DE19730958B4 - Halbleiterspeichervorrichtung - Google Patents

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DE19730958B4 DE19730958A DE19730958A DE19730958B4 DE 19730958 B4 DE19730958 B4 DE 19730958B4 DE 19730958 A DE19730958 A DE 19730958A DE 19730958 A DE19730958 A DE 19730958A DE 19730958 B4 DE19730958 B4 DE 19730958B4
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Abstract

Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Testmodus, bei dem von einer Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1–106.n) ein vorbestimmter Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) verwendet wird, mit
einem Speicherfeld (114), das eine Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die in Zeilen und Spalten angeordnet sind und die im voraus in Gruppen aufgeteilt sind, wobei jede der Gruppen die gleiche Anzahl von Speicherzellen (MC) wie die Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse aufweist, aufweist,
einer ersten Auswahleinrichtung (110–112) zum Auswählen einer der Gruppen in dem Speicherfeld (114) entsprechend einem Adreßsignal,
einer zweiten Auswahleinrichtung (7–9, 20) zum Auswählen entsprechend einem Speicherzellenauswahlsignal einer der Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110–112) ausgewählten Gruppe gehören,
einer Leseeinrichtung (115, 117) zum parallelen Auslesen von Datenwerten in der Mehrzahl der Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110–112) ausgewählten Gruppe gehören,
einer Bestimmungseinrichtung (120, 2), die auf ein erstes Testsignal (TER, /TER) reagiert, zum Bestimmen, ob die...

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiterspeichervorrichtung. Speziell betrifft sie eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Testmodus, bei dem eine Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen zu einem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß zusammengefaßt werden.
  • Sowie die Speicherkapazität von Halbleiterspeichervorrichtungen (DRAM, SRAM und ähnliches) erhöht wurde, gibt es eine Tendenz, daß die Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse der Halbleiterspeichervorrichtung erhöht wird. Eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen kann parallel Multibitdaten ausgeben und eingeben und kann somit für ein System benutzt werden, das breite Datenbusse verwendet.
  • 23 ist ein Blockschaltbild, daß eine Anordnung eines DRAM zeigt, der mit einer solchen Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen bereitgestellt ist.
  • Wie in 23 gezeigt ist, weist der DRAM folgendes auf: Steuersignaleingabeanschlüsse 101103, 105; eine Gruppe von Adreßsignaleingabeanschlüsse 104; n Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1106.n (n ist eine natürliche Zahl, die einen Wert von zumindest 2 aufweist); einen Masseanschluß 107 und einen Versorgungsanschluß 108. Das DRAM weist weiter auf: eine Takterzeugungsschaltung 109, einen Zeilen- und Spaltenadreßpuffer 110, einen Zeilendekoder 111, einen Spaltendekoder 112, einen Speicherbereich 113, eine Schreibschaltung 116 und eine Leseschaltung 117. Der Speicherbereich 113 weist ein Speicherfeld 114 und einen Leseauffrischverstärker + eine Eingabe-/Ausgabesteuerschaltung 115 auf.
  • Die Takterzeugungsschaltung 109 wählt entsprechend den Signalen /RAS, /CAS und /W, die extern über die Steuersignaleingabeanschlüsse 101, 102 und 103 angelegt werden, einen vorbestimmten Betriebsmodus aus und steuert den gesamten DRAM.
  • Der Zeilen- und Spaltenadreßpuffer 110 erzeugt basierend auf Adreßsignalen A0-Ai (i ist eine natürliche Zahl), die extern über eine Gruppe von Adreßsignaleingabeanschlüssen 104 angelegt werden, Zeilenadreßsignale RA0–RAi und Spaltenadreßsignale CA0-CAi und liefert die erzeugten Signale RA0–RAi und CA0–CAi entsprechend zu dem Zeilendekoder 111 bzw dem Spaltendekoder 112.
  • Das Speicherfeld 114 enthält eine Mehrzahl von Speicherzellen, die jeweils einen Datenwert von 1Bit speichern. Die Mehrzahl von Speicherzellen sind in Gruppen aufgeteilt, die jeweils n Zellen aufweisen, und jede Gruppe ist an einer vorbestimmten Adresse angeordnet, die entsprechend der Zeilenadresse und der Spaltenadresse bestimmt ist.
  • In Abhängigkeit der von dem Zeilen- und Spaltenadreßpuffer 110 bereitgestellten Zeilenadreßsignalen RA0-RAi bestimmt der Zeilendekoder 111 eine Zeilenadresse in dem Speicherfeld 114. In Abhängigkeit der von dem Zeilen-und Spaltenadreßpuffer 110 bereitgestellten Spaltenadreßsignalen CA0–CAi bestimmt der Spaltendekoder 112 eine Spaltenadresse in dem Speicherfeld 114.
  • Der Leseauffrischverstärker + die Eingabe-/Ausgabesteuerschaltung 115 verbinden die entsprechenden n Speicherzellen an der durch den Zeilendekoder 111 und den Spaltendekoder 112 bestimmten Adresse mit einem Ende von Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaaren I/O1–I/On. Die anderen Enden der Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaare I/O1–I/On sind mit der Schreibschaltung 116 und der Leseschaltung 117 verbunden. In Abhängigkeit von einem über den Signaleingabeanschluß 103 in einem Schreibmodus extern angelegten Signal /W stellt die Schreibschaltung 116 von den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1106.n eingegebenen Daten den ausgewählten n Speicherzellen über die Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaare I/O1–I/On zur Verfügung. Die Leseschaltung 117, die auf ein von dem Steuersignaleingabeanschluß 105 in einem Lesemodus eingegebenes Signal /OE reagiert, gibt von den ausgewählten n Speicherzellen ausgelesene Daten an die Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1106.n aus.
  • 24 ist ein Blockdiagramm, bei dem Teile einer Schaltung weggelassen sind, das einen Aufbau des Speicherbereiches 113 des DRAM in 23 zeigt.
  • Wie in 24 gezeigt ist, enthält das Speicherfeld 114 eine Mehrzahl von Speicherzellen MC, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, eine Wortleitung WL, die entsprechend zu jeder Zeile angeordnet ist, und ein Bitleitungspaar BL, /BL, die entsprechend zu jeder Spalte angeordnet sind.
  • Der Leseauffrischverstärker + die Eingabe-/Ausgabesteuerschaltung 115 enthält einen Leseauffrischverstärker SA und ein Spaltenauswahlgatter CSG, das bzw. die entsprechend jeder Spalte vorgesehen sind, und n Gruppen von Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaaren I/O1–I/On. Das Spaltenauswahlgatter CSG weist zwei n-Kanal-MOS-Transistoren auf.
  • Die Bitleitungspaare BL, /BL, die Leseauffrischverstärker SA und die Spaltenauswahlgatter CSG sind in Gruppen aufgeteilt, die jeweils n von diesen im voraus aufweisen. Die Bitleitungspaare BL1, /BL1; ...; BLn, /BLn in jeder Gruppe sind über entsprechende Leseauffrischverstärker SA1–SAn und Spaltenauswahlgatter CSG1–CSGn mit den Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaaren I/O1–I/On verbunden.
  • Jede der Gruppen ist mit einer Spaltenauswahlleitung CSL bereitgestellt. Wenn die Spaltenauswahlleitung CSL in der Gruppe durch den Spaltendekoder 112 ausgewählt ist, werden die mit der Spaltenauswahlleitung CSL verbundenen Spaltenauswahlgatter CSG1–CSGn leitend und die Bitleitungspaare BL1, /BL1; ...; BLn, /BLn in der Gruppe werden mit den Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaaren I/O1–I/On verbunden.
  • Ein Betrieb des in 23 und 24 gezeigten DRAM wird im folgenden kurz beschrieben. In dem Schreibmodus hebt der Spaltendekoder 112 die Spaltenauswahlleitung CSL in einer Gruppe entsprechend den Spaltenadreßsignalen CA0–CAi auf den „H"-Pegel (Auswahlpegel) und schaltet die Spaltenauswahlgatter CSG1–CSGn ein.
  • In Abhängigkeit des Signales /W liefert die Schreibschaltung 116 einen Schreibdatenwert von den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1106n an die Bitleitungspaare BL1, /BL1–BLn, /BLn in der ausgewählten Gruppe über die Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaare I/O1–I/On. Als nächstes hebt der Zeilendekoder 111 die Wortleitung WL in einer Zeile entsprechend den Zeilenadreßsignalen RA0–RAi auf den „H"-Pegel (Auswahlpegel) und aktiviert die Speicherzelle MC in der Zeile. Der Datenwert in dem entsprechenden Bitleitungspaar BL, /BL wird in Form einer Ladungsmenge in die aktivierte Speicherzelle MC eingeschrieben.
