DE102015106239A1 - Druckluftüberwachung für vorrichtungen mit luftlagern - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit mindestens einem Luftlager (12) und einer Druckluftversorgungseinheit (20), die das Luftlager mit Druckluft versorgt, wobei die Druckluftversorgungseinheit (20) mindestens einen Sensor (26) für die Luftfeuchte der Druckluft aufweist. Außerdem betrifft die Erfindung ein entsprechendes Betriebsverfahren zum Betrieb der Vorrichtung.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit mindestens einem Luftlager, bei welchem zwei vorzugsweise zueinander bewegliche Bauteile mittels eines durch Druckluft erzeugten Druckluftpolsters im einem Abstand zueinander gelagert sind, sowie eine Druckluftversorgungseinheit für mindestens ein Luftlager. Außerdem betrifft die vorliegende Erfindung ein Betriebsverfahren zum Betrieb des Luftlagers und/oder der Druckluftversorgungseinheit bzw. einer Vorrichtung, die diese Komponenten umfasst.
  • STAND DER TECHNIK
  • Luftlager werden in vielfältiger Weise bei verschiedenen Geräten eingesetzt, die eine präzise und störungsfreie Lagerung von Bauteilen zueinander und/oder eine definierte Bewegung der Bauteile zueinander erfordern. Die stationären oder dynamischen Luftlager werden zur Bildung des Druckluftpolsters im Spalt zwischen den gelagerten Bauteilen mit Druckluft versorgt (aerostatische Luftlager).
  • Beispielsweise kommen Luftlager bei Computertomographen oder Koordinatenmessgeräten zum Einsatz, bei welchen über optische und/oder taktile Sensor (Kontaktsensoren) Koordinaten eines zu vermessenden Werkstücks bestimmt werden können. Ein Beispiel für ein derartiges Koordinatenmessgerät ist in der deutschen Offenlegungsschrift DE 10 229 823 A1 beschrieben.
  • Bei derartigen Vorrichtungen mit Luftlagern kann es passieren, dass Wasser aus der Druckluft in das Luftlager gelangt bzw. sich Kondenswasser im Luftlager bildet und dort Ventile oder Einsätze verschließt oder durch Korrosion beschädigt.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • AUFGABE DER ERFINDUNG
  • Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung mit mindestens einem Luftlager und einer Druckluftversorgungseinheit bereitzustellen, bei denen die Nachteile des Standes der Technik vermieden bzw. zumindest vermindert sind und insbesondere das Eindringen von Wasser bzw. die Bildung von Kondenswasser in Luftlagern wirksam verhindert werden kann. Darüber hinaus soll er eine entsprechende Vorrichtung bzw. Druckluftversorgungseinheit einfach aufgebaut und einfach bedienbar sein, sowie einen zuverlässigen Betrieb gewährleisten.
  • TECHNISCHE LÖSUNG
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 11. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
  • Die Erfindung schlägt vor in der Druckluftversorgungseinheit mindestens einen Feuchtesensor vorzusehen, mit dem Messdaten über die Feuchtigkeit der verwendeten Druckluft erfasst werden können. Auf Basis der erfassten Feuchtigkeitswerte der Druckluft können dann entsprechende Vorsorgemaßnahmen eingeleitet und/oder der Betrieb der Vorrichtung bzw. des Luftlagers und der Druckluftversorgungseinheit angepasst werden.
  • Hierzu kann im einfachsten Fall mittels des Feuchtesensors die relative Luftfeuchtigkeit der verwendeten Druckluft bestimmt werden, sodass unter Berücksichtigung der üblichen, vorgegebenen Betriebsparameter für die Temperatur der Druckluft und/oder den Druck der Druckluft bestimmt werden kann, ob die Gefahr einer Kondenswasserbildung gegeben ist, also die Überschreitung des Taupunkts zu befürchten ist, oder die zugeführte Druckluft bereits von Hause aus einen bestimmten Grenzwert bezüglich der enthaltenen Feuchtigkeit überschreitet. Wird beispielsweise von einer Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung der Vorrichtung oder einer Steuerungs- und/oder Regelungseinheit der Druckluftversorgungseinheit, die jeweils als entsprechend programmtechnisch eingerichtete Datenverarbeitungsanlagen ausgebildet sein können, festgestellt, dass die Feuchtigkeit der zugeführten Druckluft zu hoch ist und/oder die Gefahr besteht, dass es in der Vorrichtung bzw. dem Luftlager zur Kondenswasserbildung kommt, kann automatisiert eine Abschaltung der Vorrichtung und/oder der Druckluftversorgung erfolgen und/oder es können akustische und/oder optische Warnhinweise ausgegeben werden.
