DE19727992A1 - Ausgleichselement zur Kompensation temperaturbedingter Längenänderung eines Objektes - Google Patents

Ausgleichselement zur Kompensation temperaturbedingter Längenänderung eines Objektes

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Description

Aufgrund ihrer guten dynamischen Eigenschaften und ihres ver­ gleichsweise kompakten Aufbaus kommen piezoelektrische Akto­ ren immer häufiger als Antriebe in modernen Benzin- und Die­ sel-Einspritzsystemen zum Einsatz. In der Entwicklung befin­ den sich z. Z. insbesondere sogenannte direkt angetriebene Ventilsysteme, bei denen der piezoelektrische Aktor ohne Zwi­ schenschaltung eines Hubtransformators mittel- oder unmittel­ bar auf eine Ventilnadel oder einen Ventilstößel wirkt, der Nadel- bzw. Stößelhub somit näherungsweise dem vom Aktor er­ zeugten Stellweg entspricht. Unabhängig von der jeweiligen Betriebstemperatur des Motors müssen die Ventilsysteme höch­ sten Ansprüchen hinsichtlich der Dosiergenauigkeit und der Reproduzierbarkeit der eingespritzten Kraftstoffmenge genü­ gen. Ein im Temperaturbereich zwischen T = -40°C und T ≈ 140°C voll funktionsfähiges und mit einem hohen elektromecha­ nischen Wirkungsgrad arbeitendes Einspritzventil benötigt da­ her Elemente zur Kompensation thermisch bedingter Längenände­ rungen des piezoelektrischen Aktors, der anderen mechanischen Komponenten (Ventilstößel, Ventilnadel usw.) und des Gehäu­ ses.
Stand der Technik
Die Druckschriften [1-3] beschreiben direkt angetriebene oder mit einem Hubtransformator ausgestattete Einspritz-, Do­ sier- oder Steuerventile.
Zur Kompensation temperaturbedingter Längenänderungen des piezoelektrischen Aktors wird in [1] vorgeschlagen, einen Me­ tallzylinder geeigneter Länge zwischen dem Aktor und dem Ven­ tilstößel anzuordnen.
Das temperaturbedingte Längenänderungen kompensierende Ele­ ment des aus [2] bekannten Einspritzventils besteht im we­ sentlichen aus einem mit dem Ventilgehäuse verschraubten, ak­ torseitig geschlossenen, topfförmigen Teil und einem im topfförmigen Teil verschiebbar angeordneten Kolben, wobei der federbelastete Kolben mit einer an der Aktorendfläche anlie­ genden Stützplatte verschraubt ist. Ein Elastomer dient als Füllstoff für die durch den Kolben und den topfförmigen Teil gebildete Ausgleichskammer.
Der piezoelektrische Aktor des in [3] beschriebenen Ein­ spritzventils stützt sich auf einem in einer Gehäusebohrung spielpassend geführten Dämpfungskolben ab. Der Dämpfungskol­ ben und die Gehäusebohrung bilden eine mit einer Flüssigkeit gefüllte Kammer, welche über einen zwischen dem Dämpfungskol­ ben und der Gehäusebohrung vorhandenen Ringspalt mit einem Ausgleichsvolumen in Verbindung steht.
In den bekannten Ventilen ist die Lagerung des piezoelektri­ schen Aktors nicht befriedigend gelöst, was sich nachteilig auf den elektromechanischen Wirkungsgrad der Antriebe aus­ wirkt. Zudem erzwingt die aufgrund der Ausgleichselemente stark herabgesetzte Steifigkeit der jeweiligen Läger die Ver­ wendung überlanger piezoelektrischer Aktoren, um die durch Dehnung der mechanischen Komponenten hervorgerufenen Verluste an Stellweg und Stellkraft auszugleichen.
