitere Stoßkopplung verbunden. Der andere Ausgangs
wellenleiter 22 hat genau die gleiche Länge und optische Struktur wie der
Ausgangswellenleiter 21, endet aber an der Chipkante 25 und ist unbelegt.
Eine Vertauschung der Belegung ist möglich.
Der Ausgangswellenleiter 22 bildet einen invertierten Ausgang zu dem
Ausgangswellenleiter 21. Im angesteuerten Zustand a (Va) wird das
eingeleitete Signal vollständig auf den oberen Ausgangswellenleiter 21
überführt, und der untere Ausgangswellenleiter 22 bleibt unbenutzt. Im
angesteuerten Zustand b (Vb) wird das eingeleitete Signal vollständig auf
den unteren Ausgangswellenleiter 22 geleitet, der obere Ausgangs
wellenleiter 21 zeigt das gewünschte Nullsignal. In beiden Fällen führt einer
der beiden Ausgangswellenleiter 21, 22 das Lichtsignal, so dass jeweils die
gleiche Lichtmenge zum Sendelaser 14 an der Chipkante 25 reflektiert wird.
Hier kommt stets die gleiche Lichtleistung an, da der Gabelkoppler 15
reziprok, d. h. mit vertauschten Lichtrichtungen, arbeiten kann und die beiden
Ausgangswellenleiter 21, 22 an der Chipkante 25 die gleiche Endflächen
reflektivität aufweisen. Bei dem hier beschriebenen Sendebaustein 13 tritt
also weder ein Laserchirp noch ein Modulatorchirp auf, so dass dieser in
besonderer Weise für den Einsatz in ultrahöchstratigen Übertragunsgsnetzen
geeignet ist.
1
symmetrischer Gabelkoppler
2
Eingangswellenleiter
3
Absorber
4
Ausgangswellenleiter
5
Ausgangswellenleiter
6
Koppelbereich
7
koplanare Wanderwellenleitung
8
Einzelelektrodenpaar
9
Einzelelektrode
10
Einzelelektrode
11
Abstandsbereich
12
Multimodenwellenleiter-Abschnitt
13
Sendebaustein
14
Sendelaser
15
1
× 2-Gabelkoppler
16
Koppelbereich
17
Einzelelektrodenpaar
18
Wanderwellenelektrode
19
Wanderwellenelektrode
20
Eingangswellenleiter
21
oberer Ausgangswellenleiter
22
unterer Ausgangswellenleiter
23
Stoßkopplung
24
Weiterführende Glasfaser
25
Chipkante
LK
LK
Länge des Koppelbereichs
LA
LA
Länge des Abstandsbereichs
LE
LE
Elektrodenlänge
LP
LP
Periodenlänge
b1
b1
, b2
, b3
, b4
Wellenleiterbreite
d mittlerer Wellenleiterabstand
d mittlerer Wellenleiterabstand
Claims (8)
1. Richtkoppler für optische Signale aus der III-V-
Halbleitergruppe in integriertem Multi-Quantum-Well-Aufbau
mit 1 × 2-Schaltfunktion über drei koppelbare Wellenleiter
und mit einer im Koppelbereich angeordneten Wanderwellen-
Ansteuerung im Gegentaktmodus über eine zu den Wellenleitern
koplanar ausgebildete und kapazitiv belastete
Wanderwellenleitung mit einer mittleren Impedanz von 50 Ω,
die als integralen Bestandteil periodisch mit Abstand
zueinander auf den Wellenleitern angeordnete
Einzelelektrodenpaare mit Kapazitätsbelägen in einem Bereich
von 90 pF/m aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Richtkoppler als symmetrischer Gabelkoppler (1; 15) mit
digitalem Umschaltverhalten ausgeführt ist, dessen
Kopplungsvermögen zwischen den drei Wellenleitern (2, 4, 5; 20,
21, 22) in den Abstandsbereichen (11), senkrecht zur
Wellenleiterlängsrichtung gesehen, zwischen den
Einzelelektrodenpaaren (8; 17) durch eine dort ausgebildete
Asymmetrie der Wellenleiterarchitektur über alle drei
Wellenleiter (2, 4, 5; 20,21, 22) und durch eine Wahl der Länge
(LA) der Abstandsbereiche (11) zwischen den Einzelelektroden
(10) der Wanderwellenleitung (7), lateral in
Wellenleiterlängsrichtung gesehen, in Übereinstimmung mit
der Schwebungswellenlänge der lokalen Moden des zu
übertragenden optischen Signals mit steigendem Grad der
Asymmetrie minimiert ist, die sich periodisch in den
Abstandsbereichen (11) lateral in Wellenleiterlängsrichtung
gesehen wiederholt.