  • Entsprechend kann der Feuchtesensor sowohl direkt am Eingang der Druckluftversorgungseinheit, also vor dem Durchlaufen der Druckluft durch eine Wartungseinheit, die die Druckluft für den Betrieb des Luftlagers aufbereitet, oder nachfolgend der Wartungseinheit vorgesehen sein. Bei einer Anordnung vor der Wartungseinheit kann bereits die extern bereitgestellte Druckluft bezüglich ihrer Feuchtigkeit überwacht werden, während bei einer nachgeschalteten Anordnung des Feuchtesensors bestimmt werden kann, ob die Wartungseinheit, die beispielsweise einen Feuchtigkeitsabscheider aufweisen kann, korrekt arbeitet. Darüber hinaus ist es selbstverständlich auch möglich, beide Varianten zu kombinieren, also sowohl einen Feuchtesensor vor der Wartungseinheit und nach der Wartungseinheit vorzusehen.
  • Um nicht nur die relative Luftfeuchtigkeit für die Überwachung heranzuziehen oder um für die Bestimmung, ob die Gefahr einer Kondenswasserbildung gegeben ist oder nicht, nicht auf vorgegebene, zu erwartende Parameter für Druck und/oder Temperatur zurückgreifen zu müssen, wie bei der oben geschilderten Ausführungsform, können zusätzliche Sensoren für Druck und/oder Temperatur in der Druckluftversorgungseinheit vorgesehen werden. Entsprechend kann dann die absolute Luftfeuchtigkeit bestimmt werden und als Grundlage für den Betrieb der Vorrichtung und/oder des Luftlagers herangezogen werden.
  • Der Feuchtesensor für die Bestimmung der Luftfeuchtigkeit und/oder der Drucksensor und/oder der Temperatursensor können jeweils als Halbleitersensoren gebildet sein, die beispielsweise auf Basis der CMOS-Technik (Complementary Metal Oxide Semiconductor CMOS) hergestellt sein können. Die Sensoren können als separate Sensoren oder als kombinierter Sensor für zwei oder mehr der Messfunktionen für Druck, Temperatur und Luftfeuchte ausgebildet sein.
  • Die Druckluftversorgungseinheit kann mindestens ein Druckregelventil zur Einstellung eines gewünschten Betriebsdrucks aufweisen und/oder einen Druckluftverteiler umfassen, der die Druckluft beispielsweise auf verschiedene Luftlager verteilt.
  • Darüber hinaus kann die Druckluftversorgungseinheit mindestens einen Luftentfeuchter aufweisen, mit dem die Luft auf ein bestimmtes Niveau der Luftfeuchtigkeit getrocknet werden kann. Darüber hinaus können in der Druckluftversorgungseinheit weitere Bestandteile, wie Filter oder Öler zur Versorgung der beweglichen Komponenten mit Schmieröl vorgesehen sein.
  • Darüber hinaus kann die Druckluftversorgungseinheit mindestens einen Aktuator umfassen, mit dessen Hilfe der Betrieb der Druckluftversorgungseinheit und/oder des Luftlagers beeinflusst werden kann, wenn festgestellt wird, dass die bereitgestellte Druckluft einen zu hohen Gehalt an Luftfeuchte aufweist und/oder die Gefahr einer Kondenswasserbildung besteht. Der Aktuator kann beispielsweise ein Absperrventil zum Absperren der Druckluftleitung sowie einen Druckluftableiter umfassen, mit dem die Druckluft, statt in das Luftlager geleitet zu werden, abgelassen werden kann. Darüber hinaus kann die Druckluftversorgungseinheit mindestens eine Warneinrichtung umfassen, die auf überschrittene Grenzwerte hinsichtlich der Luftfeuchtigkeit und/oder die Gefahr einer Kondenswasserbildung durch optische und/oder akustische Signale hinweisen kann.
  • Entsprechend kann, wie bereits oben angedeutet, eine Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung für den Betrieb der Vorrichtung, wie z.B. eines Koordinatenmessgeräts, und/oder des Luftlagers vorgesehen sein, die mit einer Steuerungs- und/oder Regelungseinheit zum Steuern und/oder Regeln der Druckluftversorgungseinheit zusammenwirkt oder diese umfasst, um einerseits die Messdaten des oder der Sensoren zu erhalten und auszuwerten und andererseits die entsprechenden Komponenten der Druckluftversorgungseinheit und/oder des Luftlagers zu steuern.