Gegenstand, Ziele und Vorteile der Erfindung
Gegenstand der Erfindung ist ein Ausgleichselement zur Kom­ pensation temperaturbedingter Längenänderung eines Objektes, insbesondere eines elektromechanischen Wandlers (piezo­ elektrischer, elektrostriktiver oder magnetostriktiver Aktor). Das Ausgleichselement soll eine geringe Bauhöhe auf­ weisen, große statische und dynamische Kräfte aufnehmen kön­ nen, Verkippungen ausgleichen sowie eine steife Lagerung des Objektes ermöglichen. Ein Ausgleichselement mit den in Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen erfüllt diese An­ forderungen. Die abhängigen Ansprüche betreffen vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung.
Das einfach aufgebaute, kostengünstig herzustellende und völ­ lig wartungsfreie Ausgleichselement kompensiert temperaturbe­ dingte Längenänderungen auch unter extremen Bedingungen äu­ ßerst zuverlässig. Aufgrund der vergleichsweise großen Steifigkeit des Ausgleichselements arbeitet der sich darauf abstützende elektromechanische Wandler eines entsprechend modifizierten Einspritz-, Dosier- oder Steuerventils mit einem deutlich höheren mechanischen Wirkungsgrad als die Aktoren der eingangs erwähnten Ventile. Außerdem sorgt das Ausgleichselement für einen optimalen Kraftschluß, da der Wandler trotz einer herstellungsbedingten Nichtparallelität seiner beiden Endflächen stets ganzflächig am zugeordneten Stellglied (Hubkolben/Ventilstößel bzw. Membrane/Ventilstößel usw.) anliegt.
Zeichnungen
Das erfindungsgemäße Ausgleichselement wird im folgenden an­ hand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein gemäß der Erfindung modifiziertes Absteuer­ ventil im Querschnitt;
Fig. 2 eine vergrößerte Darstellung des sich am Gehäuse­ boden des Ventils abstützenden Ausgleichselements;
Fig. 3 eine teilperspektifische Darstellung des Aus­ gleichselementes;
Fig. 4, 5 und 6 weitere Ausführungsbeispiele von Ausgleichselementen.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele a) Das Absteuerventil
Die Fig. 1 zeigt ein gemäß der Erfindung modifiziertes, nach außen öffnendes Ventil 1 zur Absteuerung des in der Arbeits­ kammer eines Diesel-Common-Rail-Injektors aufgebauten Ein­ spritzdruckes. Als Antrieb enthält das Absteuerventil einen piezoelektrischen Aktor 2, der sich an einem temperaturbe­ dingte Längenänderungen kompensierenden Ausgleichselement 3 abstützt und über die aus dem Ventilgehäuse 4 herausgeführten Anschlußleitungen 5 mit den erforderlichen Betriebsspannungen versorgt wird. Ein piezoelektrischer Mulitlayer-Stack eignet sich in besonderer Weise als Ventilantrieb, da dieser Aktor­ typ außer der erforderlichen Stellkraft von F ≈ 102-105 N auch bei moderaten Betriebsspannungen noch einen vergleichs­ weise großen Primärhub erzeugt (relative Längenänderung des Aktors: Δl/l ≈ 10-3; l: Aktorlänge). Um den in der nicht dar­ gestellten Arbeitskammer des Injektors aufgebauten und auch in der kraftstoffgefüllten Federkammer 6 des Absteuerventils 1 herrschenden Einspritzdruck von typischerweise p ≈ 2000 bar schlagartig abzubauen, wird der piezoelektrische Aktor 2 in­ nerhalb einer Zeitspanne von τ ≦ 100 µs geladen und dadurch in axialer Richtung elongiert. Sobald die Stellkraft des Ak­ tors 2 die von der Tellerfeder 7, der auf die Ventilkugel 8 wirkenden Schließfeder 9 und dem Kraftstoffdruck erzeugten Gegenkräfte übersteigt, bewegt sich der in der zylindrischen Gehäusebohrung 10 geführte Kolben 11 sowie der starr mit dem gedichtet eingebauten Kolben 11 verbundene Ventilstößel 12 um eine dem Aktorhub Δl entsprechende Strecke nach oben. Darauf­ hin hebt der Stößel 12 die Ventilkugel 8 von ihrem Dichtsitz 13 ab, so daß der Kraftstoff ungehindert von der Arbeitskam­ mer des Injektors über den Zulauf 14 und die Federkammer 6 in die Absteuerkammer 15 strömen und von dort über die Gehäuse­ bohrung 16 abfließen kann.