2. Richtkoppler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Asymmetrie in den Abstandsbereichen (11) zwischen den
Einzelelektroden (10) der Wanderwellenleitung (7) lateral in
Wellenleiterlängsrichtung gesehen, durch von der
Wellenleiterbreite (b2, b4) in dem Bereich (6; 16) der
Einzelelektrodenpaare (8; 17) abweichende Wellenleiterbreiten
(b1, b3) des Eingangswellenleiters (2; 15) und der
Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22) in der Form umgesetzt ist,
dass die Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22) schmaler sind,
wenn der Eingangswellenleiter (2; 15) breiter ist oder
umgekehrt.
3. Richtkoppler nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet,
dass die Asymmetrie in den Abstandsbereichen (11) zwischen
den Einzelelektroden (10) der Wanderwellenleitung (7)
lateral in Wellenleiterlängsrichtung gesehen, durch von der
Wellenleiterhöhe in den Bereichen (6; 16) der
Einzelelektrodenpaare (8; 17) abweichende Wellenleiterhöhen
des Eingangswellenleiters (2; 15) und der
Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22) in der Form umgesetzt ist,
dass die Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22) flacher sind, wenn
der Eingangswellenleiter (2; 15) höher ist oder umgekehrt.
4. Richtkoppler nach Anspruch 1
dadurch gekennzeichnet, dass
die Asymmetrie in den Abstandsbereichen (11) zwischen den
Einzelelektroden (10) der Wanderwellenleitung (7) lateral in
Wellenleiterlängsrichtung gesehen, durch von dem
Wellenleiterabstand in dem Bereich (646) der
Einzelelektrodenpaare (8; 17) abweichende
Wellenleiterabstände zwischen dem Eingangswellenleiter
(2; 15) und den Ausgangswellenleitern (4, 5; 21, 22) in der Form
umgesetzt ist, dass die Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22)
abschnittsweise sinusförmig verlaufen, während der
Eingangswellenleiter (2; 20) ungekrümmt bleibt.
5. Richtkoppler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Asymmetrie in den Abstandsbereichen (11)zwischen den
Einzelelektroden (10) der Wanderwellenleitung (7) lateral in
Wellenleiterlängsrichtung gesehen, durch von den
Wellenleiterbrechungsindizes in dem Bereich (6; 16) der
Einzelelektrodenpaare (8; 17) abweichende Brechungsindizes
des Eingangswellenleiters (2; 15) und der
Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22) in der Form umgesetzt ist,
dass die Ausgangswellenleiter (4, 5; 21, 22) einen niedrigeren
Brechungsindex aufweisen, wenn der Eingangswellenleiter (2;
15) einen höheren Brechungsindex aufweist oder umgekehrt.
6. Richtkoppler nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
in den Abstandsbereichen (11) zwischen den Einzelelektroden
(10) der Wanderwellenleitung (7) lateral in
Wellenleiterlängsrichtung gesehen, die drei Wellenleiter
(2, 4, 5; 20, 21, 22) an einen breiten
Multimodenwellenleiter-Abschnitt (12) gekoppelt sind.
7. Richtkoppler nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass
dieser zusammen mit weiteren Richtkopplern derselben Bauart
in einer Schaltmatrix kaskadiert angeordnet ist.
