DE19532755C1 - Chipmodul, insbesondere für den Einbau in Chipkarten, und Verfahren zur Herstellung eines derartigen Chipmoduls - Google Patents
Chipmodul, insbesondere für den Einbau in Chipkarten, und Verfahren zur Herstellung eines derartigen ChipmodulsInfo
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Description
Chipkarten, die häufig auch als Wertkarten bezeichnet werden
und beispielsweise als Telefonkarten oder Identifikationskar
ten dienen, bestehen aus einem Kartenkörper und einem in den
Kartenkörper eingebrachten Chipmodul. Zur Bildung des Chipmo
duls wird der eigentliche Chip auf ein Verdrahtungselement
kontaktiert, welches meist vergoldete und relativ großflä
chige Kontaktflächen besitzt. Das Chipmodul wird dann so in
den Kartenkörper eingebaut, daß die Kontaktflächen auf einer
Oberfläche der Chipkarte liegen und dadurch eine externe
Kontaktierung des implantierten Chips ermöglichen.
Für die Kontaktierung des Chips auf das Verdrahtungselement
werden im wesentlichen die TAB-Technik (Tape Automated Bon
ding) und die Draht-Bond-Technik angewandt (vergleiche Hand
buch der Chipkarten, 1995, Carl Hanser Verlag München Wien,
Seiten 31, 32).
Bei der TAB-Technik werden zunächst auf die Anschlußflächen
der Chips metallische Höcker galvanisch aufgebracht. Als
Verdrahtungselement dient hier der sogenannte Spider, dessen
über einen Trägerfilm überstehende Leiterbahnen durch Löten
oder Thermokompression mit den zugeordneten Höckern des Chips
verbunden werden. Die aktive Fläche des Chips wird dann noch
durch eine Abdeckung mit Kunststoff gegen Umwelteinflüsse
geschützt. Der Vorteil des TAB-Verfahrens liegt in der hohen
mechanischen Belastbarkeit der Chipanschlüsse und in der
geringen Bauhöhe des Chipmoduls. Andererseits ergeben sich
durch die aufwendige Höckererzeugung auf dem Chip höhere
Kosten als bei den in Draht-Bond-Technik hergestellten Chip
modulen.
Bei der am weitesten verbreiten Draht-Bond-Technik dient als
Verdrahtungselement wieder eine Kunststoffolie, auf deren
Vorderseite die für eine externe Kontaktierung vorgesehenen
Kontaktflächen galvanisch aufgebracht sind. Zur Aufnahme des
Chips und der Drahtverbindungen sind Löcher aus dem Träger
film ausgestanzt. Der Chip wird nun in die vorgesehene Aus
stanzung von der Rückseite auf der Leiterbahn befestigt. An
schließend werden die Chipanschlüsse mit dünnen Drähten mit
der Rückseite der Kontakte verbunden. Zum Schluß werden der
Chip und die Bond-Drähte durch eine Abdeckung mit Kunststoff
gegen Umwelteinflüsse geschützt. Der Vorteil des Draht-Bond-
Verfahrens liegt darin, daß es sich weitgehend an das in der
Halbleiterindustrie übliche Verfahren zur Verpackung von
Chips in Standardgehäusen anlehnt und preisgünstiger ist als
das TAB-Verfahren.
Weitere Anwendungsformen der TAB-Technik gehen aus der CH 654
143 A5 und der FR 2 584 235 A1 hervor. Weitere Anwendungsfor
men der Draht-Bond-Technik gehen aus der JP 3-51196 A2
(Abstract) und der JP 63-258050 A2 (Abstract) hervor.
In der CH 661 816 A5 ist ein Verdrahtungselement beschrieben,
bei welchem auf einem Filmstreifen mehrere Leiterbahnen ange
ordnet sind, die auf einer Seite in ebene Kontaktflächen für
eine externe Kontaktierung münden. Die anderen Enden der Lei
terbahnen werden entweder direkt durch Löten oder Kleben oder
mittels Drahtkontaktierung mit den zugeordneten Anschlüssen
eines Chips verbunden. Bei dem aus der FR 2 584 235 A1 be
kannten (Flip-Chip)-Verfahren liegen die Kontaktstellen
für die Chip-Montage jeweils innerhalb des Bereichs der
zugeordneten Kontaktfläche für die externe Kontaktierung.