  • Die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung bzw. -einheit kann einen Speicher zur Speicherung erfasster und/oder ausgewerteter Daten aufweisen, um mit diesen Daten die Betriebshistorie ermitteln zu können, falls ein Fehler oder eine Schädigung der Vorrichtung auftritt.
  • KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in
  • 1 eine Darstellung eines Koordinatenmessgeräts,
  • 2 eine Schnittdarstellung eines Luftlagers des Koordinatenmessgeräts aus 1 im Detail,
  • 3 eine Darstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Druckluftversorgungseinheit mit einem Luftlager,
  • 4 eine Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Druckluftversorgungseinheit mit einem Luftlager und in
  • 5 eine Darstellung einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Druckluftversorgungseinheit mit einem Luftlager.
  • AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der folgenden Erfindung werden bei der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele deutlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt.
  • Die 1 zeigt ein Koordinatenmessgerät 1, bei welchem die vorliegende Erfindung eingesetzt werden kann. Das Koordinatenmessgerät 1 umfasst eine Trägerstruktur mit einem verfahrbaren Portalträger 2, in welchem wiederum verfahrbar ein Schlitten 3 aufgenommen ist, an welchem ein Messsystem 5 in einer vertikal verfahrbaren Aufnahme 8 angeordnet ist. Das Messsystem 5 kann mindestens einen optischen und/oder mindestens einen taktilen Sensor aufweisen, mit welchem ein zu vermessendes Objekts 9 erfasst werden kann. Bei einem optischen Sensor kann dies berührungslos erfolgen, während mit einem taktilen Sensor die Dimensionen und/oder Form des zu vermessenden Objekts 9 durch entsprechenden Kontakt mit dem zu vermessenden Objekt 9 erzielt wird.
  • Der Portalträger 2 ist entlang einer Schienenanordnung mit Schienen 4 verfahrbar, wobei die Längserstreckung der Schienen 4 der X-Richtung entspricht, sodass das Messsystem 5 durch ein Verfahren des Portalträgers 2 entlang der Schienen 4 in X-Richtung verstellt werden kann. Der Schlitten 3 kann in dem Portalträger 2 in einer Richtung quer zur X-Richtung, nämlich der Y-Richtung verfahren werden, wobei zusätzlich eine Bewegung des Messsystems 5 mit der vertikal im Schlitten 3 verfahrbaren Aufnahme 8 senkrecht zu der durch die X- und Y-Richtung aufgespannten Ebene möglich ist, sodass das Messsystem 5 entlang der Koordinatenachsen X, Y und Z an jeden beliebigen Punkt im vom Koordinatenmessgerät 1 definierten Messraum bewegt werden kann.
  • Die Lagerung und Führung der beweglichen Komponenten der Trägerstruktur, also des Portalträgers 2 sowie des Schlittens 3 und der Aufnahme 8 des Messsystems 5 ist zumindest teilweise durch Luftlager realisiert, bei denen zwischen zwei beweglichen Bauteilen durch Druckluft ein Spalt mit einem Druckluftpolster erzeugt wird.
  • Dies ist beispielhaft für die Luftlageranordnung 10 in 2 gezeigt, mittels der die Säulen 6 des Portalträgers 2 in den Schienen 4 verfahrbar angeordnet sind.
  • Der Schlitten 3 kann entsprechend mit Luftlageranordnungen entlang der Längsbalken des Portalträgers 2 verfahrbar angeordnet sein und die Aufnahme 8 kann entsprechend mit Luftlageranordnungen verfahrbar im Schlitten 3 angeordnet sein. Die Darstellung der 2 mit der Luftlageranordnung 10 ist deshalb rein exemplarisch zu betrachten.
  • Die Luftlageranordnung 10 ist in der Schiene 4 ausgebildet, um ein an einer Säule 6 des Portalträgers 2 ausgebildetes Führungselement 11 mittels eines Luftpolsters beabstandet zu den Schienen 4 zu halten und zu führen.
