DE19714292C2 - Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines Aktors - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines Aktors mit einer Druckkammer gemäß dem Ober­ begriff des Patentanspruchs 1.

Aktoren werden beispielsweise in der Kraftfahrzeugtechnik verwendet, um ein Servoventil oder ein Einspritzventil einer Brennkraftmaschine zu öffnen. Die Bauart eines Aktors, insbe­ sondere die Bauart eines piezoelektrischen Aktors, erfordert die Übertragung der Auslenkung des Aktors, um beispielsweise eine Hubübersetzung der Auslenkung oder eine Druckerhöhung der Auslenkbewegung des Aktors zu erreichen.

Aus DE 42 32 225 A1 ist ein Verschiebungsverstärker für ein piezoelektrisches Element bekannt, der eine Druckkammer auf­ weist. Die Druckkammer ist durch mehrere Bauteile gebildet, die über Membrane miteinander verbunden sind. Die Druckkammer ist mit einem Übertragungsmedium gefüllt. Ein piezoelektri­ scher Aktor liegt an einem Bauteil an. Durch eine Auslenkung des piezoelektrischen Aktors wird das Bauteil gegenüber den anderen Bauteilen verschoben. Die Übertragung der Auslenkung erfolgt über ein weiteres Bauteil, das durch die Dehnung ei­ ner zweiten Membran gegenüber dem Ausgangspunkt verschoben wird.

Aus DE 195 43 131 A1 ist eine Anordnung zur hydraulischen Stellwegtransformation eines piezoelektrischen Energiewand­ lers bekannt. Der Stellwegtransformator weist eine Druckkam­ mer auf, die mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist. Die Druckkammer ist von einer Membran begrenzt, an der ein piezo­ elektrischer Aktor anliegt. Zudem ist an der Außenseite der Druckkammer ein Metallfaltenbalg vorgesehen, der über einen Verbindungskanal mit der Druckkammer verbunden ist. Bei der Auslenkung des Aktors wird die Membran gegen die Druckkammer bewegt und somit Übertragungsmedium in den Faltenbalg ge­ drückt. Der Faltenbalg dehnt sich folglich aus und verschiebt ein zugeordnetes Stellglied.

Die Aufgabe der Erfindung beruht darin, eine Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines Aktors bereitzustellen, die einfach herzustellen ist.

Die Aufgabe der Erfindung wird durch die Merkmale des An­ spruchs 1 gelöst.

Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung beruht darin, daß die zwei Bauteile, aus denen der Membranübersetzer im wesentli­ chen aufgebaut ist, auf einfache Art und Weise dicht verbind­ bar sind.

Vorteilhafte Ausbildungen und Verbesserungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Die Erfindung wird anhand der Figuren näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 eine erste Ausführungsform eines Membranübersetzers mit einer Hartlötverbindung,

Fig. 2 eine zweite Ausführungsform des Membranübersetzers mit einer Schraubverbindung,

Fig. 3 eine dritte Ausführung des Membranübersetzers mit einer Bördelung und

Fig. 4 eine Druckkammer mit Elastomer.

Fig. 1a zeigt eine Vorrichtung zur Übertragung einer Auslen­ kung eines Aktors 8, insbesondere eines Piezoaktors, auf ei­ nen Aktuator, der vorzugsweise als Stellkolben 9 ausgebildet ist. Die Übertragungsvorrichtung besteht im wesentlichen aus zwei Bauteilen 1, 2, wobei das erste Bauteil 1 eine kreisför­ mige Grundplatte 18 aufweist, die im Randbereich in einen im wesentlichen senkrecht zur Grundplatte 18 ausgerichteten Be­ grenzungsring 19 übergeht. Das erste Bauteil 1 weist somit eine Topfform auf, in die das zweite Bauteil 2 teilweise ein­ gebracht ist.

Das zweite Bauteil 2 besteht ebenfalls im wesentlichen aus einer kreisförmigen zweiten Grundplatte 20, die im Randbe­ reich in einen senkrecht zur zweiten Grundplatte 20 angeord­ neten zweiten Begrenzungsring 21 übergeht. Die erste und die zweite Grundplatte 18, 20 sind somit im wesentlichen parallel zueinander angeordnet. Der erste Begrenzungsring 19 und der zweite Begrenzungsring 21 sind konzentrisch zueinander ange­ ordnet.