  • In dem Lesemodus hebt, nach dem das Potential zwischen den Bitleitungen BL und /BL von jedem Paar ausgeglichen ist, der Zeilendekoder 111 die Wortleitung WL in einer Zeile entsprechend den Zeilenadreßsignalen RA0–RAi auf den „H"-Pegel des Auswahlpegels. Das Potential auf den Bitleitungen BL und /BL ändert sich etwas entsprechend dem Datenwert in der aktivierten Speicherzelle MC. Als nächstes wird der Leseauffrischverstärker SA aktiviert, wobei eine der Bitleitungen BL und /BL, die ein höheres Potential aufweist, auf das Versorgungspotential Vcc gezogen wird und die andere Bitleitung auf das Massepotential GND heruntergezogen wird.
  • Der Spaltendekoder 112 hebt das Spaltenauswahlsignal CSL in einer Gruppe entsprechend den Spaltenadreßsignalen CA0–CAi auf den „H"-Pegel des Auswahlpegels und schaltet die Spaltenauswahlgatter CSG1–CSGn in der Gruppe ein. Der Datenwert in dem Bitleitungspaar BL1, /BL1; ...; BLn, /BLn in der ausgewählten Gruppe wird über die Spaltenauswahlgatter CSG1–CSGn und die Dateneingabe-/-ausgabeleitungspaare I/O1–I/On an die Leseschaltung 117 geliefert. Die Leseschaltung 117, die auf das Signal /OE reagiert, gibt den gelesenen Datenwert von n Bits an die Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 101106n aus.
  • In einem solchen DRAM ist ein Test zum Überprüfen notwendig, ob jede Speicherzelle MC normal ist oder nicht, durch Schreiben/Lesen von einem Datenwert in/von jeder Speicherzelle MC vor dem Versenden. Da jedoch die Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse in der Testvorrichtung begrenzt ist, nimmt die Anzahl von DRAM, die gleichzeitig durch eine einzelne Testvorrichtung getestet werden können, proportional mit dem Anstieg der Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1106n ab, was in einem Anstieg der Kosten für das Testen resultiert. Folglich wird ein Testmodus für einen solchen DRAM bereitgestellt, bei dem n Speicherzellen MC gleichzeitig unter Verwendung von einem Dateneingabe-/-ausgabeanschluß getestet werden können, so daß eine Anzahl von DRAM durch eine Testvorrichtung getestet werden können (der Testmodus wird im folgenden als I/O-Kompressionsmodus bezeichnet).
  • 25 ist ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei der Teile weggelassen sind, das einen Aufbau einer Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschaltung 120, die in dem I/O-Kompressionsmodus verwendet wird, zeigt.
  • Wie in 25 gezeigt ist, weist die Datengleichheit-/-ungleichheitbestimmungsschaltung 120 NOR-Gatter 121 und 124, ein NAND-Gatter 122 und einen Inverter 123 auf und ist z.B. in der Leseschaltung 117 in 23 bereitgestellt.
  • Das NOR-Gatter 121 und das NAND-Gatter 122 empfangen jeweils von den ausgewählten n Speicherzellen MC ausgelesene Daten DO1–DOn. Eine Ausgabe des NOR-Gatters 121 wird an einen Eingabeknoten des NOR-Gatters 124 angelegt. Eine Ausgabe des NAND-Gatters 122 wird an den anderen Eingabeknoten des NOR-Gatters 124 über den Inverter 123 angelegt. Eine Ausgabe DOT des NOR-Gatters 124 wird über einen vorbestimmten Anschluß (z.B. 106.1) von den Dateneingabe-/-Ausgabeanschlüssen 106.1106n von 23 in eine Testvorrichtung eingegeben.
  • Die ausgewählten n Speicherzellen MC weisen identische Datenwerte auf, die darin vorher eingeschrieben wurden. Wenn alle der ausgelesenen Datenwerte DO1–DOn gleich sind, wird die Ausgabe von dem NOR-Gatter 121 oder die Ausgabe von dem Inverter 123 den „H"-Pegel erreichen und die Ausgabe von dem NOR-Gatter 124 wird den „L"-Pegel erreichen. Wenn die ausgelesenen Datenwerte DO1–DOn nicht gleich sind, erreichen beide Ausgaben von dem NOR-Gatter 121 und dem Inverter 123 den „L"-Pegel und die Ausgabe von dem NOR-Gatter 124 erreicht den H-Pegel.
  • Die Testvorrichtung bestimmt, das n Speicherzellen MC normal sind, wenn die Ausgabe DOT von dem NOR-Gatter 124 auf dem „L"-Pegel ist, und bestimmt, daß zumindest eine der n Speicherzellen MC fehlerhaft ist, wenn die Ausgabe DOT von dem NOR-Gatter 124 auf dem „H"-Pegel ist.
  • Bei dem I/O-Kompressionsmodus wird eine Ausgabe von den ausgelesenen Datenwerten DO1–DOn an die Dateneingabe-/-Ausgabeanschlüsse 106.1106.n gesperrt, um den Konflikt von Datenwerten an den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1106.n zu vermeiden.
  • 26 ist ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei der Teile weggelassen sind, die Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n zeigt, die in dem I/O-Kompressionsmodus verwendet werden.
  • Wie in 26 gezeigt ist, sind in der Schreibschaltung 116 in 23 entsprechend den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1106.n Eingabepuffer 130.1130.n und Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n bereitgestellt. Der Eingabepuffer 130.1 überträgt einen Schreibdatenwert DI1 und einen Schreibdatenwert DIT zum Testen, die extern über den Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 160.1 angelegt werden, an jede der Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n. Die Eingabepuffer 130.2130.n übertragen extern über die Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.2106.n angelegte Schreibdatenwerte DI2–DIn entsprechend an die Kompressionsschreibschaltungen 131.2131.n.
  • Wie in 27 gezeigt ist, weist die Kompressionsschreibschaltung 131.n einen Eingabeknoten N132, der einen Datenwert DIn empfängt, einen anderen Eingabeknoten N134, der einen Datenwert DIT empfängt, einen Ausgabeknoten N136, der den Datenwert DIn oder DIT ausgibt, Schaltinverter 132 und 133 und Inverter 134136 auf. Der Schaltinverter 132 und der Inverter 136 sind zwischen dem Eingabeknoten N132 und dem Ausgabeknoten N136 in Reihe geschaltet. Die Inverter 134 und 135 und der Schaltinverter 133 sind zwischen dem anderen Eingabeknoten N134 und einem Eingabenknoten des Inverters 136 in Reihe geschaltet. Es werden Signale /TE und TE entsprechend an die Knoten 132a bzw. 133a der Schaltinverter 132 bzw. 133 angelegt. An Masseknoten 132b und 133b der Schaltinverter 132 bzw. 133 werden die Signale TE und /TE entsprechend eingegeben. Die Anordnung der anderen Kompressionsschreibschaltungen 131.1131.n-1 sind ähnlich zu dem der Kompressionsschreibschaltschaltung 131.n.
  • In dem normalen Schreibbetrieb werden Schreibdatenwerte DI1–DIn an den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1106.n bereitgestellt und das Signal TE erlangt den „L"-Pegel. Die Schreibdatenwerte DI–DIn werden an die einen Eingabeknoten N132 der Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n über die Eingabepuffer 130.1130.n angelegt und über die Schaltinverter 132 und die Inverter 136 an die Ausgabeknoten N136 ausgegeben. Die Schreibdatenwerte DI1–DIn, die von den Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n ausgegeben werden, werden entsprechend in die ausgewählten n Speicherzellen MC eingeschrieben.
  • In dem I/O-Kompressionsmodus wird ein Schreibdatenwert DIT zum Testen an den Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 durch die Testvorrichtung angelegt und das Signal TE erreicht den „H"-Pegel. Der Datenwert DIT wird an die anderen Eingabeknoten N134 in den Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n über den Eingabepuffer 130.1 angelegt und eine Ausgabe von den Ausgabeknoten N136 wird über die Inverter 134 und 135, die Schaltinverter 133 und die Inverter 136 ausgegeben. Die Datenwerte DIT, die entsprechend von den Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n ausgegeben werden, werden entsprechend in die ausgewählten n Speicherzellen MC eingeschrieben.
  • Bei dem der Anmelderin bekannten I/O-Kompressionsmodus ist es, sogar wenn zumindest eine der n Speicherzellen MC durch die Datengleichheit-/-ungleichheitbestimmungsschaltung von 25 als fehlerhaft bestimmt werden kann, unmöglich zu bestimmen, welche Speicherzelle MC fehlerhaft ist.
  • Weiterhin ist es bei dem der Anmelderin bekannten I/O-Kompressionsmodus, sogar wenn identische Datenwerte DIT von einem Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 in n Speicherzellen MC durch die Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n in 26 und 27 eingeschrieben werden kann, unmöglich einen beliebigen Datenwert in jeder der n Speicherzellen MC einzuschreiben. Daher kann der Grad der Störung nicht getestet werden, wenn unterschiedliche Datenwerte in zwei zueinander benachbarte Speicherzellen MC eingeschrieben werden.
