DE19540373A1

DE19540373A1 - Reinigung mit Ultraschall und dazu geeignete Reinigungsmittel

Info

Publication number: DE19540373A1
Application number: DE19540373A
Authority: DE
Inventors: Axel G Boehme; Harald Prof Dr Ing Hansmann
Original assignee: Henkel AG and Co KGaA
Current assignee: Henkel AG and Co KGaA
Priority date: 1995-10-30
Filing date: 1995-10-30
Publication date: 1997-05-07
Also published as: WO1997016263A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen der Oberfläche von Werkstücken und Bauteilen oder der Entfernung von Fluxmitteln unter Einsatz von Ultraschall und einer Reinigungsflüssigkeit. Da bei werden die Ultraschallschwingungen über eine frei fließende Reinigungsflüssigkeit an die zu reinigende Oberfläche angekoppelt.

Verfahren zum Reinigen harter Oberflächen unter Einsatz von Ultra schall, zum Beispiel zum Reinigen von kleinen Teilen der optischen und feinmechanischen Industrie, sind seit längerem bekannt. Mittels Ultraschall können alle Arten von Schmutzteilchen und Partikeln, so zum Beispiel Metallspäne, Schleif- und Poliermittelrückstände, Dreh- und Frässpäne, aber auch Öl-, Fett- und Lackschichten ent fernt werden.

Die bekannten Reinigungsverfahren werden in zwei Varianten durch geführt. Im sogenannten Eintauchverfahren wird das zu reinigende Teil in eine mit der Reinigungsflüssigkeit gefüllte Wanne einge bracht und die Reinigungsflüssigkeit in Ultraschallschwingungen versetzt. Die Ultraschallschwinger sind an der Außenwand des Reinigungsbades oder innerhalb der Wanne angebracht.

Im Durchlaufverfahren wird das zu reinigende Gut mittels Fördereinrichtungen in das Reinigungsbad gebracht, vorgereinigt, beschallt, nachgereinigt, getrocknet und dann abgesetzt oder aus geworfen. Das Reinigungsbad selber ist im wesentlichen in der gleichen Weise wie im Eintauchverfahren ausgestaltet. Oft wird je doch noch zusätzlich die Badflüssigkeit mittels einer Reinigungs mittelpumpe in die entgegengesetzte Richtung wie das Reinigungsgut in Umlauf gesetzt.

Aus einem von dem Reinigungsverfahren unterschiedlichen Anwen dungsgebiet des Ultraschalls ist außerdem ein Ultraschallkopf be kannt, mit dem die Ultraschallschwingungen über einen aus einem Röhrchen austretenden Flüssigkeitsstrahl an das zu beschallende Objekt angekoppelt werden können (Jochen Matauschek, Einführung in die Ultraschalltechnik, zweite Auflage, 1961, VEB Verlag Technik Berlin, S. 455). Dabei handelt es sich um einen Teil einer Ein richtung zur mikroskopischen Beobachtung und Beschallung bei Tier versuchen. Die Flüssigkeit, in diesem Fall eine physiologische Kochsalzlösung, strömt seitlich in einen konusförmig sich verjün genden Tubus und am spitzen Ende des Konus wieder aus. Am stumpfen Ende ist der Schallgeber, ein Ultraschallschwinger angebracht.

Eine derartige Fließwasserankopplung des Ultraschalls an das zu beschallende Objekt ist auch aus dem Bereich der Ultraschallmate rialuntersuchung bekannt (a.a.O., S. 348). Bei dieser Wasser strahlankopplung wird ohne jeden mechanischen Kontakt mit dem Prüfling der Ultraschall über einen kräftigen Wasserstrahl zum Prüfling übergeleitet.