Das erste Bauteil 1 weist im Übergangsbereich zwischen der ersten Grundplatte 18 und dem ersten Begrenzungsring 19 im Innenbereich eine erste Dichtfläche 7 auf, die kreisförmig umlaufend ausgebildet ist und in einem vorgegebenen Winkel a zur Fläche der ersten Grundplatte 18 angeordnet ist.

Ebenso weist das zweite Bauteil 2 im Übergangsbereich zwi­ schen der zweiten Grundplatte 20 und dem zweiten Begrenzungs­ ring 21 im Außenbereich eine zweite Dichtfläche 6 auf, die kreisförmig umlaufend ausgebildet ist. Die zweite Dichtfläche 6 ist in einem vorgegebenen zweiten Winkel b zur zweiten Grundplatte 20 angeordnet.

Die Fig. 1d und 1e zeigen deutlich, daß die erste und die zweite Dichtfläche 7, 6 vorzugsweise kegelstumpfförmig ausge­ bildet sind und zwar vorzugsweise so, daß es zwischen der er­ sten und der zweiten Dichtfläche 7, 6 einen Differenzwinkel d gibt, der eine definierte, dichte und umlaufende Dichtkante festlegt.

In Fig. 1d ist der erste Winkel a größer als der zweite Win­ kel b und der Dichtwinkel d ist somit: (a - b)/2 = d. In Fig. 1e ist der zweite Winkel b größer als der erste Win­ kel a und somit der Dichtwinkel d: (b - a)/2 = d.

Der Dichtwinkel ergibt sich aus einer Sitzwinkeldifferenz, die auch bei einer elastischen Verformung eine linienförmig umlaufenden Dichtsitz mit hohen Linien- und Flächenlasten bei vergleichsweise niedrigen Axialdriften gewährleistet. Auf diese Weise wird eine hohe Dichtigkeit auch bei hohen Drücken in der Druckkammer 3 gewährleistet.

Fig. 1f zeigt eine Flach-Dichtsitz, bei dem der erste Winkel a gleich dem zweiten Winkel b ist und die erste und die zwei­ te Dichtfläche 7, 6 im wesentlichen parallel zur Grundplatte 18 angeordnet sind.

Das zweite Bauteil 2 ist in den Innenbereich des ersten Bau­ teils 2 in der Weise eingefügt, daß die zweite Dichtfläche 6 und die erste Dichtfläche 7 aufeinander gepreßt sind und so­ mit eine dicht abgeschlossene Druckkammer 3 zwischen der er­ sten Grundplatte 18 und der zweiten Grundplatte 20 ausgebil­ det ist. Die Druckkammer 3 ist mit einem Übertragungsmedium, vorzugsweise mit einem Hydrauliköl mit einer geringen Kom­ pressibilität gefüllt.

Der zweite Begrenzungsring 21 weist oberhalb der zweiten Dichtfläche 6 eine ringförmig umlaufende Nut 22 auf. Die Nut 22 dient im wesentlichen dazu, das beim Löten vom Verbin­ dungsbereich 10 durchsickernde Hartlot aufzunehmen und vom Dichtsitz, d. h. von der ersten und der zweite Dichtfläche 7, 6 fernzuhalten. Weiterhin ist zwischen dem ersten Begrenzungs­ ring 19 und dem zweiten Begrenzungsring 21 ein Abflußbereich 11 ausgebildet. Im ersten Bauteil 1 sind Durchführungen 12 eingebracht, die mit dem Abflußbereich 11 in Verbindung ste­ hen. Die Durchführungen 12 ermöglichen ein besseres Reinigen und Entfernen von überschüssigem Hydrauliköl als Vorbereitung für das folgende Hartlöten im Verbindungsbereich 10.

Oberhalb des Abflußbereichs 11 ist das erste Bauteil 1 mit dem zweiten Bauteil 2 in einem Verbindungsbereich 10, der vorzugsweise ringförmig umlaufend ausgebildet ist, fest mit­ einander verbunden. Der Verbindungsbereich 10 wird durch eine Hartlötverbindung oder eine Schweißverbindung zwischen den parallelen Flächen des ersten und des zweiten Begrenzungsrin­ ges 19, 21 gebildet. Durch diese feste Verbindung wird das zweite Bauteil 2 mit der zweiten Dichtfläche 6 dicht umlau­ fend auf die erste Dichtfläche 7 des ersten Bauteils 1 fi­ xiert.

Im Innenbereich des zweiten Bauteils 2 ist innerhalb des zweiten Begrenzungsrings 21 eine erste Ausnehmung 13 einge­ bracht, die in Richtung auf das erste Bauteil 2 in eine zwei­ te Ausnehmung 14 übergeht. Die zweite Ausnehmung 14 weist ei­ nen kleineren Durchmesser als die erste Ausnehmung 13 auf.

Die erste und die zweite Ausnehmung 13, 14 sind jeweils zy­ linderförmig ausgebildet.

Eine zweite Membran 5 ist unter der zweiten Ausnehmung 14 in der zweiten Grundplatte 20 ausgebildet und weist vorzugsweise die gleiche Fläche auf wie die Grundfläche der zweiten Aus­ nehmung 14. Die zweite Membran 5 wird vorzugsweise durch ein elastisches Material, insbesondere Federstahl gebildet. Eine einfache Ausführung der zweiten Membran 5 besteht darin, daß die zweite Grundplatte 20 im Bereich unter der zweiten Aus­ nehmung 14 so dünn ausgebildet ist, daß die zweite Grundplat­ te 20 unter der zweiten Ausnehmung 14 elastische Eigenschaf­ ten entsprechend einer Membran aufweist.

Eine erste Membran 1 ist vorzugsweise gegenüberliegend zur zweiten Membran 5 in der ersten Grundplatte 18 angeordnet und besteht vorzugsweise aus einer entsprechend dünn ausgebilde­ ten ersten Grundplatte 18, so daß die Grundplatte 18 elasti­ sche Eigenschaften aufweist. In einer Weiterbildung der Er­ findung ist in der ersten Grundplatte 18 eine separate erste Membran 4 aus einem besonders elastischen Material, wie z. B. Federstahl, eingebracht. Vorzugsweise ist in das erste oder das zweite Bauteil 1, 2 eine Befüllungsbohrung 25 eingebracht, über die nach dem dichten Verbinden des ersten und des zwei­ ten Bauteils 1, 2 Übertragungsmedium in die Druckkammer 3 ge­ füllt wird und anschließend die Befüllungsbohrung 25 ver­ schlossen wird.

Die Funktion der Übertragungsvorrichtung der Fig. 1 wird im folgenden näher erläutert: Ein piezoelektrischer Aktor 8 liegt an der ersten Membran 4 und ein Stellkolben 9 liegt an der ersten Membran 5 an. Drückt nun der Aktor 8 gegen die er­ ste Membran 4, so wölbt sich die erste Membran 4 in Richtung auf die Druckkammer 3 aus. Durch das in der Druckkammer 3 be­ findliche Übertragungsmedium wird die Auswölbung der ersten Membran 4 in eine Auswölbung der zweiten Membran 5 umgesetzt, die den an die zweite Membran 5 anliegenden Stellkolben 9 von der Druckkammer 3 wegdrückt. Für eine optimale Übertragung der Auslenkung ist die Druckkammer 3 blasenfrei mit einem Übertragungsmedium mit geringer Kompressibilität gefüllt.

Durch die Federkonstanten der ersten und der zweiten Membran 4, 5 und durch eine entsprechende Wahl der Flächen der ersten und der zweiten Membran 4, 5 wird eine entsprechende Übertra­ gung der Auslenkung, Hubübersetzung der Auslenkung des Aktors 8 und/oder eine Kraftübersetzung erreicht.

Ein besonderer Vorteil der Übertragungsvorrichtung beruht darin, daß diese im wesentlichen nur aus zwei Bauteilen 1, 2 aufgebaut ist, durch die besondere Form der zwei Bauteile 1, 2 einfach herzustellen ist und eine Befüllung der Druckkammer 3 ohne Lufteinschüsse auf einfache Art und Weise möglich ist. Bei der Herstellung der Übertragungsvorrichtung wird das er­ ste Bauteil 1 mit dem Übertragungsmedium in Innenbereich be­ füllt, wobei jedoch mehr Übertragungsmedium eingefüllt ist, als für die herzustellende Druckkammer 3 notwendig ist. An­ schließend wird das zweite Bauteil 2 in den Innenbereich des ersten Bauteils 1 eingelegt und in Richtung auf das erste Bauteil 1 gedrückt. Dabei fließt überschüssiges Übertragungs­ medium im Bereich der ersten und der zweiten Dichtfläche 7, 6 in den Abflußbereich 11 ab und aus dem Abflußbereich 11 über die Durchführung 12 weiter.