  • Die DE 43 28 605 C2 beschreibt eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Testmodus. Die Halbleiterspeichervorrichtung enthält ein Speicherfeld, das eine Mehrzahl von Speicherzellen aufweist, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind und die im voraus in Gruppen aufgeteilt sind, wobei jede der Gruppen die gleiche Anzahl von Speicherzellen aufweist, eine Leseeinrichtung zum parallelen Auslesen von Datenwerten und eine Bestimmungseinrichtung die auf ein erstes Testsignal reagiert, zum Bestimmen, ob die Mehrzahl von den durch die Leseeinrichtung ausgelesenen Datenwerten gleich sind zu über Eingabe-/Ausgabeanschlüsse angelegten Datenwerten.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Halbleiterspeichervorrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist, einen Datenwert in einer beliebigen Speicherzelle über einen Dateneingabe-/-ausgabeanschluß in dem I/O-Kompressionsmodus zu lesen/schreiben.
  • Die Aufgabe wird durch die Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 1, 5 oder 10 gelöst.
  • Weiterbildungen der Erfindungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Die Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 1 enthält die Bestimmungseinrichtung zum Bestimmen der Gleichheit der Mehrzahl von gelesenen Datenwerten sowie die Gattereinrichtung zum Bereitstellen eines ausgewählten Datenwertes von der Mehrzahl der gelesenen Datenwerte zu dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß. Folglich kann eine fehlerhafte Speicherzelle von der Mehrzahl von Speicherzellen, von denen die Mehrzahl von Datenwerten ausgelesen wurden, durch Bestimmen der Datenwertausgabe zu den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß erfaßt werden.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 2 werden das erste Testsignal und das zweite Testsignal über den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß angelegt. In diesem Fall können das erste und das zweite Testsignal einfach eingegeben werden.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 3 werden die Mehrzahl von Speicherzellen nacheinander ausgewählt und das Lesen/Schreiben von einem Datenwert von/in jede Speicherzelle wird durchgeführt. Folglich kann eine Vereinfachung des Testbetriebes erreicht werden.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 4 wird das Speicherzellenauswahlsignal über einen Adreßsignaleingabeanschluß angelegt. Folglich wird die Eingabe des Speicherzellenauswahlsignals vereinfacht.
  • Die Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 5 enthält die erste Schreibeinrichtung zum parallelen Schreiben eines Datenwertes, der an dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß angelegt ist, in eine Mehrzahl von Speicherzellen und die zweite Schreibeinrichtung zum Schreiben eines Datenwertes, der an dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß angelegt ist, in eine Speicherzelle, die von der Mehrzahl von Speicherzellen ausgewählt ist. Folglich können unterschiedliche Datenwerte in jede von zwei benachbarten Speicherzellen eingeschrieben werden, und der Grad der Störung zwischen den benachbarten Speicherzellen kann getestet werden.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 6 werden die Mehrzahl von Speicherzellen nacheinander ausgewählt und das Lesen/Schreiben von dem Datenwert in/von jeder Speicherzelle wird durchgeführt. In diesem Fall wird der Testbetrieb vereinfacht.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 7 wird das Speicherzellenauswahlsignal über den Adreßsignaleingabeanschluß angelegt. Folglich kann das Speicherzellenauswahlsignal einfach eingegeben werden.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 8 sind die Bestimmungseinrichtung zum Bestimmen der Gleichheit der Mehrzahl von gelesenen Datenwerten und die Gattereinrichtung zum Anlegen eines Datenwertes, der von der Mehrzahl von gelesenen Datenwerten ausgewählt ist, an den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß bereitgestellt. Folglich kann eine fehlerhafte Speicherzelle von der Mehrzahl von Speicherzellen, von denen die Mehrzahl von Datenwerten ausgelesen sind, durch Bestimmen der Datenwertausgabe zum dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß spezifiziert werden.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 9 wird das dritte Testsignal zum Aktivieren der Bestimmungseinrichtung und das vierte Testsignal zum Aktivieren der Gattereinrichtung von dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß geliefert. Daher wird die Eingabe des dritten und vierten Testsignals vereinfacht.
  • Bei der Halbleiterspeichervorrichtung des Anspruches 10 sind die Mehrzahl von Gruppen von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen entsprechend der Mehrzahl von Speicherfeldern vorgesehen. Von der Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen in jeder Gruppe wird ein vorbestimmter Dateneingabe-/-ausgabeanschluß im Testmodus verwendet. Die Bestimmungseinrichtung ist entsprechend zu jedem Speicherfeld zum Bestimmen der Gleichheit/Ungleichheit der Mehrzahl von dem entsprechenden Speicherfeld ausgelesenen Datenwerten und zum Ausgeben des Ergebnisses der Bestimmung zu dem entsprechenden vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß bereitgestellt. Weiterhin ist die Gattereinrichtung zum entsprechenden Übertragen der Mehrzahl der ausgelesenen Datenwerte von einem ausgewählten Speicherfeld zu einer Mehrzahl der vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse, einem der Mehrzahl von vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen vorgesehen. Folglich kann eine fehlerhafte Speicherzelle spezifiziert werden und die Halblei tervorrichtung kann einfach an den Anstieg der Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse angepaßt werden.
  • Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten ergeben sich aufgrund der Beschreibung von Ausführungsformen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:
  • 1 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer Kompressionsleseschaltung eines DRAM entsprechend der ersten Ausführungsform zeigt,
  • 2 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei der Teile weggelassen sind, zum Erzeugen der in 1 gezeigten Signale TER, ϕr1–ϕr4;
  • 3A3F Timingdiagramme, die einen Betrieb in dem normalen I/O-Kompressionsmodus in der in 1 gezeigten Kompressionsleseschaltschaltung zeigen;
  • 4A4H Timingdiagramme, die einen Betrieb in dem speziellen I/O-Kompressionsmodus in der in 1 gezeigten Kompressionsleseschaltschaltung zeigen;
  • 5 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer Kompressionsschreibschaltschaltung eines DRAM entsprechend der zweiten Ausführungsform zeigt;
  • 6A6H Timingdiagramme, die einen Betrieb in dem speziellen I/O-Kompressionsmodus in der Kompressionsschreibschaltschaltung in 5 zeigen;
  • 7 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau eines Abschnittes zeigt, der zu einem Datenlesen in dem I/O-Kompressionsmodus eines DRAM entsprechend der dritten Ausführungsform gehört;
  • 8 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer sequentiellen Ausgabeschaltung, die in 7 gezeigt ist, zeigt;
  • 9A9E Timingdiagramme, die einen Betrieb der sequentiellen Ausgabeschaltung, die in 8 gezeigt ist, zeigen;
  • 10 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer Kompressionsschreibschaltschaltung zeigt, die in dem DRAM enthalten ist, der mit Bezug zu 7 beschrieben ist;
  • 11A11E Timingdiagramme, die einen Betrieb der in 10 gezeigten Kompressionsschreibschaltschaltung zeigen;
  • 12 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei dem Teile weggelassen sind, die einen Aufbau einer Signalerzeugungsschaltung zeigt, die in dem in 7 gezeigten DRAM enthalten ist;
  • 13A13H Timingdiagramme, die einen Betrieb der in 12 gezeigten Signalerzeugungsschaltung zeigen;
  • 14 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer Kompressionsschreibschaltung eines DRAM entsprechend der vierten Ausführungsform zeigt;
  • 15A15D Timingdiagramme, die die Signale ϕa und ϕb in der Kompressionsschreibschaltschaltung in 14 zeigen;
  • 16A16E Timiningdiagramme, die einen Betrieb der in 14 gezeigten Kompressionsschreibschaltschaltung zeigen;
  • 17A17E andere Timingdiagramme, die einen Betrieb der in 14 gezeigten Kompressionsschreibschaltschaltung zeigen;
  • 18 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei dem Teile weggelassen sind, das einen Aufbau einer Signalerzeugungsschaltung zum Herstellen der Signale /RE1–/RE4 zeigt, die in der in 14 gezeigten Kompressionsschreibschaltschaltung verwendet werden;
  • 19A19J Timingdiagramme, die einen Betrieb der in 18 gezeigten Signalerzeugungsschaltung zeigen;
  • 20 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer sequentiellen Ausgabeschaltung eines DRAM entsprechend der fünften Ausführungsform zeigt;
  • 21A21E Timingdiagramme, die einen Betrieb der in 20 gezeigten sequentiellen Ausgabeschaltung zeigen;
  • 22 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau einer sequentiellen Ausgabeschaltung eines DRAM entsprechend der sechsten Ausführungsform zeigt;
  • 23 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei dem Teile weggelassen sind, das den gesamten Aufbau eines der Anmelderin bekannten DRAM zeigt;
  • 24 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei dem Teile weggelassen sind, das einen Aufbau eines Speicherbereiches des in 23 gezeigten DRAM zeigt;
  • 25 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei dem Teile weggelassen sind, das einen Aufbau einer Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschaltung zeigt, die in dem in 23 gezeigten DRAM enthalten ist;
  • 26 ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei dem Teile weggelassen sind, das eine Anordnung eines Abschnittes, der mit dem Dateneinschreiben in dem I/O-Kompressionsmodus in dem in 23 gezeigten DRAM verbunden ist, zeigt und
  • 27 ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Aufbau der in 26 gezeigten Kompressionsschreibschaltschaltungen zeigt.
