DE19711710A1 - Funktionsüberwachung für Luftlager - Google Patents
Funktionsüberwachung für LuftlagerInfo
- Publication number
- DE19711710A1 DE19711710A1 DE19711710A DE19711710A DE19711710A1 DE 19711710 A1 DE19711710 A1 DE 19711710A1 DE 19711710 A DE19711710 A DE 19711710A DE 19711710 A DE19711710 A DE 19711710A DE 19711710 A1 DE19711710 A1 DE 19711710A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- air
- bearing surface
- bearing
- bearing body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000010006 flight Effects 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Funktionsüberwachung für eine An
zahl von Luft lagern, etwa der Schlittenführung einer Präsisions-Werk
zeugmaschine. Beim praktischen Einsatz kommen eine ganze Reihe der
artiger Lagerkörper gleichzeitig zur Anwendung, wobei die Druckluftzufuhr
in der Regel über geeignete Schläuche erfolgt. Dabei kann es vorkommen, daß
die Druckluftzufuhr zu einem der Luftlager unterbrochen wird, beispielswei
se weil sich der Schlauch ablöst oder ein Abschnitt der Zufuhreinrichtung
verstopft ist.
Weitere mögliche Faktoren, die die Funktionsweise der Luftlager beeinträch
tigen können, sind eine Verschmutzung der Lagerflächen oder auch eine me
chanische Überlastung, was dazu führen kann, daß die Luftlager einer Schlit
tenführung nicht abheben oder mit einem zu geringen Luftspalt arbeiten.
Werden Fehler werden nicht sofort bemerkt, können sowohl das Lager als
auch die Schlittenführung einer Werkzeugmaschine erheblich in Mitleiden
schaft gezogen werden.
Um einen solchen Fehler schon im Ansatz zu vermeiden, ist es sinnvoll, die
Flughöhe bzw. das generelle Abheben der Luftlager durch geeignete Einrich
tungen zu überwachen.
Aus der EP-B1-0 211 974 der Anmelderin ist ein Lagerkörper für ein Luft
kissenlager eines Linearlagers bekannt, bei dem an der inneren Luftsammel
kammer ein elektronischer Druckwächter- oder -sensor vorgesehen ist, der
mit der elektronischen Steuerung der Werkzeugmaschine verbunden ist. So
bald der Druckwächter einen erheblichen Abfall oder auch nur eine wesentli
che Veränderung des Druckes in der Sammelkammer feststellt, kann die
Steuerung der Werkzeugmaschine entweder letztere außer Kraft setzen oder
geeignete Warnsignale auslösen. Ein derartiger Druckwächter kann etwa nach
dem piezoresistiven Prinzip arbeiten. Aus der GB-PS 1 103 016 ist eine Ein
richtung bekannt, mit der die hydrostatischen Drücke gemessen und vergli
chen werden, die an der Eingangs- und an der Ausgangsseite eines Drossel
ventils anliegen, das in der Zuführleitung sitzt, die dem Lagerkörper Öl aus
einem unter Druck stehenden Reservoir zu führt. Besteht eine Druckdiffe
renz, etwa aufgrund einer Verstopfung des Drosselventils, wird ein Ventil in
einer Nebenleitung, die das Drosselventil umgeht, geöffnet und über dieses
dem Lagerkörper weiter Öl zugeführt. Beiden Offenbarungen ist gemeinsam,
daß der Druck bzw. die Druckdifferenz nicht im Zwischenbereich zwischen
dem Lagerkörper und der Grundplatte abgenommen wird, sondern vorher im
Bereich der Luft- bzw. Ölzufuhr. Das hat den wesentlichen Nachteil, daß der
eigentlich interessierende Druck im Zwischenbereich, der allein für einen
ordnungsgemäßen Betrieb der Gesamtanordnung verantwortlich ist, nicht be
kannt ist. Dieser Druck kann trotz der vorgenommenen Messungen sehr wohl
unzureichend sein, etwa infolge einer Verstopfung in dem Abschnitt der Zu
fuhrleitung, der noch zwischen dem Ort der abgenommenen Drücke und dem
Zwischenraum zwischen Lager und Grundplatte verbleibt.