Aus der JP 55-26613 A2 (Abstract) ist ein beidseitig mit ei
ner Transportperforation versehenes Trägerband für Chips be
kannt, bei welchem die Leiterstrukturen und die Perforation
durch beidseitiges Ätzen aus einer Metallfolie herausgebildet
werden. In der Umgebung der Chipkontakte des Trägerbandes
wird die Metallfolie durch einseitigen Ätzangriff auf die
halbe Stärke reduziert, so daß die Chipkontakte höckerförmig
hervorstehen. Nach dem Verzinnen der gesamten Metallfolie
entsteht durch den Verzicht auf Folien aus organischem Mate
rial ein gegen Einwirkung von Hitze unempfindliches Träger
band für Chips.
Der in den Ansprüchen 1 und 21 angegebenen Erfindung liegt das
Problem zugrunde, ein für den Einbau in Chipkarten geeigne
tes Chipmodul zu schaffen, das im Vergleich zur TAB-Technik
und insbesondere im Vergleich zur Draht-Bond-Technik kosten
günstig hergestellt werden kann und genügend stabil ist, um
die Weiterverarbeitung zur fertigen Chipkarte und die spätere
Gebrauchsbelastung schadlos zu überstehen.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß aus einem
Metallblech mit geringem Aufwand eine Metallstruktur heraus
geätzt werden kann, die auf der Vorderseite ein großflächiges
Kontaktfeld für die spätere externe Kontaktierung trägt und
auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte
für die Kontaktierung des Chips aufweist. Voraussetzung für
Chip- und Kontaktlayout ist dabei lediglich, daß jeder Chip
kontakt innerhalb des zugehörigen großflächigen Kontaktes
liegt. Ausgangsmaterial für die Metallstruktur ist ein Me
tallblech, das nur ätzbar und metallisierbar sein muß und im
übrigen hinsichtlich der Materialart und der Härte optimal
auf den Anwendungsfall abgestimmt werden kann. Die Dicke des
Metallblechs kann beispielsweise bei 200 µ Metern liegen. Zur
Kontaktierung kann die Metallstruktur im Nutzen oder im
Bandformat gefertigt werden.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unter
ansprüchen angegeben.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung
dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen
Fig. 1 eine Draufsicht auf die externen Kontaktflächen eines
für den Einbau in Telefonkarten geeigneten Chipmoduls,
Fig. 2 einen Schnitt gemäß der Linie II-II der Fig. 1,
Fig. 3 die Herstellung einer erfindungsgemäßen Metallstruk
tur aus einem Metallblech vor dem Ätzen,
Fig. 4 die in Fig. 3 dargestellte Anordnung nach dem Ätzen
und nach dem Entschichten der Metallstruktur,
Fig. 5 die Metallstruktur gemäß Fig. 4 nach dem Auflaminie
ren auf eine Klebefolie,
Fig. 6 das Aufbringen eines Klebers auf die in Fig. 5 dar
gestellte Struktur,
Fig. 7 die Struktur gemäß Fig. 6 nach dem Aufbringen eines
Chips mittels Flipchip-Klebens,
Fig. 8 die Metallstruktur gemäß Fig. 4 nach dem Aufbringen
eines Chips mittels Flipchip-Lötens,
Fig. 9 die Anordnung gemäß Fig. 8 nach dem Hinterfüllen der
Zwischenräume mit einem Gießharz,
Fig. 10 eine Variante der in Fig. 4 dargestellten Metall
struktur nach der Drahtkontaktierung eines auf die
Rückseite aufgeklebten Chips,
Fig. 11 eine Anordnung gemäß Fig. 10 nach dem Schutz der
Drähte durch eine Abdeckung,
Fig. 12 eine durch Aufpressen einer Kunststoffschicht auf
die in Fig. 4 dargestellte Metallstruktur gebildete
Platte,
Fig. 13 die Platte gemäß Fig. 12 nach dem Galvanisieren
der freiliegenden Metallflächen,
Fig. 14 eine Platte gemäß Fig. 13 nach dem Aufbringen
eines Chips mittels Flipchip-Klebens,
Fig. 15 die Platte gemäß Fig. 13 nach dem Aufbringen eines
Chips mittels Flipchip-Lötens und
Fig. 16 eine Platte ähnlich Fig. 13 nach der Drahtkontak
tierung und Abdeckung eines auf die Rückseite aufge
brachten Chips.
