DE19627056A1

DE19627056A1 - Vektor-basierte Wellenformgewinnung und -wiedergabe

Info

Publication number: DE19627056A1
Application number: DE19627056A
Authority: DE
Inventors: Peter F Ullmann
Original assignee: Schlumberger Technologies Inc
Current assignee: Schlumberger Technologies Inc
Priority date: 1995-07-17
Filing date: 1996-07-05
Publication date: 1997-01-23
Also published as: JPH09101353A; US5731984A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Verfahren für die Gewinnung und Vorbereitung der Wiedergabe von Wellenforminformation unter Bezugnahme auf sequentielle Vektoren.

Die Fehlerbehebung bei hochintegrierten Schaltkreisen (VLSI) ist ein wichtiges Konstruktionselement. Das Sondieren interner Knoten von integrierten Schaltkreisen ist ein signifikanter Teil dieses Pro zesses. Systeme sind bekannt für das Gewinnen von Wellenformen an Lei tern eines Prüflings (Device Under Test = DUT) durch Kontaktsondieren oder Nicht-Kontaktsondieren mit mechanischen Sonden, Elektronenstrahl sonden, fokussierten Ionenstrahlsonden usw. Während diese Systeme ohne weiteres die Wellenform auf einem Leiter gewinnen können, ist es schwie rig und zeitaufwendig, ein spezifisches Wellenformsegment mit einem er warteten Ereignis zu korrelieren. Warum? Die Wellenform wird gewonnen und wiedergegeben mit der Meßeinrichtung, die in der Zeitdomäne arbei tet. Die Wellenform wird als ein Signal mit Amplitude über der Zeit be handelt unter Bezugnahme auf irgend einen willkürlichen Trigger. Im Ge gensatz dazu werden die Konstruktion, der Test und die Analyse von digi talen Schaltkreisen in einer Domäne ausgeführt, die nicht auf der Zeit basiert, sondern auf Vektorsequenzen. Eine Sequenz von Vektoren, ange legt an den DUT zum Erzeugen der Wellenform und die Simulationen, die verwendet werden zum Erzeugen der erwarteten Ereignisinformation, basie ren auf Spannung oder Logik-Pegel über der Vektorzahl. Die Feststellung, welches Segment einer gewonnenen Wellenform welchem angelegten Vektor und welcher erwarteten Ereignisinformation entspricht, hat bis jetzt langwierigen manuellen Vergleich der Ereignisse in der zeit-basierten Wellenform mit Vektorsequenzen und Simulationsdaten erfordert.

Ein konventionelles analoges Oszilloskop triggert die Wellen formgewinnung entweder von einem intern erzeugten Triggerimpuls oder von einem einzelnen externen Impuls. Dieser Impuls kann irgendein Impuls in der Zeit sein. Das Oszilloskop hat keine Referenz bezüglich des Ur sprungs des Impulses. Die Wellenform wird in Realzeit eingefangen und wiedergegeben, bezogen auf den Trigger. Ein digitales Abtastoszilloskop arbeitet im wesentlichen in derselben Weise, mit der Ausnahme, daß jeder Abtastwert der Wellenform eingefangen und wiedergegeben wird mit einer entsprechenden Verzögerung gegenüber dem Trigger.

Ein Logik-Analysator wird von einem einzelnen externen Impuls getriggert und kann außerdem getriggert werden immer dann, wenn ein bestimmtes gemessenes Ereignis festgestellt wird. Interne Abtastung wird beherrscht von einem freilaufenden Taktsignal innerhalb des Instruments, so daß ein Abtastwert der Wellenform bei jedem Impuls des Taktsignals gewonnen wird. Externe Abtastung beruht auf der Synchronisation des Ab tastwertes, gesammelt mit einem Offset eines erfaßten externen Taktsig nals. Das externe Taktsignal kann von der Komponente abgeleitet werden, deren Wellenform gemessen wird.

Keines dieser Systeme bietet dem Benutzer eine einfache und intuitive Wiedergabe von Wellenformen, relativ zu den Vektoren einer Vektorsequenz, die an den Prüfling angelegt wird.

Die Erfindung bietet Verfahren für das Gewinnen und Vorberei ten von Wiedergaben von Wellenformen, gewonnen aus einem Prüfling, bei denen die Wellenformen in Segmente unterteilt werden entsprechend je weils Vektoren eines Vektormusters, das an den Prüfling wiederholt ange legt wird. Wellenformsegmente werden relativ zu Vektorzahlen des Musters wiedergegeben zum Vereinfachen des Vergleichs von Stimulus und Reaktion, Fehlerentfernung und anderen Aufgaben. Die Beziehung des Vektormusters ist bekannt relativ zu einem Trigger, der einmal pro Wiederholung des Musters auftritt, und Vektoren des Musters werden synchronisiert mit einem Taktsignal (beispielsweise einem "Vektortakt"). Die Beziehung der Wellenform in der Zeitdomäne zu dem Trigger ist bekannt. Unter Berück sichtigung dieser Beziehungen und Systemverzögerungen wird jedes gewon nene Wellenformsegment einer Vektor-Start-Marke zugeordnet sowie der entsprechenden Vektorzahl, wenn sie gewonnen wird. Wellenformwiedergaben werden vorbereitet, welche die Wellenformsegmente entsprechend den Vek torzahlen, ausgewählt vom Benutzer aus einem Vektorzahlenbereich, zeigen.

Diese und andere Merkmale der Erfindung werden mehr ins ein zelne gehend nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeich nungsfiguren offenbart.

Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm eines Elektronenstrahl-Testson densystems 10;

Fig. 2 zeigt ein Funktionsblockdiagramm von Teilen eines Elek tronenstrahl-Sondensystems, konfiguriert für die Gewinnung von Wellen formbildern eines Prüflings;

Fig. 3 zeigt ein gewonnenes Wellenformsegment, wiedergegeben als Amplitude über der Vektorzahl entsprechend der Erfindung;

Fig. 4 zeigt die Beziehung für das Beispiel der Fig. 3 zwi schen dem Vektortakt der Testeinrichtung, dem Einmal-pro-Muster-Wieder holungstriggersignal und der Wellenform, gewonnen von einem Netzwerk des Prüflings;

Fig. 5 illustriert die Systemverzögerung;

Fig. 6 zeigt ein Beispiel der Beziehung des Vektortakt-Signals und des Triggersignals zu den Vektoren;

Fig. 7-11 zeigen ein Betriebsverfahren gemäß der Erfindung;

Fig. 12 zeigt eine Eichpultwiedergabe gemäß der Erfindung;

Fig. 13 zeigt eine Eichwiedergabe gemäß der Erfindung;

Fig. 14 zeigt ein Beispiel der Gewinnung von Wellenformdaten gemäß der Erfindung;

Fig. 15 zeigt ein Beispiel einer Wellenformwiedergabe, bei der Wellenformen, gewonnen aus multiplen Netzen, gemaß der Erfindung wieder gegeben werden;

Fig. 16 zeigt ein Beispiel multipler Wellenformen, wiederge geben gemäß der Erfindung, mit sichtbaren Wiederholungsvektoren;

Fig. 17 zeigt ein Beispiel einer Wiedergabe gemäß der Erfin dung mit zwei Unterteilungen pro Vektor;

Fig. 18 zeigt ein Beispiel einer Wiedergabe gemäß der Erfin dung mit einer Unterteilung pro Vektor;

Fig. 19 zeigt ein Beispiel einer Wiedergabe gemäß der Erfin dung mit zwei Vektoren pro Teilung; und

Fig. 20A und 20B zeigen ein Beispiel eines Testmusters mit einer Vektorschleife.

Mit irgend einem geeigneten Sondensystem gewonnene Wellenfor men können für die Wiedergabe gemäß der vorliegenden Erfindung bearbei tet werden, wie solche, die mit mechanischen Elektronenstrahl-, Ionen strahl-, Laserstrahl- und anderen Sondensystemen gewonnen wurden. Um das Verständnis der Erfindung zu fördern, wird zunächst eine konventionelle Wellenformgewinnung mit einem Elektronenstrahlsystem nach dem Stand der Technik unter Bezugnahme auf Fig. 1 und 2 betrachtet.

Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm eines Elektronenstrahl-Test sondensystems 10 mit drei funktionellen Elementen: Elektronenstrahlsonde 12, Schaltungserreger 14 und Datenverarbeitungssystem 16 mit einem Pro zessor P, Speicher M, Datenspeicher D und Wiedergabeendgerät 18. Der Schaltungserreger 14 kann ein konventioneller Tester für integrierte Schaltkreise sein, wie das Modell "ITS 9000FX", erhältlich von Schlum berger Technologies in San Jose, Kalifornien, welcher wiederholt ein Muster von Testvektoren an einen Prüfling 20 über einen Bus 24 anlegen kann. Ein Vektortaktsignal (V-Takt) kann ebenfalls dem Prüfling 20 über eine Leitung 26, wie dargestellt, oder über den Bus 24 zugeführt werden. Das Vektormuster ist eine Sequenz von Vektoren (beispielsweise Ereignis perioden), die synchron sind mit dem V-Takt-Signal und die identifiziert werden durch sequentielle Vektornummern. Ein Vektor kann eine Periode gleich einer oder mehreren V-Taktperioden haben. Obwohl die Anzahl von V-Taktimpulsen pro Vektor normalerweise innerhalb eines Vektormusters konstant ist, kann die Periode sich von Vektor zu Vektor ändern, wenn dies erwünscht ist. Der Tester 14 liefert ein Triggersignal an die Test sonde 12 mit jeder Wiederholung des Musters, beispielsweise über einen Bus 28, um den Beginn des Musters anzuzeigen.

Die Elektronenstrahlsonde 12 gewinnt Potentialmessungen vom Prüfling 20 unter Steuerung des Datenverarbeitungssystems 16 über Bus 22. Das Datenverarbeitungssystem 16 kann verwendet werden, um den Tester mit einem Programm zu laden, das das Muster der Testvektoren definiert, und um die Zeitlage der Sondenpotentialmessungen relativ zu dem Muster zu steuern. Der Benutzer kommuniziert mit dem Datenverarbeitungssystem über eine Eingabeeinheit 30, wie eine Tastatur oder eine Maus. Bei der konventionellen Wellenformgewinnung gibt das Datenverarbeitungssystem 16 in einem Fenster des Endgerätes 18 ein oszilloskopartiges Abbild 32 wieder, das die gewonnene Wellenform in der Zeitdomäne zeigt (Amplitude oder Logikpegel über der Zeit), beginnend zu einer Zeit nach dem Trigger.

Elektronenstrahlsonden sind typischerweise mit Hochgeschwin digkeits-Strahlimpuls-Hardware ausgestattet, wie einem Strahlunter drücker. Ein gepulster Elektronenstrahl, gerichtet auf einen inter essierenden Leiter, ermöglicht eine Messung ganz ähnlich einem Abtast- Oszilloskop. Die gewonnene Wellenformabbildung kann qualitativ sein (beispielsweise Logikzustandsmappen für die Fehlerbehebung bei digitalen Schaltkreisen) oder mit einem Sekundärelektronen-Energieanalysator quan titativ (beispielsweise Analog-Signalwellenformen). Für jeden Punkt der Wellenformabbildung erfolgt eine Messung durch pulsierenlassen des Elek tronenstrahls zu einem bestimmten Zeitpunkt während der Anlegung der Testvektormuster an den zu erprobenden Schaltkreis. Da die Zeit, die erforderlich ist, um eine Potentialmessung auszuführen, generell länger ist als die Zeit, über die das Testsignalmuster konstant bleibt, werden stroboskopartige Techniken angewandt. Immer dann, wenn der Elektronen strahl pulsiert, erfolgt eine Messung von Potential auf einem Leiter des Prüflings. Eine einzelne Messung hat unzureichende statistische Genauig keit, um das Potential genau bestimmen zu können, so daß Messungen über viele Wiederholungen des Testvektormusters gemittelt werden.

Fig. 2 zeigt ein funktionelles Blockdiagramm von Teilen eines Elektronenstrahl-Sondensystems, konfiguriert für die Gewinnung von Wel lenformbildern von einem Prüfling. Ein Triggersignal vom Tester 14 wird einem Zeitlagekontroller 30 der Sonde 12 zugeführt, der seinerseits Strahlimpuls-Zeitlagesignale zu der Elektro-Optik der Sonde 12 übermit telt. Potentialmeßsignale von Sonde 12 werden digitalisiert mittels ei nes Analog-Digital-Umsetzers (ADC) 32 unter Steuerung eines Zeitlagesig nals, synchronisiert mit den Strahlimpuls-Zeitlagesignalen, und zuge führt zu einem Eingang einer arithmetischen Logikeinheit (ALU) 34. Ein zweiter Eingang der ALU 34 empfängt Daten vom Datenpuffer 36. ALU 34 summiert die Daten, bereitgestellt an ihren Eingängen, und führt die Summe zum Datenpuffer 36 unter Steuerung eines Adreßkontrollers 38 zurück, der mit dem Zeitlagekontroller 30 kommuniziert, sowie mit einem Mikroprozessor 40 über eine Kommunikationsschnittstelle 42. Der Adreß kontroller 38 verfolgt, welche Daten, abgespeichert im Datenpuffer 36, sich auf welchen Punkt in der Wellenform beziehen, so daß die Daten als eine Wellenformabbildung auf dem Wiedergabeschirm 18 zusammengefügt werden können.