  • Erste Ausführungsform
  • 1 ist ein Schaltungsblockdiagramm, das eine Anordnung eines Hauptabschnittes eines DRAM entsprechend der ersten Ausführungsform zeigt.
  • Wie in 1 gezeigt ist, ist ein Unterschied zwischen dem DRAM und dem der Anmelderin bekannten DRAM eine neu bereitgestellte Kompressionsleseschaltschaltung 1. Die Kompressionsleseschaltschaltung 1 enthält einen Schaltinverter 2, einen Inverter 3 und Gatterschaltungen 4.14.4. Der Schaltinverter 2 empfängt einen Ausgabedatenwert DOT von der mit Bezug zu 25 (vorausgesetzt das n = 4) beschriebenen Datengleichheit-/-ungleichheitbestimmungsschaltung 120. Signale TER und /TER (erste Testsignale) werden an einen Versorgungsknoten 2a bzw. einen Masseknoten 2b des Schaltinverters 2 angelegt.
  • Jede der Gatterschaltungen 4.14.4 enthält einen Schaltinverter 5 und einen Inverter 6. Die Schaltinverter 5 in den Gatterschaltungen 4.14.4 empfangen entsprechend Lesedatenwerte DO1–DO4. Signale ϕr1–ϕr4 (zweite Testsignale) werden direkt derart eingegeben, das sie an Versorgungsknoten 5a der Schaltinverter 5 in den Gatterschaltungen 4.14.4 anliegen, und werden ebenfalls an die Masseknoten 5b der Schaltinverter 5 über die Inverter 6 angelegt.
  • Ausgaben von dem Schaltungsinverter 2 und von den Schaltinvertern 5 in den Gatterschaltungen 4.14.4 werden beide in den Inverter 3 eingegeben. Eine Ausgabe von dem Inverter 3 wird an die Testvorrichtung über einen komprimierten bzw. zusammengefaßten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (z.B. 106.1) angelegt.
  • Wie in 2 gezeigt ist, werden die Signale TER und ϕr1–ϕr4 durch eine Kompressionsmoduseingangssignalerzeugungsschaltung 7, eine WCBR-Zeiterfassungsschaltung 8 und AND-Gatter 9.09.4 erzeugt. Die Kompressionseingangssignalerzeugungsschaltung 7 dekodiert eine Kombination von der Adreßsignaleingabeanschlüsse, die einen daran angelegten Super-Vcc-Pegel aufweisen, erzeugt die Signale TER und ϕr1–ϕr4 und stellt diese Signale TER und ϕr1–ϕr4 entsprechend an einen Eingabeknoten der AND-Gatter 9.09.4 zur Verfügung. Die WCBR-Erfassungsschaltung 8 erfaßt eine Zeit des WCBR, bei der ein Signal /RAS den „L"-Pegel erreicht, nach dem Signale /W und /CAS den „L"-Pegel erreichen (/W, /CAS vor /RAS) und stellt das Signal WCBR mit „H"-Pegel an den anderen Eingabeknoten der AND-Gatter 9.09.4 zur Verfügung. Die AND-Gatter 9.09.4, die auf das dazu zur Verfügung gestellte Signal WCBR reagieren, führen die Ausgabesignale TER und ϕr1–ϕr4 von der Kompressionsmoduseingangssignalerzeugungsschaltung 7 zu der Kompressionsleseschaltschaltung 1 in 1.
  • Ein Betrieb des DRAM wird im folgenden beschrieben. Die Eingabe eines normalen I/O-Kompressionsmodus wird durch Anlegen der Signale /W, /CAS und /RAS in dem WCBR-Timing und durch Anlegen des Super-Vcc-Pegels an einen Eingabeanschluß eines speziellen Adreßsignales (z.B. A0) durchgeführt.
  • Zu dieser Zeit erreicht das Signal TER den „H"-Pegel und die Signale ϕr1–ϕr4 sind alle auf dem „L"-Pegel fixiert. Der Schaltinverter 2 in 1 wird aktiviert und die Schaltinverter 5 in den Gatterschaltungen 4.14.4 werden deaktiviert. Dieser Betrieb ist ähnlich zu dem des der Anmelderin bekannten DRAM. Der normale I/O-Kompressionsmodus wird durch Durchführen des nur-/RAS-Auffrischens oder des /CAS-vor-/RAS-Auffrischzyklus nach dem Schreiben des Datenwertes DIT und/oder des Lesens des Datenwertes DOT in der Art ähnlich zu dem der Anmelderin bekannten Verfahren durchgeführt und das DRAM wird zurückgesetzt.
  • In dem normalen I/O-Kompressionsmodus ist es, obwohl zumindest eine der vier Speicherzellen MC in einer Gruppe als fehlerhaft bestimmt werden kann, unmöglich zu bestimmen, welche Speicherzelle MC fehlerhaft ist. Ein spezieller I/O-Kompressionsmodus wird folglich wie im folgenden beschrieben ausgeführt.
  • Die Eingabe des speziellen I/O-Kompressionsmodus wird durch Anlegen der Signale /W, /CAS und /RAS in dem WCBR-Timing und Anlegen des Super-Vcc-Pegels an einen Eingabeanschluß eines Adreßsignales (z.B. A1), der von dem zu der Zeit der Eingabe in dem normalen I/O-Kompressionsmodus ver schieden ist, durchgeführt, wie in 4A4H gezeigt ist. Zu dieser Zeit wird eins der Signale ϕr1–ϕr4 durch Ändern der Kombination der Eingabeanschlüsse der Adreßsignale, die den daran angelegten Super-Vcc-Pegel aufweisen (z.B. A1 und A2, A2 und A3 usw.) erzeugt.
  • In dem speziellen I/O-Kompressionsmodus erreicht das Signal TER den „L"-Pegel und das ausgewählte Signal (z.B. ϕr1) erreicht den „H"-Pegel. Der Schaltinverter 5 in der Gatterschaltung 4.1 in 1 wird aktiviert und der Schaltinverter 2 und die Schaltinverter 5 in den Gatterschaltungen 4.24.4 werden deaktiviert. Der Lesedatenwert DO1 wird danach durch den Normallesebetrieb ausgelesen und der ausgelesene Datenwert DO1 wird an die Testvorrichtung über den komprimierten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 angelegt. Die Testvorrichtung liest jeden der Datenwerte DO1–DO4 durch Erzeugen von jedem der Signale ϕr1–ϕr4 aus und legt eine fehlerhafte Speicherzelle von vier Speicherzellen MC durch Vergleichen von jedem der Datenwerte DO1–DO4 mit dem Schreibdatenwert DIT fest. Das Löschen des speziellen I/O-Kompressionsmodus wird ähnlich zu dem Löschen des normalen I/O-Kompressionsmodus durchgeführt.
  • In dem speziellen I/O-Kompressionsmodus wird eine Ausgabe der Lesedatenwerte DO1–DOn an die Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1106.n auch verhindert, um einen Konflikt zwischen Datenwerten an den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1106.n zu vermeiden.
  • Entsprechend dieser Ausführungsform ist die Kompressionsleseschaltschaltung 1 zum selektiven Durchführen des Ausgabedatenwertes DOT von der Datengleichheit-/-ungleichheitbestimmungsschaltung 120 und der Lesedaten DO1–DO4 zu dem Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 in dem I/O-Kompressionsmodus bereitgestellt. Folglich ist es möglich, durch Bestimmen der Datenausgabe zu dem Eingabe-/Ausgabeanschluß 106.1 festzustellen, welche Speicherzelle in einer fehlerhaften Gruppe fehlerhaft ist.
  • 2. Ausführungsform
  • 5 ist ein Schaltungsblockdiagramm, das einen Hauptabschnitt eines DRAM entsprechend der zweiten Ausführungsform zeigt.
  • Wie in 5 gezeigt ist, besteht der Unterschied zwischen dem DRAM und dem der ersten Ausführungsform darin, daß die Kompressionschreibschaltschaltungen 131.1131.4 durch Kompressionsschreibschaltschaltungen 10.110.4 ersetzt sind. Im Unterschied zu den Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.4 weist die Kompressionsschreibschaltschaltung 10.4 weiter einen Inverter 11 und Schaltinverter 12 und 13 auf. Der Inverter 11 und der Schaltinverter 12 sind zwischen dem Schaltinverter 132 und dem Inverter 136 in Reihe geschaltet. Signale /ϕw4 und ϕw4 werden an Versorgungsknoten 12a bzw. 13a der Schaltinverter 12 bzw. 13 angelegt. Die Signale ϕw4 und /ϕw4 sind an Masseknoten 12b bzw. 13b der Schaltinverter 12 bzw. 13 angelegt. Anstatt der Signale TE und /TE werden Signale TEW und /TEW an die Schaltinverter 132 und 133 angelegt. Die Signale TEW und ϕw1–ϕw4 werden ähnlich zu den Signalen TER und ϕr1–ϕr4 in der Schaltung, die in Verbindung mit 2 beschrieben wurde, erzeugt. Die Kompressionsschreibschaltschaltungen 10.110.3 weisen auch einen ähnlichen Aufbau auf.