  • Die Luftlageranordnung 10 kann eine Vielzahl von Luftlagern 12 umfassen, wobei jedes Luftlager ein oder mehrere Luftdüsen umfassen kann, mittels denen die Druckluft zur Erzeugung des Luftspalts 13 zwischen Schiene 4 und Führungselement 11 in den Zwischenraum zwischen Schiene 4 und Führungselement 11 gepresst wird.
  • Hierzu kann jede Luftdüse 7 eine eigene Druckluftversorgungseinheit aufweisen oder mehrere Luftdüsen 7 können an einer Druckluftversorgungseinheit angeordnet sein.
  • Die 3 zeigt eine erste Ausführungsform einer Druckluftversorgungseinheit 20 gemäß der Erfindung. Die Druckluftversorgungseinheit 20 dient zur Versorgung des Luftlagers 12 mit Druckluft, wobei die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 im gezeigten Ausführungsbeispiel sowohl zur Steuerung und/oder Regelung des Luftlagers 12 als auch der Druckversorgungseinheit 20 dient. Alternativ sind auch separate Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtungen bzw. -einheiten möglich.
  • Die Druckluftversorgungseinheit 20 umfasst eine sogenannte Wartungseinheit 21, wie sie üblicherweise zur Aufbereitung von Druckluft von einer nicht gezeigten, externen Druckluftversorgung bereitgestellt wird. Eine derartige Wartungseinheit 21 weist gemäß dem gezeigten Ausführungsbeispiel einen kombinierten Filter mit Abscheider 22, ein Druckreduzierventil 23, ein Manometer 24 und einen sogenannten Öler 25 auf, der zum automatischen Ölen der entsprechenden Komponenten dient.
  • Darüber hinaus umfasst die Druckluftversorgungseinheit 20 erfindungsgemäß einen Feuchtesensor 26, der die Luftfeuchte in der Druckluftleitung zwischen der Wartungseinheit 21 und dem Luftlager 12 ermittelt und beispielsweise zur Überprüfung der Einheit mit kombinierten Filter und Abscheider 22, die eine Entfeuchtung der bereitgestellten Druckluft bewirken soll, dienen kann.
  • Darüber hinaus ist weiterhin in der Druckluftleitung 30 zwischen der Wartungseinheit 21 und dem Luftlager 12 ein Aktuator 27 vorgesehen, der beispielsweise durch ein Ablassventil gebildet sein kann, mit dem die Druckluftleitung zwischen der Wartungseinheit 21 und dem Luftlager 12 gesperrt werden kann und die von der Druckluftversorgung bereitgestellte Druckluft über den Ablass 31 abgelassen kann. Entsprechend der Aufgabe zur Steuerung und/oder Regelung des Betriebs des Luftlagers 12 und der Druckluftversorgungseinheit 20 ist die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 mit entsprechenden Signal- und Datenleitungen sowohl mit der Wartungseinheit 21 als auch mit dem Luftlager 12 und dem Feuchtesensor 26 sowie dem Aktuator 27 verbunden.
  • Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel kann beispielsweise die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15, die beispielsweise durch ein programmtechnisch eingerichtete Datenverarbeitungsanlage realisiert sein kann, so ausgebildet sein, dass bei Erfassung eines zu hohen, über einem Grenzwert liegenden Luftfeuchtewerts durch den Feuchtesensor 26 der Aktuator 27 ein Verschließen der Druckluftleitung 30 und ein Ablassen der bereitgestellten Druckluft über den Ablass 31 bewirkt. Dadurch kann das Luftlager 12 vor der Zufuhr von zu feuchter Luft geschützt werden.
  • In diesem Zusammenhang kann in einem Speicher (nicht gezeigt) der Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 ein vorgegebener Wert bzw. Wertebereich für übliche Betriebstemperaturen gespeichert sein, sodass mit den durch das Manometer 24 ermittelten Druckwerten und den Feuchtigkeitswerten von dem Feuchtesensor 26 durch die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 bzw. ihrer nicht separat gezeigten Auswerteeinheit bestimmt werden kann, ob die Gefahr besteht, dass der Taupunkt erreicht wird, sodass Kondenswasserbildung im Luftlager 12 zu befürchten ist. In diesem Fall kann dann die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 den Betrieb des Luftlagers 12 stoppen und/oder die Druckluftleitung 30 durch den Aktuator 27 verschließen.
