DE19722471C2

DE19722471C2 - Impedanz- und Strommeßeinrichtung

Info

Publication number: DE19722471C2
Application number: DE19722471A
Authority: DE
Inventors: Hideki Wakamatsu
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Agilent Technologies Inc
Priority date: 1996-05-30
Filing date: 1997-05-28
Publication date: 2003-08-21
Anticipated expiration: 2017-05-29
Also published as: JPH09318671A; JP3809223B2; DE19722471A1; US5818243A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein die Strommes sung und genauer einen Impedanzmesser, welcher einen großen Bereich Impedanzen über einen großen Bereich Frequenzen mes sen kann.

Gattungsgemäße Impedanz-Meßeinrichtungen sind beispielsweise aus dem U.S. Patent 5,216,373 und aus der JP 7-20172 A bekannt.

In der Vergangenheit wurden verschiedene Verfahren vorge schlagen, um einen Impedanzmesser aufzubauen, welcher einen großen Bereich Impedanzen über einen großen Bereich Frequen zen messen kann.

Eine Lösung wurde in der US 5,345,182 (Wakamatsu) gefun den, welche einen Impedanzmesser vorsieht, der Impedanzen über einen Frequenzbereich von 1 MHz bis zu 1 GHz messen kann. Der Impedanzmesser verwendet ein Verfahren zum Messen einer Spannung und eines Stroms, welches eine präzise Mes sung der Impedanz (des Scheinwiderstandes) über einen großen Impedanzbereich erlaubt (dieses Verfahren ist im folgenden als Voltmeter-Amperemeter-Verfahren bezeichnet). Fig. 5 der vorliegenden Anmeldung zeigt einen Schaltungsaufbau des oben genannten Impedanzmessers und Fig. 6 zeigt ein Ersatz schaltbild.

Eine andere Lösung findet man in der US 5,463,323 (Wakama tsu), welche einen Impedanzmesser vorsieht, der koaxiale Kabel und triaxiale Kabel verwendet. Eine solche Realisier ungsform hat die Vorteile der in der US 5,345,182 offen barten Einrichtung, wobei hier eine Fernmessung durchgeführt wird. Die Fig. 7 und 8 zeigen Schaltungsstrukturen für eine solche Einrichtung, und die Fig. 9 und 10 zeigen die Ersatzschaltbilder.

Bei den Ersatzschaltbildern der Fig. 6, 9 und 10 wird der Strom, welcher durch eine zu prüfende Einrichtung (DUT; de vice under test) 60 geht (d. h. durch den zu messenden Gegen stand), durch einen Stromerfassungswiderstand geführt, wel cher entweder einen Widerstand 32 oder zwei parallele Wider stände 32, 38 umfaßt. Durch Messen der Spannung über dem Stromerfassungswiderstand (d. h. zwischen den beiden Enden des Widerstands) mit einem Voltmeter 30 kann der durch die DUT 60 gehende Strom gemessen werden. Mit anderen Worten, der Stromerfassungswiderstand und das Voltmeter bilden zu sammen ein Amperemeter. Wie in den Ersatzschaltbildern ge zeigt, wird ein solches Amperemeter üblicherweise als erd freies (schwebendes) Amperemeter bezeichnet, welches das Po tential von dem Massepotential abhebt.

Wenn bei der Fig. 10 sowie den Fig. 5 und 6 ein Schalter 40 in der Aus-Stellung ist, kann die Einrichtung zum Messen einer niedrigen Impedanz (eines niedrigen Scheinwiderstan des) verwendet werden. Diese Einrichtung eignet sich nicht zum Messen einer hohen Impedanz, weil der durch einen Innen widerstand 11 des Voltmeters 10 fließende Strom auch durch den Stromerfassungswiderstand fließt, wobei seine Größe im Vergleich zu dem durch die DUT 60 fließenden Strom nicht vernachlässigbar ist.