  • Als nächstes wird ein Betrieb des DRAM beschrieben. Die Eingabe des normalen I/O-Kompressionsmodus wird in der Art durchgeführt, die ähnlich zu der in 3 gezeigten ist. In diesem Modus erreicht das Signal TEW den „H"-Pegel bzw. den H-Pegel und die Signale ϕw1–ϕw4 sind auf den „L"-Pegel bzw. L-Pegel fixiert. Der Schaltinverter 133 in 5 wird aktiviert und die Schaltinverter 12, 13 und 132 werden deaktiviert. In diesem Fall werden die gleichen Datenwerte DIT parallel in vier Speicherzellen MC in einer ausgewählten Gruppe von einem Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 eingeschrieben.
  • In dem normalen I/O-Kompressionsmodus kann nur der gleiche Datenwert in die vier Speicherzellen MC in der ausgewählten Gruppe eingeschrieben werden. Daher kann, wenn unterschiedliche Datenwerte in zwei zueinander benachbarte Speicherzellen MC nicht eingeschrieben werden, der Grad der Störung nicht getestet werden. Folglich wird der spezielle I/O-Kompressionsmodus durchgeführt, wie im folgenden beschrieben wird.
  • Die Eingabe des speziellen I/O-Kompressionsmodus wird durch Bereitstellen der Signale /W, /CAS und /RAS in dem WCBR-Timing und durch Anlegen des Super-Vcc-Pegels an den Eingabeanschluß eines speziellen Adreßsignales (z.B. A8), durchgeführt, wie in 6A6H gezeigt ist. Zu dieser Zeit wird eines der Signale ϕw1–ϕw4 durch Änderung der Kombination der Eingabeanschlüsse der Adreßsignale, an denen der Super-Vcc-Pegel angelegt ist, selektiv erzeugt.
  • Bei dem speziellen I/O-Kompressionsmodus erreicht das Signal TEW den „L"-Pegel und ein ausgewähltes Signal, z.B. ϕw4 erreicht den „H"-Pegel. Die Schaltinverter 13 und 132 werden aktiviert und die Schaltinverter 12 und 133 werden in 5 deaktiviert. Entsprechend dem normalen Schreibbetrieb wird danach ein Schreibdatenwert DIT an die Speicherzelle MC angelegt.
  • Die Testvorrichtung erzeugt jedes der Signale ϕw1–ϕw4 und schreibt Datenwerte in die vier Speicherzellen MC in der ausgewählten Gruppe derart, daß benachbarte Speicherzellen unterschiedliche Datenwerte aufweisen. Die Testvorrichtung liest weiterhin jeden der Datenwerte in den vier Speicherzellen unter Benutzung der Kompressionsleseschaltschaltung 1 in 1 und bestimmt den Grad der Störung zwischen zwei zueinander benachbarten Speicherzellen MC basierend auf dem Ergebnis des Lesens.
  • Entsprechend dieser Ausführungsform sind die Kompressionsschreibschaltschaltungen 10.110.4 zum unabhängigen Schreiben von Datenwerten in jede der vier Speicherzellen MC in der ausgewählten Gruppe von dem Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 in dem I/O-Kompressionsmodus bereitgestellt. Folglich kann der Grad der Störung zwischen zwei benachbarten Speicherzellen MC durch entsprechendes Einschreiben von unterschiedlichen Datenwerten in zwei benachbarten Speicherzellen MC getestet werden.
  • 3. Ausführungsform
  • In einem DRAM entsprechend der dritten Ausführungsform werden fünf Zyklen in dem Seitenmodus benutzt. Das Lesen/Schreiben in dem normalen I/O-Kompressionsmodus wird in dem ersten Zyklus durchgeführt und das Lesen/Schreiben in dem speziellen I/O-Kompressionsmodus wird in den nächsten vier Zyklen durchgeführt.
  • Wie in 7 gezeigt ist, ist eine sequentielle Ausgabeschaltung 20 zwischen der Datengleichheit-/-ungleichheitbestimmungsschaltung 120 und dem komprimierten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 bereitgestellt. Wie in 8 gezeigt ist, weist die sequentielle Ausgabeschaltung 20 fünf Gatterschaltungen 21.021.4 und einen Inverter 25 auf. Jede der Gatterschaltungen 21.021.4 weist ein NOR-Gatter 22, einen Inverter 23 und einen Schaltinverter 24 auf.
  • Ein Eingabeknoten der NOR-Gatter 22 in den Gatterschaltungen 21.021.4 empfängt jeweils das Signal /TE. Der andere Eingabeknoten der NOR-Gatter 22 in den Gatterschaltungen 21.021.4 empfängt entsprechend die Signale /RE0–/RE4. Das Signal /TE erreicht den „L"-Pegel in dem I/O-Kompressionsmodus. Die Signale /RE0–/RE4 erreichen den „L"-Pegel einer nach dem anderen synchron mit dem Signal /CAS.
  • Eine Ausgabe von dem NOR-Gatter 22 wird an einen Masseknoten 24b des Schaltinverters 24 über den Inverter 23 angelegt und auch direkt an einen Versorgungsknoten 24a des Schaltinverters 24 angelegt. Die Schaltinverter 24 in den Gatterschaltungen 21.021.4 empfangen entsprechend die Datenwerte DOT und DO1–DO4. Ausgaben von den Schaltinvertern 24 in den Gatterschaltungen 21.021.4 werden alle an den Inverter 25 angelegt. Eine Ausgabe von dem Inverter 25 wird an die Testvorrichtung über den Dateneingabe-/-ausgabeanschluß 106.1 bereitgestellt.
  • Wenn das Signal /TE den „L"-Pegel nach der Eingabe des I/O-Kompressionsmodus erreicht, arbeiten die NOR-Gatter 22 in den Gatterschaltungen 21.021.4 jeweils als Inverter für die Signale /RE0–/RE4. Wie in 9A9E gezeigt ist, erreichen die Signale /RE0–/RE4 den „L"-Pegel einer nach dem anderen synchron mit dem Signal /CAS, wenn die Logikpegel der Signale /CAS und /OE sich nach dem Fallen des Signales /RAS auf den „L"-Pegel ändern, so daß die Schaltinverter 24 in den Gatterschaltungen 21.021.4 einer nach dem anderen sequentiell aktiviert werden und Datenwerte DOT und DO1–DO4 einer nach dem anderen sequentiell ausgegeben werden.
  • Bei dem DRAM sind die Kompressionsschreibschaltschaltungen 131.1131.n (n = 4) mit in 10 gezeigten Kompressionsschreibschaltschaltungen 30.130.4 ersetzt. In der Kompressionsschreibschaltschaltung 30.4 ist der Inverter 135 in der Kompressionsschreibschaltschaltung 131.n (n = 4) mit einem Schaltinverter 31 ersetzt und ein Inverter 32 und ein Schaltungsgatter 33, die in Reihe geschaltet sind, sind neu bereitgestellt. Der in Reihe verbundene Inverter 32 und der Schaltinverter 33 sind parallel mit dem in Reihe verbundenen Inverter 134 und dem Schaltinverter 31 verbunden. Signale RE0 und /RE0 werden an einen Versorgungsknoten 31a bzw. einen Masseknoten 31b des Schaltinverters 31 angelegt. Die Signale RE4 und /RE4 werden an einen Versorgungsknoten 33a bzw. einen Masseknoten 33b des Schaltinverters 33 angelegt.
  • Wenn das Signal /TE den „L"-Pegel nach der Eingabe des I/O-Kompressionsmodus erreicht, werden die Schaltinverter 133 aktiviert und die Schaltinverter 133 werden in den Kompressionsschreibschaltschaltungen 30.130.4 deaktiviert. Wie in 11A11E gezeigt ist, erreichen die Signale /RE0–/RE4 einer nach dem anderen synchron mit dem Signal /CAS den „L"-Pegel, wenn die logischen Pegel der Signale /CAS und /W sich nach dem Fallen des Signales /RAS auf den „L"-Pegel ändern. Nach dem Aktivieren der Schaltinverter 31 in den Kompressionsschreibschaltschaltungen 30.130.4 werden die Schaltinverter 33 in den Kompressionsschreibschaltschaltungen 30.130.4 einer nach dem anderen sequentiell aktiviert und Testdatenwerte DIT0–DIT4 werden sequentiell eingeschrieben.
  • 12 ist ein Blockdiagramm einer Schaltung, bei der Teile weggelassen sind, die einen Aufbau einer Signalerzeugungsschaltung darstellt, bei der die Signale /RE0–/RE4 einer nach dem anderen den „L"-Pegel sequentiell synchron mit dem Signal /CAS erreichen.
  • Wie in 12 gezeigt ist, weist die Signalerzeugungsschaltung Schiebeschaltungen 40.040.4 auf, die entsprechend den Signalen /RE0–/RE4 bereitgestellt sind. Die Schiebeschaltungen 40.040.4 sind in einer Ringform verbunden.