Aus der US-PS 3 722 996 ist ein Luftlagersystem bekannt, das aus runden
Lagerkörpern besteht, die in ihrer Lagerfläche mehrere konzentrische Rillen
aufweisen. Die äußeren Rillen dienen der Druckluftzufuhr und die mittleren
der Erzeugung eines Vakuums. Die eigentliche Überwachung, ob das Lager
einwandfrei arbeitet, wird durch die inneren Rillen gewährleistet. Durch sie
wird ein zusätzlicher vordefinierter "Eich"-Luftstrom zu- und abgeführt,
dessen Stärke im Verhältnis zum Abstand zwischen Lager und Grundplatte
steht. Es wird also nicht direkt der Druck im Zwischenraum ermittelt, son
dern vielmehr durch die Messung des zusätzlichen Eichluftstromes auf die
Flughöhe des Lagerkörpers geschlossen. Die Erzeugung und Auswertung die
ses Eichluftstromes sowie die daraus eventuell resultierende Änderung der
zugeführten Druckluft geschieht über komplizierte Einrichtungen, wobei of
fensichtlich jeder Lagerkörper mit einer solchen Einrichtung verbunden sein
muß. Ein weiterer Nachteil neben der augenfälligen Komplexität dieser Vor
richtung besteht darin, daß der Eichluftstrom über ein Leitungssystem ge
führt wird, das vom Leitungssystem, mit dem die Druckluft zugeführt wird,
völlig unabhängig ist. Durch die Aufwendigkeit des Leitungssystems für den
Eichluftstrom ist dieses auch sehr störanfällig, d. h. es kann bei der Druck
überwachung zu fehlerhaften Resultaten kommen, die lediglich im Überwa
chungssystem liegen und gar nicht im eigentlichen Drucksystem.
Demgegenüber ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein einfaches Sy
stem zur Funktionsüberwachung von Luftlagern bereitzustellen, das nicht
nur den tatsächlich vorhandenen Luftdruck im Zwischenraum zwischen Lager
und Grundplatte auswertet, sondern auch eine einfache Gestaltung einer
Überwachungseinrichtung für eine Vielzahl von Luftlagern ermöglicht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Lagerkörper für
die Luftlager auf ihrer ebenen Lagerfläche mindestens eine Austrittsöffnung
für die Druckluft im Bereich des Zentrums der Lagerfläche aufweisen, wobei
die Austrittsöffnung(en) über radial nach außen verlaufende Verteilungska
näle mit unter einander verbundenen Drucktaschen in der Nähe des Randes
des Lagerkörpers verbunden ist (sind). Die Druckmessung zwischen der La
gerfläche und der Grundplatte erfolgt über eine Meßleitung, die in eine Boh
rung im Lagerkörper mündet, die senkrecht zur Lagerfläche durch ihn hin
durch verläuft und mit einer Öffnung in der Nähe des Zentrums der Lagerflä
che endet. Am anderen Ende der Meßleitung sitzt ein Druckwächter, der bei
spielsweise mit einem galvanischen Schalter versehen sein kann. Die zu je
dem Lager und seinem Druckwächter gehörigen galvanischen Schalter sind in
Reihe geschaltet und mit der Steuerung der betriebenen Maschine verbunden.
Schon der Ausfall eines Lagers führt dann aufgrund der Reihenschaltung über
die Steuerung der Maschine zur Abgabe Warnsignales, z. B. eines akustischen
und optischen Signales und setzt die Maschine still.
Im Gegensatz zu herkömmlichen Überwachungseinrichtungen wird bei der
vorliegenden Erfindung der tatsächliche Druck zwischen Lager und Grund
platte gemessen, was den Vorteil mit sich führt, daß diese Art der Überwa
chung wesentlich weniger anfällig für falsche Resultate ist. Des weiteren
stellt die Kontrolle mittels Druckwächtern eine einfache und kostengünstige
Möglichkeit zur Überwachung der Funktionssicherheit etwa einer luftgelager
ten Schlittenführung dar.
In einer modifizierten Ausführungsform können anstelle der Druckwächter
Drucksensoren verwendet werden, wobei jedes Luftlager mit einer Auswer
telektronik verbunden ist. Dies ist insbesondere dann angebracht, wenn hohe
Anforderungen an die Einhaltung der Flughöhe der Luftlager gestellt werden.