Die Fig. 1 und 2 zeigen in der Draufsicht bzw. im Quer
schnitt ein Chipmodul, bei welchem sich das Chip- und Kon
taktlayout am Layout einer heutigen Telefonkarte orientiert.
Insbesondere im Querschnitt gemäß Fig. 2 ist eine Metall
struktur MS1 zu erkennen, welche auf der Vorderseite ebene
Kontaktflächen KF für eine externe Kontaktierung und auf der
Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte CK1 be
sitzt. In der schematischen Darstellung gemäß Fig. 1 sind
zur Verdeutlichung des Chip- und Kontaktlayouts die Umrißli
nien eines Chips C1 und die den Chipkontakten CK1 zugeordne
ten Chipanschlüsse CA1 des Chips C1 sichtbar, d. h. durch
ausgezogene Linien dargestellt. Es ist zu erkennen, daß jeder
Chipkontakt CK1 bzw. Chipanschluß CA1 innerhalb des Bereichs
einer zugeordneten Kontaktfläche KF liegt, d. h. die Chipkon
takte CK1 befinden sich jeweils auf der Rückseite der zuge
ordneten, wesentlich größeren Kontaktflächen KF. Fig. 2
zeigt auch noch, daß der Chip C1 mittels Flipchip-Kleben mit
der Metallstruktur MS1 verbunden ist, wobei der Kleber mit K
bezeichnet ist. Weitere Einzelheiten des Flipchip-Klebens
werden an späterer Stelle anhand der Fig. 6 und 7 näher
erläutert.
Bei der Herstellung einer erfindungsgemäßen Metallstruktur
MS1 wird von einem Metallblech MB ausgegangen, das beispiels
weise 200 µ Meter dick ist und aus ätz- und metallisierbarem
Material bestehen muß. Seine Materialart und Härte kann im
übrigen optimal im Hinblick auf den Anwendungsfall bzw. im
Hinblick auf die geforderte Stabilität und die Kosten ausge
wählt werden. Das Metallblech MB wird beidseitig mit einem
Fotolack oder mit einer Fotofolie beschichtet und anschlie
ßend beidseitig belichtet; auf der einen Seite mit dem Muster
der Kontaktflächen KF und auf der anderen Seite mit dem
Muster der Chipkontakte CK1. Nach dem Entwickeln verbleibt
gemäß Fig. 3 auf beiden Seiten des Metallblechs MB ein
Ätzresist AR, welches auf der in Fig. 3 unten dargestellten
Vorderseite das Muster der Kontaktflächen KF und auf der
gegenüberliegenden Rückseite das Muster der Chipkontakte CK1
besitzt. Als nächster Schritt erfolgt ein beidseitiges Ätzen,
wobei die Ätztiefe je nach Wunsch von beiden Seiten gleich
oder unterschiedlich sein kann. Nach dem Entfernen des Ätzre
sist AR verbleibt die in Fig. 4 dargestellte Metallstruktur
MS1 mit den Kontaktflächen KF auf der hier unten liegenden
Vorderseite und den höckerförmig hervorstehenden Chipkontak
ten CK1 auf der Rückseite. Die Metallstruktur MS1 ist über in
der Zeichnung nicht dargestellte Stege an den großen Flächen
mit einem ebenfalls nicht dargestellten Hilfsrahmen verbunden
und wird dadurch zusammengehalten.