  • Die Schiebeschaltung 40.0 weist Übertragungsgatter 4143 und Inverter 4448 auf. Das Übertragungsgatter 42, der Inverter 44, das Übertragungsgatter 43 und der Inverter 46 sind zwischen einem Eingabeknoten N42 und einem Ausgabeknoten N46 in Reihe geschaltet. Die Inverter 45 und 47 sind parallel mit den Invertern 44 bzw. 46 in entgegengesetzter Richtung verbunden. Die Inverter 44 und 45 und die Inverter 46 und 47 bilden entsprechend Halteschaltungen 49 und 50. Das Übertragungsgatter 41 ist zwischen einer Leitung, die ein Massepotential GND empfängt, und einem Eingabeknoten der Halteschaltung 49 verbunden. Eine Ausgabe von der Halteschaltung 49 wird an den Inverter 48 angelegt und eine Ausgabe von dem Inverter 48 ist das Signal /RE0. Gates des Übertragungsgatters 41 auf der Seite des P-Kanals-MOS-Transistors und des N-Kanal-MOS-Transistors empfangen entsprechend die Signale NAL und /NAL. Gates des Übertragungsgatters 42 auf der Seite des P-Kanal-MOS-Transistors und des N-Kanal-MOS-Transistors empfangen entsprechend die Signale /SR1 und SR1. Gates des Übertragungsgatters 43 an der Seite des P-Kanal-MOS-Transistors und des N-Kanal-MOS-Transistors empfangen entsprechend die Signale SR2 und /SR2.
  • Jede der Schiebeschaltungen 40.140.4 weist einen Aufbau ähnlich zu der Schiebeschaltung 40.0 auf, außer daß das Übertragungsgatter 41 zwischen einer Leitung, die ein Versorgungspotential Vcc empfängt, und einem Eingabeknoten der Halteschaltung 49 verbunden ist und daß die Ausgaben der Inverter 48 entsprechend die Signale /RE1–/RE4 sind.
  • Ein Betrieb der Signalerzeugungsschaltung wird im folgenden beschrieben. Wie in 13A13H gezeigt ist, sind im Anfangszustand Signale NAL, /SR1 und /SR2 alle in dem „L"-Pegel, so daß die Übertragungsgatter 41 und 42 eingeschaltet sind und das Übertragungsgatter 43 ausgeschaltet ist. Zu dieser Zeit ist das Signal /RE0 in dem „L"-Pegel und sind die Signale /RE1–/RE4 in dem „H"-Pegel.
  • Nach dem das Signal /RAS auf den „L"-Pegel fällt, steigen als Reaktion auf das erste Fallen des Signales /CAS die Signale NAL und SR2 auf den „H"-Pegel an und das Signal SR1 fällt auf den „L"-Pegel. Die Übertragungsgatter 41 und 42 werden ausgeschaltet und das Übertragungsgatter 43 wird eingeschaltet. Folglich wird eine Ausgabe von der Halteschaltung 49 zu einer Halteschaltung 50 übertragen und eine Ausgabe von der Halteschaltung 50 erreicht den „L"-Pegel.
  • Wenn das Signal /CAS ansteigt, werden die Signale SR1 und /SR2 derart invertiert, daß sie den „H"-Pegel bzw. den „L"-Pegel erreichen. Das Übertragungsgatter 42 wird eingeschaltet und das Übertragungsgatter 43 wird ausgeschaltet. Folglich werden Ausgaben von den Halteschaltungen 50 in den Schiebeschaltungen 40.040.4 in der Vorstufe entsprechend zu den Halteschaltungen 49 in den Schiebeschaltungen 40.140.3 und 40.0 in der Nachstufe übertragen. Das Signal /RE1 erreicht dann den „L"-Pegel und die Signale /RE2–/RE4 und das Signal /RE0 erreichen den „H"-Pegel. Jedesmal wenn das Signal /CAS von dem „L"-Pegel auf den „H"-Pegel ansteigt, wird ein Signal des „L"-Pegels von der Schiebeschaltung in der Vorstufe zu der Schiebeschaltung in der Nachstufe übertragen. Folglich erreichen die Signale /RE0–/RE4 sequentiell und synchron mit dem Signal /CAS eines nach dem anderen den „L"-Pegel.
  • Entsprechend dieser Ausführungsform kann ein Effekt ähnlich zu denen der ersten und zweiten Ausführungsform erhalten werden. Weiterhin kann der Testbetrieb vereinfacht werden, da das Lesen von Datenwerten DOT und DO1–DO4 und das Schreiben von Datenwerten DIT0–DIT4 nacheinander in einer sequentiellen Art in dem I/O-Kompressionsmodus durchgeführt werden kann.
  • 4. Ausführungsform
  • Ein DRAM entsprechend der vierten Ausführungsform ist eine Modifikation des DRAMs der dritten Ausführungsform. In der vierten Ausführungsform werden entsprechend dem Eingabedatenwert DIT in dem ersten Zyklus der fünf Zyklen in dem Seitenmodus nachfolgende Vorgänge bestimmt.
  • In den DRAM sind die in Verbindung mit 10 beschriebenen Kompressionsschreibschaltschaltungen 30.130.4 durch Kompressionsschreibschaltschaltungen 51.151.4 ersetzt. Wie in 14 gezeigt ist, weist die Kompressionsschreibschaltschaltung 51.4 weiter Übertragungsgatter 52 und 53, Inverter 5459 und ein AND-Gatter 60 zusätzlich zu den Komponenten der Kompressionsschreibschaltschaltung 30.4 auf. Das Übertragungsgatter 52, der Inverter 54, das Übertragungsgatter 53 und der Inverter 56 sind zwischen einem Eingabeknoten N134 und einem Masseknoten 31b des Schaltinverters 31 in Reihe geschaltet. Die Inverter 55 und 57 sind parallel mit den Invertern 54 bzw. 56 jeweils in entgegengesetzter Richtung verbunden. Die Inverter 54 und 55 und die Inverter 56 und 57 bilden jeweils eine Halteschaltung 61 bzw. 62.
  • Gates des Übertragungsgatters 52 an der Seite des P-Kanal-MOS-Transistors und des N-Kanal-MOS-Transistors empfangen ein Signal /ϕa bzw. ϕa. Gates des Übertragungsgatters 53 an der Seite des P-Kanal-MOS-Transistors und des N-Kanal-MOS-Transistors empfangen ein Signal ϕb bzw. /ϕb. Der Inverter 58 ist zwischen dem Masseknoten 33b und dem Versorgungsknoten 31a des Schaltinverters 31 verbunden. Der Inverter 59 ist zwischen dem Masseknoten 31b und dem Versorgungsknoten 33a des Schaltinverters 33 geschaltet. Das AND-Gatter 60 empfängt das Signal /RE4 und eine Ausgabe von der Halteschaltung 62 und eine Ausgabe von dem AND-Gatter 60 wird an den Masseknoten 33b des Schaltinverters 33 angelegt.
  • Als nächstes wird ein Betrieb des DRAM beschrieben. Wenn das Signal /TE den „L"-Pegel nach der Eingabe des I/O-Kompressionsmodus erreicht, wird der Schaltinverter 133 aktiviert und der Schaltinverter 132 deaktiviert. Wenn das Signal /CAS nach dem Fall des Signal /RAS auf den „L"-Pegel fällt, steigt das Signal ϕa auf den „H"-Pegel an und das Übertragungsgatter 52 wird eingeschaltet, wie in 15A15D gezeigt wird. Folglich wird der Datenwert DIT durch die Halteschaltung 61 gehalten.
  • Wenn das Signal /CAS danach ansteigt, fällt das Signal ϕa auf den „L"-Pegel und das Signal ϕb steigt auf den „H"-Pegel an. Das Übertragungsgatter 52 wird dann ausgeschaltet und das Übertragungsgatter 53 wird eingeschaltet. Eine Ausgabe von der Halteschaltung 61 wird folglich zu der Halteschaltung 62 übertragen. Als Ergebnis wird der Datenwert DIT bei dem ersten Fallen des Signales /CAS gehalten und an den Masseknoten 31b des Schaltinverters 31 sowie an einen Eingabeknoten des AND-Gatters 60 angelegt.
  • Wenn der Datenwert DIT bei dem ersten Fallen des Signales /CAS auf dem „L"-Pegel ist, wird der Schaltinverter 31 aktiviert und eine Ausgabe von dem AND-Gatter 60 erreicht den „L"-Pegel und der Schaltinverter 33 wird aktiviert. In diesem Fall werden die gleichen Datenwerte DIT0 in die vier Speicherzellen MC in der ausgewählten Gruppe parallel eingeschrieben, wie in 16A16E gezeigt ist.
  • Wenn der Datenwert DIT bei dem ersten Fallen des Signales /CAS auf dem „H"-Pegel ist, wird der Schaltinverter 31 deaktiviert und das AND-Gatter 60 überträgt das Signal /RE4 zu dem Masseknoten 33b des Schaltinverters 33. Wie in 17A17E gezeigt ist, werden die Datenwerte DIT1–DIT4 in die vier Speicherzellen MC in der ausgewählten Gruppe synchron mit dem Signal /CAS sequentiell eingeschrieben.