Die genannte Fließwasserankopplung des Ultraschallschwingers an das zu beschallende Werkstück wird bisher nur in Bereichen eingesetzt, in denen sehr geringe Mengen an Flüssigkeit und/oder preiswerte Flüssigkeiten, zum Beispiel Wasser ohne Zusätze, verwendet werden. Bei den Verfahren zur Reinigung mit Ultraschall werden jedoch erheblich größere Mengen an Flüssigkeit eingesetzt, denen außerdem hochwertige Reinigungsmittel zugegeben worden sind.

Die bekannten Verfahren zur Reinigung mit Ultraschall weisen eine Reihe von Nachteilen auf. Relativ große Reinigungsbecken und ent sprechende Flüssigkeitsvolumina sind erforderlich. Ein Wechsel des Reinigungsmittels ist aufwendig und umständlich. Die Reinigung großflächiger Teile ist im allgemeinen ohne aufwendige Sonderkon struktionen mit sehr großen Reinigungsbädern nicht möglich. Die Schallenergie verteilt sich im Reinigungsbad und kann daher nicht konzentriert auf besonders stark verschmutzte Stellen einwirken, so daß die Reinigung von Werkstücken mit einzelnen, stark ver schmutzten Stellen eine besonders lange Reinigungszeit erfordert. Die vom Ultraschall abgelösten Verunreinigungen verbleiben im Rei nigungsbad mit der Folge, daß die Ultraschallwirkung durch vor der zu reinigenden Oberfläche sich aufhaltende Festkörperteilchen be einträchtigt wird. Das gleiche gilt für Gasblasen.

Zur Reinigung einzelner Teile von Anlagen ist es erforderlich, diese zu demontieren. Dies gilt vor allem für Teile von größeren Produktionsanlagen.

In einigen Fällen ist eine Ultraschallreinigung mit den bekannten Verfahren überhaupt nicht möglich. Als Beispiel sei die Reinigung der Innen- und Außenwände von fest eingebauten Rohren genannt.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das eingangs ge nannte Verfahren zu verbessern, um es bei einer Verminderung des Aufwandes erheblich flexibler einsetzen zu können und um die oben genannten Nachteile der bekannten Reinigungsverfahren zu beseiti gen.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß man die Rei nigungsflüssigkeit in einem gezielten Strahl auf die zu reinigende Oberfläche strömen läßt und gleichzeitig die Ultraschallschwin gungen in diese Strömung einkoppelt.

Im Gegensatz zu den bekannten Reinigungsverfahren unter Einsatz von Ultraschall wird hier nicht mit Reinigungsbädern gearbeitet. Viel mehr trifft die Reinigungsflüssigkeit gezielt auf bestimmte Be reiche der zu reinigenden Oberfläche und fließt von dort ab, zum Beispiel in ein Sammelbecken, von dem aus sie gegebenenfalls nach Durchlaufen eines Filters wieder zurückgepumpt wird. Die auf eine kleine Fläche einwirkende hohe Schallenergie kann die Reinigungs zeit erheblich verkürzen. Die abgelösten Verunreinigungen sowie entstandene Gasbläschen werden schnell abtransportiert, so daß die Ultraschallschwingungen ohne Behinderung durch abgelöste Partikel oder Gasbläschen wirkungsvoll auf die Oberfläche einwirken können. Der Aufwand für große Reinigungsbecken und große Volumina an Rei nigungsmittel werden vermieden. Ein schnelles Ändern der Reini gungsmittelzusammensetzung ist möglich. Auch Teile von größeren Anlagen können problemlos vor Ort ohne vorherige Demontage gerei nigt werden. Eine Reinigung im kontinuierlichen Durchlaufbetrieb ist außerdem möglich.

Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich nicht nur zur Reinigung von großflächigen Teilen. Auch Schüttgut oder Kleinteile, seien sie nun positioniert oder auch unpositioniert, können gereinigt werden. Die Lösung schwieriger Reinigungsaufgaben, zum Beispiel die Reini gung der Innenwände oder Außenwände von fest eingebauten Rohren, ist ebenfalls problemlos möglich. Das erfindungsgemäße Verfahren stellt ferner eine Alternative zu Power-Wash Applikationen sowie eine Alternative zu ausschließlich mit Lösungsmitteln arbeitenden Reinigungsverfahren dar. Weiterhin eignet sich das Verfahren zur Entfernung von Fluxmitteln auf elektronischen Bauteilen.