Als nächster Schritt erfolgt das Galvanisieren der Metall
struktur MS1 mit der gewünschten, in der Fig. 4 nicht er
kennbaren Kontaktoberfläche. Als Kontaktoberfläche ist bei
spielsweise eine Nickel/Gold-Schicht geeignet.
Gemäß Fig. 5 wird anschließend die Metallstruktur MS1 tempo
rär auf eine insgesamt mit KFO bezeichnete Klebefolie aufka
schiert. In diesem Stadium ist das dargestellte Gebilde
bereit für die Chipkontaktierung, die besonders vorteilhaft
in Flipchip-Technik durchgeführt wird, einer Montageart, bei
der eine Direktkontaktierung der Chipanschlüsse CA1 mit den
Chipkontakten CK1 der Metallstruktur MS1 stattfindet.
Von Bedeutung für eine Anwendung der Flipchip-Technik ist
eine Veredelung der Chipanschlüsse CA1, für die es heute, im
Vergleich zu bisher, einfache Verfahren gibt. Sie arbeiten
mit stromloser Metallabscheidung und benötigen keine teuren
vakuum- und fototechnischen Prozesse. Eine derartige Padver
edelung versieht die Chipanschlüsse CA1 zum Beispiel mit
einer Nickel/Gold-Schicht von gewünschter Dicke, die sowohl
für eine Klebverbindung, als auch für eine Lötung geeignet
ist.
Beim Flipchip-Kleben wird zunächst gemäß Fig. 6 aus einer
oberhalb der Metallstruktur MS1 angeordneten Düse D ein
Klebstoff K auf die hier oben liegende Rückseite der Metall
struktur MS1 aufgetragen. Der Kleber K breitet sich dabei in
alle Zwischenräume aus, wobei ein Fließen auf die Kontaktflä
chen KF durch die Klebefolie KFO verhindert wird. Im nächsten
Schritt erfolgt das Positionieren eines Chips C1 auf den
Einbauplatz und eine Aushärtung des Klebstoffs K unter Druck
und Temperatur. Je nach Topfzeit und Härtebedingungen des
Klebstoffs K können kostengünstige Vielfachbehandlungen im
Nutzen, zum Beispiel bei Auftrag und Endhärtung, angewandt
werden. Durch die Schrumpfkräfte des ausgehärteten Klebstoffs
K entsteht eine feste mechanische Verbindung von Chip C1 und
Metallstruktur MS1 mit elektrischen Andruckkontakten zwischen
den Chipanschlüssen CA1 und den zugeordneten Chipkontakten
CK1. Diese elektrischen Andruckkontakte zeichnen sich durch
niedrige Übergangswiderstände aus.
Anschließend erfolgen die Entfernung der Klebefolie KFO das
Ausstanzen aus dem Nutzen und eine elektrische Prüfung. Das
fertige Chipmodul ist in Fig. 7 dargestellt. Der Aufbau
bedarf keiner weiteren Abdeckung und ist wegen seiner Flach
heit und Stabilität für den Einbau in Chipkarten besonders
gut geeignet.
Als Alternative zu dem vorstehend geschilderten Flipchip-
Kleben kann auch das Flipchip-Löten angewandt werden. In
diesem Fall muß jedoch entweder auf den Chipkontakten CK1
oder auf den Chipanschlüssen CA1 für ein Lotdepot gesorgt
werden. Im geschilderten Ausführungsbeispiel wurde eine
Tauchbelotung der veredelten Chipanschlüsse CA1 vorgenommen.
In den Fig. 8 und 9 ist für das Flipchip-Löten die Mög
lichkeit dargestellt, den Chip C1 zu kontaktieren, bevor die
Metallstruktur MS1 auf eine Klebefolie aufkaschiert wird.
Statt dessen wird nach der Kontaktierung die Chiprückseite
auf eine Klebefolie aufgeklebt und der Verguß vorgenommen.
Gemäß Fig. 7 wird der Chip C1 in Face-down Lage auf der
Metallstruktur MS1 derart positioniert, daß seine beloteten
Chipanschlüsse CA1 mit den Chipkontakten CK1 zur Deckung
kommen. Das Löten erfolgt dann unter Druck und Temperatur.