  • Es wird angemerkt, daß das Signal /W auf den „H"-Pegel bei der Eingabe des ersten Datenwertes DIT fixiert ist, so daß der erste Eingabedatenwert DIT nicht in die Speicherzelle eingeschrieben wird.
  • 18 ist ein Blockdiagramme einer Schaltung, bei dem ein Teil der Schaltung weggelassen ist, das eine Anordnung einer Signalerzeugungsschaltung darstellt, bei der die Signale /RE1–/RE4 einer nach dem anderen synchron mit dem Signal /CAS den „L"-Pegel erreichen.
  • Wie in 18 gezeigt ist, besteht der Unterschied zwischen den Signalerzeugungsschaltungen in 18 und 12 darin, daß die Schiebeschaltung 40.0 entfernt ist und das Signal NAL durch ein Signal NAL' in 18 ersetzt ist.
  • Wie in 19A19J gezeigt ist, steigt das Signal NAL' auf den „H"-Pegel als Reaktion auf das zweite Ansteigen des Signales /CAS. Folglich wird der Beginn des Seitenbetriebes in dem ersten Zyklus verhindert. Andere Vorgänge sind ähnlich zu denen in der Signalerzeugungsschaltung in 12 und die Beschreibung davon wird nicht wiederholt.
  • Entsprechend dieser Ausführungsform kann ein Effekt ähnlich zu dem der dritten Ausführungsform erreicht werden. Zusätzlich kann die Phase des Testbetriebes vereinfacht werden, da der Eingabedatenwert DIT in dem ersten Zyklus der fünf Zyklen in dem Seitenmodus die folgenden Betriebsmodi bestimmt.
  • 5. Ausführungsform
  • 20 ist ein Schaltungsblockdiagramm, das eine Anordnung eines Hauptabschnittes eine DRAM entsprechend einer fünften Ausführungsform zeigt.
  • Wie in 20 gezeigt ist, ist eine sequentielle Ausgabeschaltung 70 bzw. eine Schaltung 70 zur sequentiellen Ausgabe für den DRAM als Unterschied zwischen diesem DRAM und dem der Anmelderin bekannten DRAM neu bereitgestellt. In der sequentiellen Ausgabeschaltung 70 ist die Gatterschaltung 21.0 in der sequentiellen Ausgabeschaltung 20 in 8 entfernt und das Signal /TE wird durch das Signal /TE' ersetzt. Wenn die Signale /CAS und /RAS sequentiell auf den „L"-Pegel fallen, nach dem die Signale /OE und /W in den „L"-Pegel kommen, erreicht das Signal /TE' als Reaktion darauf den „L"-Pegel. Die Signale /RE1–/RE4 werden in der Signalerzeugungsschaltung in 18 erzeugt.
  • Wie in 21A21E gezeigt ist, werden die Signale /OE, /W, /CAS und /RAS viermal mit einem Timing eingegeben, bei dem die Signale /CAS und /RAS nacheinander auf den „L"-Pegel fallen, nach dem die Signale /OE und /W den „L"-Pegel erreichen, und die Datenwerte DO1–DO4 werden nacheinander synchron mit der Eingabe der Signale /OE, /W, /CAS und /RAS ausgegeben.
  • Entsprechend der fünften Ausführungsform kann ein Effekt ähnlich zu dem der dritten Ausführungsform erzielt werden.
  • 6. Ausführungsform
  • Ein DRAM entsprechend der sechsten Ausführungsform enthält 16 Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1106.16 sowie vier Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschaltungen 120.1120.4. In dem I/O-Kompressionsmodus werden sechzehn Datenwerte DO1–DO16 parallel ausgelesen und die Gleichheit/Ungleichheit der Datenwerte DO1–DO4, DOS–DO8, DO9–DO12 und DO13–DO16 werden entsprechend durch die Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschaltungen 120.1120.4 bestimmt. Die ausgegebenen Datenwerte DO1–DO4 von den Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschaltungen 120.1120.4 werden an die Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1, 106.5, 106.9 bzw. 106.13 angelegt. Sequentielle Ausgabeschaltungen 80.m (m = 1, 2, 3, 4) in 22 werden entsprechend den Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen 106.1, 106.5, 106.9 bzw. 106.13 angeordnet.
  • Die sequentielle Ausgabeschaltung 80.m weist Gatterschaltungen 81, 82.182.4 und eine Halteschaltung 85 auf. Die Halteschaltung 85 weist zwei Inverter 83 und 84 auf, die parallel in entgegengesetzten Richtungen geschaltet sind. Die Gatterschaltung 81 weist ein NOR-Gatter 86, einen Inverter 87 und einen Schaltinverter 88 auf. Das NOR-Gatter 86 empfängt die Signale /TE und ϕr1'- ϕr4'. Eine Ausgabe von dem NOR-Gatter 86 wird an einen Masseknoten 88b des Schaltinverters 88 über den Inverter 87 angelegt und direkt an einen Versorgungsknoten 88a des Schaltinverters 88 angelegt. Der Schaltinverter 88 empfängt eine Ausgabe DOTm von der Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschaltung 120.m.
  • Die Gatterschaltungen 82.182.4 enthalten jeweils ein Gatterelement 89, einen Inverter 90 und einen Schaltinverter 91. Die Gatterelemente 89 in den Gatterschaltungen 82.182.4 empfangen entsprechend die Signale ϕr1'–ϕr4' und führen die Signale ϕr1'–ϕr4' entsprechend durch, wenn das Signal /TE den „L"-Pegel erreicht. Eine Ausgabe von dem Gatterelement 89 wird an den Erdungsknoten 91b des Schaltinverters 91 über den Inverter 90 angelegt und direkt an einen Versorgungsknoten 91a des Schaltinverters 91 angelegt. Die Schaltinverter 91 in den Gatterschaltungen 82.182.4 empfangen ausgelesene Datenwerte DOm, DOm + 4, DOm + 8 bzw. DOm + 12.
  • Ausgaben von dem Schaltinverter 88 in der Gatterschaltung 81 und von den Schaltinvertern 91 in den Gatterschaltungen 82.182.4 werden an die Halteschaltung 85 angelegt. Eine Ausgabe von der Halteschaltung 85 wird an die Testvorrichtung über einen entsprechenden Dateneingabeanschluß 106.1, 106.5, 106.9 oder 106.13 eingegeben.
  • Wie die in der ersten Ausführungsform beschriebenen Signale ϕr1–ϕr4 werden die Signale ϕr1'–ϕr4' durch Anlegen des Super-Vcc-Pegels an den Eingabeanschluß eines speziellen Adreßsignals bei der Eingabe des I/O-Kompressionsmodus erzeugt. Alle diese Signale ϕr1'–ϕr4' erreichen den „L"-Pegel oder eines der Signale ϕr1'–ϕr4' erreicht den „H"-Pegel.
  • Nach der Eingabe des I/O-Kompressionsmodus erreicht das Signal /TE den „L"-Pegel. Wenn alle von den Signalen ϕr1'–ϕr4' in dem „L"-Pegel sind, wird der Schaltinverter 88 in der Gatterschaltung 81 aktiviert und Ausgabedatenwerte DOT1–DOT4 von den Datengleichheits-/-ungleichheitsbestimmungsschal tungen 120.1120.4 werden an die entsprechenden Eingabe-/Ausgabeanschlüsse 106.1, 106.5, 106.9 bzw. 106.13 über die Halteschaltung 85 angelegt.
  • Wenn nur das Signal ϕr1' von den Signalen ϕr1'–ϕr4' in dem „H"-Pegel ist, wird der Schaltinverter 91 in der Gatterschaltung 82.1 aktiviert und die ausgelesenen Datenwerte DO1–DO4 werden an die entsprechenden Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1, 106.5, 106.9 bzw. 106.13 über die entsprechende Halteschaltung 85 entsprechend ausgegeben.
  • Wenn nur das Signal ϕr2' von den Signalen ϕr1'–ϕr4' in dem „H"-Pegel ist, wird der Schaltinverter 91 in der Gatterschaltung 82.2 aktiviert und ausgelesene Datenwerte DO5–DO8 werden an entsprechende Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1, 106.5, 106.9 bzw. 106.13 über die entsprechende Halteschaltung 85 angelegt.
  • Wenn nur das Signal ϕr3' von den Signalen ϕr1'–ϕr4' in dem „H"-Pegel ist, wird der Schaltinverter 91 in der Gatterschaltung 82.3 aktiviert und die ausgelesenen Datenwerte DO9–DO12 werden an die entsprechenden Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1, 106.5, 106.9 bzw. 106.13 über die entsprechende Halteschaltung 85 angelegt.
  • Wenn nur das Signal ϕr4' von den Signalen ϕr1'–ϕr4' in dem „H"-Pegel ist, wird der Schaltinverter 91 in der Gatterschaltung 82.4 aktiviert und die ausgelesenen Datenwerte DO13–DO16 werden entsprechend an die entsprechenden Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse 106.1, 106.5, 106.9 und 106.13 über die entsprechende Halteschaltung 85 angelegt.