Diese Anordnung ermöglicht aufgrund des Einsatzes der Drucksensoren mit
den dazugehörigen Auswertelektroniken die analoge Registrierung aller Flug
höhenänderungen.
Weitere Ziele und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus dem
folgenden Teil dieser Beschreibung sowie den beigefügten Zeichnungen, die
eine derzeit bevorzugte Ausführungsform anhand der Prinzipien der Erfin
dung zeigen.
Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf die Lagerfläche des Lagerkörpers,
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch den auf einem Luftpolster über
der Grundplatte aufliegenden Lagerkörper mit Gelenk, Druck
luftzufuhr und Meßleitung,
Fig. 3 zeigt die mit der Steuerung der Maschine verbundene Reihen
schaltung der galvanischen Schalter der Druckwächter, und
Fig. 4 zeigt einen der über eine Auswertelektronik mit der Steuerung
der Maschine verbundenen Drucksensoren.
Die Lagerfläche 1 des Lagerkörpers besitzt im dargestellten Ausführungsbei
spiel einen kreisrunden Umfang, wobei sich in der Nähe des Zentrums der
Lagerfläche vier Luftaustrittsöffnungen 2 befinden, von denen jede über ei
nen radial nach außen verlaufenden Luftverteilungskanal 3a mit der mittleren
von drei in der Nähe des Randes sitzenden Drucktaschen 4 verbunden ist
(Fig. 1). Die jedem Luftverteilungskanal 3a zugeordneten drei Drucktaschen
4 sind untereinander mit einem konzentrisch zum Rand der Lagerfläche ver
laufenden Luftverteilungskanal 3b verbunden. Das bedeutet, daß bei vier Luf
taustrittsöffnungen 2 in jedem Quadranten der kreisförmigen Lagerfläche 1
drei Drucktaschen 4 von einer Luftaustrittsöffnung 2 versorgt werden.
Weder der Lagerkörper selbst noch die Drucktaschen müssen wie im Ausfüh
rungsbeispiel dargestellt kreisförmig sein, sie können durchaus andere For
men haben, je nach den fertigungstechnischen Möglichkeiten und Wünschen.
Im Zentrum der Deckfläche des Lagerkörpers 5, der über einem Luftspalt 6
auf der Grundplatte 7 aufliegt, ist ein Kugelgelenkkörper 8 vorgesehen, über
den die Lasten 9 eingeleitet werden, die das Lager aufzunehmen hat (Fig. 2).
An der einen Seite des Lagerkörpers 5 ist eine Druckluftleitung 10 befestigt,
die dem Lagerkörper 5 Druckluft zuführt, die über eine Luftsammelkammer
durch die Luftaustrittsöffnungen 2 an der Lagerfläche 1 austritt. Durch das
Innere des Lagerkörpers 5 verläuft in Richtung Lagerfläche 1 eine Bohrung
11, die mit einer Öffnung 12 in der Lagerfläche 1 endet und an deren anderem
Ende eine Meßleitung 13 befestigt ist, die zu einem Druckwächter 14 führt,
der den im Luftspalt 6 herrschenden Druck 15 registriert. Es hat sich gezeigt,
daß das Druckverhältnis zwischen Rand und Zentrum der Lagerfläche 1 ca. 1
zu 1,4 beträgt, d. h. der Druck am Rand ist um 40% geringer als derjenige im
Zentrum. Aus Gründen der Meßgenauigkeit hat es sich daher als vorteilhaft
erwiesen, die Öffnung 12 der mit den Druckwächtern 14 versehenen Druck
meßeinrichtung nicht außerhalb des inneren Drittels der Lagerfläche 1 anzu
ordnen. Sie kann letztlich auch außerhalb des inneren Drittels liegen, wenn
die Meßgenauigkeit der Einrichtung hinreicht.
Jeder Druckwächter 14 ist mit einem galvanischen Schalter 16 versehen, der
mit den Schaltern aller anderen Lager in Reihe geschaltet ist (Fig. 3). Diese
Reihenschaltung ist mit der Steuerung 17 der Maschine verbunden, sowie mit
einer Warneinrichtung, die akustische und optische Signale 18 und 19 abge
ben kann, und mit einem Relais 20. Liegt nun der vom Druckwächter 14 im
Luftspalt 6 eines der Lager registrierte Druck 15 nicht in einem bestimmten
Bereich, ist der zu diesem Druckwächter gehörige galvanische Schalter 16
nicht geschlossen und die Reihenschaltung wird unterbrochen. Das führt über
die Steuerung 17 der Maschine zur Abgabe akustischer und/oder optischer
Warnsignale 18 und 19 und zur Stillsetzung der Maschine durch das Relais
20.