Nach dem Löten erfolgt das Hinterfüllen der Zwischenräume mit
einem Gießharz G. Das Gießharz G wird dabei im Überschuß
aufgebracht, um eine Komplettumfüllung zu erreichen.
Nach der Applikation des Gießharzes G erfolgen die Entfernung
der Klebefolie, das Ausstanzen aus dem Nutzen und eine elek
trische Prüfung. Das fertige durch Flipchip-Löten herge
stellte Chipmodul ist in Fig. 9 dargestellt.
Die Fig. 10 und 11 zeigen als weitere Alternative eine
Drahtkontaktierung. In diesem Fall liegen bei der hier mit
MS2 bezeichnete Metallstruktur die höckerförmig hervorstehen
den Chipkontakte CK2 außerhalb des Chipumfangs. Das Layout
entspricht also im wesentlichen dem bei der Draht-Bond-Tech
nik gebräuchlichen.
Gemäß Fig. 10 wird die Metallstruktur MS2 nach dem Galvani
sieren zunächst wieder mit ihrer Vorderseite auf eine Klebe
folie KFO aufkaschiert. Danach wird der hier mit C2 bezeich
nete Chip mit seiner Rückseite unter Verwendung eines nicht
näher bezeichneten Klebers, beispielsweise eines Leitklebers,
auf die Mitteninsel M1 der Metallstruktur MS2 aufgeklebt.
Anschließend erfolgt in bekannter Weise die Drahtkontaktie
rung, wobei die Chipanschlüsse CA2 über dünne Drähte D mit
den zugehörigen Chipkontakten CK2 verbunden werden. Die
Drahtverbindungen können beispielsweise über 25 µ Meter starke
Aluminiumdrähte im "US-Wedge-Verfahren" vorgenommen werden.
Nach der Drahtkontaktierung werden die dünnen Drähte D durch
eine Abdeckung AD aus Kunststoff geschützt. Anschließend
erfolgen die Entfernung der Kunststoffolie KFO, das Ausstan
zen aus dem Nutzen und eine elektrische Prüfung. Das fertige,
durch Drahtkontaktierung hergestellte Chipmodul ist in Fig.
11 dargestellt.
Abweichend von den vorstehend geschilderten Ausführungsbei
spielen kann es auch wünschenswert sein, die Metallstruktur
nicht erst bei der Chipmontage mit Klebstoff zu füllen und zu
verbinden, z. B. weil andere Forderungen an den Kunststoff
gestellt werden, als sie der Klebstoff erfüllen kann. In
diesem Fall wird nach dem Ätzen und Entschichten des Metall
formteils (vergleiche Fig. 4) wie folgt vorgegangen:
Gemäß Fig. 12 wird auf die Metallstruktur MS1 eine Kleb
stoffschicht aufgepreßt, wobei dieses Aufpressen durch Pfeile
PF angedeutet ist. Alle Zwischenräume der Metallstruktur MS1
werden dabei durch den mit KS bezeichneten Kunststoff form
schlüssig ausgefüllt, so daß eine Platte P1 mit zwei paralle
len Flächen entsteht. Die Erzeugung der Platte P1 kann sowohl
mit einer halbausgehärteten Epoxidfolie oder Duroplasten
geschehen, als auch mit Thermoplasten, Flüssigharz oder
ähnlichen Werkstoffen. Wichtig ist dabei nur, daß alle Zwi
schenräume der Metallstruktur MS1 in dem Kunststoff KS form
schlüssig ausgefüllt werden.
Anschließend erfolgt das Entfernen von Trennmittel und eines
eventuellen Harzrests auf den Kontaktflächen durch einen
mechanischen Schleifvorgang. Danach werden die freiliegenden
Metallflächen der Platte P1 durch galvanische Metallabschei
dung mit der gewünschten Kontaktoberfläche, beispielsweise
mit Nickel/Gold beschichtet. Die nach dem Galvanisieren der
freiliegenden Metallflächen mit einer derartigen Kontaktober
fläche KO versehene Platte P1 ist in Fig. 13 dargestellt.