  • Darüber hinaus kann die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung über eine ebenfalls nicht näher dargestellte optische und/oder akustische Signalanlage ein Warnsignal ausgeben, sodass das Bedienpersonal Maßnahmen zum Schutz des Luftlagers 12 und der entsprechenden Vorrichtung, wie ein Koordinatenmessgerät, treffen kann.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel der 3 ist der Feuchtesensor 26 in der Druckluftleitung 30 zwischen der Wartungseinheit 21 und dem Luftlager 12 angeordnet. Allerdings kann der Feuchtesensor 26 auch zusätzlich oder alternativ vor der Wartungseinheit (bezogen auf die Flussrichtung der Druckluft) angeordnet sein, um bereits vor dem Filtern und Entfeuchten durch die kombinierte Einheit aus Filter und Abscheider 22 zu ermitteln, ob die bereitgestellte Druckluft den Anforderungen an die gewünschte Feuchtigkeit entspricht. Mit entsprechend übermittelten Messwerten eines Feuchtesensors, der vor der Wartungseinheit 21 angeordnet ist, kann die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 ebenfalls den Betrieb des Luftlagers und der Druckluftversorgungseinheit bzw. insbesondere des Aktuators 27 in Abhängigkeit von den ermittelten Feuchtewerten steuern.
  • Wenn zur Ermittlung des Taupunkts und einer möglichen Gefahr einer Kondenswasserbildung im Luftlager 12 oder einer Zuleitung dorthin nicht auf eine zu erwartende Betriebstemperatur zurückgegriffen werden soll, kann zusätzlich ein Temperatursensor 28 vorgesehen sein, der die Temperatur der Druckluft in der Druckluftleitung 30 bestimmen kann. Mit den ermittelten Werten der Temperatur der Druckluft und der Feuchtigkeit der Druckluft kann dann die Auswerteeinheit der Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 wiederum bestimmen, ob die Gefahr einer Kondenswasserbildung gegeben ist oder nicht.
  • Der Feuchtesensor 26 und der Temperatursensor 28 können gemäß der Erfindung in einer Baueinheit 29 vorgesehen sein und zwar insbesondere in einer Baueinheit 29, die die Sensoren als Halbleitersensoren, die in CMOS-Technik gefertigt sind, enthält. Eine derartige Baueinheit 29 kann mit üblichen Schnittstellen an der Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 angebunden werden, wie beispielsweise mittels eines i2C-Bussystems. Eine entsprechende Baueinheit 29 aus Feuchtesensor 26 und Temperatursensor 28 kann in der Druckluftleitung 30 auch entsprechend nachgerüstet werden. Hierzu muss lediglich ein Leitungsabschnitt mit der entsprechenden Baueinheit 29 aus Feuchtesensor 26 und Temperatursensor 28 versehen werden oder ein entsprechender Leitungsabschnitt muss mit einem Leitungsabschnitt getauscht werden, in dem eine entsprechende Baueinheit 29 angeordnet ist.
  • Die 5 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Druckluftversorgungseinheit 20b mit einer gegenüber der Druckluftversorgungseinheiten 20 und 20a der 3 und 4 unterschiedlichen Wartungseinheit 21a. In der Wartungseinheit 21a sind gemäß dem Ausführungsbeispiel der 5 ein separater Filter 22a und ein separater Abscheider 22b zur Luftentfeuchtung vorgesehen, die die kombinierte Einheit aus Filter und Abscheider 22 in der Wartungseinheit 21 ersetzen. Darüber hinaus umfasst die Wartungseinheit 21a der Druckluftversorgungseinheit 20b ebenfalls ein Druckluftregelungsventil 23. Bei der Wartungseinheit 21a ist im Gegensatz zur Wartungseinheit 21 der Ausführungsformen der 3 und 4 auf einen Öler 25 verzichtet worden. Darüber hinaus unterscheidet sich die Ausführungsform der 5 dahingehend von den beiden vorangegangenen Ausführungsformen, dass das Manometer 24 nicht mehr in der Wartungseinheit 21a angeordnet ist, sondern als Drucksensor 24a in der Baueinheit 29a, die neben dem Drucksensor 24a weiterhin einen Feuchtigkeitssensor 26 und einen Temperatursensor 28 umfasst. Diese Sensoren können insgesamt als Halbleitersensoren ausgebildet sein, die in CMOS-Technik in der Baueinheit 29a gefertigt sind.