8. Richtkoppler nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, dass
dieser mit einem Sendelaser (14) monolithisch ein
integriertes Bauteil (13) bildet und beide
Ausgangswellenleiter (21, 22), die beide die gleiche
Endflächenreflektivität aufweisen, in gleicher Länge bis zur
vom Sendelaser (14) abgewandten Kante (25) des integrierten
Bauteils (13) geführt werden und nur einer der beiden
Ausgangswellenleiter (21) an eine weiterführende Glasfaser
(24) angekoppelt ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997131586 DE19731586C2 (de) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | Richtkoppler für optische Signale |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997131586 DE19731586C2 (de) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | Richtkoppler für optische Signale |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19731586A1 DE19731586A1 (de) | 1999-02-11 |
DE19731586C2 true DE19731586C2 (de) | 2001-12-20 |
Family
ID=7836600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1997131586 Expired - Lifetime DE19731586C2 (de) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | Richtkoppler für optische Signale |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19731586C2 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3241945A1 (de) * | 1981-11-16 | 1983-05-26 | Western Electric Co., Inc., 10038 New York, N.Y. | Elektrooptische wanderwellenbauelemente |
EP0610857A1 (de) * | 1993-02-12 | 1994-08-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Integriert optische Anordnung aus Rippenwellenleitern auf einem Substrat |
WO1999006874A1 (en) * | 1997-08-01 | 1999-02-11 | Akzo Nobel N.V. | Cascaded optical switch comprising at least one gate |
-
1997
- 1997-07-17 DE DE1997131586 patent/DE19731586C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3241945A1 (de) * | 1981-11-16 | 1983-05-26 | Western Electric Co., Inc., 10038 New York, N.Y. | Elektrooptische wanderwellenbauelemente |
EP0610857A1 (de) * | 1993-02-12 | 1994-08-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Integriert optische Anordnung aus Rippenwellenleitern auf einem Substrat |
WO1999006874A1 (en) * | 1997-08-01 | 1999-02-11 | Akzo Nobel N.V. | Cascaded optical switch comprising at least one gate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19731586A1 (de) | 1999-02-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69727445T2 (de) | Mach-Zehnder optischer Modulator mit einstellbarem Chirp und Verfahren zur Erzeugung einstellbaren Chirps | |
DE69731500T2 (de) | Akustooptische Wellenleitervorrichtung mit Kompensation der Polarisationsmodendispersion | |
DE3241945C2 (de) | ||
DE4327103B4 (de) | Interferometrisch abstimmbares optisches Filter | |
DE60318161T2 (de) | Optischer Modulator mit Richtkopplern | |
DE3715071C2 (de) | ||
DE60028743T2 (de) | Optischer koppelpunktschalter mit vertical gekoppelter wellenleiterstruktur | |
DE202013104314U1 (de) | Optischer Mach-Zehnder-Modulator unter Verwendung einer symmetrischen koplanaren Streifenleitung mit seitlichen Masseebenen | |
DE69630750T2 (de) | Mach-Zehnder-Modulator und Verfahren zum Treiben desselben | |
DE60308244T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines optischen Pulszugs mit unterdrücktem Träger und Gitter-Vorrichtung | |
DE60110517T2 (de) | Lichtgesteuerter Lichtmodulator | |
DE69734377T2 (de) | Nichtlineares optisches Verzweigungselement | |
DE3713990A1 (de) | Opto-elektronischer richtungskoppler fuer ein vorspannungsfreies steuersignal | |
DE69730384T2 (de) | Optisches Bauelement | |
DE69722888T2 (de) | Optischer Ultrahochgeschwindigkeitshalbleitermodulator mit Wanderwellenelektrode | |
DE69814650T2 (de) | Anordnung zur optischen verstärkung und kopplung nach dem multimoden-interferenz-prinzip und deren anwendungen | |
EP3198750B1 (de) | Injektionsmodulator | |
EP0142021A1 (de) | Steuerbares integriert-optisches Bauelement | |
DE19731586C2 (de) | Richtkoppler für optische Signale | |
EP0819264B1 (de) | Digitaler optischer schalter | |
DE60030991T2 (de) | Optischer Intensitätsmodulator und zugehöriges Verfahren | |
DE19809887A1 (de) | Optisches Signalübertragungssystem | |
EP0610857B1 (de) | Integriert optische Anordnung aus Rippenwellenleitern auf einem Substrat | |
DE4021293A1 (de) | Bistabiler optischer schalter | |
DE60100777T2 (de) | Optischer Wellenlängenkonverter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8123 | Nonbinding interest in granting licences withdrawn | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R071 | Expiry of right |