Das erfindungsgemäße Reinigungsverfahren kann in unterschiedlichen Varianten durchgeführt werden. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, dem Freistrahlverfahren, läßt man die Reinigungs flüssigkeit durch eine auf die zu reinigende Oberfläche gerichtete und im Abstand zu ihr angeordnete Düse strömen. Dabei ist es vor teilhaft, wenn die Reinigungsflüssigkeit seitlich in die Düse bzw. in eine Zuleitung der Düse eintritt und die Strömung von einem am entgegengesetzten Ende des Düsenauslasses angeordneten Ultra schall-Schwinger in Richtung auf den Düsenauslaß beschallt wird. Die Freistrahltechnik ist für zu reinigende Teile mit beliebigen Größen und beliebig strukturierten und gekrümmten Oberflächen ein setzbar.

Im Rahmen der Erfindung ist alternativ zum Freistrahlverfahren auch das sogenannte Fließspaltverfahren möglich. Hier läßt man die Rei nigungsflüssigkeit durch ein auf die zu reinigende Oberfläche ge richtetes und im geringen Abstand, vorzugsweise 2 bis 80 mm, zu ihr angeordnetes Rohrstück strömen. Im Gegensatz zum Freistrahlverfah ren wirkt der infolge des schmalen Spaltes aufgebaute Gegendruck dem Austritt des Reinigungsmittels entgegen, so daß in vorteil hafter Weise eine geringere Flüssigkeitsmenge als im Falle der Freistrahltechnik in Umlauf gebracht werden muß. Diese Verfahrens variante ist allerdings insbesondere für relativ große Teile mit einer annähernd ebenen oder einer definiert gekrümmten Oberfläche anwendbar.

In einer bevorzugten Ausführungsform dieser Variante tritt die Reinigungsflüssigkeit seitlich in das Rohrstück ein, und die Strö mung wird von einem am entgegengesetzten Ende des Auslasses angeordneten Ultraschall-Schwinger in Richtung auf den Auslaß be schallt.

Wird ein longitudinal schwingender Ultraschallerzeuger eingesetzt, so wird er in einer vorteilhaften Verfahrensvariante vollständig oder teilweise von der Strömung umflossen. Alternativ kann auch vorgesehen sein, daß der longitudinal schwingende Ultraschall schwinger mit einer seiner schwingenden Stirnflächen den Abschluß der Düse bzw. des Rohrstücks am entgegengesetzten Ende des Aus lasses bildet. Beide Varianten können sowohl in der Freistrahl- als auch in der Fließspalttechnik verwendet werden. Die Vorteile des umströmten Schwingers liegen in einer sich schneller ausbildenden laminaren Strömung. Nachteil ist, daß Schallenergie radial abge führt wird (Schwächung der longitudinalen Wirkungskomponente).

Falls ein besonders hoher, an der zu reinigenden Oberfläche wir kender Schalldruck gewünscht wird, so koppelt man in einer weiteren erfindungsgemäßen vorteilhaften Variante die Ultraschallschwingen mit mehreren, auf den Auslaß der Düse bzw. des Rohrstücks gerich teten, gleichphasig arbeitenden Longitudinal-Schwingern in die Strömung. Diese Variante kann ebenfalls sowohl für die Freistrahl als auch die Fließspalttechnik eingesetzt werden.

Eine Fokussierung der Longitudinal-Schwinger auf einen kleinen, nahezu punktförmigen Bereich ermöglicht eine besonders hohe Reini gungsleistung.