Das insoweit beschriebene System ist konventionell. Bei der konventionellen quantitativen Gewinnung empfängt die Sonde 12 nicht das V-Taktsignal, und die Strahlimpulszeitlage ist nicht synchronisiert mit dem V-Taktsignal oder mit dem Vektormuster. Strahlimpulse werden von ei nem freilaufenden Taktgeber gesteuert, der unabhängig ist von dem Tester V-Taktsignal, und Abtastwerte werden gewonnen, relativ zu einem einzigen Triggerimpuls pro Wiederholung des Vektormusters. Die gewonnenen Wellen formdaten liegen in der Zeitdomäne (Amplitude über der Zeit); ihre Zeit lage relativ zu dem Triggerimpuls ist bekannt, doch ihre Zeitlage rela tiv zu dem V-Taktsignal ist unbekannt. Bei der konventionellen qualita tiven Gewinnung (beispielsweise in einem "logischen Analysator") kann ein Taktsignal, zugeführt zu der Sonde, synchron sein mit dem V-Takt signal und demgemäß mit dem Vektormuster. Es wird jedoch bei der Wellen formgewinnung oder -wiedergabe keine Anstrengung unternommen zu verfol gen, welches Wellenformsegment zu welcher Vektorzahl des Musters gehört.

Statt dessen wird die Wellenform gewonnen und in der Zeitdomäne wiederge geben (Logikpegel über der Zeit). Dem Benutzer wird die Aufgabe überlas sen, manuell Wellenformereignisse mit Vektorzahlen in Beziehung zu setzen durch Untersuchung der wiedergegebenen Wellenform.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Signal, das synchron mit den Vektoren ist (beispielsweise dem V-Taktsignal), verwendet, um Wellenformdaten mit Vektorzahlen in Beziehung zu setzen, so daß Wellen formsegmente gewonnen werden und in einer "Vektordomäne" (Amplitude oder Logikpegel über der Vektorzahl) wiedergegeben werden. Fig. 3 zeigt eine solche Wiedergabe, die ein Segment einer Wellenform umfaßt, gewonnen von dem Netz 23 eines Prüflings, wenn Vektoren 1072 bis 1081 eines Vektormu sters an den Prüfling angelegt worden waren. Fachleute, die versucht ha ben zu bestimmen, welcher Abschnitt einer konventionellen Zeitdomänen- Wellenform welchem angelegten Vektor zuzuordnen ist, werden den Wert ei ner solchen Wiedergabe zu schätzen wissen; sie erlaubt es dem Benutzer, unmittelbar den Abschnitt einer längeren Wellenform zu identifizieren, der einen interessierenden Übergang enthält und damit dramatisch die Zeit verringert, die für die Fehlerbehebung erforderlich ist.

Gemäß der Erfindung wird das V-Taktsignal der Testsonde zuge führt, beispielsweise der Testsonde 12 über Leitung 26A zu dem Sonden zeitlagekontroller für die Verwendung in der in Beziehungssetzung der ge wonnenen Wellenformsegmente zu spezifischen Vektoren der Vektorsequenz, wie nachstehend beschrieben.

Fig. 4 zeigt die Beziehung für das Beispiel der Fig. 3 zwi schen einem Tester V-Taktsignal, dem Einmal-pro-Muster-Wiederholung- Triggersignal und der Wellenform, gewonnenen von dem Netzwerk 23 des Prüflings. In diesem Beispiel ist die V-Taktperiode 20 ns, die Vektor periode beträgt 20 ns, und das Muster hat 1084 Vektoren. Das Testvektor muster ist bekannt, die Zeitlagebeziehung des Triggers zu dem Vektormu ster ist beim Tester bekannt, und die zeitliche Beziehung des Triggers zu der gewonnenen Wellenform ist bei der Sonde bekannt. Die Aufgabe der Vorbereitung der Abbildung von Fig. 3 besteht darin, sequentiell jene Abschnitte der Wellenform auf dem Netzwerk 23 einzufangen und wiederzu geben, die jeweils der Anlegung von Vektoren 1072-1084 des Prüflings entsprechen.

Wegen inhärenter Systemverzögerungen können Wellenformdaten generell nicht für alle Vektoren eines an den Prüfling angelegten Mu sters gewonnen werden. Die Fig. 5 illustriert dies. Der Tester sendet einen Triggerimpuls, der an der Sonde nach einiger Verzögerung, bei spielsweise 1 ns, erfaßt wird. Bei irgend einem Intervall nach dem Sen den des Triggerimpulses sendet der Tester eine Sequenz von Vektoren 1, 2, 3, 4 usw . . In dem in Fig. 5 gezeigten Beispiel hat jeder Vektor eine Periode von 20 ns. Der Prüfling reagiert auf jeden Vektor nach einiger Verzögerung, beispielsweise 1 ns. Die Sonde kann auch eine Reaktions verzögerung haben, was es unmöglich macht, Wellenformen für einige Zeit nach dem Erkennen des Triggerimpulses zu gewinnen. Im Falle einer Elek tronenstrahlsonde kann die Verzögerung beispielsweise einige 50 ns be tragen. In dem Beispiel der Fig. 5 erstreckt sich die Sondenreaktions verzögerung in die Periode des Vektors #3, so daß die erste vollständi ge Vektorperiode, während der die Sonde Wellenformdaten von dem Prüfling gewinnen kann, der Vektor #4 ist. Im allgemeinen gibt es typischerweise irgendwelche Systemverzögerungsintervalle, während welchen die Sonde nicht in der Lage ist, Wellenformdaten von dem Prüfling zu gewinnen. Die Systemverzögerung kann als die Summe der Triggerübertragungsverzögerung (beispielsweise 1 ns) und der Sondenreaktionsverzögerung (beispielsweise 50 ns), vermindert um die Prüflingsreaktionsverzögerung (beispielsweise 1 ns), angesehen werden.

Eine Möglichkeit, die Systemverzögerung zu bestimmen, besteht darin, eine Wellenform zu gewinnen und sie dann bezüglich eines bekann ten Ereignisses zu untersuchen. Wenn beispielsweise bekannt ist, daß Stift 23 des Prüflings von niedrig auf hoch übergeht bei Vektor #10 in Reaktion auf einen Hauptrücksetzbefehl, wird der Vektor #10 identifi ziert durch Lokalisieren der Wellenformflanke, wo der Stift 23 nach hoch geht. Die Sonde zählt V-Taktimpulse während der Wellenformgewinnung und weist demgemäß die Zahl des V-Taktimpulses vom Empfang des Triggers bis zu der Flanke, wo der Stift 23 hoch geht. Dieser Punkt wird als ein Ereignis innerhalb des Vektors #10 angesehen. Die Systemverzögerung kann bestimmt werden durch manuelle Untersuchung der gewonnenen Wellenform oder durch den Prozessor der Sonde unter Steuerung durch ein geeignetes Eichprogramm. Wenn die Systemverzögerung einmal für eine gegebene Hardware-Konfiguration bestimmt worden ist, bleibt sie konstant. Ein bevorzugtes Verfahren der Systemeichung wird in größeren Einzelheiten weiter unten beschrieben.

Fig. 6 zeigt ein Beispiel der Beziehung des V-Taktsignals und des Triggersignals sowie der Vektorzahlen. Die Zahl von V-Taktimpulsen pro Vektor ist bei (a) gezeigt. Das freilaufende V-Taktsignal ist bei (b) gezeigt. Die Vektorperiode ist mit (c) markiert. Der Triggervektor, die erste vollständige Vektorperiode nach dem Trigger, ist mit (d) mar kiert. Das Intervall vom Vektorbeginn bis zur nächsten Referenzflanke von V-Takt ist mit (e) markiert. Wiederholungsvektoren sind mit (f) be zeichnet. Das Intervall vom Trigger bis zum nächsten Vektorbeginn ist bei (g) wiedergegeben. Die Systemverzögerung ist mit (h) markiert. Das Intervall vom Ende der Systemverzögerung bis zum nächsten Vektorbeginn ist bei (i) markiert. Der erste mit (j) markierte wiedergebbare Vektor ist die erste vollständige Vektorperiode, für die Wellenformdaten wegen der Systemverzögerung gewonnen werden können.

Die Variablen (a)-(i), die gemeinsam als Vektorsatzkonstrukt bezeichnet werden, können vorn Benutzer definiert oder automatisch be stimmt werden durch geeignete Mittel vor der Wellenformgewinnung. Das Vektorsatzkonstrukt wird verwendet zum Bestimmen des ersten wiedergeb baren Vektors und zum kontinuierlichen Realzeitbestimmen während der Wellenformgewinnung, welche Vektornummer am Prüfling gemessen wird, wäh rend jeder Abschnitt der Wellenform gewonnen wird. Das heißt, die Vek torsequenz, die Vektortakte pro Vektor, Beginn und Ende von Vektoren und sich wiederholende Vektoren werden überwacht, so daß die Wellenformdaten einer Vektorzahl zugeordnet werden, während sie gewonnen werden. Die Er fassung des Triggers durch einen Zählstart-Trigger-Detektor bewirkt, daß ein Impulszähler beginnt, V-Taktimpulse zu zählen. Vektorperioden sind dem Zählstand der V-Taktimpulse zugeordnet und können irgendeine defi nierte Anzahl von V-Taktimpulsen sein. In dem Beispiel der Fig. 6 ist eine Vektorperiode gleich zwei V-Taktimpuls-Perioden.

Zu jedem Zeitpunkt während der Wellenformgewinnung ist die laufende Vektorperiode gleich der laufenden Vektornummer plus der Quan tität an Vektorschleifen während vorhergehender Vektoren. Vektorschlei fen finden Berücksichtigung, so daß die Vektorzahl für jede Vektorperi ode bekannt ist. Eine Vektorschleife ist eine Mehrzahl von Vektorperio den mit derselben Vektorzahl (auch als "Vektorwiederholung" bezeichnet). Beispielsweise zeigen Fig. 20A und 20B ein Testmuster mit Vektoren 1 bis 10, bei dem jeder der Vektoren 1 bis 5 und 7 bis 10 eine Dauer von einer Vektorperiode hat. Der Vektor 6 hat eine Dauer von vier Vektorperioden, die in dem Testerprogramm als 6-1, 6-2, 6-3 bzw. 6-4 markiert sind. Das Muster hat nur zehn Vektoren, jedoch eine Dauer von dreizehn Vektorpe rioden. Der Trigger erfolgt während Vektor 2, so daß Vektor 3 der Trig gervektor ist. In diesem Beispiel werden die Vektorperioden wie folgt gezählt:

Vektorzahl
Vektorperioden-Zählung
1
0
2	0
3	1
4	2
5	3
6-1	4
6-2	5
6-3	6
6-4	7
7	8
9	10
10	11

Der Vektor #7 entspricht demgemäß den Wellenformdaten, die während der achten Vektorperiode nach dem Trigger gewonnen werden, und diese Daten werden für Wiedergabezwecke als Vektor #7 markiert.

Gemäß Fig. 6 kann die erste wiedergebbare Vektornummer be stimmt werden wie folgt:

Erste wiedergebbare Vektornummer =
[nat {((Systemverzögerung h)+(Intervall e))/(Vektorperiode c) + 0,999}] + Triggervektor#

worin die Bezeichnung "nat" angibt, daß der Wert der natürlichen Zahl zunehmend ist. In anderen Worten, wird die Zahl des ersten wiedergebba ren Vektors als die Triggervektorzahl plus die Anzahl von Vektorperio den, die von der Systemverzögerung beeinflußt sind, genommen. Die Zahl von Vektorperioden, die von der Systemverzögerung beeinflußt werden, kann repräsentiert werden als:

# des Systemverzögerungsvektors (SDV) =
nat {(Systemverzögerung h)/(Vektorperiode c)+0,999}

Wenn die Systemverzögerung während eines Vektors endet, wird der nächste Vektor als der erste wiedergebbare Vektor genommen:

Wenn [(SDV*(Vektorperiode c))-(Intervall e)] <Systemverzögerung, dann wird SDV = SDV+1.