Durch die Reihenschaltung der galvanischen Schalter mit der Steuerung der
Maschine und den Warneinrichtungen wird ein einfaches System zur Druck
überwachung geschaffen, das es nicht notig macht, an jedem Lager getrennt
aufwendige Einrichtungen zu verwenden, die den Druck im Luftspalt zwi
schen Lagerfläche und Grundplatte auswerten und in entsprechender Weise
darauf reagieren. Vielmehr werden an jedem Lager lediglich einfache Druck
wächter bereitgestellt, durch deren Reihenschaltung gewährleistet wird, daß
schon ein nicht ordnungsgemäß funktionierendes Lager hinreicht, um Warn
meldungen auszugeben und die Maschine stillzusetzen.
In einer alternativen Ausführungsform werden anstelle der Druckwächter
Drucksensoren 21 zur exakten Bestimmung der Flughöhe der Lager verwen
det, die für jedes Lager mit einer Auswerteelektronik versehen sind und über
piezoelektrische Aufnehmer 22 und Spannungswandler 23 mit der Steuerung
17' der Maschine verbunden sind, sowie mit einer Warneinrichtung, die aku
stische und optische Signale 18' und 19' abgeben kann, und mit einem Relais
20' (Fig. 4). Auch hier ist wieder eine Reihenschaltung denkbar, die gewähr
leistet, daß schon die falsche Flughöhe eines der Lager hinreicht, um über die
Steuerung 17' der Maschine die Abgabe akustischer und optischer Warnsi
gnale 18' und 19' auszulösen und die Maschine durch das Relais 20' stillzu
setzen.
Claims (4)
1. Funktionsüberwachung für Luftlager, etwa der Schlittenführung einer
Präzisions-Werkzeugmaschine, wobei jeder Lagerkörper
eine ebene Lagerfläche mit mehreren in der Lagerflächen ausgebildeten und gleichmäßig im Bereich von deren Zentrum verteilten Luftaustrittsöff nungen umfaßt, sowie
von diesen Austrittsöffnungen ausgehende, in der Lagerfläche ausgebil dete, radial nach außen verlaufende Luftverteilungskanäle, die die ausströ mende Luft in Richtung auf den Randbereich des kreisförmigen Lagerkörpers führen,
mehrere kreisförmig in der Lagerfläche ausgebildete und gleichmäßig an deren Rand verteilte Drucktaschen, von denen jeweils mehrere benachbarte mittels zugehöriger Luftverteilungskanäle mit einer gemeinsamen Luf taustrittsöffnung verbunden sind, so daß jede der Luftaustrittsöffnungen die in dem zugehörigen Sektor der Lagerfläche angeordneten Drucktaschen mit Druckluft versorgt, und
an den Lagerkörper angeschlossene Drucküberwachungseinrichtungen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Drucküberwachungseinrichtungen durch eine Meßleitung und eine Bohrung im Lagerkörper, die in einer Öffnung in der Lagerfläche endet, mit dem Luftspalt zwischen der Lagerfläche und der Grundplatte verbunden sind und auf den tatsächlich dort vorhandenen Druck reagieren und
daß die Drucküberwachungseinrichtungen aller Lager in einer Reihen schaltung mit der Steuerung der Maschine und einer akustischen und opti schen Warneinrichtung sowie einem Relais zur Stillsetzung der Maschine verbunden sind.