Zur Ausführung der Erfindung können nicht nur Longitudinal-Schwin ger, sondern auch Radialschwinger eingesetzt werden. Auch in der Wahl der Düse ist man grundsätzlich keinen Beschränkungen unter worfen. So ist auch eine weitere vorteilhafte Verfahrensvariante im Rahmen dieser Erfindung möglich. Hier läßt man Reinigungsflüssigkeit durch einen schlitzförmigen Auslaß strömen und koppelt die Ultraschallschwingungen in die Strömung mit einem Radialschwinger ein, dessen Längsachse parallel zum Auslaß ausge richtet ist. Auch diese Verfahrensvariante kann sowohl in der Freistrahl- als auch in der Fließspalttechnik eingesetzt werden. Im Gegensatz zu Düsen bzw. Rohrstücken mit kreisrundem Auslaß erreicht man hier eine linienförmige Bearbeitungsfläche, die ein schnelles, vollständiges und effektives Reinigen großer Werkstückflächen er möglicht. Diese Variante ist bevorzugt für die Reinigung von Schüttgut in einer Durchlauf-Anlage geeignet.

Vorzugsweise arbeitet man mit einer Frequenz und einer Intensität des Ultraschalls im Bereich von 20 bis 80 kHz, insbesondere von 20 bis 40 kHz, und im Bereich von 10 bis 1000 W/cm², insbesondere von 100 bis 400 W/cm².

Als Reinigungsmittel kommen beispielsweise wäßrige Reiniger oder Reiniger auf Basis eines Lösemittelgemischs in Frage. Bei tief liegenden Flammpunkten der Lösungsmittel sind Sicherheitsmaßnahmen zum Explosions- und Brandschutz erforderlich. Daher ist es bevor zugt, wäßrige Reiniger einzusetzen. Die Zusammensetzung derartiger Reiniger ist im Prinzip im Stand der Technik bekannt. Für die im Rahmen der Erfindung vorgesehene Anwendung ist darauf zu achten, daß die Reinigungsmittel während der Anwendung im Ultraschallfeld keinen störenden Schaum und/oder störende Gasblasen entwickeln.

Wäßrige Reiniger sind insbesondere zur Lösung von polaren Ver schmutzungen wie beispielsweise Salzablagerungen geeignet. Sie können beispielsweise 0,5 bis 25 Gew.-% Tenside, bis zu 40 Gew.-% Waschverstärker und Buildersubstanzen sowie bis zu 3 Gew.-% Ent schäumer enthalten. Der Rest zu 100 Gew.-% bilden dann Wasser oder andere Wirk- und Hilfsstoffe. Eine derartige wäßrige Mischung kann zur Anwendung als solche eingesetzt oder aber mit Wasser um einen Faktor bis zu etwa 100 verdünnt werden.

Die Tenside können ausgewählt werden aus Aniontensiden, Niotensiden und/oder Kationtensiden. Als Aniontenside kommen beispielsweise Alkylbenzolsulfonate, Alkylsulfonate, Fettalkoholsulfate, Fettalkoholethersulfate, α-Olefinsulfonate, α-Estersulfonate, Alkylphosphate und Alkyletherphosphate in Betracht. Niotenside können ausgewählt werden aus Ethoxylaten und/oder Propoxylaten von Fettalkoholen, Alkylphenolen, Fettaminen, Fettsäuren und Fettsäu reestern. Weitere verwendbare Niotenside sind Alkanolamide, Amin oxide sowie Zuckertenside. Als Kationtenside kommen insbesondere Alkylammonium- oder Imidazoliumverbindungen wie beispielsweise Laurylmethylbenzylammoniumsalze in Betracht.