Wenn in den Fig. 5 und 6 der Schalter 40 in der Ein-Stel lung ist, kann die Einrichtung zum Messen einer hohen Impe danz (eines hohen Scheinwiderstandes) verwendet werden. Fig. 7 zeigt eine Schaltungsstruktur, welche die Fernmessung einer hohen Impedanz vorsieht, wobei Fig. 9 ein Ersatzsch altbild darstellt. Es ist bekannt, daß diese Schaltungs struktur hohe Impedanzen messen kann.

Wie in den Fig. 5, 7 und 8 gezeigt, verwendet das erd freie Amperemeter ein geerdetes Voltmeter 30 und einen Sym metrieübertrager (balun) 35. Der Symmetrieübertrager 35 wird durch Hindurchführen eines koaxialen Kabels 36 durch einen magnetischen Kern gebildet, oder wie in Fig. 13 gezeigt, durch Wickeln eines koaxialen Kabels 36 (einmal oder mehr mals) um einen Magnetkern 70. Fig. 11 zeigt ein Ersatz schaltbild mit einem Symmetrieübertrager. Bei hohen Frequen zen hat der Symmetrieübertrager 35 eine hohe Erregerimpe danz. Selbst wenn das Voltmeter 30 geerdet ist, ist es daher dem Stromerfassungswiderstand noch immer möglich, das Poten tial vom Erdpotential abzuheben.

Bei niedrigen Frequenzen nimmt jedoch die Erregerimpedanz des Symmeterieübertragers 35 ab, so daß der Signalerzeuger 20 belastet wird. Um die untere Grenze für die Betriebsfre quenz hinauszuschieben, muß der Symmetrieübertrager 35 einen großen Kern mit einer großen Anzahl Windungen haben. Die Länge des Wicklungskabels und die Größe des Kerns führen jedoch insbesondere bei hohen Frequenzen zu einer Verschlechterung des Temperaturkoeffizienten und einem Verlust an Signalstärke. Es war daher in der Praxis nicht möglich, die obere Grenze für die Meßfrequenz beizubehalten, wenn ein Symmetrieübertrager verwendet wird, um die Betriebsfrequenz bis in das Tonfrequenzband hinauszuschieben.

Es ist auch bekannt, daß bei erdfreien Amperemetern Diffe rentialverstärker eingesetzt werden können, um die Potenti aldifferenz an dem Widerstand zu erfassen, der zum Messen des Stroms verwendet wird. Fig. 12 zeigt eine solche Anord nung. Differentialverstärker ermöglichten es in der jüngeren Vergangenheit, ein Gleichtakt-Unterdrückungs-Verhältnis von mehr als 100 dB zu erreichen, wodurch ein erdfreies Ampere meter erzeugt wird, das ideal für den Einsatz in Impedanz meßgeräten (oder Ohmmetern) ist. Die Verwendung von Diffe rentialvestärkern ist jedoch auf die niedrigen Frequenzbe reiche beschränkt, weil das Gleichtakt-Unterdrückungs-Ver hältnis sich mit einer Zunahme der Frequenz verstärkt. Es ist schwierig, ein Gleichtakt-Unterdrückungs-Verhältnis von 50 dB bei 10 MHz, von 30 dB bei 100 MHz und sogar von nur 10 dB bei 1 GHz zu erhalten.

Insbesondere bei den höheren Frequenzen führt dieses schle chte Gleichtakt-Unterdrückungs-Verhältnis zu einem Strom- Offsetwert zwischen dem offenen Meßanschlüssen 61 und 62 (d. h. in Leerlaufschaltung). Das bedeutet, daß der Meßwert des Stromes zwischen den offenen (nicht angeschlossenen) Meßanschlüssen 61 und 62 nicht mehr Null ist. Ein solcher Offset kann durch Berechnung korrigiert werden. Das Gleich takt-Unterdrückungs-Verhältnis ändert sich jedoch mit der Temperatur, so daß es nicht möglich ist, den Offset über längere Zeitspannen vorherzusagen und somit zu korrigieren. Aus demselben Grund hat der Meßwert für die Admittanz (Scheinleitwert) einen Offset und einen Meßfehler, wenn die Schaltung zwischen den Meßanschlüssen unterbrochen ist.

Um hohe Impedanzen (Scheinwiderstände) zu messen, muß die Empfindlichkeit der Messung des Stromes, welcher durch die DUT fließt, erhöht werden. Aus diesem Grund muß die Spannung zwischen den Enden des Stromerfassungswiderstandes entspre chend verstärkt werden. Eine große Verstärkung ist jedoch nicht möglich, wenn der Offset des Strom-Nullwertes groß ist. Mit anderen Worten, die Fähigkeit des Impedanzmesser zum Messen hoher Impedanzen ist in hohem Maße durch das Gleichtakt-Unterdrückungs-Verhältnis begrenzt, wie oben er läutert wurde.

Im allgemeinen können Impedanzmesser welche einen Symmetrie übertrager verwenden, bei hohen Frequenzen Stabilität und extrem hohe Gleichtakt-Unterdrückungs-Verhältnisse errei chen, wodurch erdfreie Amperemeter für hohe Frequenzen über 1 GHz realisiert werden können. Solche Geräte sind jedoch bei niedrigen Frequenzen ineffektiv. Andererseits sind Dif ferentialverstärker bei niedrigen Frequenzen, jedoch nicht bei hohen Frequenzen effektiv. Die heutigen Verfahren zum Messen hoher Impedanzen sind somit entweder auf Hochfre quenzbereiche oder auf Niederfrequenzbereiche beschränkt.

Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, einen verbesserten Impedanzmesser vorzusehen, der einen breiten Bereich Impe danzen über einem großen Bereich Frequenzen messen kann, welche hohe und niedrige Frequenzbereiche umfassen.

Diese Aufgabe wird durch ein Meßgerät mit den Merkmalen von Anspruch 1 und ein Impe danzmeßgerät mit den Merkmalen von Anspruch 9 gelöst.

Durch die Erfindung wird ein erdfreies Amperemeter vorgeschlagen, das über einem großen Frequenzbereich ein hohes Gleichtakt-Unterdrückungs-Verhältnis hat. Ferner sieht die Erfin dung ein Impedanzmesser vor, der ein erdfreies Amperemeter mit einem hohen Gleichtakt- Unterdrückungs-Verhältnis über einem großen Frequenzbereich verwenden kann.

Das Impedanzmeßgerät oder der Impedanzmesser umfaßt ein erd freies Amperemeter, welches eine Spannung zwischen den Enden eines Stromerfassungswiderstandes mißt und einen durch die sen fließenden Strom ermittelt. Ein Symmetrieübertrager eli miniert die Gleichtakt-Spannungskomponente in dem Hochfre quenzbereich; ein Differentialverstärker eliminiert die Gleichtakt-Stromkomponente in dem Niederfrequenzbereich. Die Gleichtakt-Unterdrückungswirkung (Gleichtakt-Elimination) des Symmeterieübertragers und des Differentialverstärkers geht bei einer Grenzfrequenz oder Übergangsfrequenz über, bei der die Impedanz eines Kondensators und die Impedanz des Symmetrieübertragers gleich sind. Als Ergebnis kann das Im pedanzmeßgerät für einen großen Bereich der Impedanzen über einen großen Frequenzbereich hoch genaue Messungen durchfüh ren (d. h. von Gleichstrom bis zum GHz-Bereich).

Die vorliegende Erfindung sieht auch eine Vorrichtung zum Glätten der Übergangscharakteristik vor. Insbesondere wird ein Widerstand vorgesehen, um die Resonanz des Kondensators und die Induktivität des Symmetrieübertragers beider Über gangsfrequenz zu dämpfen.