Das zweite Bauteil 2 wird so fest in das erste Bauteil 1 ein­ gedrückt, bis die erste und die zweite Dichtfläche 6, 7 ring­ förmig umlaufend dicht aufeinander sitzen. Die Befüllung er­ folgt vorzugsweise im Vakuum, damit im Öl gelöste Gasblasen entweichen.

Anschließend wird das erste und das zweite Bauteil 1, 2 über eine feste Verbindung des ersten und des zweiten Begrenzungs­ rings 19, 21 im Verbindungsbereich 10 fixiert. Auf diese Wei­ se ist gewährleistet, daß die Druckkammer 3 dicht abgeschlos­ sen bleibt. Durch die ringförmig umlaufende Nut 22 und den Abflußbereich 11 kann überschüssiges Übertragungsmedium ab­ fließen. In einer einfachen Ausführung reicht der Abflußbe­ reich 11 aus und es sind keine Durchführungen 12 notwendig. Anstelle der Nut 22 kann auch eine entsprechende Ausnehmung im ersten Bauteil 1 eingebracht sein.

Fig. 1b zeigt aus einer Seitenansicht die Übertragungsvor­ richtung mit dem ersten Bauteil 1 und dem zweiten Bauteil 2, wobei die Durchführungen 12 explizit sichtbar sind.

Fig. 1c zeigt die Übertragungsvorrichtung von oben, so daß die symmetrische Kreisform der Übertragungsvorrichtung sicht­ bar ist. Deutlich erkennbar ist auch der unterschiedlich gro­ ße Durchmesser zwischen der ersten und der zweiten Ausnehmung 13, 14. Zudem ist die ringförmig umlaufende feste Verbindung im Verbindungsbereich 10 sichtbar.

Fig. 2a zeigt eine zweite Ausbildung der Übertragungsvor­ richtung, die im wesentlichen der ersten Ausführungsform der Fig. 1 entspricht, wobei jedoch die Verbindung zwischen dem ersten und dem zweiten Bauteil 1, 2 über ein Gewinde 23 er­ reicht wird. In der Innenfläche des ersten Begrenzungsrings 19 und in der Außenfläche des zweiten Begrenzungsringes 21 ist jeweils ein Gewinde eingebracht, mit dem das zweite Bau­ teil 2 in den Innenbereich des ersten Bauteils 1 einschraub­ bar ist.

Das Herstellungsverfahren wird entsprechend der Ausführungs­ form der Fig. 1 durchgeführt, wobei das zweite Bauteil 2 in den Innenbereich des ersten Bauteils 1 eingeschraubt wird, bis die erste und die zweite Dichtfläche 6, 7 dicht aufeinan­ der liegen. Überschüssiges Übertragungsmedium wird auch in diesem Fall in den Abflußbereich 11 abgegeben. Im ersten Bau­ teil 1 sind vorzugsweise Durchführungen 12 eingebracht, über die überschüssiges Übertragungsmedium aus dem Abflußbereich 11 abfließt.

Fig. 2b zeigt die Übertragungsvorrichtung von oben, wobei deutlich das Gewinde 23 und die zweite Ausnehmung 14 erkenn­ bar sind. In dieser Ausführungsform weist die erste Ausneh­ mung 13 eine nur um etwas vergrößerte Grundfläche als die zweite Ausnehmung 14 auf. Die erste Ausnehmung 13 ist als In­ nenkantausnehmung 15 ausgebildet. Über die Innenkantausneh­ mung 15 wird das zweite Bauteil 2 mit einem entsprechenden Innenkantschlüssel in das erste Bauteil 1 eingeschraubt.

Fig. 3 zeigt eine Übertragungsvorrichtung entsprechend der Fig. 1, wobei jedoch das zweite Bauteil 2 im ersten Bauteil 1 über eine Bördelung 17 gehalten wird. Dazu ist der erste Begrenzungsring 19 im oberen Ende in Form einer Bördelung 17 in Richtung auf den Innenbereich des ersten Bauteils 1 umge­ bogen. Zwischen der Bördelung 17 und dem zweiten Bauteil 2 ist eine Feder, vorzugsweise eine Tellerfeder 16, einge­ bracht, die das zweite Bauteil 2 mit der zweiten Dichtfläche 6 gegen die erste Dichtfläche 7 des ersten Bauteils 1 drückt. Für die Aufnahme der Tellerfeder 16 ist im oberen Randbereich des zweiten Begrenzungsringes 21 eine ringförmig umlaufende Ausnehmung eingebracht, in der die Tellerfeder 16 angeordnet ist.

Die Ausführungsform der Fig. 3 wird auf folgende Weise her­ gestellt: Im Innenbereich des ersten Bauteils 1 ist Übertra­ gungsmedium eingefüllt und das zweite Bauteil 2 wird in den Innenbereich des ersten Bauteils 1 eingepreßt. Anschließend wird in die ringförmig umlaufende Ausnehmung eine Tellerfeder 16 eingelegt und daraufhin der obere Randbereich des ersten Begrenzungsringes 19 in Richtung auf den Innenbereich umgebo­ gen, so daß die Tellerfeder 16 gegen die umgebogene Bördelung 17 abstützt und das zweite Bauteil 2 mit der zweiten Dicht­ fläche 6 dicht gegen die erste Dichtfläche 7 des ersten Bau­ teils 1 drückt. Überflüssiges Übertragungsmedium wird in den Abflußbereich 11 gedrückt. Der Abflußbereich 11 ist oberhalb der ersten und der zweiten Dichtfläche 7, 6 zwischen dem er­ sten Begrenzungsring 19 und dem zweiten Begrenzungsring 21 ausgebildet. Vorzugsweise sind in den ersten Begrenzungsring 19 Durchführungen 12 eingebracht, die mit dem Abflußbereich 11 in Verbindung stehen. Über die Durchführungen 12 kann überflüssiges Übertragungsmedium aus dem Abflußbereich 11 ab­ fließen.

Fig. 4 zeigt schematisch eine Druckkammer 3, die in einer der Ausführungsformen der Übertragungsvorrichtung der Fig. 1 bis 3 angeordnet ist. Der wesentliche Unterschied dieser Ausführungsform besteht darin, daß die Druckkammer 3 mit ei­ nem elastischen Übertragungsmedium, einem Elastomer, gefüllt ist. Zudem weist die Druckkammer 3 eine besondere Form zur Übertragung der Auslenkung der zweiten Membran 5 auf eine entsprechende Auslenkung der ersten Membran 4 auf. Dazu ist die Druckkammer 3 in Richtung auf die erste Membran 4 als ko­ nisch zusammenlaufender Kegelstumpf ausgebildet. Dadurch wird die Übertragungswirkung des Elastomer in der Bewegungsrich­ tung des Aktors 9 unterstützt.

Mit Elastomer als Übertragungsmedium wird das erste und das zweite Bauteil 1, 2 vorzugsweise direkt durch einen Vulkani­ sationsprozess über das Elastomer miteinander zu verbinden. Durch die besondere Ausführung der Druckkammer 3 wird gewähr­ leistet, daß sich das Elastomer vorzugsweise in axialer Rich­ tung, das heißt von der zweiten Membran 5 in Richtung auf die erste Membran 4, verformt und eine seitliche Ausdehnung be­ grenzt wird.

Eine besonders vorteilhafte Art der Verbindung besteht darin, das erste Bauteil 1 beim Einpressen des zweiten Bauteils 2 in Vibration zu versetzen und somit leichter Luftblasen aus dem Übertragungsmedium auszutreiben und über den Abflußbereich 11 abzugeben. Sobald der zweite Konus des zweiten Bauteils dicht auf dem ersten Konus des ersten Bauteils aufliegt, werden das erste und das zweite Bauteil 1, 2 mit einer definierten Kraft gegeneinander verspannt und fixiert. Dadurch wird die Druck­ kammer 3 hermetisch und blasenfrei verschlossen. Das Halten der Spannkraft wird beispielsweise durch eine Verschraubung, eine Bördelung, eine Lötverbindung, eine Klebeverbindung oder eine Schweißverbindung sichergestellt.

Vorzugsweise wird die erste Membran 4 und/oder die zweite Membran 5 bei der Herstellung der Übertragungsvorrichtung be­ reits elastisch vorgespannt. Durch die Inkompressibilität des Hydraulikmediums bleibt die Vorspannung auch nach der Montage bestehen. Diese wirkt sich positiv gegen auftretende Spannun­ gen und ermöglicht einen geringen Kraftbedarf bei der Über­ tragung der Auslenkung.