Waschverstärker und Buildersubstanzen können beispielsweise ausge wählt werden aus Silicaten, insbesondere Metasilicaten, Boraten oder auch aus chelatisierenden anorganischen Komplexbildnern wie beispielsweise oligomeren oder polymeren Phosphaten, Pyrophospha ten, Triphosphaten und cyclischen oder linearen Metaphosphaten. Sie werden vorzugsweise als Natrium- oder Kaliumsalze eingesetzt. Wei terhin können für diesen Zweck organische chelatisierende Komplex bildner eingesetzt werden, die vorzugsweise ausgewählt sind aus der Gruppe der polymeren Carbonsäuren, Hydroxyoligocarbonsäuren, stickstoffhaltigen Mono- oder Oligocarbonsäuren wie beispielsweise Nitrilotriessigsäure und Ethylendiamintetraessigsäure, Diphosphon säuren, Aminophosphonsäuren, Phosphonooligocarbonsäuren oder je weils deren Anionen.

Weiterhin können die Buildersubstanzen ausgewählt sein aus der Gruppe der Alkalimetallhydroxide, -carbonate, -carboxylate oder der Alkanolamine.

Alkanolamine wirken weiterhin als Korrosionsinhibitoren, insbeson dere in Kombination mit Borverbindungen. Als Korrosionsinhibitoren können auch aromatische oder aliphatische Carbonsäuren oder deren bei Anwendungskonzentration lösliche Salze eingesetzt werden. Bei spiele für aromatische Carbonsäuren mit Korrosionsschutzwirkung sind Benzoesäure, substituierte Benzoesäuren wie beispielsweise Hydroxybenzoesäuren sowie Zimtsäure. Als aliphatische Carbonsäuren setzt man bevorzugt lineare oder verzweigte gesättigte Carbonsäuren mit 6 bis 10 C-Atomen ein, vorzugsweise Caprylsäure, Pelargonsäure, 2,2-Dimethyloctansäure und insbesondere 2-Ethylhexansäure sowie 3,5,5-Trimethylhexansäure.

Entschäumer bzw. Schauminhibitoren wählt man vorzugsweise aus der Gruppe der Fettalkohole, Fettalkoholpolyglykolether oder Mischether. Besonders wirksame Entschäumer sind mit einer Alkylgruppe mit 4 bis 8 C-Atomen endgruppenverschlossene Anlagerungsprodukte von 7 bis 12 Mol Ethylenoxid an Fettalkohole mit 8 bis 18 C-Atomen.

Als wäßriger Reiniger kann beispielsweise ein Konzentrat folgender Zusammensetzung eingesetzt werden (Gew.-%)

76,0% Wasser
6,0% Pentanatriumtripolyphosphat
1,5% 3,5,5-Trimethylhexansäure
4,0% Natriumcarbonat
3,0% Na-Cumolsulfonat
3,0% Triethanolamin
4,5% Octanol × 10 EO
2,0% Kokosamin × 12 EO.

Je nach Schwierigkeit der Reinigungsaufgabe kann das Konzentrat mit unterschiedlichen Mengen Wasser verdünnt werden. Gute Ergebnisse werden beispielsweise erzielt, wenn man das Konzentrat im Ge wichtsverhältnis 1 : 10 bis 1 : 20 mit Wasser verdünnt.

Zur Entfernung von Fluxmitteln auf Leiterplatten ist beispielsweise ein Gemisch aus 23 Gew.-% Wasser, 60 Gew.-% Diacetonalkohol, 12 Gew.-% N-2-Methylpyrrolidon, 2 Gew.-% Triethanolamin, 2 Gew.-% ei nes nichtionischen Tensids (C₁₃-Alkyl-polyethylenglykolether mit 5 Ethylenoxideinheiten) und 1 Gew.-% eines anionischen Tensids (C_13-17-Alkylsulfonsäure-Na-Salz) geeignet.

Im folgenden werden mehrere Ausführungsbeispiele der Erfindung an hand von Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine in der Freistrahltechnik arbeitenden Düse in schematischer Darstellung,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch eine in der Fließspalttechnik arbeitenden Düse mit mehreren Ultraschall-Schwingern,

Fig. 3 einen Längsschnitt durch eine Düse mit einem teilweise von der Strömung umflossenen Ultraschall-Schwinger,

Fig. 4 eine schematische perspektivische Darstellung einer Düse mit einem schlitzförmigen Auslaß und einem Radialschwin ger in Fließspalttechnik und

Fig. 5 eine Düse entsprechend Fig. 4 in Freistrahltechnik.