Um den Ablauf des Kraftstoffs zu unterbinden, wird der piezo­ elektrische Aktor 2 entladen. Infolge der damit einhergehen­ den Kontraktion des piezoelektrischen Sinterkörpers bewegen sich der O-Ring gedichtete Kolben 11 und der Ventilstößel 12 unter dem Zwang der von der starken Tellerfeder 7 ausgeübten Rückstellkraft nach unten in ihre Ausgangslage, wobei die Schließfeder 9 die Ventilkugel 8 wieder am Dichtsitz 13 zur Anlage bringt. Nach erfolgter Trennung des Zulaufs 14 vom Ab­ lauf 16 steigt der Kraftstoffdruck in der Federkammer 6 des Absteuerventils 1 erneut auf den alten Wert von ca. p ≈ 2000 bar an.
Anhand der Fig. 1 läßt sich unschwer erkennen, daß das Ab­ steuerventil 1 nur dann in der beschriebenen Weise dauerhaft und zuverlässig arbeitet, wenn der Ventilstößel 12 während der beiden periodisch auftretenden Ladungszustände des piezo­ elektrischen Aktors 2 jeweils eine definierte vertikale Lage bezüglich der Ventilkugel 8 einnimmt. So darf der Ventilstö­ ßel 12 die Auflage der Ventilkugel 8 am Dichtsitz 13 bei ent­ ladenem piezoelektrischen Aktor 2 nicht behindern. Anderer­ seits muß der Stößel 12 die Ventilkugel 8 während des Absteu­ erns (piezoelektrischer Aktor 2 geladen) soweit anheben, daß der Kraftstoff mit der gewünschten Durchflußrate abfließen und sich der in der Federkammer herrschende Einspritzdruck entsprechend schnell abbauen kann. Da die Betriebstemperatur des Motors und somit auch die Temperatur des Absteuerventils 1 erheblichen, bis zu ΔT ≈ 200°C betragenden Schwankungen un­ terliegt, muß man sicherstellen, daß die unter diesen Bedin­ gungen im Bereich des maximalen Aktorhubes liegenden tempera­ turbedingten Längenänderungen der mechanischen Komponenten (Aktor 2, Gehäuse 4, usw.) die Stellung des Ventilstößels 12 nicht beeinflussen.
b) Das Ausgleichselement
In dem gemäß der Erfindung modifizierten Absteuerventil 1 stützt sich der piezoelektrische Aktor 2 nicht am Gehäusebo­ den 17, sondern an dem temperaturbedingte Längenänderung kom­ pensierenden Ausgleichselement 3 ab. Das in den Fig. 2 und 3 vergrößert dargestellte Ausgleichselement 3 ist mit einem sehr geringen lateralen Spiel (< 3 µm) in die zylindrische Gehäusebohrung 10 eingepaßt und auf dem als Lager dienenden Boden 17 des Ventilgehäuses 4 angeordnet. Es besteht im ge­ zeigten Ausführungsbeispiel aus zwei jeweils topfförmigen Teilen 18/19 (V2A-Stahl, Invar) sowie einem die beiden Teile 18/19 verbindenden, in vertikaler Richtung nachgebenden Ring­ element 20. Das die vorzugsweise mit hochwertigem Hydrauliköl gefüllte Kammer 21 randseitig hermetisch dicht abschließende Ringelement 20 kann beispielsweise aus Nitrilbutadien (Handelsname: Viton) gefertigt sein.
Mit Hilfe der Tellerfeder 7 wird der piezoelektrische Aktor 2 mechanisch vorgespannt und das Ausgleichselement 3 dadurch dem statischen Standdruck p0 = Fvor/AD (Fvor: mechanische Vorspannkraft des piezoelektrischen Aktors 2; AD = π/4.d2: druckwirksame Stirnfläche des Ausgleichselements 3) unterwor­ fen. Dieser beträgt bei einer Vorspannkraft Fvor = 800 N der Tellerfeder 7 und einer AD = 78,53.10-6 m2 (d = 10 mm) gro­ ßen Stirnfläche p0 = 100 bar. Ein derart hoher Standdruck verhindert hydraulisches Spiel und stellt sicher, daß in der ölgefüllten Kammer 21 auch bei niedrigen Temperaturen keine die Steifigkeit beeinträchtigenden Gasblasen entstehen.
c) Die Funktionsweise des Ausgleichselements
Wie andere Flüssigkeiten besitzt auch Öl einen relativ großen thermischen Volumenausdehnungskoeffizienten von typischer­ weise γÖl ≈ 10-3 [1/K]. Verhindert man nun die thermische Ausdehnung des Öls in zwei der drei Raumdimensionen, wird jede volumetrische Expansion des Öls vollständig in eine li­ neare Expansion umgesetzt, wobei der lineare thermische Län­ genausdehnungskoeffizient αÖl dann dem thermischen Volumen­ ausdehnungskoeffizienten zahlenmäßig entspricht (αÖl ≅ γÖl ≈ 10-3 K-1). Diesen Effekt nutzt die Erfindung, um temperatur­ bedingte Längenänderungen im Absteuerventil 1 mit Hilfe des ölgefüllten Ausgleichselements 3 zu kompensieren. So gewähr­ leistet die paßgenaue Anordnung des Ausgleichselements 3 in der Gehäusebohrung 10 und dessen Lagerung auf dem Boden 17 des Ventilgehäuses 4, daß jede Änderung des Öl- bzw. Kammer­ volumens eine der jeweiligen Volumenänderung ΔV proportionale Verschiebung Δh = AD -1.ΔV des topfförmigen oberen Teils 21 in vertikaler Richtung zur Folge hat.
Die zu lösende Aufgabe besteht nun noch darin, die Höhe h der ölgefüllten Kammer 21 so zu bemessen, daß die aus dem piezo­ elektrischen Aktor 2 und dem Ausgleichselement 2 bestehende Einheit und der diese Einheit aufnehmende Teil des Ventilge­ häuses 4, unabhängig von der Temperatur T, immer exakt die gleiche Länge besitzen. Unter Vernachlässigung der Längenän­ derung des Kolbens 11 und des Ventilstößels 12 muß daher zu­ mindest näherungsweise gelten:
lp(1+αp.ΔT)+h(1+αÖl.ΔT)=lG(1+αG.ΔT) (1)
1p: Länge des piezoelektrischen Aktors 2
αp: Linearer thermischer Längenausdehnungskoeffizient der Piezokeramik
h: Höhe der Kammer 21 des Ausgleichselements 3
αÖl: Linearer thermischer Längenausdehnungskoeffizient des Öls
lG: Für die Kompensation wirksame Länge des Ventilge­ häuses 4
αG: Linearer thermischer Längenausdehnungskoeffizient des Gehäusematerials
ΔT: Änderung der Temperatur T.
Unter Berücksichtigung der Bedingung lG: = lp + h kann man Gleichung (1) zu
umformen. Nach eigenen Messungen beträgt der thermische Län­ genausdehnungskoeffizient einer polarisierten Piezokeramik typischerweise αp = -3.10-6 [1/K]. Mit lp = 30 mm, αÖl = 1.10-3 [1/K] und αG = 16.10-6 [1/K] (Ventilgehäuse 4 aus V2A-Stahl gefertigt) berechnet sich die erforderliche Kammer­ höhe h zu
h=0,58 mm! (3).
Eine in einem starren Zylinder von einem Kolben der Fläche AD komprimierte Flüssigkeitssäule des Volumens V0 = AD.h (h: Höhe der Flüssigkeitssäule) besitzt eine lineare Federstei­ figkeit c, die gemäß der Beziehung
vom Kompressionsmodul K der Flüssigkeit abhängt. Im erfin­ dungsgemäßen Ausgleichselement 3 wird eine zylindrische Öl­ säule der Höhe h = 0,58 mm mit Hilfe des eine druckwirksame Fläche AD = 78,53.10-6 m2 aufweisenden aktorseitigen Teils 21 komprimiert, so daß aus Gleichung (4) unter Berücksichti­ gung des für Öl typischen Kompressionsmoduls KÖl = 5.10-10 [m2/N] folgt:
Dieser Wert der Federsteifigkeit entspricht etwa dem 4,5fachen der Steifigkeit des piezoelektrischen Sinterkörpers (7.7.30 mm3)von cpiezo ≈ 60 N/µm).
d) Weitere Ausführungsbeispiele von Ausgleichselementen
Die in den Fig. 4a und 4b im Querschnitt dargestellten Ausgleichselemente 3 sind jeweils auf dem Boden 17 eines Ven­ tilgehäuses 4 oder einem steifen Lager angeordnet und mit sehr geringem lateralen Spiel in die zylindrische Gehäuseboh­ rung 10 eingepaßt. Sie bestehen jeweils aus einem aktorsei­ tigen oberen Teil 18, einem lagerseitigen unteren Teil 19 und einem die ölgefüllte Kammer 21 abdichtenden, in vertikaler Richtung nachgiebigen Element 20. Als Dichtelement 20 kommen insbesondere ein an die beiden Teile 18/19 anvulkanisiertes Elastomer (Fig. 4a) oder ein O-Ring in Betracht. Bei Verwen­ dung eines O-Ringes kann man diesen zwischen den aus V2A- Stahl bestehenden Teilen 18/19 des Ausgleichselements 3 (Fig. 4b) oder in einer Nut des kolbenförmigen oberen Teils 18 anordnen (nicht dargestellt). Im letztgenannten Fall ist der untere Teil vorzugsweise als flache Scheibe oder dünne Membrane ausgebildet.
Ein besonders einfach aufgebautes Ausgleichselement 3 zeigt
Fig. 4c. Es besteht lediglich aus einem O-Ring-gedichteten Kolben 22, der in der Gehäusebohrung 10 verschiebbar geführt ist. Die Gehäusewandung 4 wirkt als Halterung, welche late­ rale Ausweichvorgänge verhindert. Der Gehäuseboden 17 bildet den gegenüber dem Aktor 2 nicht verschiebbaren unteren Teil des Ausgleichselements 3. Zwischen dem Kolben 22 und der Ge­ häuseboden 17 befindet sich die ölgefüllte Kammer 21.
Das aus V2A-Stahl bestehende Gehäuse 23 des in Fig. 5a dar­ gestellten Ausgleichselements ist innerhalb einer als Halte­ rung dienenden, starr mit der Auflage 25 verbundenen Metall­ ring 24 oder Metallrahmen paßgenau angeordnet. Die in der halterungsseitigen Kammerwand im Bereich des ölgefüllten Volumens 26 vorhandenen Schlitze, Nuten oder Einfräsungen 27 ermöglichen die Dehnung bzw. die Streckung des Gehäuses 23 in vertikaler Richtung. Wie die Fig. 5b zeigt, besitzt die hal­ terungsseitige Kammerwand des bezüglich der Achse 28 rotati­ onssymmetrischen Ausgleichselements im Querschnitt vorzugs­ weise eine mäanderförmige oder balgähnliche Struktur.