Es sei in dem Beispiel der Fig. 6 angenommen, daß die Vektor periode 20 ns beträgt, der Vektor #6 der Triggervektor ist, das Inter vall e 2 ns beträgt und die Systemverzögerung 50 ns beträgt. Die Nummer des ersten wiedergebbaren Vektors wird dann berechnet zu:

Erster wiedergebbarer Vektor:
= [nat {(50 + 2) / 20 + 0,999}] + 6
= [nat {2,6 + 0,999}] + 6
= 3 + 6
= 9

In diesem Beispiel beträgt SDV≈ nat {(50ns/20ns)+0,999} = 3. In diesem Beispiel braucht SDV nicht auf 4 inkrementiert zu werden, weil E(SDV* (Vektorperiode c))-(Intervall e)]=3*20 ns - 2 ns = 58 ns, was nicht weniger ist als die Systemverzögerung von 50 ns.

Um die Anzahl von V-Taktimpulsen, die vom Ende der Systemver zögerung anzuzählen sind, um irgendeine gegebene "laufende" Vektornummer zu finden:

#V-Taktimpulse = [(laufender Vektor#-SDV-Triggervektor#) * (#Takt pro Vektor)]+1.

In dem Beispiel gilt dann, wenn die Wellenformdaten für den Vektor #11 zu gewinnen sind, der Zählstand der V-Taktimpulse vom Ende der System verzögerung (unter der Annahme, daß der Vektor #10 nicht wiederholt wird):

#V-Taktimpulse = [(11-3-6) * 2]+1 = 5.

Wenn irgendwelche Vektoren zu wiederholen sind, müssen die wiederholten Vektoren natürlich berücksichtigt werden.

Das Zeitintervall i vom Ende der Systemverzögerung h bis zum Beginn des ersten wiedergebbaren Vektors j wird bestimmt als:

Intervall(i) = [(SDV * Vektorperiode)-(Intervall e)-(Systemverzögerung h)].

Im Beispiel beträgt das Intervall(i)=3*20 ns-2 ns-50 ns=8 ns.

Wenn Wellenformen mit einer Elektronenstrahlsonde oder anderem System gewonnen werden, das als ein Abtastoszilloskop arbeitet, kann je der Abtastpunkt als ein "Pixel" betrachtet werden, und die Verzögerungs zeit von dem Ende der Systemverzögerung bis zu dem ersten Pixel des laufenden zu gewinnenden Vektorsatzes ist:

Pixelverzögerungszeit = [SDV * (Vektorperiode c)]-(Intervall e)-(Systemverzögerung h).

Die Zahl der pro Vektorperiode zu gewinnenden Pixel vor dem Inkrementie ren zu der nächsten Vektorzahl ist ein Wert, der von dem Benutzer vor der Wellenformgewinnung eingegeben wird.

Ein Betriebsverfahren gemäß der Erfindung ist in Fig. 7-11 gezeigt. Wie in Fig. 7 gezeigt, umfaßt das Verfahren vier Hauptschritte: Einrichten 710, Eichen 720, Wellenformgewinnung 730 und Wellenformwie dergabe 740. Jeder dieser Schritte umfaßt eine Serie von Einzel schritten.

Fig. 8 zeigt die Einrichtschritte. Im Schritt 810 werden die Vektorzahlzeichen entsprechend einer bekannten Zustandsänderung identi fiziert, beispielsweise durch eine Eingabe vom Benutzer. Im Schritt 820 beginnt der Tester, das Vektormuster an den Prüfling anzulegen. Im Schritt 830 werden der Triggerimpuls und das V-Taktsignal der Sonde zu geführt und an dieser erfaßt. Im Schritt 840 werden weitere Einrich tungsdaten bereitgestellt, beispielsweise durch die Benutzereingabe: Triggervektorzahl, Anzahl der V-Taktimpulse pro Vektor, die Dauer der Vektorperioden und die Vektorzahlen der Wiederholungsvektoren, wie auch die Anzahl von Malen, um die die Wiederholung erfolgt. Im Schritt 850 werden die Einrichtungsdaten für die Verwendung in den folgenden Schritten gespeichert.

Fig. 9 zeigt Eichschritte. Im Schritt 910 wird die Zahl eines Vektors eingegeben, bei dem eine bekannte Zustandsänderung erwartet wird, beispielsweise über die Benutzereingabe. Im Schritt 920 wird eine Abschätzung der Zahl von V-Taktimpulsen eingegeben, die nach dem Trigger zu zählen sind, um die bekannte Zustandsänderung zu erreichen, bei spielsweise über eine Benutzereingabe. Im Schritt 930 wird ein Wellen formsegment entsprechend der Anzahl von V-Taktimpulsen, eingegeben im Schritt 920, gewonnen und wiedergegeben, und der Benutzer inspiziert das wiedergegebene Wellenformsegment, um die erwartete Zustandsänderung zu lokalisieren. Schritt 940 testet, ob die erwartete Zustandsänderung sich innerhalb der Wiedergabe befindet. Falls nicht, wird im Schritt 950 die Anzahl von Vektoren, die pro Teilung wiedergegeben werden, geändert oder die Anzahl von zu zählenden V-Taktimpulsen wird geändert, um zusätzliche Wellenformabschnitte wiederzugeben. Wenn innerhalb der Wiedergabe die erwartete Zustandsänderung aufgefunden wird, umfaßt der Schritt 960 die Anwendung des Eichcursors, um auf dem wiedergegebenen Wellenformsegment den Beginn einer ausgewählten Vektorperiode relativ zu der bekannten Zu standsänderung zu markieren. Die Eichcursoren werden gesetzt beispiels weise über die Benutzereingabe. Im Schritt 970 werden Parameter aus den Positionen der Eichcursoren bestimmt: Systemverzögerung, Verhältnis des V-Taktzählstandes zu der Vektorzahl, Beziehung der V-Taktimpulse zu dem Triggerimpuls für den Vektorbeginn und die Vektorzahl des ersten Vek tors, der gewonnen werden kann. Im Schritt 980 werden die Eichdaten für nachfolgende Verwendung festgehalten.