Claims (13)

1. Vorrichtung zur Übertragung einer Auslenkung eines Aktors (8) mit einer Druckkammer (3),
die von mindestens zwei Membranen (4, 5) begrenzt ist,
die mit einem Übertragungsmedium gefüllt ist, und
die im wesentlichen zwei Bauteile (1, 2) aufweist, dadurch gekennzeichnet,

• - daß das erste Bauteil (1) eine erste Grundplatte (18) auf­ weist, die von einem im wesentlichen senkrecht zur ersten Grundplatte (18) angeordneten, umlaufenden ersten Randbe­ reich (19) umgeben ist, daß in der Grundplatte (18) eine erste Membran (4) angeordnet ist,
• - daß das zweite Bauteil (2) eine zweite Grundplatte (20) aufweist, daß in der zweiten Grundplatte (20) eine zweite Membran (5) angeordnet ist,
• - daß das zweite Bauteil (2) in den Innenbereich des ersten Randbereiches (19) eingebracht ist, und
• - daß das zweite Bauteil (2) umlaufend dicht am ersten Rand­ bereich (19) anliegt, so daß das erste und das zweite Bau­ teil (1, 2) die Druckkammer (3) begrenzen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Bauteil (1) im Innenbereich des ersten Randberei­ ches (19) eine erste Dichtfläche (7) mit einem ersten Nei­ gungswinkel aufweist, daß das zweite Bauteil (2) eine umlau­ fende zweite Dichtfläche (6) mit einem zweiten Neigungswinkel aufweist, daß der erste und der zweite Neigungswinkel aufein­ ander abgestimmt sind, so daß die erste Dichtfläche (7) und die zweite Dichtfläche (6) umlaufend dicht aufeinander lie­ gen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß das zweite Bauteil (2) von einem im wesentlichen senkrecht zur zweiten Grundplatte (20) angeordneten zweiten Randbereich (21) umgeben ist, daß der erste und der zweite Randbereich (19, 21) oberhalb der ersten und der zweiten Dichtfläche (7, 6) in einem Ver­ bindungsbereich (10) miteinander in Wirkverbindung stehen, so daß die erste Dichtfläche (7) dicht auf der zweiten Dichtflä­ che (6) gehalten wird.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß oberhalb der Dichtflächen (7, 6) und unter dem Verbindungsbe­ reich (10) zwischen dem ersten und dem zweiten Randbereich (19, 21) ein Abflußbereich (11) vorgesehen ist, der zur Auf­ nahme von überschüssigem Übertragungsmedium oder zur Aufnahme von Lot vorgesehen ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß im ersten oder im zweiten Randbereich (19, 21) eine Durchfüh­ rung (12) vorgesehen ist, die mit dem Abflußbereich (11) ver­ bunden ist, so daß Übertragungsmedium über die Durchführung (12) aus dem Abflußbereich (11) abfließen kann.

6. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkverbindung im Verbindungsbereich (10) in Form einer Verschraubung oder einer Lötverbindung oder einer Klebever­ bindung ausgebildet ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Verbindungsbereich (10) der erste Randbereich (19) eine nach innen gebördelte Abschlußkante (17) aufweist, daß zwi­ schen der Abschlußkante (17) und dem zweiten Bauteil (2) eine Feder (16) eingebracht ist, die das zweite Bauteil (2) und das erste Bauteil (1) mit den Dichtungsflächen (6, 7) aufein­ ander drückt.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die erste Membran (4) eine im Vergleich zur zweiten Membran (5) unterschiedliche Fläche aufweist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß im ersten oder im zweiten Bauteil (1, 2) angrenzend an den Abflußbereich (11) eine ringförmig umlaufende Nut (22) einge­ bracht ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckkammer (3) mit einem elastischen Material, insbeson­ dere mit Elastomer, gefüllt ist und der Druck von der ersten zur zweiten Membran (4, 5) über eine Verformung des elasti­ schen Materials übertragen wird.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckkammer (3) ausgehend von der ersten Membran (4) in Richtung auf die zweite Membran (5) konisch zusammenlaufend ausgebildet ist, so daß die Verformung des elastischen Mate­ rials in Richtung auf die zweite Membran (5) unterstützt wird und die Verformung des Elastomer in Richtung senkrecht zur zweiten Membran (5) unterdrückt wird.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch ge­ kennzeichnet, daß das erste oder das zweite Bauteil (1, 2) ei­ ne Befüllungsbohrung (25) aufweist, über die nach dem dichten Verbinden des ersten und des zweiten Bauteils (1, 2) Übertra­ gungsmedium in die Druckkammer (3) gefüllt wird, und daß an­ schließend die Befüllungsbohrung (25) verschlossen wird.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Übertragungsmedium mit Druck eingefüllt ist.