Fig. 14 zeigt die Platte P1 gemäß Fig. 13 nach dem Aufbrin
gen eines Chips C1 mittels Flipchip-Kleben. Auch hier wird
prinzipiell wieder wie bei dem anhand der Fig. 6 und 7
beschriebenen Ausführungsbeispiel vorgegangen, so daß durch
die Schrumpfkräfte des ausgehärteten Klebstoffs K eine feste
mechanische Verbindung zwischen Chip C1 und Platte P1 mit
entsprechenden elektrischen Andruckkontakten entsteht.
Fig. 15 zeigt die Platte P1 gemäß Fig. 13 nach dem Aufbrin
gen eines Chips C1 mittels Flipchip-Lötens und dem Füllen des
Freiraums unter dem Chip C1 mit einem Gießharz G. Im übrigen
wird auch hier wieder wie bei dem anhand der Fig. 8 und 9
beschriebenen Ausführungsbeispiel vorgegangen.
Fig. 16 zeigt schließlich eine Variante mit einer aus der
Metallstruktur MS2 und dem Kunststoff KS gebildeten Platte
P2. Entsprechend dem anhand der Fig. 10 und 11 beschriebe
nen Ausführungsbeispiel wird auf die Rückseite der Platte P2
ein Chip C2 aufgeklebt und mit Hilfe von dünnen Drähten D
kontaktiert. Nach der Drahtkontaktierung erfolgt auch hier
wieder ein Schutz der Drähte D durch eine Abdeckung AD aus
Kunststoff.
Claims (24)
1. Chipmodul, insbesondere für den Einbau in Chipkarten,
bestehend aus
- - einer aus einem Metallblech (MB) herausgeätzten Metall struktur (MS1; MS2), welche auf der Vorderseite ebene Kon taktflächen (KF) für eine externe Kontaktierung und auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte (CK1; CK2) besitzt, und aus
- - einem auf der Rückseite der Metallstruktur (MS1; MS2) befestigten Chip (C1, C2), dessen Chipanschlüsse (CA1; CA2) mit zugeordneten Chipkontakten (CK1; CK2) der Metallstruktur (MS1; MS2) elektrisch leitend verbunden sind, wobei
- - jeder Chipkontakt (CK1; CK2) innerhalb des Bereichs einer zugeordneten Kontaktfläche (KF) liegt.
2. Chipmodul nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Kontaktierung
direkt mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) verbunden
sind.
3. Chipmodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Klebens mit den
zugeordneten Chipkontakten (CK1) verbunden sind.
4. Chipmodul nach Anspruch 3,
gekennzeichnet durch Andruckverbindungen zwischen
den Chipanschlüssen (CA1) und den zugeordneten Chipkontakten
(CK1) durch die Schrumpfkräfte eines ausgehärteten Klebers
(K).
5. Chipmodul nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Lötens mit den
zugeordneten Chipkontakten (CK1) verbunden sind.
6. Chipmodul nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß zumindest die Zwischenräume zwischen der Metallstruktur
(MS1) und dem Chip (C1) mit einem Gießharz (G) ausgefüllt
sind.
7. Chipmodul nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip (C2) mit seiner den Chipanschlüssen (CA2) gegen
überliegenden Seite auf der Rückseite der Metallstruktur
(MS2) angeordnet ist und daß die Chipanschlüsse (CA2) mittels
Drahtkontaktierung mit den zugeordneten Chipkontakten (CK2)
verbunden sind.
8. Chipmodul nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip (C2) auf einer zugeordneten Mitteninsel (M1) der
Metallstruktur (MS2) angeordnet ist.
9. Chipmodul nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip (C2) auf die Mitteninsel (M1) aufgeklebt ist.
10. Chipmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Drähte (D) der Drahtkontaktierung durch eine Ab
deckung (AD) geschützt sind.
11. Chipmodul nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die aus dem Metallblech (MB) herausgeätzten Zwischenräume
der Metallstruktur (MS1; MS2) zur Bildung einer Platte (P1; P2)
mit zwei parallelen Flächen mit einem Kunststoff (KS) form
schlüssig ausgefüllt sind.
12. Chipmodul nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf die freiliegenden Metallflächen der Platte (P1) durch
galvanische Metallabscheidung eine Kontaktoberfläche (KO)
aufgebracht ist.
13. Chipmodul nach Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Kontaktierung
direkt mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1) der Platte
(P1) verbunden sind.
14. Chipmodul nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Klebens mit den
zugeordneten Chipkontakten (CK1) der Platte (P1) verbunden
sind.
15. Chipmodul nach Anspruch 14,
gekennzeichnet durch Andruckverbindungen zwischen
den Chipanschlüssen (CA1) und den zugeordneten Chipkontakten
(CK1) durch die Schrumpfkräfte eines ausgehärteten Klebers
(K).
16. Chipmodul nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Chipanschlüsse (CA1) mittels Flipchip-Lötens mit den
zugeordneten Chipkontakten (CK1) der Platte (P1) verbunden
sind.
17. Chipmodul nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß zumindest die Zwischenräume zwischen der Platte (P1) und
dem Chip (C1) mit einem Gießharz (G) ausgefüllt sind.
18. Chipmodul nach Anspruch 11 oder 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip (C2) mit seiner den Chipanschlüssen (CA2) gegen
überliegenden Seite auf der Rückseite der Platte (P2) ange
ordnet ist, und daß die Chipanschlüsse (CA2) mittels Draht
kontaktierung mit den zugeordneten Chipkontakten (CK2) ver
bunden sind.
19. Chipmodul nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Chip (C2) auf die Platte (P2) aufgeklebt ist.
20. Chipmodul nach Anspruch 18 oder 19,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Drähte (D) der Drahtkontaktierung durch eine Ab
deckung (AD) geschützt sind.
21. Verfahren zur Herstellung eines Chipmoduls, insbesondere
für den Einbau in Chipkarten, mit folgenden Schritten:
- - Auf beide Seiten eines Metallblechs (MB) wird ein Ätzresist (AR) aufgebracht, welcher auf der Vorderseite das Muster von Kontaktflächen (KF) und auf der Rückseite das Muster von Chipkontakten (CK1; CK2) besitzt;
- - aus dem Metallblech (MB) wird durch beidseitiges Ätzen eine Metallstruktur (MS1, MS2) herausgebildet, welche auf der Vorder seite ebene Kontaktflächen (KF) für eine externe Kontaktie rung und auf der Rückseite höckerförmig hervorstehende Chipkontakte (CK1; CK2) besitzt, wobei jeder Chipkontakt innerhalb des Bereichs einer zugeordneten Kontaktfläche (KF) liegt;
- - der Ätzresist (AR) wird entfernt;
- - auf die Rückseite der Metallstruktur (MS1, MS2) wird ein Chip (C1) befestigt;
- - die Chipanschlüsse (CA1) des Chips (C1, C2) werden mit den zugeordneten Chipkontakten (CK1; CK2) der Metallstruktur (MS1, MS2) elektrisch leitend verbunden.
22. Verfahren nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Metallstruktur (MS1, MS2) nach der Entfernung des Ätzresi
sts (AR) mit ihrer Vorderseite temporär auf eine Klebefolie
(KFO) aufkaschiert wird.
23. Verfahren nach Anspruch 21 oder 22,
dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Metallstrukturen (MS1, MS2) aus einem Metallblech (MB)
derart herausgeätzt werden, daß die den Kontaktflächen (KF)
entsprechenden Einzelteile über Stege mit einem Hilfsrahmen
verbunden sind und dadurch zusammengehalten werden.
24. Verfahren nach Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet,
daß die aus dem Metallblech (MB) herausgeätzten Zwischenräume
der Metallstruktur (MS1, MS2) zur Bildung einer Platte (P1, P2)
mit zwei parallelen Flächen mit einem Kunststoff (KS) form
schlüssig ausgefüllt werden.
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