Fig. 12-13 zeigen Bildschirmwiedergaben eines Software-Werk zeuges, das bei der Eichung Anwendung finden kann. Fig. 12 zeigt eine Einrichtpultwiedergabe 1200. Fig. 13 zeigt eine Eichwiedergabe 1300. Ge führt durch die Instruktionen der Fig. 12 gibt der Benutzer die Refe renzvektorzahl bei 1220 und den abgeschätzten V-Taktzählstand bei 1205 ein. Liniencursoren 1310 und 1315 erscheinen auf der Eichwiedergabe zusammen mit einem Wellenformsegment. Der gestrichelte Cursor 1310 ist eine Wellenform-Ereignispositionsreferenz. Der ausgezogene Cursor 1315 ist eine Vektor-Beginn-Positionsreferenz. Der Benutzer gibt bei 1220 die Vektorzahl eines erwarteten Referenzereignisses 1320 ein, wie einen be kannten Schreib-Entsperr-Leitungsübergang oder einen Haupt-Rücksetz-Lei tungsübergang. Eine Datentabelle von dem Tester oder Simulator ist be reits während des Einrichtens eingegeben worden unter Definition der Vektorperioden und der Vektorschleifen. Der Benutzer findet das erwarte te Wellenformmerkmal 1320 entsprechend dem erwarteten Referenzvektor durch Inkrementieren/Dekrementieren des Vektortaktzählstandes bei 1205, bis das Wellenformmerkmal (beispielsweise eine interessierende Referenz flanke 1320) von der Sonde eingefangen und auf der Eichwiedergabe ge zeigt wird. Die Zahl von Vektoren pro Teilung kann anfänglich auf eine hohe Zahl gesetzt werden, um das Wellenformmerkmal zu positionieren, und dann auf einen niedrigeren Wert geändert werden für eine Wiedergabe höherer Auflösung, während das Wellenformmerkmal innerhalb der Wieder gabe gehalten wird.

Der Benutzer positioniert den gestrichelten Cursor 1310 so, daß er mit dem Wellenformmerkmal 1320 zusammenfällt, wie in Fig. 13 ge zeigt, und bewegt den ausgezogenen Cursor 1315 zu einer Position, welche den Vektorbeginn für den Vektor, in welchem das Wellenformmerkmal auf tritt, repräsentiert. Der Versatz zwischen den wiedergegebenen Cursoren gibt den Zeitversatz zwischen dem Vektorbeginn und dem bekannten inter essierenden Merkmal wieder. Die Zeitskala basiert beispielsweise auf der Definition der gemittelten Vektorperiode von dem Tester oder den Muster- Definitionsunterlagen des Simulators. Wenn der Benutzer einen Vektor zählstand eingibt, der so korreliert, daß er kleiner ist als die System verzögerung, wird der niedrigste mögliche Wert des Vektorzählstands automatisch eingegeben, und eine Nachricht wird angezeigt dafür, daß der eingegebene Vektorzählstand niedriger ist als eingefangen werden kann. Der Benutzer betätigt die "Anlegetaste" 1210 der Einrichtwiedergabe 1200, um zu signalisieren, daß das System die angegebene Beziehung gemäß Fig. 13 zwischen dem Vektortaktzählstand, dem Versatz der Referenzflanke und der Referenzvektorzahl akzeptiert. Eine Nachricht wird dann erschei nen zur Anzeige dafür, daß das System geeicht ist, die Cursorlinien 1310 und 1315 werden von der Wiedergabe entfernt, und die Einrichtpultwieder gabe 1200 verschwindet aus dem Sichtfeld.

Fig. 10 zeigt die Wellenform-Gewinnungsschritte. Im Schritt 1010 wird der Bereich von Vektorzahlen eingegeben, für welchen Wellen formen zu gewinnen sind, beispielsweise über die Benutzereingabe. Im Schritt 1020 wird der eingegebene Bereich getestet um sicherzustellen, daß die erste Vektorzahl des Bereiches größer oder gleich der Vektorzahl des ersten Vektors ist, für welchen Daten gewonnen werden können. Falls nein, kehrt die Steuerung zum Schritt 1010 zurück. Falls ja, wird im Schritt 1030 eine Serie von Schritten für jeden Vektor des Bereiches von Vektorzahlen ausgeführt, die im Schritt 1010 eingegeben worden waren. Zuerst wird die Zahl von V-Taktimpulsen zur Verzögerung von dem Trigger impuls vor Beginn der Gewinnung bestimmt. Danach, hinter dem Trigger, wird die bestimmte Zahl von V-Taktimpulsen gezählt und Verzögerung wird hinzugefügt, um an dem nächsten Vektorbeginn anzukommen, und die Sonde wird angesteuert, um mit der Gewinnung von Wellenformdaten zu beginnen. Als drittes wird die Sonde entsperrt, um mit dem Sammeln von Wellenform daten für die Dauer der Vektorperiode fortzufahren. Wenn Wellenformdaten für jeden Vektor des ausgewählten Bereiches von Vektorzahlen gewonnen worden sind, endet die Gewinnung bei Schritt 1040. Im Schritt 1050 wer den die auf den Vektor bezogenen Wellenformdaten für spätere Wiedergabe aufbewahrt. Wenn Wellenformen für einen anderen Bereich von Vektorzahlen und/oder für ein anderes Netz des Prüflings zu gewinnen sind, kehrt die Steuerung zum Schritt 1010 zurück. Falls nicht, endet die Wellenform gewinnung.

Fig. 14 zeigt ein Beispiel der Gewinnung von Wellenformdaten. Zu irgendeiner Zeit nach dem Trigger gibt es eine Sequenz von Vektor perioden entsprechend den Vektoren 26-37, wie angegebenen auf den Vek tortakt bezogen, und alle gut nach der ersten Vektorperiode liegend, für die Wellenformdaten gewonnen werden können. Der Bereich, für den Wellen formdaten zu gewinnen sind, reicht vom Vektor 28 bis zum Vektor 34. Bei 1410 ist die Wellenform gezeigt, die am Netz 28 eines Prüflings er scheint. Das gestrichelte Kästchen 1420 zeigt den Bereich, über welchen Wellenformdaten zu gewinnen sind.

Fig. 11 zeigt die Wiedergabeschritte. Im Schritt 1110 werden Wiedergabeparameter eingestellt, wie die Anzahl von Vektoren pro Teilung und die Startvektorzahl der Wiedergabe. Im Schritt 1120 werden Wieder gabeoptionen eingegeben, etwa die Kompression oder Dekompression von Vektorschleifen. Im Schritt 1130 werden die Vektorzahlen eingestellt, für welche Wellenformsegmente wiederzugeben sind. Im Schritt 1140 werden die gewonnenen Wellenformsegmente (oder vorher gewonnene und abgespei cherte Wellenformsegmente) wiedergegeben zusammen mit den entsprechenden Vektorzahlen und Vektor-Beginn-Markierungen.

