DE19526737A1 - Verfahren zum Entfernen von gasförmigen Fluorverbindungen aus einem Gasgemisch - Google Patents
Verfahren zum Entfernen von gasförmigen Fluorverbindungen aus einem GasgemischInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Entfernen von gasförmigen Fluorverbindun
gen aus einem Gasgemisch gemäß dem Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs sowie
eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.
Im Umweltschutz ist die Entfernung von gasförmigen Fluorverbindungen aus Gasge
mischen seit langem von großer Bedeutung. Insbesondere durch sich verschärfende
Emissionsbeschränkungen im Zusammenhang mit einer zunehmenden Verwendung in
der Technik ergibt sich ein ständig steigender Handlungsbedarf. FCKW′s
(Fluorchlorkohlenwasserstoffe) und PFC′s (perfluorinated compounds) werden etwa als
Kältemittel für Kältemaschinen (z. B. Freone C₂H₂F4, C₂F₆), in der Halbleiterindustrie
(beispielsweise Hexafluorethan C₂F₆) und bei Werkzeugherstellern (bspw. Tetrachlor
kohlenstoff CCl₄) verwendet, wobei einige Rohstoffhersteller schon dazu übergegangen
sind, nur Anwender zu beliefern, die eine Entsorgung dieser Stoffe (beispielsweise
Hexafluorethan) sicherstellen.
Zur Entfernung von PFC′s und FCKW′s aus Abgasen sind derzeit hauptsächlich fol
gende Verfahren bekannt. In einem ersten Verfahren wird ein kombinierter Brenner und
Wäscher eingesetzt, wobei jedoch ein hoher Primärenergieeinsatz erforderlich ist. Ein
weiterer Nachteil ist der CO₂-Ausstoß, der ein höheres GWP (global warming potential)
verursachen kann, als durch die FCKW-Vernichtung verhindert wird. Weiterhin müssen
die Reaktoren für eine hohe Temperatur ausgelegt sein, was zu einer kostenträchtigen
Apparatetechnik führt. Zudem muß das Waschwasser entsorgt werden. Ferner werden
Sorptionsverfahren verwendet, die jedoch FCKW′s nur physikalisch binden. Dadurch
kann nach Deponierung eine langsame Desorption über die Zeit stattfinden. Zuletzt ist
eine theoretisch mögliche Rückgewinnung zu nennen, die jedoch wegen der nur
geringen anfallenden Konzentrationen sowie Verunreinigungen durch Produkte eine
aufwendige Technik erfordert. Die derzeit ungeklärte Entsorgungssituation macht
zudem eine Rückgewinnung nicht realistisch.
Zusammenfassend weisen die bekannten Verfahren zur Entfernung von PFC- und
FCKW-haltigen Abgasen den Nachteil auf, daß sie eine sehr kostenintensive Apparatur
und einen hohen Primärenergieeinsatz erfordern sowie keine gesicherte Deponierung
der Produkte ermöglichen.
Aus der DE 41 30 035 A1 ist ein Verfahren zur Entfernung von sauren Schadstoffen aus
Abgasen bekannt, welches einen mit Salz durchtränkten Keramikkörper verwendet. Bei
diesem Verfahren besteht jedoch unter anderem das Problem, daß der mit Salz gefüllte
Keramikformkörper nur einen sehr beschränkten Kontakt des enthaltenen Salzes mit
dem zu reinigenden Abgas ermöglicht. Ein technischer Einsatz dieses Verfahrens ist
aufgrund der geringen aktiven Salzoberfläche schwierig.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Entfernen
von gasförmigen Fluorverbindungen aus einem Gasgemisch zu schaffen, die einfach
und kostengünstig zu realisieren sind und einen hohen Wirkungsgrad erlauben.
Die Aufgabe wird gemäß den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche gelöst.
Die abhängigen Patentansprüche geben vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterent
wicklungen der Erfindung an.
Erfindungsgemaß werden gasförmige Fluorverbindungen eines Gasgemischs in Kontakt
mit einem porösen Körper gebracht. Der poröse Körper ist beispielsweise ein Keramik
körper, der teilweise mit Salz gefüllt ist und eine große, dem Gas zugängliche innere
Oberfläche aufweist. Das Salz ist derart ausgewählt, daß es bei der Entfernung der
Schadstoffe aus dem Gasgemisch einen flüssigen Aggregatzustand einnimmt. Salz ist
insbesondere im flüssigen Zustand ein sehr gutes Lösungsmittel, so daß es in der Lage
ist, fluor- und chlorhaltige Abgaskomponenten zu lösen. In gelöstem Zustand sind die
Reaktionsgeschwindigkeiten der Fluorverbindungen zu Calciumfluorid erhöht. Der
poröse Körper ist derart ausgewählt, daß sich das geschmolzene Salz durch
Kapillarkräfte im Körper verteilt.