Die Fig. 6 zeigt ein auf einem Lager 29 (beispielsweise der Boden eines Ventilgehäuses) freistehend angeordnetes Aus­ gleichselement 3. Es besteht aus einer sich unmittelbar am Lager 29 abstützenden Metallscheibe 30 (Edelstahl), einer antriebsseitigen Metallscheibe 31 (Edelstahl) und einem mit den beiden Metallscheiben 30/31 verschweißten, in lateraler Richtung mechanisch steifen Metallbalg 32. Das von den Metallscheiben 30/31 und dem gewellten Metallbalg 32 einge­ schlossene Volumen bildet hierbei die unter Vakuum blasenfrei mit einem Öl druckbefüllte und durch Laserschweißen abge­ dichtete Ausgleichskammer 33. Als Balgmaterial kommen insbe­ sondere Edelstahl, Bronze oder eine Nickellegierung (Hastel­ loy, Monel) in Betracht. Entsprechende Metallbälge (kleinster Innendurchmesser di ≧ 2mm; Wandstärke dw ≧ 0,02 mm) stellt die Firma Witzenmann GmbH, Metallschlauch-Fabrik-Pforzheim, D-75175 Pforzheim her. Da die laterale mechanische Steifig­ keit des ggf. auch mehrwandig ausgeführten Metallbalgs 32 die axiale mechanische Steifigkeit um einen Faktor 102-103 übertrifft (caxial ≦ 1-10 N/mm; clateral ≧ 102-103 N/mm) , be­ nötigt man für ein solches Ausgleichselement 3 keine Halter­ ung, welche laterale Dehnungen des Gehäuses verhindert.
e) Ausgestaltungen und Weiterbildungen
Die Erfindung beschränkt sich selbstverständlich nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele. So kann man
  • - die Kammer 21 des Ausgleichselements 3 außer mit Öl auch mit einer anderen Flüssigkeit (Quecksilber, flüssige Kohlenwasserstoffverbindung, Wasser), mit einem Fett sowie mit einem aus einem plastisch verformbaren Material (Gummi, Kunststoff) bestehenden Körper füllen;
  • - die Kammer 21 mit einer unter Überdruck stehenden Flüssig­ keit füllen;
  • - einen Sensor in der Kammer 21 anordnen, um den jeweils herrschenden Kammerdruck zu erfassen (der Innendruck ist ein direktes Maß für die auf das Lager wirkende Kraft);
  • - den Kammerdruck durch aktive Beheizung des Mediums auf ei­ nen definierten Wert einstellen (Steuerung der Position des Ventilstößels, d. h. aktive Kompensation temperaturbe­ dingter Längenänderung);
  • - die Grundfläche bzw. den Querschnitt des Ausgleichselements 3 quadratisch oder rechteckförmig ausbilden;
  • - das Ausgleichselement 3 auf einem mit einem Gewinde verse­ henen Lager (Scheibe mit einem das Ausgleichselement umfas­ senden Halterung) anordnen und das Lager mit dem das Objekt aufnehmenden Gehäuse verschrauben;
  • - auf die Halterung 4/24 verzichten, sofern die laterale mechanische Steifigkeit des ungefüllten Ausgleichselements 3 ausreichend groß ist (clateral/caxial ≧ 100-1000)
  • - das Ausgleichselement nicht nur in Einspritz-, Steuer- und Dosierventilen sondern überall dort einsetzen, wo tempera­ turbedingte Längenänderung eines Objektes einer Kompen­ sation bedürfen.
5. Literatur
[1] GB 2 228 769 A
[2] US 4 995 587
[3] EP 0 218 895 B1.

Claims (17)

1. Ausgleichselement zur Kompensation temperaturbedingter Längenänderungen eines Objektes (2), wobei
  • a) das sich unmittelbar an einem steifen Lager (17) abstüt­ zende Ausgleichselement (3) und das Objekt (2) mechanisch in Reihe geschaltet sind,
  • b) das Ausgleichselement (3) eine hermetisch dicht abge­ schlossene, mit einem flüssigem Medium gefüllte Kammer (21) oder eine mit einem plastisch verformbaren Medium gefüllte Kammer (21, 33) aufweist, wobei eine objekt­ seitige Kammerwand (18) in Richtung einer Längsachse des Objektes (2) verschiebbar ist,
  • c) das Ausgleichselement (3) hinsichtlich seiner axialen und lateralen mechanischen Steifigkeit derart ausge­ bildet oder in einer Halterung (4, 24) derart fixiert ist, daß sich die Abmessung der Kammer (21) bei einer Volumenänderung des Mediums im wesentlichen nur in Richtung der Längsachse des Objektes (2) ändert, die lateralen Abmessungen der Kammer (21, 33) hingegen annähernd konstant bleiben.