Fig. 15 zeigt ein Beispiel einer Wellenformwiedergabe, bei der Wellenformen, gewonnen von mehreren Netzen, entsprechend der Erfindung wiedergegeben werden. In diesem Beispiel ist die mittlere Wellenform, dargestellt bei 1510, jene des Netzes 28 des Prüflings über den Bereich von Vektorzahlen 28-34 (wie in Kästchen 1420 der Fig. 14 gezeigt). Mar kierungen in der Wiedergabe repräsentieren den Vektorbeginn, und eine sequentielle Vektorzahl ist jeder Vektor-Beginn-Marke zugeordnet. In Fig. 15 bedeutet die Vektor-Beginn-Marke 1510 den Beginn einer Vektor periode, und sequentielle Vektorzahl 28 ist der Marke 1505 zugeordnet.

Vektor-Beginn-Markierungen werden voneinander durch die Periode eines Vektors getrennt und sind synchron mit den V-Taktimpulsen, können jedoch einer Referenzflanke der V-Taktimpulse vor- oder nacheilen um ein festes Intervall, wie in Fig. 6 gezeigt. In Fig. 15 ist die Vektor-Beginn-Marke 1505 von der Vektor-Beginn-Marke 1510 um eine Vektorperiode getrennt. Die Zahl von Vektoren pro Teilung ist bei 1515 gezeigt (in diesem Bei spiel eins), und die Startvektornummer der Darstellung ist bei 1520 ge zeigt (in diesem Beispiel 25); diese Werte waren im Schritt 1110 einge stellt worden.

Wenn ein Ereignis innerhalb einer gegebenen Vektorperiode ein tritt, beispielsweise, daß ein Signal von hohem auf niedrigen Pegel am Netz 28 während Vektor# 30 in Fig. 15 geht, wird das Ereignis in zeit licher Beziehung zu der Vektor-Beginn-Marke wiedergegeben. Das heißt, ein Wellenformsegment wird dargestellt als Signal-Amplituden-Information über der Zeit für jedes Vektorintervall, beginnend mit der berechneten Vektor-Beginn-Marke für den betreffenden Vektor. Die Wellenformsegmente können als "Fliesen" angesehen werden, die in der Wiedergabe, wie von dem Benutzer gewünscht, anzuordnen sind. Wellenformsegmente, die mitein ander verglichen werden sollen, können nahe einander (beispielsweise seitlich nebeneinander oder über- und untereinander) dargestellt werden, wie die Wellenformen auf den Netzen 27, 28 und Vektor 25 der Fig. 15. Abschnitte der Wellenform, die den Benutzer nicht interessieren (bei spielsweise die Wellenform von Netz 28 aus den Vektoren 25-27 in Fig. 15), können verworfen werden, ohne daß sie dargestellt werden.

Wiederholungsvektoren können je nach der Anforderung des Benutzers wiedergeben werden oder auch nicht. Fig. 16 zeigt ein Beispiel einer Mehrfach-Wellenform, die mit sichtbaren Wiederholungsvektoren dar gestellt ist (dekomprimiert). Die Vektorzahlen der dargestellten Segmen te sind in Folge 12_1, 12_2, 12_3, 12_4, 13, 14, 15, 16_1, 16_2, 16_3. Um das Zählverfahren während der Gewinnung einfach zu halten, können die Wellenformsegmente durch Zählen von Vektorperioden ab dem Triggervektor gewonnen werden; die Vektorzahlen und Wiederholungsvektorzahlen können während der Vorbereitung der Wiedergabe zugeordnet werden. Wiederho lungsvektoren sind in einigen Fällen von geringem Interesse für den Benutzer, beispielsweise, wenn ein Vektor viele Male wiederholt wird, um den Prüfling zu initialisieren. Der Benutzer wird möglicherweise nur ei ne von zahlreichen Wiederholungen des Wellenformereignisses sehen wol len, herrührend von dem Initialisierungsvektor, gefolgt von Wellenform ereignissen eines Vektors, der den Prüfling zu untersuchen beginnt.

Andere Wiedergabevariationen sind ebenfalls möglich. Bei spielsweise kann die Zeitskala des dargestellten Wellenformsegments in jedem Vektorintervall zeitlich komprimiert oder expandiert werden, um das dem Benutzer definierten Darstellungsintervall pro Vektor anzu passen, beispielsweise werden die Pixel von Wellenformdaten beabstandet, um der vom Benutzer spezifizierten Vektordarstellungsperiode zu entspre chen. Fig. 17 zeigt ein Beispiel mit zwei Teilungen pro Vektor. Fig. 18 zeigt ein Beispiel mit nur einer Teilung pro Vektor, und Fig. 19 zeigt ein Beispiel mit zwei Vektoren pro Teilung. Falls erwünscht, kann der Benutzer eine variable Darstellungsperiode spezifizieren derart, daß ein bestimmter interessierender Vektor über ein breites Darstellungsinter vall gestreckt wird, um näher untersucht zu werden, während umgebende Vektoren in ein "schmales" Wiedergabeintervall komprimiert werden. Wenn die Wiedergabe auf niedrige Auflösung gesetzt ist, können einige der Vektor-Beginn-Marken und Vektorzahlen unterdrückt werden, um eine Über frachtung der Wiedergabe zu vermeiden. Beispielsweise zeigt die Wieder gabe der Fig. 19 nur jede zweite Vektor-Beginn-Marke und jede zweite Vektorzahl.

Die flexible vektor-basierte Wiedergabe kann mit Vorteil ver wendet werden beim Vergleichen der Resultate von Tests von Prüfling zu Prüfling. Beispielsweise werden Wellenformen von einem Mikroprozessor gewonnen, der mit einem internen 50 MHz Takt arbeitet, und dem ein Vek tormuster unter Verwendung einer V-Taktfrequenz von 50 MHz angelegt wird. Die Periode der V-Taktimpulse beträgt 20 ns. Wellenformen werden dann von dem Mikroprozessor gewonnen, der mit einem internen 100 MHz Takt arbeitet und dem dasselbe Vektormuster angelegt wird unter einer V-Taktfrequenz von 100 MHz. Die Periode der V-Taktimpulse ist in diesem Falle 10 ns. Wenn der Mikroprozessor korrekt arbeitet, sollten die Wellenformereignisse dieselben sein für jeden Vektor. Um den Vergleich auszuführen, werden die Wellenformen übereinander abgebildet, wobei die Wiedergabeskala der 50 MHz Wellenform auf 20 ns/Vektor gesetzt wird, und die Wiedergabeskala der 100 MHz Wellenform auf 10 ns/Vektor. Die darge stellten Wellenformsegmente haben den denselben Wiedergabe-Skalenabstand pro Vektor und die Vektor-Beginn-Marken sind Vektor um Vektor ausge fluchtet.