Die Erfindung ist im folgenden anhand bevorzugter Ausfüh rungsformen mit Bezug auf die Zeichnung näher erläutert. In den Figuren zeigt:

Fig. 1 ein Schaltdiagramm einer ersten Ausführungsform eines Impedanzmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 zeigt ein Schaltdiagramm einer zweiten Ausfüh rungsform eines Impedanzmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3 zeigt ein Schaltdiagramm einer dritten Ausfüh rungsform eines Impedanzmeßgerätes gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 zeigt ein Ersatzschaltbild der vorliegenden Erfindung;

Fig. 5 zeigt ein Beispiel eines Impedanzmeßgerätes des Standes der Technik;

Fig. 6 zeigt die Prinzipien eines Impedanzmeßgerätes, welches das Voltmeter-Amperemeter-Verfahren verwendet;

Fig. 7 zeigt ein Beispiel eines Impedanzmeßgerätes mit Kabelerweiterung nach dem Stand der Technik;

Fig. 8 zeigt ein Beispiel eines Impedanzmeßgerätes mit Kabelerweiterung nach dem Stand der Technik;

Fig. 9 zeigt ein Ersatzschaltbild für Fig. 7;

Fig. 10 zeigt ein Ersatzschaltbild für Fig. 8;

Fig. 11 zeigt ein Beispiel eines erdfreien Amperemeters mit einem Symmetrieübertrager;

Fig. 12 zeigt ein Beispiel eines erdfreien Amperemeters mit einem Differentialverstärker;

Fig. 13 zeigt ein Beispiel des Aufbaus eines Symmetrie übertragers, welcher ein koaxiales Kabel ver wendet.

Beschreibung der Bezugszeichen

10

Voltmeter (oder Spannungsmesser)

11

Widerstand

12

koaxiales Kabel

13

Widerstand

20

Signalerzeuger (oder Signalgenerator)

21

Widerstand

22

koaxiales Kabel

30

Voltmeter

31

Differentialverstärker

32

Widerstand

33

Kondensator

34

Schalter

35

Symmetrieübertragung (balun)

36

koaxiales Kabel

37

Widerstand

38

Widerstand

40

Schalter

51

koaxiales Kabel

52

triaxiales Kabel

60

DUT (device under test; zu prüfende Vorrichtung)

61

Meßanschluß

62

Meßanschluß

70

Magnetkern

Bevor mit einer ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung fortgefahren wird, sollte man beachten, daß im folgenden dieselben Be zugszeichen für die Komponenten verwendet werden, welche gleich denen des Standes der Technik gemäß den Fig. 5 bis 13 sind.

Wie in den Fig. 1 und 4 gezeigt, umfaßt das Impedanzmeß gerät ein Amperemeter, welches ein Voltmeter 30, einen Dif ferentialverstärker 31, zwei Widerstände 32 und 38 und einen Symmetrieübertrager 35 enthält, welcher durch Wickeln eines koaxialen Kabels 36 um einen Magnetkern gebildet ist. Ein Widerstand 37 ist zwischen einem Eingang und einem Ausgang des Symmetrieübertragers 35 an dem äußeren Leiter des koaxi alen Kabels angeschlossen. Ein Kondensator 33 ist zwischen dem äußeren Leiter des koaxialen Kabels 36 auf der Eingangs seite des Differentialverstärkers 31 und Masse angeschlos sen.

Das Impedanzmeßgerät umfaßt ferner ein Voltmeter 10, einen Signalerzeuger 20, koaxiale Kabel 12 und 22 und einen Schalter 40. Obwohl in den Fig. 1 und 4 nicht gezeigt, wird auch eine Rechen/Steuer-Schaltung verwendet. Der Rechen/ Steuer-Block ist im Stand der Technik gut bekannt und wird hier nicht mehr im einzelnen beschrieben.

Für die Anpassung im Hochfrequenzbereich sind die Widerstän de 32 und 38 gleich der charakteristischen Impedanz des ko axialen Kabels. Eine ausführliche Beschreibung dieses Teils findet man in der US-A-5,463,323, und es wird hier nicht weiter beschrieben.

Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, welche die Merkmale der in der US-A-5,463,323 offenbarten Einrichtung umfaßt, welche zur Messung hoher Impedanzen dient. Im Vergleich zur ersten Ausführungsform, die oben beschrieben wurde, verwendet die zweite Ausfüh rungsform insbesondere ein koaxiales Kabel 51 und ein tri axiales Kabel 52 für die Fernmessung. Im Hinblick auf den Amperemeterteil ist ein Ersatzschaltbild für die zweite Aus führungsform in Fig. 4 gezeigt.

Wie in den Fig. 5, 7 und 8 und dem Ersatzschaltbild der Fig. 11 gezeigt, ist beim Stand der Technik der äußere Lei ter des Kabels auf der Ausgangsseite des Symmetrieübertra gers 35 geerdet. Wie in den Fig. 1 und 2 und dem Ersatz schaltbild der Fig. 4 gezeigt, ist bei der ersten und der zweiten Ausbildungsform der vorliegenden Erfindung der äuße re Leiter des Kabels auf der Ausgangsseite des Symmetrie übertragers 35, wie beim Knoten (b) in Fig. 4 gezeigt, über einen Kondensatoren 33 mit Masse verbunden.

Im Niederfrequenzbereich hat der Kondensator 33 eine hohe Impedanz, weshalb der Symmetrieübertrager 35 den Signaler zeuger 25 selbst dann nicht kurzschließt, wenn die Erre gerimpedanz des Symmetrieübertragers 35 niedrig wird. Die Tatsache, daß die Erregerimpedanz niedrig ist, bedeutet, daß die Gleichtaktspannung unverändert an den Differentialver stärker 31 übertragen wird, so daß die große Gleichtakt- Unterdrückungswirkung des Differentialverstärkers 31 nur die Differentialspannung verstärkt. Die parallelen Widerstände 32 und 38 bilden den Stromerfassungswiderstand, und die Spannung über den Widerständen ist die Differentialspannung. Das Voltmeter 30 mißt das Ausgangssignal des Differential verstärkers 31. Mit dieser Anordnung wird ein erdfreies Am peremeter für den Niederfrequenzbereich gebildet.

Andererseits hat der Kondensator 33 im Hochfrequenzbereich eine niedrige Impedanz, wodurch der gemeinsame Verbindungs punkt des Symmetrieübertragers 35, des Widerstandes 32 und des Kondensators 33, der in Fig. 4 als Knoten (b) gezeigt ist, equivalent geerdet ist. Diese Anordnung ist äquivalent zu den in den Fig. 5, 7 und 8 gezeigten Schaltkreisen sowie zu dem Ersatzschaltbild der Fig. 11.

Längs des Weges, der von einem Knoten (a) durch die Konten (b) und (c) zu dem Knoten (d) geht, ist die Anzahl der Wick lungen des Symmetrieübertragers 35 äquivalent zum Nullpunkt. Dies ist somit äquivalent zu einer Parallelschaltung des Widerstandes 32 zu dem Widerstand 38 über den Symmetrieüber trager 35. Das bedeutet, daß wie im Fall des Niederfrequenz bereichs auch für den Fall des Hochfrequenzbereichs der Stromerfassungswiderstand durch die Parallelschaltung der Widerstände 32 und 38 gebildet wird.

Dadurch wird von dem Differentialverstärker 31 nur die Span nung zwischen den Enden des Stromerfassungswiderstandes ver stärkt, welche von dem Voltmeter 30 gemessen wird. Mit die ser Anordnung wird ein erdfreies Amperemeter für den Hoch frequenzbereich gebildet.