  • Darüber hinaus ist die Wirkungsweise der Ausführungsform der 5 sowie der 4 ähnlich der Ausführungsform der 3, sodass die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 aus den erfassten Werten für Luftfeuchte, Lufttemperatur und Druck bestimmt, ob die Gefahr einer Kondenswasserbildung im Luftlager 12 besteht, sodass bei Bedarf der Betrieb des Luftlagers 12 und/oder der Druckluftversorgungseinheit 20, 20a, 20b entsprechend angepasst werden kann bzw. entsprechende Schutzmaßnahmen oder Warnhinweise veranlasst werden können.
  • Darüber hinaus können einzelne Messwerte oder sämtliche Messwerte stichprobenartig oder vollständig in einem nicht dargestellten Speicher der Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung 15 gespeichert werden, um feststellen zu können, wie die Druckluftversorgungseinheit 20, 20a, 20b bzw. das Luftlager 12 betrieben worden sind, um bei einem Auftreten von Schäden wirksam die Schadensursache feststellen zu können.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern das vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen der Merkmale vorgenommen werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Die vorliegende Offenbarung schließt sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale mit ein.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Koordinatenmessgerät
    2
    Portalträger
    3
    Schlitten
    4
    Schiene
    5
    Messsystem
    6
    Säule
    7
    Luftdüse
    8
    Aufnahme
    9
    Objekt
    10
    Luftlageranordnung
    11
    Führungselement
    12
    Luftlager
    13
    Luftspalt
    15
    Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung
    20, 20a, 20b
    Druckluftversorgungseinheit
    21
    Wartungseinheit
    22
    kombinierte Einheit von Filter und Abscheider
    23
    Druckregelventil
    24
    Manometer
    24a
    Drucksensor
    25
    Öler
    26
    Feuchtesensor
    27
    Aktuator
    28
    Temperatursensor
    29, 29a
    Baueinheit
    30
    Druckluftleitung
    31
    Ablass
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 10229823 A1 [0003]

Claims (14)

  1. Vorrichtung mit mindestens einem Luftlager (12) und einer Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b), die das Luftlager mit Druckluft versorgt, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckluftversorgungseinheit mindestens einen Sensor (26) für die Luftfeuchte der Druckluft aufweist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b) mindestens einen Sensor für den Druck (24, 24a) und/oder die Temperatur (28) aufweist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (24, 24a, 26, 28) ein Halbleitersensor, insbesondere auf Basis der CMOS-Technik ist.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass separate Sensoren (24, 24a, 26, 28) für Druck, Temperatur und Luftfeuchte oder mindestens ein kombinierter Sensor (29, 29a) für zwei oder mehr der Messfunktionen für Druck, Temperatur und Luftfeuchte vorgesehen sind.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b) mindestens ein Druckregelventil (23) und/oder einen Druckluftverteiler umfasst.
  6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b) mindestens einen Luftentfeuchter (22, 22b) umfasst.
  7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckluftversorgungseinheit mindestens einen Aktuator (27), insbesondere mit Druckluftableiter (31) und/oder mindestens eine Warneinrichtung umfassen.
  8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung (15) zur Steuerung und/oder Regelung des Betriebs der Vorrichtung umfasst, welche eine Steuerungs- und/oder Regelungseinheit zur Steuerung und/oder Regelung der Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b) umfasst oder mit dieser zusammenwirkt, wobei die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung und/oder die Steuerungs- und/oder Regelungseinheit Messdaten des mindestens einen Sensors erhalten und auswerten.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung (15) und/oder die Steuerungs- und/oder Regelungseinheit einen Speicher zur Speicherung erfasster und/oder ausgewerteter Daten umfasst.
  10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ein Koordinatenmessgerät (1) oder ein Computertomograph ist.
  11. Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einer Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b) und einem Luftlager (12), bei welchem für den Betrieb der Druckluftversorgungseinheit (20, 20a, 20b) und/oder des Luftlagers (12) die relative Luftfeuchtigkeit bestimmt wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass für einen vorgegebenen oder gemessenen Luftdruck und eine vorgegebene oder gemessene Temperatur die absolute Luftfeuchtigkeit bestimmt wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass bei Überschreiten eines bestimmten Schwellwerts der Luftfeuchtigkeit der Betrieb der Vorrichtung gestoppt wird und/oder ein Warnsignal ausgegeben wird und/oder die Druckluft vor dem Einleiten in das Luftlager (12) abgeblasen wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass ermittelte Werte für Luftfeuchtigkeit und/oder Temperatur und/oder Druck gespeichert werden.
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