  • Entsprechend dieser Ausführungsform kann ein ähnlicher Effekt zu dem der ersten Ausführungsform erreicht werden. Weiterhin kann, wenn die Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse ansteigt, die Vorrichtung leicht eingestellt werden.

Claims (10)

  1. Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Testmodus, bei dem von einer Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1106.n) ein vorbestimmter Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) verwendet wird, mit einem Speicherfeld (114), das eine Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die in Zeilen und Spalten angeordnet sind und die im voraus in Gruppen aufgeteilt sind, wobei jede der Gruppen die gleiche Anzahl von Speicherzellen (MC) wie die Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse aufweist, aufweist, einer ersten Auswahleinrichtung (110112) zum Auswählen einer der Gruppen in dem Speicherfeld (114) entsprechend einem Adreßsignal, einer zweiten Auswahleinrichtung (79, 20) zum Auswählen entsprechend einem Speicherzellenauswahlsignal einer der Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe gehören, einer Leseeinrichtung (115, 117) zum parallelen Auslesen von Datenwerten in der Mehrzahl der Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe gehören, einer Bestimmungseinrichtung (120, 2), die auf ein erstes Testsignal (TER, /TER) reagiert, zum Bestimmen, ob die Mehrzahl von den durch die Leseeinrichtung (115, 117) ausgelesenen Datenwerten gleich sind, und zum Ausgeben eines Datenwertes (DOT) entsprechend dem Ergebnis der Bestimmung an den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) und einer Gattereinrichtung (4), die auf ein zweites Testsignal (ϕr1–ϕr4) reagiert, zum Übertragen von einem von der Speicherzelle (MC), die durch die zweite Auswahleinrichtung (79, 20) ausgewählt ist, ausgelesenen Datenwert von der Mehrzahl von der Leseeinrichtung (115, 117) ausgelesenen Datenwerten zu dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1).
  2. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste und das zweite Testsignal (TER, /TER, ϕr1–ϕr4) extern über den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) angelegt werden.
  3. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die zweite Auswahleinrichtung (20) sequentiell jede der Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe gehören, auswählt.
  4. Halbleiterspeichervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, die weiter einen Adreßeingabeanschluß (104), der ein daran angelegtes Adreßsignal empfängt, aufweist, wobei das Speicherzellenauswahlsignal extern über den Adreßsignaleingabeanschluß (104) angelegt wird.
  5. Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Testmodus, bei dem von einer Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1106.n) ein vorbestimmter Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) verwendet wird, mit einem Speicherfeld (114), das eine Mehrzahl von Speicherzellen (MC) aufweist, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind und die im voraus in Gruppen aufgeteilt sind, wobei jede der Gruppen die gleiche Anzahl von Speicherzellen (MC) wie die Anzahl der Dateneingabe-/-ausgabeanschlüsse aufweist, einer ersten Auswahleinrichtung (110112) zum Auswählen einer der Gruppen in dem Speicherfeld (114) entsprechend einem Adreßsignal, einer zweiten Auswahleinrichtung (79, 20) zum Auswählen einer der Speicherzellen (MC) in der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe entsprechend einem Speicherzellenauswahlsignal, einer ersten Schreibeinrichtung (133), die auf ein erstes Testsignal reagiert, zum parallelen Schreiben von einem an dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) angelegten Datenwert (DITO) in die Mehrzahl der Speicherzellen (MC) in der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe und einer zweiten Schreibeinrichtung (13), die auf ein zweites Testsignal reagiert, zum Schreiben von einem an dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabean schluß (106.1) angelegten Datenwert (DIT1–DIT4) in die durch die zweite Auswahleinrichtung (79, 20) ausgewählte Speicherzelle (MC).
  6. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 5, wobei die zweite Auswahleinrichtung (20) jede der Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe gehören, sequentiell auswählt.
  7. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, die weiter einen Adreßsignaleingabeanschluß (104) aufweist, der das daran angelegte Adreßsignal empfängt, wobei das Speicherzellenauswahlsignal extern über den Adreßsignaleingabeanschluß (104) angelegt wird.
  8. Halbleiterspeichervorrichtung nach einem der Ansprüche 5–7, die weiter eine Leseeinrichtung (115, 117), die auf ein Lesesteuersignal reagiert, zum parallelen Auslesen von Datenwerten in der Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die zu der durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe gehören, eine Bestimmungseinrichtung (120, 2), die auf ein drittes Testsignal reagiert, zum Bestimmen, ob die Mehrzahl von der Leseeinrichtung (115, 117) ausgelesenen Datenwerte gleich sind oder nicht, und zum Ausgeben eines Datenwertes (DOT) entsprechend dem Ergebnis der Bestimmung an den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) und eine Gattereinrichtung (4), die auf ein viertes Testsignal reagiert, zum Übertragen von einem von der Speicherzelle (MC), die durch die zweite Auswahleinrichtung (79, 20) ausgewählt ist, ausgelesenen Datenwert von der Mehrzahl von durch die Leseeinrichtung (115117) ausgelesenen Datenwerten zu dem vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) aufweist.
  9. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 8, wobei das dritte und das vierte Testsignal extern über den vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) angelegt werden.
  10. Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Mehrzahl von Gruppen von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen, die jeweils eine Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1106.n) aufweisen, wobei die Halbleiterspeichervorrichtung einen Testmodus aufweist, bei dem von der Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1106.n) in jeder Gruppe ein vorbestimmter Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) in jeder Gruppe verwendet wird, mit einer Mehrzahl von Speicherfeldern (114), die entsprechend der Mehrzahl von Gruppen von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1106.n) vorgesehen sind und die jeweils eine Mehrzahl von Speicherzellen (MC) aufweisen, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind und die im voraus in Gruppen aufgeteilt sind, wobei jede Gruppe die gleiche Anzahl von Speicherzellen (MC) wie die Anzahl der Mehrzahl von Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen (106.1106.n) in der entsprechenden Gruppe aufweist, einer ersten Auswahleinrichtung (110112) zum Auswählen eines der Mehrzahl von Speicherfeldern (114) entsprechend einem Speicherfeldauswahlsignal, einer zweiten Auswahleinrichtung (110112), die entsprechend zu jedem Speicherfeld (114) vorgesehen ist, zum Auswählen einer der Gruppen in dem entsprechenden Speicherfeld (114) entsprechend einem Adreßsignal, einer Leseeinrichtung (115, 117), die entsprechend zu jedem der Speicherfelder (114) vorgesehen ist, zum parallelen Auslesen von Datenwerten in der Mehrzahl von Speicherzellen (MC), die zu der durch die entsprechende zweite Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Gruppe gehören, einer Bestimmungseinrichtung (120, 2), die entsprechend zu jedem der Speicherfelder (114) vorgesehen ist und die auf ein erstes Testsignal reagiert, zum Bestimmen, ob die Mehrzahl von durch die entsprechende Leseeinrichtung (115, 117) ausgelesenen Datenwerte gleich sind oder nicht, und zum Ausgeben eines Datenwertes entsprechend dem Ergebnis der Bestimmung an den entsprechenden vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschluß (106.1) und einer Gattereinrichtung (80), die auf ein zweites Testsignal reagiert, zum Übertragen der Mehrzahl von den durch die Leseeinrichtung (115, 117) ausgelesenen Datenwerten von der durch die zweite Auswahleinrichtung (110112) in dem durch die erste Auswahleinrichtung (110112) ausgewählten Speicherfeld (114) ausgewählten Gruppe zu dem entsprechenden Anschluß der Mehrzahl von vorbestimmten Dateneingabe-/-ausgabeanschlüssen.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3607407B2 (ja) * 1995-04-26 2005-01-05 株式会社日立製作所 半導体記憶装置
KR100322525B1 (ko) * 1998-03-23 2002-06-22 윤종용 출력드라이버를공유하는병렬비트테스트회로및이를이용한병렬비트테스트방법
US7315916B2 (en) * 2004-12-16 2008-01-01 Sandisk Corporation Scratch pad block
US7596729B2 (en) * 2006-06-30 2009-09-29 Micron Technology, Inc. Memory device testing system and method using compressed fail data
US20110228620A1 (en) * 2010-03-22 2011-09-22 Elite Semiconductor Memory Technology Inc. Testing method for semiconductor memory device
KR102295975B1 (ko) 2015-09-17 2021-08-30 제너직 에이비 감소된 누설을 위한 sram 아키텍처들

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4328605C2 (de) * 1992-08-28 1997-01-16 Mitsubishi Electric Corp Halbleiterspeichereinrichtung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2869243B2 (ja) * 1992-01-30 1999-03-10 三菱電機株式会社 メモリテスト装置
JP3361648B2 (ja) * 1995-03-15 2003-01-07 富士通株式会社 データ圧縮試験機能を備えた半導体記憶装置及びその試験方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4328605C2 (de) * 1992-08-28 1997-01-16 Mitsubishi Electric Corp Halbleiterspeichereinrichtung

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