Im folgenden wird die Grenze zwischen dem Niederfrequenzbe reich und dem Hochfrequenzbereich beschrieben. Die Frequenz, bei der die Erregerimpedanz des Symmetrieübertragers 35 gleich der Impedanz des Kondensators 33 ist, wird als die Übergangsfrequenz oder die Grenzfrequenz bezeichnet. Die Grenzfrequenz definiert die Grenze, bei die Gleichtakt- Unterdrückungswirkung des Symmetrieübertragers 35 im Ver hältnis zu der des Differentialverstärkers 31 eingesetzt wird. Bei der Grenzfrequenz haben die Erregerimpedanz des Symmetrieübertragers 35 und die Impedanz des Kondensators 33 in Bezug auf den Signalerzeuger 20 über den gesamten Fre quenzbereich die größte Belastung. Ihre jeweiligen Werte werden daher so gewählt, daß die Impedanz des Kondensators 33 und die Erregerimpedanz des Symmetrieübertragers 35 bei der Grenzfrequenz im Verhältnis zu dem Ausgangswiderstand 31 des Signalerzeugers 20 groß sind.

Der Zweck des Widerstands 37 ist, das Q der Serienresonanz zu dämpfen, welches aus der Erregerimpedanz des Symmetrie übertragers 35 und dem Kondensator 33 besteht. Wenn bei dem Kern des Symmetrieübertragers 35 ein großer Verlust auf tritt, wird der Widerstand 37 nicht benötigt. Wenn Q jedoch hoch ist, wäre das Übergangsverhalten oder die Übergangs charakteristik bei der Grenzfrequenz schlecht. Mit anderen Worten, es gibt bei dieser Frequenz am Eingangsanschluß des Differentialverstärkers 31 eine große Gleichtaktspannung sowie an dem Signalerzeuger 20 eine große Last. Der Wert des Widerstands 37 wird daher so gewählt, daß bei der Resonanz ein Verlust auftritt.

Man beachte, daß es möglich ist, die Funktion des Konden sators 33 mit einem mechanischen oder einem Halbleiter- Schalter auszuführen. Wie in Fig. 3 gezeigt, kann der Kon densator 33 durch einen Schalter 34 ersetzt werden. Der Schalter 34 wird bei der Grenzfrequenz ein- oder ausgeschal tet, um entweder den Symmetrieübertrager 35 oder den Dif ferentialverstärker 31 zu verwenden. Ein Rechen/Steuer-Block steuert den Schalter 34 abhängig von der jeweiligen Meßfre quenz.

In der US 5,345,182 und US 5,463,323 ist eine Schal tungsstruktur zum Anpassen der charakteristischen Impedanz offenbart, welche für die vorliegende Erfindung geeignet ist. Wenn zwei solche Schaltungen in Kombination eingesetzt werden, so daß ihre jeweiligen Signalerzeuger abwechselnd ein- und ausgeschaltet werden können, ist es möglich, eine Einrichtung zum Messen des S-Parameters oder S-Wertes zu realisieren. Eine solche Zweikanal-Meßeinrichtung macht eine präzise Messung von S11 und S22 solcher DUT möglich, die hohe Eingangs-/Ausgangs-Impedanzen haben, selbst wenn die Einrichtung eine Anschlußimpedanz von 50 Ohm hat.

Bei der Schaltung von Fig. 2 ist es auch möglich, eine ex terne Abschirmung für das koaxiale Kabel 36 zwischen dem Symmetrieübertrager 35 und dem Widerstand 32 vorzusehen, um eine externe Störung durch Rauschen zu verhindern. Die äuße re Abschirmung kann vorgesehen werden, ohne die Vorteile dieser Erfindung zu beeinträchtigen.

Zusammengefaßt kann festgehalten werden, daß dann, wenn die vorliegenden Erfindung auf das in der US 5,463,323 offen barte Voltmeter-Amperemeter-Verfahren angewendet wird, wel ches es ermöglicht, eine hoch genaue Fernmessung für einen großen Bereich Impedanzwerte über einen großen Bereich Fre quenzen, von 1 MHz bis 1 GHz, zu realisieren, es auch mög lich ist, die untere Grenze der Frequenz bis zu der Frequenz des Gleichstroms, d. h. Null, auszudehnen, ohne das Hochfre quenzverhalten dadurch zu beeinträchtigen.