eine ebene Lagerfläche mit mehreren in der Lagerflächen ausgebildeten und gleichmäßig im Bereich von deren Zentrum verteilten Luftaustrittsöff nungen umfaßt, sowie
von diesen Austrittsöffnungen ausgehende, in der Lagerfläche ausgebil dete, radial nach außen verlaufende Luftverteilungskanäle, die die ausströ mende Luft in Richtung auf den Randbereich des kreisförmigen Lagerkörpers führen,
mehrere kreisförmig in der Lagerfläche ausgebildete und gleichmäßig an deren Rand verteilte Drucktaschen, von denen jeweils mehrere benachbarte mittels zugehöriger Luftverteilungskanäle mit einer gemeinsamen Luf taustrittsöffnung verbunden sind, so daß jede der Luftaustrittsöffnungen die in dem zugehörigen Sektor der Lagerfläche angeordneten Drucktaschen mit Druckluft versorgt, und
an den Lagerkörper angeschlossene Drucküberwachungseinrichtungen, dadurch gekennzeichnet,
daß die Drucküberwachungseinrichtungen durch eine Meßleitung und eine Bohrung im Lagerkörper, die in einer Öffnung in der Lagerfläche endet, mit dem Luftspalt zwischen der Lagerfläche und der Grundplatte verbunden sind und auf den tatsächlich dort vorhandenen Druck reagieren und
daß die Drucküberwachungseinrichtungen aller Lager in einer Reihen schaltung mit der Steuerung der Maschine und einer akustischen und opti schen Warneinrichtung sowie einem Relais zur Stillsetzung der Maschine verbunden sind.
2. Funktionsüberwachung für Luftlager nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß sich die Öffnung der Bohrung, die die Drucküberwa
chungseinrichtungen mit dem Luftspalt zwischen Lagerfläche und Grundplat
te verbindet, vorzugsweise im inneren Drittel der Lagerfläche befindet.
3. Funktionsüberwachung für Luftlager nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es sich bei den Drucküberwachungseinrichtungen um mit
galvanischen Schaltern ausgestattete Druckwächter handelt.
4. Funktionsüberwachung für Luftlager nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß es sich bei den Drucküberwachungseinrichtungen um
Drucksensoren mit Auswerteelektroniken, piezoelektrischen Aufnehmern
und Spannungsverstärkern handelt.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19711710A DE19711710A1 (de) | 1997-03-20 | 1997-03-20 | Funktionsüberwachung für Luftlager |
EP98105036A EP0866233A3 (de) | 1997-03-20 | 1998-03-19 | Vorrichtung zur Funktionsüberwachung und Stillsetzung für eine Luftlager-Schlittenführung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19711710A DE19711710A1 (de) | 1997-03-20 | 1997-03-20 | Funktionsüberwachung für Luftlager |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19711710A1 true DE19711710A1 (de) | 1998-09-24 |
Family
ID=7824063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19711710A Withdrawn DE19711710A1 (de) | 1997-03-20 | 1997-03-20 | Funktionsüberwachung für Luftlager |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0866233A3 (de) |
DE (1) | DE19711710A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10006876C1 (de) * | 2000-02-16 | 2001-06-13 | Brown & Sharpe Gmbh | Verfahren zur Erhöhung der Genauigkeit und Sicherheit eines Koordinatenmessgerätes |
DE20118421U1 (de) | 2001-11-13 | 2002-02-21 | FESTO AG & Co., 73734 Esslingen | Luftlager-Überwachungseinrichtung |
DE102005050108B4 (de) * | 2005-10-18 | 2009-04-09 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Luftlager und Verfahren zur Einstellung eines Lagerspalts |
DE102015106239A1 (de) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Druckluftüberwachung für vorrichtungen mit luftlagern |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008058198A1 (de) | 2008-11-13 | 2010-05-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt |
DE102009041801A1 (de) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Festo Ag & Co. Kg | Luftlagereinrichtung |
EP2807447B1 (de) | 2012-01-26 | 2017-11-08 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3024150C2 (de) * | 1980-03-06 | 1985-05-23 | Makino Milling Machine Co. Ltd., Tokio/Tokyo | Hydrostatisch entlasteter Führungsmechanismus für eine Maschine |