2. Ausgleichselement nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine das Ausgleichselement (3) Dring- oder rahmenförmig umschließende Halterung (4, 24).
3. Ausgleichselement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgleichselement (3, 3') in eine Bohrung (10) eines das Objekt (2) aufnehmenden Gehäuses (4) eingepaßt und auf dem Gehäuseboden (17) angeordnet ist.
4. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgleichselement (3) zwei die Kammer (21) bildende Teile (18, 19) aufweist, wobei ein erster Gehäuseteil (19) sich am Lager (17) abstützt und der objektseitige zweite Ge­ häuseteil (18) in Richtung der Längsachse des Objektes (2) verschiebbar geführt ist.
5. Ausgleichselement nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einer der beiden Gehäuseteile (18, 19) eine Ausnehmung, eine endseitig geschlossene Bohrung oder eine Vertiefung aufweist und daß der jeweils andere Gehäuseteil (18, 19) die Ausnehmung, Bohrung oder Vertiefung abdeckt.
6. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Gehäuseteil (18) in der Halterung (4, 24) oder im ersten Gehäuseteil (19) verschiebbar angeordnet ist.
7. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 4 bis 6, gekennzeichnet durch ein die Kammer (21) randseitig abschließendes und zwischen den beiden Gehäuseteilen (18, 19) angeordnetes Dichtelement (20).
8. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß es zwei planparallele, senkrecht zur Längsachse des Objektes (2) orientierte Außenflächen aufweist, wobei sich eine der Außenflächen auf dem steifen Lager (17, 28), die andere Außenfläche mittel- oder unmittelbar am Objekt (2) abstützt.
9. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1 bis 3 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse des Ausgleichselements (3) mit umlaufenden Einfräsungen, Nuten, Schlitzen (27) oder mit einer balgartigen Struktur versehen ist.
10. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß es mechanisch vorgespannt oder die Kammer (21, 33) mit einem unter Überdruck stehenden Medium gefüllt ist.
11. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein Drucksensor und/oder ein Heizelement in der Kammer (21, 33) angeordnet sind.
12. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1, 8, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß die laterale mechanische Federrate clateral und die axiale mechanische Federrate caxial des Ausgleichselements (3) bei nichtgefüllter Kammer (33) der Bedingung clateral/caxial ≧102-103 genügen.
13. Ausgleichselement nach Anspruch 1 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß es einen lagerseitigen ersten Gehäuseteil (30), einen objektseitigen zweiten Gehäuseteil (31) und einen die beiden Gehäuseteile (30, 31) verbinden, in lateraler Richtung mechanisch steifen Balg (32) aufweist, wobei das von den beiden Gehäuseteilen (30, 31) und dem Balg (32) einge­ schlossene Volumen die Kammer (33) bildet.
14. Ausgleichselement nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch, einen Metallbalg (32).
15. Ausgleichselement nach einem der Ansprüche 1 oder 12-15, dadurch gekennzeichnet, daß es freistehend auf dem Lager (28) angeordnet ist.
16. Verwendung eines Ausgleichselements nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche als Lager für einen elektromechanischen Wandler (2).
17. Verwendung eines Ausgleichselements nach einem der vor­ hergehenden Ansprüche in einem Antrieb, welcher einen auf ei­ nen Hubtransformator oder einen mittel- oder unmittelbar auf eine Membrane oder ein kolbenförmiges Element wirkenden elek­ tromechanischen Wandler aufweist.
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