Die Verfahren der vorliegenden Erfindung können auf verschie dene Weise eingesetzt werden. Die Verfahren sind brauchbar für die Ana lyse und/oder Fehlerbeseitigung eines Prüflings und können ohne weiteres an irgendein Wellenform-Gewinnungsinstrument angepaßt werden, ein -schließlich einer mechanischen oder kontaktfreien Sonde unter Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls oder Elektronenstrahls, doch stellt dies keine Beschränkung dar. Der Benutzer kann Einricht-Wellenform-Einfang- und -wiedergabebedingungen, basierend auf der Vektorzahl, vorgeben. An dere Information kann der gewonnenen Wellenforminformation für die wei tere Signalverarbeitung der Wellenform zugefügt werden, etwa die Zuord nung von getrennt gewonnenen Wellenformen, basierend auf der Vektorzahl und Überlagerung von Wellenformdaten auf anderen Wellenformen für die Gewinnung von Feininformationen der Wellenform für bereits existierende vektor-basierte grobe Wellenforminformation.

Claims

1. Ein vektor-basiertes Verfahren der Gewinnung und Wiedergabe von Wellenformen umfassend:

a. wiederholtes Anlegen eines sequentiellen Musters von Vek toren an einen Prüfling, wobei jeder Vektor eine Vektorzahl und eine Periode aufweist, die synchron ist mit einem Takt signal, und das Muster synchron ist mit einem periodischen Triggerimpuls,
b. Erfassen des Taktsignals und der Triggerimpulse,
c. Sondieren eines Netzes des Prüflings, um Wellenformdaten zu gewinnen,
d. Zählen von Vektorperioden beim Gewinnen der Wellenformdaten und Zuordnen zu jeder Vektorperiode eines Segments der Wellen formdaten, gewonnen während der betreffenden Periode,
e. Wiedergabe von Segmenten der gewonnenen Wellenformdaten zu sammen mit Anzeigen der Vektorperioden, denen die Wellenform segmente zugeordnet sind.

2. Ein Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend den Schritt der Zuordnung jeder Vektorperiode zu einer Vektorzahl und Wiedergabe der Vektorzahl mit dem Wellenformsegment der zugeordneten Vektorperiode.

3. Ein Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend die Einrichtungsschritte:
Identifizieren von Werten von (i) einer Vektornummer ent sprechend einer bekannten Zustandsänderung auf einem Netz der Prüflings komponente, (ii) eine Vektornummer einer ersten vollen Vektorperiode nachdem der Triggerimpuls erfaßt worden ist, (iii) einer Zahl von Takt signalperioden pro Vektorperiode, (iv) der Dauer von Vektorperioden und (v) der Vektorzahlen von Wiederholungsvektoren und der Zahl von wieder holten Vektoren, und
Abspeichern der identifizierten Werte als Einrichtungsdaten.

4. Ein Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, ferner umfassend die Eichschritte:
Identifizieren der Vektorzahl einer Vektorperiode, während welcher eine bekannte Zustandsänderung auf dem Netz des Prüflings erwar tet wird,
Abschätzen einer Zahl von Taktsignalperioden, die zu zählen sind nach Erfassung eines Triggerimpulses, um die bekannte Zustands änderung aufzufinden,
Wiedergabe von Wellenformdaten, die während eines Intervalls entsprechend etwa der abgeschätzten Zahl von Taktsignalperioden gewonnen worden sind, und Einjustieren der abgeschätzten Zahl von Taktsignal perioden, bis die wiedergegebenen Wellenformdaten die bekannte Zustands änderung enthalten,
Markieren der Position einer ausgewählten Vektorzahl relativ zu der bekannten Zustandsänderung,
Bestimmen von Werten (i) einer Systemverzögerung, (ii) der Beziehung der Zählung von Taktsignalperioden zu den Vektorzahlen, (iii) der Beziehung der Taktsignalperioden zu dem Triggerimpuls und zu den Vektorperioden, und (iv) der ersten vollständigen Vektorperiode, während welcher Wellenformdaten gewonnen werden können, und
Abspeichern der so bestimmten Werte als Eichdaten.

5. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend die Schritte des Eingebens eines Bereichs von Vektorzahlen, für die Wellenformen zu gewinnen sind, und Feststellen, daß Wellenform daten während des Bereiches gewonnen werden können.

6. Ein Verfahren nach Anspruch 5, umfassend die Schritte, für jede Vektorperiode des Bereiches,
Bestimmen einer Zahl von Taktsignalperioden, die zu zählen sind nach Erfassung des Triggers für den Beginn der Gewinnung von Wellenformdaten,
Zählen der bestimmten Zahl von Taktsignalperioden, Beginnen der Gewinnung von Wellenformdaten beim Beginn der nächsten vollständigen Vektorperiode, und
Beziehen eines Segments während jeder Vektorperiode gewonnenen Wellenformdaten auf eine entsprechende Vektorzahl.

7. Ein Verfahren nach Anspruch 6, ferner umfassend das Abspei chern der gewonnenen Wellenformdatensegmente mit den entsprechenden Vektorzahlen.

8. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend den Schritt des Einstellens von Wiedergabeparametern ein schließlich der Zahl von Vektoren pro Wiedergabeteilung und der Anfangs vektorzahl der Wiedergabe.

9. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend den Schritt des Einstellens einer Wiedergabeoption, welche definiert, ob Vektorschleifen in die Wiedergabe aufzunehmen sind.

10. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend den Schritt des Einstellens von Vektorzahlen, für welche Wellenformen darzustellen sind.

11. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend den Schritt der Wiedergabe von Vektor-Beginn-Marken mit den wiedergegebenen Wellenformdaten.

12. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend den Schritt der Wiedergabe von Wellenformsegmenten ent sprechend Wiederholungsvektoren.

13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ferner umfassend den Schritt der Darstellung von Wellenformdatensegmenten von mehreren Vektorperioden pro Wiedergabeteilung.

14. Ein Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem das Sondieren eines Netzes des Prüflings das Anwenden eines fokussierten Partikelstrahls auf das Netz und das Erfassen von Sekundärpartikeln umfaßt.