EP0211974A1 (de) * | 1985-04-17 | 1987-03-04 | KLG Kaufbeurer Leiterplattengesellschaft mbH | Lagerkörper für ein Luftkissenlager eines Linearlagers |
DE3338728C2 (de) * | 1982-10-27 | 1990-05-23 | Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1148123B (de) * | 1958-05-08 | 1963-05-02 | Schiess Ag | Einrichtung zur Einstellung der Schmierfilmdicke unter dem gleitend bewegbaren Arbeitstisch einer Werkzeug-maschine, insbesondere unter der Planscheibe einer Karusselldrehbank |
US4653408A (en) * | 1984-09-05 | 1987-03-31 | Citizen Watch Co., Ltd. | Table mechanism for controlling table attitude |
-
1997
- 1997-03-20 DE DE19711710A patent/DE19711710A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-03-19 EP EP98105036A patent/EP0866233A3/de not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3024150C2 (de) * | 1980-03-06 | 1985-05-23 | Makino Milling Machine Co. Ltd., Tokio/Tokyo | Hydrostatisch entlasteter Führungsmechanismus für eine Maschine |
DE3338728C2 (de) * | 1982-10-27 | 1990-05-23 | Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp | |
EP0211974A1 (de) * | 1985-04-17 | 1987-03-04 | KLG Kaufbeurer Leiterplattengesellschaft mbH | Lagerkörper für ein Luftkissenlager eines Linearlagers |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10006876C1 (de) * | 2000-02-16 | 2001-06-13 | Brown & Sharpe Gmbh | Verfahren zur Erhöhung der Genauigkeit und Sicherheit eines Koordinatenmessgerätes |
DE20118421U1 (de) | 2001-11-13 | 2002-02-21 | FESTO AG & Co., 73734 Esslingen | Luftlager-Überwachungseinrichtung |
DE102005050108B4 (de) * | 2005-10-18 | 2009-04-09 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Luftlager und Verfahren zur Einstellung eines Lagerspalts |
DE102015106239A1 (de) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Druckluftüberwachung für vorrichtungen mit luftlagern |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0866233A2 (de) | 1998-09-23 |
EP0866233A3 (de) | 2000-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3810989C2 (de) | ||
EP1759119B1 (de) | Vorrichtung zum erzeugen eines unterdrucks | |
DE102008015732B4 (de) | Luftfederungsanlage sowie Messeinrichtung für eine Luftfeder | |
DE10116614C5 (de) | Automatisierbare Meß-, Reinigungs- und Kalibriereinrichtung für pH-Elektroden oder Elektroden zur Messung von Redoxpotentialen | |
WO2015091319A1 (de) | Sicherheitsventil | |
EP3957432B1 (de) | Spannfutter | |
DE102006019997A1 (de) | Saug- und Saugabschalt-Verbundventil | |
DE102009023168A1 (de) | Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position wenigstens eines Stellglieds eines fluidischen Systems ohne Positionssensor | |
DE19711710A1 (de) | Funktionsüberwachung für Luftlager | |
WO1999020437A1 (de) | Vakuumspannsystem | |
DE1202648B (de) | Trimmeinrichtung fuer ein Gaskissenfahrzeug | |
DE3121579A1 (de) | "messlehre fuer ein raeumlich kompliziert gestaltetes messobjekt, insbesondere fuer eine fahrzeugkarosserie" | |
DE2544809C3 (de) | Einstecklehre zur Messung des Innendurchmessers einer Behälteröffnung | |
EP0639120B1 (de) | Werkzeugmaschine | |
DE102007058251A1 (de) | Vorrichtung zum Ansteuern eines Prozessventils für den Einsatz in der Lebensmitteltechnik | |
EP1843048A2 (de) | Fluidzylinder-Anordnung | |
DE2542177C3 (de) | Hydraulisch-pneumatische Steuervorrichtung zur Steuerung des Mediumflusses bei zahnärztlichen Handstücken | |
DE19727158C2 (de) | Steuervorrichtung | |
EP0211974B1 (de) | Lagerkörper für ein Luftkissenlager eines Linearlagers | |
DE8611650U1 (de) | Pneumatische Hubvorrichtung für Flugzeuge mit einem Flugzeughebekissen und einem Steuerpult | |
DE102009057198B3 (de) | Schnellspanneinheit | |
CH664224A5 (de) | Druckmess- und regelgeraet. | |
DE4232630A1 (de) | Meßvorrichtung | |
DE102004025159B4 (de) | Fahrzeug, insbesondere Schwerstlastfahrzeug | |
DE19826258C2 (de) | Druckverstärker |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: KLINGELNBERG SOEHNE LEITERPLATTENTECHNIK GMBH, ZWE |
|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |