DE19538446A1 - Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwandler - Google Patents
Wellenleiter/Streifenleitungs-WellentypwandlerInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ausbreitungswellentyp-Wandler, der beispielsweise für
ein Spannungsnormal, ein Strom/Spannungs-Meßgerät höchster Auflösung etc. verwendet wird.
Der Wellentypwandler der vorliegenden Erfindung empfängt eine elektromagnetische Welle, die
sich als Wellenleiter-Wellentyp ausbreitet, mittels einer Antenne und wandelt die empfangene
Welle zu einem Band- oder Streifenleitungs-Wellentyp um oder führt die umgekehrte Umwand
lung aus. Eine Streifenleitung, bei der eine Signalleitung aus Reihenschaltungen vieler sogenann
ter Josephson-Kontakte (Josephson-Übergänge) gebildet ist, kann als die Band- oder Streifenlei
tung (strip line) verwendet werden. In diesem Fall wird die elektromagnetische Welle, die sich in
Form des Wellenleiter-Wellentyps ausbreitet, in die Streifenleitung eingespeist, und die an jedem
der Josephson-Kontakte, die die Streifenleitung bilden, erhaltene Spannung wird summiert und
die Summenspannung dann ausgegeben. Eine Josephson-Kontakt-Gruppe mit einer Antenne, bei
der ein Wellentypwandler dieser Art eingesetzt ist, und ein Spannungsnormal-Generator, der die
Josephson-Kontakt-Gruppe verwendet, sind beispielsweise in der Druckschrift "The NBS
Josephson Array Voltage Standard" von C. Hamilton et. al., IEEE Trans., Instrum. Meas., Band
IM-36, Nr. 2, Juni 1987, Seiten 258-261 dargestellt.
Fig. 5 zeigt eine Josephson-Kontakt-Gruppe, bei der dieser bekannte Wellenleiter/Streifen
leitungs-Wellentypwandler (Wellenleiter-Wellentyp-Streifenleitungs-Wellentypwandler) eingesetzt
ist. Eine Antenne 12 ist auf einer Hälfte eines dielektrischen Substrats 11 ausgebildet und eine
Josephson-Kontakt-Gruppe 13 ist auf der anderen Hälfte des Substrats 11 ausgebildet. Wie in
Fig. 2A gezeigt, ist in der Mitte der Längsseite an einem Ende eines rechtwinkligen Wellenleiters
15 eine Nut 16 ausgebildet. Das Substrat 11 ist in die Nut 16 eingeführt, um die Antenne 12
innerhalb des Wellenleiters 15 anzuordnen.
Die Antenne 12 ist eine Rippen- oder Flossenleitungs-Antenne (fin-line antenna), wobei eine
Flosse 12b Teil einer auf dem aus Silizium bestehenden Substrat ausgebildeten Masseebene ist,
während die andere Flosse 12a auf einem dielektrischen Film ausgebildet ist, der auf die
Masseebene aufgedampft ist. Die Länge der Antenne 12 beträgt zwei Wellenlängen (so
genannte reduzierte Wellenlänge auf einem Substrat, das von dem Wellenleiter 15 und dem
Substrat 11 beeinflußt wird) der sich durch den Wellenleiter 15 ausbreitenden elektromagneti
schen Wellen. Die jeweiligen Randteile 12a₁ und 12b₁ der Flossen 12a und 12b, deren Außen
seiten jeweils geschlitzt sind, sind an der Nut 16 des Wellenleiters 15 angeordnet und mit dem
Wellenleiter 15 verbunden, so daß die Hochfrequenz nach Masse abgeleitet wird.
Ein Teil des Querschnitts der Josephson-Kontakt-Gruppe 13 ist in Fig. 2B gezeigt. Darin ist ein
Josephson-Kontakt 27 dadurch aufgebaut, daß auf der gesamten Oberfläche einer Silizium
scheibe 18 eine Masseschicht 19 aus Nb ausgebildet wird, auf der gesamten Oberfläche der
Masseschicht 19 eine dielektrische Schicht 21 aus SiO ausgebildet wird, auf der dielektrischen
Schicht 21 eine linien- oder leitungsförmige Nb-Schicht 22 diskret ausgebildet wird, auf der
Schicht 22 eine Al₂O₃-Schicht ausgebildet wird, auf der Al₂0₃-Schicht 23 ein Paar Nb-Schich
ten 24 ausgebildet werden, die längs der Richtung der längeren Seite ausgerichtet sind, jede
Gruppe aus der Nb-Schicht 22, Al₂O₃-Schicht 23 und Nb-Schicht 24 mittels eines SiO-Trenn
teiles 25 gleichen Intervalls in Richtung der längeren Seite getrennt wird, und ein SiO-Trennteil
26 zwischen die Nb-Schichten 24 auf der Al₂O₃-Schicht 23 gesetzt wird, so daß ein Joseph
son-Kontakt 27 von der Nb-Schicht 22, der Al₂O₃-Schicht 23 und der Nb-Schicht 24 gebildet
wird. Diese Josephson-Kontakte 27 sind mittels Verbindungsleiterschichten 28 aus Pbln in
Reihe geschaltet. Diese Reihenschaltungen von Josephson-Kontakten bilden als eine
Signalleitung 29 zusammen mit der Masseleitung (Masseschicht) 19 eine Streifenleitung 31.
Das Substrat 11 wird in einem Behälter mit flüssigem Helium (nicht gezeigt) gekühlt, damit die
Masseschicht 19 supraleitend wird. Der Verlust der Streifenleitung 31 ist damit nahezu null. Die
Streifenleitung 31 ist zickzack-förmig gewendet oder gefaltet, wie in Fig. 5 gezeigt. Wie in Fig.
2A gezeigt, liegt die Antenne 12 in der Mitte der längeren Seite des Querschnitts des Wellenlei
ters 15, wo, geht man davon aus, daß sich die elektromagnetische Welle 10 in dem Wellenleiter
15 als TE₁₀ Wellentyp ausbreitet, die Ebene der Antenne 12 orthogonal zum magnetischen Feld
H und parallel zum elektrischen Feld E liegt und sich damit die Leistungsdichte nach Berechnung
anhand des Poyntingschen Vektors als maximal ergibt. Die von der Antenne 12 empfangene
elektromagnetische Welle 10 wird im Zustand der Anpassung zwischen der Antenne 12 und der
Streifenleitung 31 an die Streifenleitung 31 geliefert.
Die Querschnitte an den in Fig. 5 durch die strichpunktierten Schnittlinien a, b, c und d markier
ten Stellen sind in Fig. 3A, B, C bzw. D gezeigt. Bei den Schnittlinien a und b sind die Flossen
12a und 12b auf einer jeweiligen der beiden Seiten der dielektrischen Schicht 21 angeordnet,
wobei die Positionen in Richtung senkrecht zur dielektrischen Schicht 21 gesehen gegeneinan
der versetzt sind, und ferner jede Innenseite der Flossen ein Doppelrippenteil ist, dessen Form
wie eine Exponentialkurve aussieht. Die elektrischen Felder zwischen diesen Flossen sind
gepunktet in Fig. 3 dargestellt. An der Stelle der Schnittlinie c bilden Leiter 32a, 32b, die auf
beiden Seiten der dielektrischen Schicht 21 jeweilig mit den Flossen 12a und 12b verbunden
sind, eine symmetrische Übertragungsleitung, wo die beiden Flossen einander zugewandt sind.
An der Stelle der Schnittlinie d bilden die Signalleitung 29 und die Masseleitung 19, die mit den
Leitern 32a bzw. 32b verbunden sind, eine Streifenleitung (unsymmetrische Übertragungslei
tung) 31. Bei solch einer Anordnung wird eine Umsetzung zwischen der charakteristischen
Impedanz von angenähert 450 Ω des Wellenleiters 15 und der charakteristischen Impedanz von
angenähert 8 Ω der Streifenleitung 31 erzielt.
Bei dieser Anordnung wird die von der Antenne 12 empfangene elektromagnetische Welle in
den Streifenleitungs-Wellentyp umgewandelt und dann, wie in Fig. 5 gezeigt, an einem
Verzweigungspunkt 33 auf zwei Wege aufgeteilt, an jedem Verzweigungspunkt 34 und 35
wiederum auf zwei Wege aufgeteilt und an jedem der Verzweigungspunkte 34a, 34b, 35a und
35b zur Einspeisung in die Josephson-Kontakt-Gruppe 13 wiederum auf zwei Wege aufgeteilt.
Ein Ersatzschaltbild der die Josephson-Kontakt-Gruppe 13 aufweisenden Streifenleitung 31 ist
in Fig. 4 gezeigt. Wie in Fig. 4 dargestellt, sind Koppelkondensatoren 36 und 37 zum Blockieren
eines Gleichstroms in Reihenschaltung zwischen dem Verzweigungspunkt 33 und dem Verzwei
gungspunkt 34 bzw. zwischen dem Verzweigungspunkt 33 und dem Verzweigungspunkt 35
angeordnet. Jedes der beiden an dem Verzweigungspunkt 34 aufgeteilten Signale breitet sich
durch die Streifenleitung 31 aus und wird am Ende über einen Abschlußwiderstand 38 und
einen Hochfrequenz-Ableitungskondensator 39 zur Masseschicht 19 abgeleitet. In ähnlicher
Weise breitet sich jedes am Verzweigungspunkt 35 aufgeteilte Signal durch die Streifenleitung
31 aus und gelangt über einen Abschlußwiderstand 38 und einen Hochfrequenzableitungskon
densator 39 zur Masseschicht 19. In Fig. 4 ist eine mit der Antenne 12 empfangene Welle als
an den Verzweigungspunkt 33 anzulegende Signalquelle 41 dargestellt. Die von jedem Joseph
son-Kontakt 27 erzeugte Spannung wird aufsummiert, und die Summenspannung erhält man
zwischen den beiden Enden der in Reihe geschalteten Josephson-Kontakte 27, das heißt
zwischen den Anschlüssen 42 und 43.
Im Stand der Technik ist die Länge der Antenne 12 gleich oder größer als zwei Wellenlängen,
und die Breite W₁ ist gleich der Höhe h₁ des TE₁₀-Wellentyp-Wellenleiters 15, daß heißt die
maximale Breite, so daß die Umwandlung zwischen dem Wellenleiter-Wellentyp in dem Wellen
leiter 15 und dem Streifenleitungs-Wellentyp in der Streifenleitung 31 möglichst effizient ausge
führt werden kann.
Der herkömmliche Wellentypwandler bietet aber keine effiziente Umwandlung, weshalb eine
längere Flossenleitungs-Antenne mit mehr als zwei Wellenlängen verwendet wurde, um in einem
Wellenleiter begrenzter Größe eine größere Ausgangsleistung zu erzielen. Wenn daher bei der
herkömmlichen Josephson-Kontakt-Gruppe beispielsweise die physikalische Größe des
Substrats begrenzt ist, ist die Fläche zur Anordnung der Josephson-Kontakte gering, und die
Anzahl anzuordnender Josephson-Kontakte ist begrenzt. Damit ist die Josephson-Spannung
entsprechend niedrig.
Darüberhinaus ist bei dem herkömmlichen Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwandler der
Übertragungswirkungsgrad nicht gut.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwandler
mit hohem Umwandlungswirkungsgrad zu schaffen.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Wellenleiter/Streifenleitungs-
Wellentypwandler zu schaffen, bei dem eine kleinere Antenne ausgebildet werden kann und der
Umwandlungswirkungsgrad höher als bei einem bekannten Wellentypwandler ist.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Wellenleiter/Streifenleitungs-
Wellentypwandler zu schaffen, bei dem die Antenne klein ist, der Umwandlungswirkungsgrad
und der Übertragungswirkungsgrad hoch sind, indem die zulässigen Grenzen für die Krümmung
und die Nähe der Streifenleitungen, wenn die Streifenleitung gewendet wird, klar gemacht
werden.
Noch eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Wellenleiter/Streifen
leitungs-Wellentypwandler zu schaffen, bei die Empfindlichkeit auf gleiche Höher wie bei dem
bekannten Wellentypwandler liegt, die physikalische Größe jedoch kleiner ist und mehr
Josephson-Kontakte auf dem Substrat untergebracht werden können, wenn das Substrat glei
che Größe wie bei dem bekannten Wellentypwandler aufweist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung sind bei einem Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwand
ler, wo Antennen auf einer Hälfte eines in einen Wellenleiter einzusteckenden dielektrischen
Substrats ausgebildet sind und eine mit diesen Antennen verbundene Streifenleitung auf der
anderen Hälfte des Substrats ausgebildet ist, n (n ist eine ganze Zahl gleich oder größer als 2)
Antennen und Verbindungsmittel zum Verbinden eines Endes der Streifenleitung mit den n
Antennen vorgesehen.
Jeder der n Antennen ist vorzugsweise eine Flossenleitungs-Antenne, und die Länge ist gleich
oder geringer als eine Wellenlänge (reduzierte Wellenlänge auf einem Substrat) der empfangenen
elektromagnetischen Welle.
Der eingeschlossene Winkel der Flossenleitungs-Antenne ist vorzugsweise weniger als 6,6
Grad.
Die Streifenleitung umfaßt bei einer Ausführungsform Reihenschaltungen von Josephson-
Kontakten und ist hochfrequenzmäßig in 4n Abschnitte unterteilt. Die Verbindungsmittel verbin
den jede von n Gruppen mit je 4 der unterteilten Abschnitte mit einer entsprechenden der n
Antennen.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist das Verhältnis R/W des Krümmungsdurchmessers R
eines Wende- oder Umkehrabschnitts der Streifenleitung zur Signalleitungsbreite W gleich oder
größer als 3.5.
Das Verhältnis S/W eines Abstands S der benachbarten Signalleitungen zur Signalleitungsbreite
W ist vorzugsweise gleich oder größer als 1,5.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläu
tert. Es zeigen:
Fig. 1A eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung,
Fig. 1B eine vergrößerte Darstellung des in Fig. 1A innerhalb eines strichpunktierten Kreises 1
liegenden Teils,
Fig. 2A eine perspektivische Ansicht, die beispielhaft die Verbindung einer Josephson-
Kontakt-Gruppe mit einem Wellenleiter zeigt,
Fig. 2B einen Querschnitt einer Streifenleitung 31,
Fig. 3A bis 3D Querschnitte, die durch strichpunktierte Schnittlinien a bis d in Fig. 5 markiert
sind,
Fig. 4 ein Ersatzschaltbild der in Fig. 5 gezeigten Josephson-Kontakt-Gruppe,
Fig. 5 eine Draufsicht auf eine Josephson-Kontakt-Gruppe mit einem herkömmlichen Wellen
typwandler,
Fig. 6 ein Ersatzschaltbild der Josephson-Kontakt-Gruppe in dem Ausführungsbeispiel von
Fig. 1A,
Fig. 7A bis 7E Flossenleitungs-Antennenmuster mit verschiedenen eingeschlossenen Winkeln
Θ,
Fig. 8 Verlustcharakteristiken der Antennen mit verschiedenen eingeschlossenen Winkeln,
die in den Fig. 7A bis 7E gezeigt sind,
Fig. 9A eine herkömmliche 2-Wellenlängen-Flossenleitungs-Antenne,
Fig. 9B eine 1-Wellenlängen-Flossenleitungs-Antenne,
Fig. 9C eine 1 -Wellenlängen-Doppelflossenleitungs-Antenne,
Fig. 10 ein Simulationsergebnis von Verlustcharakteristiken jeder der in den Fig. 9A bis
9C gezeigten Antennen,
Fig. 11 ein Simulationsergebnis des Zusammenhangs zwischen einem Streifenleitungs-Krüm
mungsdurchmesser R, normiert auf die Signalleitungsbreite W und dem Verlust,
Fig. 12 ein Simulationsergebnis des Zusammenhangs zwischen einem Streifenleitungsabstand
S, normiert auf die Signalleitungsbreite W, und dem Verlust, und
Fig. 13 eine Draufsicht eines anderen Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, wobei die gleichen Bezugssym
bole jeweiligen Teilen zugeordnet sind, die solchen in Fig. 4 und 5 entsprechen.
Bei der vorliegenden Erfindung wird eine Vielzahl von Antennen verwendet (bei diesem Ausfüh
rungsbeispiel sind es zwei Antennen 51 und 52). Die Antennen 51 und 52 sind jeweils Flos
senleitungs-Antennen, wobei die Antenne 51 Flossen 51a und 51b aufweist und die Antenne
52 Flossen 52a und 52b. Diese Antennen sind in dieselbe Richtung gerichtet, und die Flossen
51b und 52b sind zu einem einzigen Körper integriert, während die Flossen 51a und 52a außer
halb der Flossen 51b bzw. 52b ausgebildet sind. Die Flossen 51a und 52a sind auf einer Seiten
flächen der dielektrischen Schicht 21 (Fig. 2B) ausgebildet, während die Flossen 51b und 52b
auf der anderen Seitenfläche der dielektrischen Schicht 21 ausgebildet sind. Die Summe W₂ der
Breite der Antennen 51 und 52 ist der gleich der Höhe h₁ des Wellenleiters 15 (Fig. 2A), in den
diese Antennen eingeführt werden. Die äußeren Kantenabschnitte 51a₁ und 52a₁ der Antennen
51 bzw. 52, in die Schlitze eingegraben sind, sind an den Nuten 16 des Wellenleiters 15 so
angeordnet, daß diese Abschnitte hochfrequenzmäßig zum Wellenleiter 15 auf Masse liegen.
Die Länge der Antennen 51 und 52 ist jeweils gleich oder geringer als eine Wellenlänge. Diese
Antennen 51 und 52 sind in ähnlicher Weise wie in Fig. 5 gezeigt, mit einer Streifenleitung
verbunden, und es erfolgt die Impedanzwandlung. Jede von einer jeweiligen Antenne empfan
gene Welle wird vierfach unterteilt und an die Josephson-Kontakt-Gruppe 13 geliefert. Bei
diesem Beispiel ist die Josephson-Kontakt-Gruppe 13 in acht Abschnitte unterteilt, und jede der
acht von den Antennen 51 und 52 empfangenen Teilwellen wird einem jeweiligen der acht
Abschnitte der Gruppe zugeführt.
Fig. 6 zweigt ein Ersatzschaltbild für Fig. 1 in ähnlicher Weise wie das von Fig. 4. Jede von den
Antennen 51 und 52 empfangene Welle wird an jedem der Verzweigungspunkte 55 und 56
einer Schaltung der Wilkinsonart als Ausgangssignal einer der Signalquellen 53 und 54 auf zwei
Wege aufgeteilt. Jedes der Teilsignale wird einem von jeweiligen Gleichstrom-Blockkondensato
ren 57 bis 60 zugeführt und an einem von jeweiligen Verzweigungspunkten 61 bis 64 einer
Schaltung der Wilkinsonart auf zwei Wege aufgeteilt und an die jeweiligen Streifenleitungen 31
geliefert. Jede Streifenleitung 31 umfaßt sieben parallel angeordnete und in Reihe geschaltete
Leitungen. Ein der Streifenleitung 31 geliefertes Signal breitet sich durch die Streifenleitung aus
und wird über einen Abschlußwiderstand 38 und einen Hochfrequenzableitungskondensator 39
zur Masseschicht 19 abgeleitet. Die Summenspannung der von jedem Josephson-Kontakt 27
erzeugten Josephson-Spannung wird zwischen den beiden End-Anschlüssen 42 und 43 der
Reihenschaltungen aller Josephson-Kontakte gewonnen.
Bei dem in Fig. 1A gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Streifenleitung 31 in acht Abschnitte
unterteilt. Jeder der Teilabschnitte ist so aufgebaut, daß die parallel zur Richtung der längeren
Seite der Antennen 51 und 52 liegende Streifenleitung sechs mal gewendet wird. Jeweils vier
dieser sich zickzack-artig hin und her wendenden Streifenleitungs-Abschnitte sind auf jeder
Seite einer Mittellinie 50 zwischen den Antennen 51 und 52 angeordnet. Die von der Antenne
51, die auf einer Seite der Mittellinie 50 liegt, empfangene Welle wird an den Verzweigungs
punkten 55, 61 und 62 auf vier Wege aufgeteilt und an die vier Streifenleitungs-Abschnitte
geliefert, die auf derselben Seite wie die Antenne 51 liegen. Die von der Antenne 52, die auf
der anderen Seite der Mittellinie 50 angeordnet ist, empfangene Welle wird an den Verzwei
gungspunkten 56, 63 und 64 auf vier Wege aufgeteilt und an die vier Streifenleitungs-
Abschnitte geliefert, die auf derselben Seite wie die Antenne 52 liegen.
Da die Streifenleitung 31 von den empfangenen Signalen beider Antennen 51 und 52 gespeist
wird, ist, wenn die Gesamtlänge der Streifenleitung 31 zwischen den Anschlüssen 42 und 43
dieselbe ist, die Länge von der Speisequelle zum Abschlußwiderstand 38 jeder Streifenleitung
31 kürzer als im herkömmlichen Fall von Fig. 5, wo die Streifenleitung von einer einzelnen
Antenne gespeist wird. Damit ist der Verlust der Streifenleitung 31 entsprechend verringert.
Wenn man mit Θ den Winkel bezeichnet, der von den Tangentiallinien an jedem Kreuzungspunkt
der inneren Ränder der jeweiligen Flossen 51a, 51b, 52a und 52b der Antennen 51 und 52
eingeschlossen wird, dann ergibt sich das Simulationsergebnis des Streuparameters S₂₁, (ent
sprechend dem Empfangswirkungsgrad) gemäß Darstellung in Fig. 8 für die eingeschlossenen
Winkel Θ von 5,06°, 6,64°, 10,92°, 19,49° und 44,99°, wie sie in den Fig. 7A bis 7E
dargestellt sind. Fig. 8 zeigt die Simulationsergebnisse des Betriebs im Millimeterwellenband von
74,6 bis 95,6 GHz, simuliert durch den Betrieb im Mikrowellenband von 2,80 bis 3,60 GHz. Da
diese Antennen für 94 GHz als Betriebsfrequenz ausgelegt sind, ergibt sich aus Fig. 8, daß für
eingeschlossene Winkel kleiner als 6,6° der Einspeisungsverlust und die Änderung der Einspei
sungsverlustcharakteristik verringert werden.
Fig. 9A zeigt eine herkömmliche Flossenleitungs-Antenne, deren Flossenlänge zwei Wellenlän
gen beträgt, Fig. 9B zeigt eine Flossenleitungs-Antenne der Flossenlänge eine Wellenlänge
beträgt, und Fig. 9C zeigt zwei Flossenleitungs-Antennen (als Doppel-Flossenleitungs-Antenne
bezeichnet), deren Flossenlänge jeweils eine Wellenlänge ist, wie in Fig. 1 gezeigt. Ein Skalie
rungssimulationsergebnis des Streuparameters S₂₁ für diese Antennen ist in Fig. 10 gezeigt. Es
ergibt sich aus Fig. 10, daß die Doppel-Flossenleitungs-Antenne einen gleichen oder besseren
Empfangswirkungsgrad bietet und gleiche oder bessere (flache) Frequenzcharakteristiken
aufweist als die herkömmliche Flossenleitungs-Antenne mit zwei Wellenlängen und Einzelstruk
tur oder die Flossenleitungs-Antenne einer Wellenlänge und Einzelstruktur.
Der Zusammenhang zwischen dem Verhältnis R/W zwischen dem Krümmungsdurchmesser R
(siehe Fig. 1B) des Wende- oder Umkehrabschnitts der Streifenleitung 31 und der Breite W der
Signalleitung 29 der Streifenleitung 31 einerseits und dem Streuparameter S₂₁ bei 3,53 GHz
andererseits ist in Fig. 11 gezeigt. Aus Fig. 11 geht hervor, daß der Verlust deutlich zunimmt,
wenn R/W kleiner als 3,5 ist. R/W größer als 3,5 führt zu weniger Reflexion und geringerem
Verlust. Im Hinblick auf einen geringeren Platzbedarf und mehr Josephson-Kontakte auf einem
begrenzten Platz auf dem Substrat 11 wird empfohlen R/W näher bei 3,5 zu wählen.
Der Zusammenhang zwischen dem Verhältnis S/W des Abstands S der Signalleitungen 29 und
der Breite W der Signalleitung 29 einerseits und dem Streuparameter S₂₁ bei 3,5 GHz anderer
seits ist in Fig. 12 gezeigt. Aus Fig. 12 geht hervor, daß der Verlust wegen der gegenseitigen
Interferenz zwischen benachbarten Signalleitungen relativ abrupt schlimmer wird, wenn S/W
unter dem Wert von 1,5 liegt. S/W größer als 1,5 ist besser, aber S/W gleich 1,5 ist vom
Standpunkt kleineren Platzbedarfs und der Anordnung von mehr Josephson-Kontakten auf
einem begrenzten Platz des Substrats 11 wünschenswert.
Nebenbei bemerkt sind die Abmessungen der Streifenleitung 31 bei der bekannten Josephson-
Kontakt-Gruppe nicht bekannt. Aus den Abbildungen in der eingangs genannten Druckschrift
kann man etwa folgende Werte vermuten W = 50 µm, R = 200 µm und S = 100 µm. In
diesem Fall wäre jedes der Verhältnisse R/W = 4 und S/W = 7 größer als die bei dem vorge
nannten Ausführungsbeispiel jeweils günstigen Werte. Dementsprechend ist die Packungsdichte
der Josephson-Kontakte gering.
Obwohl bei dem obigen Ausführungsbeispiel zwei Flossenleitungs-Antennen 51 und 52
verwendet werden, können drei oder mehr Antennen verwendet werden. Eine Mehrzahl von
Antennen anderer Art als der Flossenleitungsart kann auch benutzt werden, wenn die Antennen
die Funktion haben, einen Wellenleiter-Wellentyp zu einem Streifenleitungs-Wellentyp (oder
umgekehrt) zu wandeln. Der Wellentypwandler der vorliegenden Erfindung kann eine elektro
magnetische Welle von einem Wellenleiter nicht nur an eine Josephson-Kontakt-Gruppe,
sondern auch an andere Vorrichtungen oder Elemente liefern, und zwar über eine einfache Strei
fenleitung 31, umfassend eine Masseschicht, eine Leiterleitung und eine zwischen der Masse
schicht und der Leiterleitung angeordnete dielektrische Schicht. Der Wellentypwandler der
vorliegenden Erfindung kann auch dazu verwendet werden, eine sich durch eine Streifenleitung
ausbreitende elektromagnetische Welle einem Wellenleiter zuzuführen.
Ein Ausführungsbeispiel einer einfachen Umwandlung zwischen einem Wellenleiter-Wellentyp
und einem Streifenleitungs-Wellentyp ist beispielsweise in Fig. 13 gezeigt, wobei alle Teile in
Fig. 13, die Teilen in Fig. 1 entsprechen, mit demselben Bezugssymbol versehen sind. Bei
diesem Ausführungsbeispiel ist jede von Flossen 51a und 52a mit einem Ende von 1/4-Wellen
längen-Streifenleitungen 71a und 71b verbunden, die jeweils nahezu parallel angeordnet sind,
und jedes der anderen Enden der Streifenleitungen 71a und 71b ist mit einem Ende einer 1/4-
Wellenlängen-Streifenleitung 71c verbunden. Das andere Ende der Streifenleitung 71c ist mit
einem Ende der Streifenleitung 31 verbunden, und das andere Ende der Streifenleitung 31 ist
ein Signaleingangs/Ausgangsanschluß. Zur Verbreiterung des Betriebsfrequenzbandes ist
bedarfsweise ein Widerstandselement 72 zwischen den Verbindungspunkt der Flosse 51a mit
der Streifenleitung 71a und den Verbindungspunkt der Flosse 52a mit der Streifenleitung 71b
geschaltet. Wenn die Impedanzen der Streifenleitungen 71a, 71b und 71c Z₁, Z₂ bzw. Z₃ sind,
ergibt sich Z₃ zu Z₃ = √(Z₁ × Z₂). Diese Streifenleitungen 71a, 71b, 71c und das Widerstands
element 72 sind Komponenten einer sogenannten Wilkensonschen Multiplex/Verzweigungs
einrichtung (Verbindungseinrichtung) 71. Die von den Antennen 51 und 52 empfangenen
Wellen werden gemultiplext und dann der Streifenleitung 31 geliefert. Umgekehrt wird eine
elektromagnetische Welle von der Streifenleitung 31 auf die Antennen 51 und 52 aufgeteilt.
Wenn beispielsweise die Impedanz der Antennen 51 und 52 50 Θ beträgt, jede Impedanz der
Streifenleitungen 71a und 71b 59,4 Θ beträgt, die Impedanz der Streifenleitung 71c 42,0 Θ
beträgt, der Widerstandswert des Widerstandselements 72 100 Θ beträgt und die Impedanz der
Streifenleitung 31 50 Θ beträgt, ergibt sich ein Multiplexen/Verzweigen mit guter
Impedanzanpassung.
Wie oben erwähnt, kann gemäß der vorliegenden Erfindung die Antenne unter Beibehaltung
derselben Empfindlichkeit wie eine herkömmliche Antenne zweifacher Wellenlänge in kompakter
Größe ausgebildet werden, und die Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwandlung kann,
verglichen mit dem Stand der Technik, mit höherem Wirkungsgrad ausgeführt werden. Da die
Antenne in kompakter Größe ausgeführt werden kann, können im Fall der aus Reihenschaltun
gen von Josephson-Kontakten gebildeten Streifenleitung mehr Josephson-Kontakte auf dem
Substrat 11 angeordnet werden, als beim Stand der Technik mit einem Substrat derselben
Fläche. Im Fall des in Fig. 1A gezeigten Ausführungsbeispiels, werden 20% des Substrats 11
von dem Antennenabschnitt und 80% von dem Josephson-Kontakt-Gruppenabschnitt einge
nommen, während bei dem in Fig. 5 gezeigten herkömmlichen Fall 36% der Antennenabschnitt
einnimmt und 64% der Josephson-Kontakt-Gruppenabschnitt. In den beiden obigen Fällen ist
die Antennenempfindlichkeit angenähert gleich. Wenn daher die Fläche des Substrats 11 gleich
ist, kann die Vorrichtung der vorliegenden Erfindung eine höhere Josephson-Spannung liefern,
als die herkömmliche Vorrichtung.
Darüber hinaus kann gemäß der vorliegenden Erfindung jeder der Teilabschnitte der Streifenlei
tung 31 von jeder der entsprechenden einen der Mehrzahl von Antennen gespeist werden, so
daß jeder Teilabschnitt der langen Streifenleitung 31 ausreichend gespeist werden kann. Das
heißt, wenn die Gesamtlänge der Streifenleitung gleich ist, ist bei der vorliegenden Erfindung die
Streifenleitungslänge von einem Einspeisungspunkt zu einem Abschlußpunkt kürzer als im Fall
des Standes der Technik, und der Streifenleitungsverlust ist entsprechend geringer. Auch dies
führt verglichen mit dem Stand der Technik zu einer höheren Josephson-Spannung.
Dadurch, daß das Verhältnis R/W des Krümmungsdurchmessers R eines Wendeabschnitts einer
Streifenleitung zur Breite W einer Signalleitung 29 auf angenähert 3,5 gesetzt wird, kann der
Verlust durch eine kleine Krümmung verringert werden. Wenn ferner das Verhältnis S/W des
Leitungsabstands S der Streifenleitungen zur Signalleitungsbreite W auf annähernd 1,5 gesetzt
wird, kann der Leitungsabstand unter Beibehaltung des geringen Verlusts klein gemacht
werden.
Dadurch schließlich, daß eine Flossenleitungs-Antenne verwendet wird, deren eingeschlossener
Winkel weniger als 6,6 Grad beträgt, kann der Einsetzverlust verringert werden.
Wenn bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform die Größe des Substrats 10,5 × 17,0 mm²
ist, R/W = 3,5 ist, S/W = 1,5 ist, die Anzahl von auf dem Substrat angeordneten Josephson-
Kontakten 25.944 ist und eine Millimeterwelle von 94 GHz und 13 mW angelegt wird, erhält
man eine Josephson-Spannung von 18,5 V. Dies ist gegenüber dem Stand der Technik eine
Verbesserung von 37%. Nebenbei bemerkt beträgt bei dem herkömmlichen Fall von Fig. 5 die
Größe des Substrats 19 × 10,5 mm² und die Anzahl von auf dem Substrat angeordneten
Josephson-Kontakten ist 18.992.
Claims (12)
1. Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwandler, umfassend:
ein dielektrisches Substrat (11), von dem ein Teil in einen Wellenleiter (15) einsetzbar ist,
n auf einem in den Wellenleiter (15) einzusetzenden Abschnitt des Substrats (11) ausgebildete Antennen (51, 52), wobei n eine ganze Zahl gleich oder größer als 2 ist,
eine auf einem Abschnitt des Substrats außerhalb des Wellenleiters (15) ausgebildete Streifenleitung (31), deren eines Ende mit einem Signaleingangs/Ausgangs-Anschluß verbunden ist, und
Verbindungsmittel (55, 56, 61-64) zum hochfrequenzmäßigen Anschluß des anderen Endes der Streifenleitung an jede der Antennen.
ein dielektrisches Substrat (11), von dem ein Teil in einen Wellenleiter (15) einsetzbar ist,
n auf einem in den Wellenleiter (15) einzusetzenden Abschnitt des Substrats (11) ausgebildete Antennen (51, 52), wobei n eine ganze Zahl gleich oder größer als 2 ist,
eine auf einem Abschnitt des Substrats außerhalb des Wellenleiters (15) ausgebildete Streifenleitung (31), deren eines Ende mit einem Signaleingangs/Ausgangs-Anschluß verbunden ist, und
Verbindungsmittel (55, 56, 61-64) zum hochfrequenzmäßigen Anschluß des anderen Endes der Streifenleitung an jede der Antennen.
2. Wellentypwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Anten
nen (51, 52) eine Flossenleitungsantenne ist, deren Länge gleich oder geringer als eine Wellen
länge (reduzierte Wellenlänge auf einem Substrat) der verwendeten elektromagnetischen Welle
ist.
3. Wellentypwandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der eingeschlos
sene Winkel der Flossenleitungsantennen (51, 52) weniger als etwa 6,6 Grad beträgt.
4. Wellentypwandler nach Anspruch 2 oder 3 dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl
der Flossenleitungsantennen (51, 52) zwei beträgt, daß die beiden Flossenleitungsantennen
parallel und in derselben Längsrichtung angeordnet sind, daß innere Flossen (51b, 52b) der
beiden Antennen zu einem Körper integriert sind, und daß die Gesamtbreite der beiden parallel
angeordneten Antennen etwa gleich der Innenhöhe des Wellenleiters (15) ist.
5. Wellentypwandler nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine Signalleitung (29) der Streifenleitung (31) Reihenschaltungen vieler Joseph
son-Kontakte (27) umfaßt, die Streifenleitung hochfrequenzmäßig in 4n Streifenleitungsab
schnitte unterteilt ist und beide Enden der Streifenleitung Ausgangsanschlüsse (42, 43) sind,
und daß die Verbindungsmittel (55, 56, 61-64) jeweils eine Gruppe aus jeweils 4 der Streifenlei
tungsabschnitte hochfrequenzmäßig mit einer der Antennen (51, 52) verbindet.
6. Wellenleiter/Streifenleitungs-Wellentypwandler, umfassend:
ein dielektrisches Substrat (11), von dem ein Teil in einen Wellenleiter (1 5) einsetzbar ist,
n auf einem in den Wellenleiter (15) einzusetzenden Abschnitt des Substrats (11) ausgebildete Antennen (51, 52), wobei n eine ganze Zahl gleich oder größer als 2 ist,
eine auf einem Abschnitt des Substrats (11) außerhalb des Wellenleiters ausgebildete Streifenleitung (31) mit einer Signalleitung (29), die Reihenschaltungen vieler Josephson- Kontakte (27) umfaßt, wobei die Streifenleitung hochfrequenzmäßig in 4n Streifenleitungsab schnitte unterteilt ist und beide Enden der Streifenleitung Ausgangsanschlüsse (42, 43) sind, und
Verbindungsmittel (55, 56, 61-64) zum hochfrequenzmäßigen Verbinden von jeweils eine Gruppe aus jeweils 4 der Streifenleitungsabschnitte mit einer der Antennen (51, 52).
ein dielektrisches Substrat (11), von dem ein Teil in einen Wellenleiter (1 5) einsetzbar ist,
n auf einem in den Wellenleiter (15) einzusetzenden Abschnitt des Substrats (11) ausgebildete Antennen (51, 52), wobei n eine ganze Zahl gleich oder größer als 2 ist,
eine auf einem Abschnitt des Substrats (11) außerhalb des Wellenleiters ausgebildete Streifenleitung (31) mit einer Signalleitung (29), die Reihenschaltungen vieler Josephson- Kontakte (27) umfaßt, wobei die Streifenleitung hochfrequenzmäßig in 4n Streifenleitungsab schnitte unterteilt ist und beide Enden der Streifenleitung Ausgangsanschlüsse (42, 43) sind, und
Verbindungsmittel (55, 56, 61-64) zum hochfrequenzmäßigen Verbinden von jeweils eine Gruppe aus jeweils 4 der Streifenleitungsabschnitte mit einer der Antennen (51, 52).
7. Wellentypwandler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Anten
nen (51, 52) eine Flossenleitungsantenne ist, deren Länge gleich oder geringer als eine Wellen
länge (reduzierte Wellenlänge auf einem Substrat) der verwendeten elektromagnetischen Welle
ist.
8. Wellentypwandler nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der einge
schlossene Winkel der Flossenleitungsantennen (51, 52) weniger als etwa 6,6 Grad beträgt.
9. Wellentypwandler nach Anspruch 6 bis 8 dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl
der Flossenleitungsantennen (51, 52) zwei beträgt, daß die beiden Flossenleitungsantennen
parallel und in derselben Längsrichtung angeordnet sind, daß innere Flossen (51b, 52b) der
beiden Antennen zu einem Körper integriert sind, und daß die Gesamtbreite der beiden parallel
angeordneten Antennen etwa gleich der Innenhöhe des Wellenleiters (15) ist.
10. Wellentypwandler nach Anspruch 4 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der
acht Streifenleitungsabschnitte der Streifenleitung (31) so ausgebildet ist, daß die sich längs der
Längsrichtung der Flossenleitungsantennen erstreckende Streifenleitung mehrfach um kehrt, daß
vier dieser acht umkehrenden Streifenleitungsabschnitte parallel zu einer Verlängerung einer
Mittellinie (50) zwischen den beiden Antennen (51, 52) auf deren einer Seite angeordnet sind,
daß die anderen vier parallel zu der Verlängerung der Mittellinie auf deren anderer Seite ange
ordnet sind, daß eine der beiden Antennen (51), die auf der einen Seite der Mittellinie angeord
net ist, mit den vier Streifenleitungsabschnitten auf der entsprechenden Seite verbunden ist,
während die andere, auf der anderen Seite der Mittellinie angeordnete Antenne (52) mit den
anderen vier Streifenleitungsabschnitten auf der entsprechenden Seite verbunden ist.
11. Wellentypwandler nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Verhältnis R/W des Krümmungsdurchmessers R eines Umkehrabschnitts einer Signallei
tung (29) der Streifenleitung (31) zur Breite W der Signalleitung annähernd 3,5 beträgt.
12. Wellentypwandler nach einem der Ansprüche 5 bis 11, dadurch gekennzeichnet,
daß das Verhältnis S/W des Abstands S zwischen benachbarten Signalleitungen zur Breite W
der Signalleitung annähernd 1,5 beträgt.
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