Die Erfindung wurde in Bezug auf ihre bevorzugten Ausfüh rungsformen beschrieben, es ist jedoch offensichtlich, daß zahlreiche Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne den Bereich der Erfindung gemäß den folgenden Ansprüchen zu verlassen. In die in der vorstehenden Be schreibung, den Ansprüchen und den Zeichnungen offenbarten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kom bination für die Realisierung der Erfindung in ihren ver schiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.

Claims

1. Meßeinrichtung zum Messen eines Stromes durch Messung einer Spannung an einem Stromerfassungswiderstand über einem breiten Frequenzbereich, mit folgenden Merkmalen:
einem Symmetrieübertrager (35), welcher ein koaxiales Kabel (36) mit einem Mittelleiter und einem Außenlei ter, einer Eingangsseite und einer Ausgangsseite auf weist;
einen Differenzverstärker (31), bei dem ein Ein gangsanschluß mit dem Mittelleiter des koaxialen Ka bels (36) auf der Ausgangsseite des Symmetrieüber tragers (35) und ein anderer Eingangsanschluß mit dem Außenleiter des koaxialen Kabels verbunden ist;
einem Stromerfassungswiderstand (32; 32, 38), der zwischen dem Mittelleiter und dem Außenleiter des Symmetrieübertragers angeschlossen ist;
einem Spannungsmesser (30) zum Messen einer Ausgangs spannung des Differenzverstärker (31), um einen durch den Stromerfassungswiderstand fließenden Strom zu ermitteln; und
einer Erdungsvorrichtung (33; 34), die

a) auf einen Strom in einem Hochfrequenzbereich anspricht, um eine Verbindung niedriger Impe danz zwischen dem Außenleiter des koaxialen Kabels (36) und Masse vorzusehen, und
b) auf den Strom in einem Niederfrequenzbereich anspricht, um eine Verbindung hoher Impedanz zwischen dem Außenleiter des koaxialen Kabels (36) und Masse vorzusehen.

2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Stromerfassungswiderstand (32; 32, 38) zwischen dem Mittelleiter und dem Außenleiter auf der Eingangssei te des Symmetrieübertragers (35) angeschlossen ist.

3. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Stromerfassungswiderstand (32; 32, 38) zwischen dem Mittelleiter und dem Außenleiter auf der Ausgangssei te des Symmetrieübertragers (35) angeschlossen ist.

4. Meßeinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprü che, bei welcher der Stromerfassungswidertand einen primären und einen sekundären Widerstand (32, 38) aufweist, wobei jeder Widerstand eine Impedanz hat, die gleich der charakteristischen Impedanz des koaxi alen Kabels (36) ist, wobei der primäre Widerstand (38) zwischen dem zentralen Leiter und dem Außenlei ter des Symmetrieübertragers (35) angeschlossen ist, und der sekundäre Widerstand (32) zwischen dem zen tralen Leiter und dem Außenleiter auf der Ausgangs seite des Symmetrieübertragers (35) angeschlossen ist.

5. Meßeinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprü che, bei der die Erdungsvorrichtung einen Kondensator (33) aufweist, der zwischen Masse und dem Außenleiter angeschlossen ist.

6. Meßeirichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der die Erdungseinrichtung einen Schalter (24) auf weist, der zwischen dem Außenleiter und Masse ange schlossen ist.

7. Meßeinrichtung nach Anspruch 5, mit einem Widerstand (37), welcher zwischen der Eingangsseite und der Ausgangsseite des Symmeterie übertragers (35) an dem Außenleiter des koaxialen Kabels (36) angeschlossen ist.

8. Meßeinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprü che, bei der das koaxiale Kabel (36) einen externen Schirm auf der Außenseite des Symmeterieübertragers aufweist.

9. Impedanzmeßeinrichtung zum Messen einer Impedanz für eine zu prüfende Einrichtung, welche ein Amperemeter mit den Merkmalen der Meßeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche aufweist.