Die Düse in Fig. 1 besteht aus einem Rohrstück 1, dessen Auslaß 2 im Abstand a zu der zu reinigenden Oberfläche 3 angeordnet ist. Der Abstand a beträgt in diesem Ausführungsbeispiel 62 mm. Das Rohr stück 1 hat einen Durchmesser von 40 mm. Über einen am oberen Ende angebrachten seitlichen Anschlußstutzen 4 strömt die Reinigungs flüssigkeit in das Rohrstück 1 ein, wird umgelenkt, tritt als freier Strahl 5 aus dem Auslaß auf und prallt auf die Oberfläche 3 des zu reinigenden Werkstückes auf. Die Strömungsgeschwindigkeit ist derart eingestellt, so daß sich eine laminare Strömung ergibt. In einigen Fällen ist es vorteilhaft, wenn das Reinigungsmittel 6 erwärmt ist.

An dem oberen, dem Auslaß 2 gegenüberliegenden Ende 7 des Rohr stücks 1 ist ein stabförmiger longitudinal schwingender Ultra schallerzeuger angebracht. In der Ausführungsform nach Fig. 1 dient der Schwinger 8 gleichzeitig als Abschluß für das obere Ende 7 des Rohrstücks 1.

Alternativ kann jedoch auch vorgesehen sein, daß der Longitudi nal-Schwinger 8 teilweise oder vollständig in das Rohrstück 1 ein taucht, wie es in Fig. 3 dargestellt ist.

Zur Verstärkung der Ultraschalleinwirkung kann auch eine Düse mit mehreren Schwingern 8 entsprechend Fig. 2 vorgesehen sein. Hier tritt das Reinigungsmittel 6 im Gegensatz zu den Ausführungen nach den Fig. 1 und 3 durch einen oberen Anschlußstutzen 9 ein. Das Verfahren arbeitet mit der Fließspalttechnik. Durch den sehr engen Spalt 10 zwischen dem Auslaß 2 und der Oberfläche 3 des Werkstücks tritt im Gegensatz zur Freistrahltechnik nur eine relativ geringe Menge an Flüssigkeit aus. Der Abstand zwischen Düsenauslaß und Oberfläche 3 beträgt vorzugsweise 2 bis 80 mm.

Die Fokussierung der in gleicher Phase arbeitenden Longitudinal- Schwinger ist durch die strichpunktierte Linie angedeutet.

Der Einsatz von Radialschwingern im erfindungsgemäßen Verfahren ist in den Fig. 4 und 5 dargestellt. Fig. 4 zeigt schematisch den Einsatz in der Fließspalttechnik, Fig. 5 die Verwendung von Radi alschwingern in der Freistrahltechnik.

Der Radialschwinger 11 ist innerhalb einer Düse und parallel zu deren Schlitzspalt 12 angebracht. Ansonsten entspricht diese Ver fahrensvariante den bisherigen Figuren, wobei hier wie auch in den übrigen Zeichnungen gleiche Bezugszeichen die gleiche Bedeutung haben.

Die Ultraschallreinigungswirkung kann durch im Wasserstrahl und/oder in der Wasservorlaufstrecke befindliche und mechanisch oder durch den Wasserstrom betriebene Bürsten unterstützt werden.

Bezugszeichenliste

1 Rohrstück
1′ Düse
a Abstand
2 Auslaß
3 Oberfläche
4 seitlicher Anschlußstutzen
5 freier Strahl
6 Reinigungsmittel
7 oberes Ende
8 Schwinger
9 oberer Anschlußstutzen
10 Spalt
11 Radialschwinger
12 Schlitzspalt.

Claims

1. Verfahren zum Reinigen der Oberfläche (3) von Werkstücken unter Einsatz von Ultraschall und einer Reinigungsflüssigkeit (6), wobei die Ultraschallschwingungen über die Reinigungsflüssig keit (6) an die zu reinigende Oberfläche (3) angekoppelt wer den, dadurch gekennzeichnet, daß man die Reinigungsflüssigkeit (6) in einem gezielten Strahl auf die zu reinigende Oberfläche (3) strömen läßt und gleich zeitig die Ultraschallschwingungen in diese Strömung einkop pelt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Reinigungsflüssigkeit (6) durch eine auf die zu reinigende Oberfläche (3) gerichtete und im Abstand (a) zu ihr angeordnete Düse (1′) strömen läßt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungsflüssigkeit (6) seitlich in die Düse (1′) bzw. in eine Zuleitung der Düse (1′) eintritt und die Strömung von einem am entgegengesetzten Ende (7) des Düsenauslasses (2, 12) angeordneten Ultraschall-Schwinger (8, 11) in Richtung auf den Düsenauslaß (2) beschallt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man die Reinigungsflüssigkeit (6) durch ein auf die zu reinigende Oberfläche (3) gerichtetes und in geringem Abstand, vorzugsweise 2 bis 80 mm, zu ihr angeordnetes Rohrstück (1) strömen läßt.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungsflüssigkeit (6) seitlich in das Rohrstück (1) eintritt und die Strömung von einem am entgegengesetzten Ende des Auslasses (2) angeordneten Ultraschall-Schwinger (8, 11) in Richtung auf dem Auslaß (2, 12) beschallt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der longitudinal schwingende Ultraschall-Schwinger (8) vollständig oder teilweise von der Strömung umflossen wird.

7. Verfahren nach Anspruch 3 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der longitudinal schwingende Ultraschall-Schwinger (8) mit einer seiner schwingenden Stirnflächen den Abschluß der Düse (1′) bzw. des Rohrstücks (1) am entgegengesetzten Ende des Auslasses (2) bildet.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß man die Ultraschallschwingungen mit mehreren, auf den Aus laß (2) der Düse (1′) bzw. des Rohrstücks (1) gerichteten, gleichphasig arbeitenden Longitudinal-Schwingern (8) in die Strömung einkoppelt.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß man die Reinigungsflüssigkeit (6) durch einen schlitzförmigen Auslaß (12) strömen läßt und die Ultraschall schwingungen in die Strömung mit einem Radialschwinger (11) einkoppelt, dessen Längsachse parallel zum Auslaß (12) ausge richtet ist.

10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man mit Ultraschall im Frequenzbereich von 20 bis 80, ins besondere von 20 bis 40 kHz arbeitet.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man mit einer Intensität des Ultraschalls von 10 bis 1000, insbesondere von 100 bis 400 W/cm² bezogen auf den Auslaßquer schnitt der Düse bzw. des Rohrstücks arbeitet.

12. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, da durch gekennzeichnet, daß man als Reinigungsflüssigkeit (6) eine wäßrige Zubereitung einsetzt, die 0,5 bis 25 Gew.-% Tenside, bis zu 40 Gew.-% Builder und Waschverstärker und bis zu 3 Gew.-% Entschäumer und als Rest zu 100 Gew.-% Wasser oder eine wäßrige Lösung weiterer Hilfs- oder Wirkstoffe einsetzt.

13. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, da durch gekennzeichnet, daß man als Reinigungsflüssigkeit (6) eine wäßrige Lösung einsetzt, die man durch Verdünnen der in Anspruch 12 genannten wäßrigen Zubereitung mit Wasser um einen Faktor bis zu 100 erhalten kann.

14. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, da durch gekennzeichnet, daß man als Reinigungsflüssigkeit (6) ein nichtwäßriges Lösungsmittel oder Lösungsmittelgemisch einsetzt.