Es hat sich insbesondere als vorteilhaft erwiesen, den Keramikkörper nur teilweise mit
Salz zu füllen. Damit wird die dem Gas zur Verfügung stehende Oberfläche und das zur
Reaktion zur Verfügung stehende Salzvolumen vergrößert. Weiterhin kann das Abgas
durch die teilweise Befüllung alle Bereiche des porösen Körpers erreichen. Bei einer
nur teilweisen Füllung steht das gesamte Porensystem durch Diffusion zur Verfügung.
Die teilweise Befüllung mit Salz bewirkt eine Filmbildung im Porensystem aus
flüssigem Salz und damit eine drastische Erhöhung der dem Gas zur Verfügung
stehenden aktiven Salzoberfläche und des durch Lösevorgänge zur Verfügung
stehenden Reaktionsvolumens an flüssigem Salz. Im Gegensatz dazu steht dem Abgas
bei einer vollständigen Befüllung des porösen Körpers mit Salz nur die äußere
Oberfläche desselben zur Verfügung, da das flüssige Salz die Porenräume vollständig
füllt und dem Abgas somit nicht mehr zur Verfügung steht.
Für eine weitere Verbesserung der Reaktion in der Salzschmelze kann dem Salz vor
dem Einbringen in den porösen Körper ein Katalysator (bspw. V₂O₅) zugegeben
werden, wodurch der Löse- und/oder Reaktionsvorgang der Fluorverbindungen in dem
Salz weiter verbessert werden kann.
Weiterhin wird der Körper auf eine Temperatur gebracht, die oberhalb der Schmelz
temperatur des in dem Körper befindlichen Salzes liegt, so daß das Abgas in dem
Porenraum mit flüssigem Salz reagieren kann. Dies kann etwa durch das zu reinigende
Abgas oder durch eine geeignete Heizeinrichtung erfolgen.
Der Körper kann selbsttragend ausgebildet oder auf einem Metallträger fixiert sein. Auf
diesem Metallträger kann etwa durch das sogenannte Wash-coat-Verfahren eine poröse
Schicht aufgebracht werden, die teilweise mit Salz gefüllt werden kann, wobei dieses
Salz im Reaktionszustand flüssig ist. Vorteilhafterweise weist der Metallträger eine
Folie auf, die durch einen Widerstandsheizvorgang erwärmt werden kann. Dadurch ist
es möglich die poröse Schicht mit dem darin befindlichen Salz auf eine geeignete
Reaktionstemperatur zu bringen. Es ist somit nicht nötig, den gesamten Reaktor auf die
erforderliche Temperatur aufzuheizen. Weiterhin wird die Anlage auch von der
Abgastemperatur unabhängiger, da sie nicht mehr auf die Schmelzwärme aus dem
Gasgemisch (Reaktionsenthalpie) angewiesen ist. Dadurch kann etwa das Gasgemisch
eine geringere Temperatur aufweisen als die Schmelztemperatur des Salzes. Damit wird
die Anordnung des Reaktors flexibler, da er nicht mehr direkt stromab etwa eines
Verbrennungswärme erzeugenden Prozesses angeordnet sein muß. Wichtig ist in
diesem Zusammenhang auch, daß dadurch die Gefahr einer Überhitzung des Reaktors
vermindert wird, da die Reinigungsvorrichtung an einem Ort angeordnet werden kann,
der in einem niedrigeren Temperaturbereich des Abgases liegt. Durch die Verwendung
eines Metallträgers wird außerdem der Strömungswiderstand der Reinigungsvorrichtung
weiter vermindert, so daß ein geringerer Druckverlust auftritt.
Durch die Erfindung können fluorierte und chlorierte Verbindungen mit Hilfe beispiels
weise von Luft und eines salzgefüllten porösen Körpers (z. B. Keramik) bei etwa 200-400°C
umgesetzt werden. Die Keramik kann etwa eine Oberfläche von bevorzugt 10-100 m²/g
aufweisen. Es sind jedoch auch andere spezifische Oberflächen denkbar.
Weiterhin kann der poröse Körper einen Porenanteil von 40 bis 70 Vol-% aufweisen.
Die Keramik kann teilweise mit geschmolzenem Salz (bspw. Na(NO₃)/K(NO₃) zu je 50
Gewichts-% plus zumindest 5 Gew-% Ca(NO₃)₂ befüllt sein. Dieses Salz kann
weiterhin einen katalytischen Zusatz enthalten (bspw. V₂O₅). Abhängig von den
Schadstoffedukten können als Reaktionsprodukte Na/K/Ca-Cl erhalten werden, die
ungiftig sind. Weiterhin kann CaF₂ erhalten werden, das ebenso völlig unbedenklich
und zudem unlöslich ist. Außerdem wird in zu vernachlässigenden Mengen NOx und
CO₂ gebildet, wobei CO₂ wiederum unbedenklich ist. Der jeweils entstehende Rückstand
kann dann etwa im gemahlenen Zustand als Dünger verwendet oder aufgrund der
entstehenden nicht physiologisch bedenklichen Mengen in geeigneten Deponien
gelagert werden.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand von beiliegenden
Figuren naher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur
Entfernung von fluorhaltigen Gasen aus einem Gasgemisch,
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen porösen
Körpers,
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines vollständig mit Salz gefüllten
porösen Körpers und
Fig. 4 eine schematische Darstellung eines an einem Metallträger angeordneten
porösen Körpers.
Die Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zum Entfernen von
gasförmigen Fluorverbindungen aus einem Gasgemisch. Ein schadstofferzeugender
Prozeß 1 leitet das erzeugte Abgas über eine Eduktleitung 2 zu einem Reaktor 3, der
einen porösen Körper 15 (siehe Fig. 2) enthält. In der Eduktleitung 2 ist ein erster
Massenstromsensor 4, ein erster Gassensor 6 und ein Ventil 8 angeordnet. Die im
Prozeß 1 erzeugten Edukte strömen somit je nach der Stellung des Ventils 8 mit einem
gesteuerten Massenstrom in den Reaktor 3. In dem Reaktor 3 findet die Umsetzung der
aus dem Abgas zu entfernenden Schadstoffe statt. Mit dem Reaktor 3 gekoppelt kann
eine Heizvorrichtung 10 vorgesehen sein, welche bei der Verwendung eines
Metallträgers 18 mit einer Folie des Metallträgers 18 verbunden sein kann. Durch ein
entsprechendes Anlegen einer Spannung an die Folie kann ein Stromfluß erzeugt
werden, welcher wiederum zu einem Widerstandsaufheizvorgang in der Folie führt.
Dadurch kann der Metallträger 18 und somit der Reaktor 3 auf eine geeignete
Reaktionstemperatur gebracht werden, die vorzugsweise überhalb der
Schmelztemperatur eines in dem porösen Körper 15 des Reaktors 3 angeordneten
Salzes 17 liegt.
Am Ausgang des Reaktors 3 ist in einer Produktleitung 10 ein zweiter Massenstrom
sensor 6 und ein zweiter Gassensor 7 angeordnet. In der Produktleitung 10 ist weiterhin
ein Gasanalysator 11 vorgesehen, der die Produktzusammensetzung erfassen kann.
Zur Prozeßsteuerung bzw. -regelung ist eine Steuereinheit 12 mit einer Eingabevorrich
tung 14 vorgesehen. Die Steuereinheit 12 nimmt über zugehörige Signalleitungen 13
entsprechende Signalwerte des ersten und zweiten Massenstromsensors 4 und 6, des
ersten und zweiten Gassensors 5 und 7, des Gasanalysators 11, des Ventils 8 und der
Heizeinrichtung 10 auf. Abhängig von dem abgespeicherten Ablaufprogramm kann
dann etwa das Steuerventil 8 geöffnet, geschlossen oder in eine gesteuerte
Zwischenstellung gebracht werden. Außerdem kann die Heizeinrichtung 10 in
Abhängigkeit von den erfaßten Meßwerten auf eine für den Prozeß optimale
Temperatur gebracht werden.
Natürlich können noch andere Sensoren eingesetzt werden. Beispielsweise können
Drucksensoren verwendet werden, die den Prozeßdruck überwachen. Weiterhin ist es
denkbar Temperatursensoren in den Leitungen und in dem Reaktor 3 anzuordnen, um
eine genaue Prozeßüberwachung und -steuerung zu ermöglichen.
Die in der Figur dargestellte Anordnung des Reaktors 3 ist nur beispielhaft. Es können
auch mehrere Reaktoren etwa in Parallelschaltung eingesetzt werden. Je nach der gefor
derten Anwendung kann eine beliebige Anzahl von parallelgeschalteten Reaktoren ver
wendet werden, die jeweils über eigene Strömungssteuerventile mit einer
Fluidströmung versorgt werden können. Sinkt etwa die Leistungsfähigkeit eines
Reaktors ab, so kann dieser Reaktor abgeschaltet werden, um das zum Einsatz
kommende poröse, salzgefüllte Material auszutauschen. Weiterhin kann eventuell auch
eine Serienschaltung der Reaktoren sinnvoll sein.
Die Fig. 2 zeigt den porösen Körper 15 mit einem freien Porenraum 16 in einer sche
matischen Darstellung. In dem freien Porenraum 16 ist das Salz 17 an porösen Struktu
ren 20 des porösen Körpers 15 angeordnet. Wie in dieser Darstellung gezeigt, ist der
freie Porenraum 16 des porösen Körpers 15 nur teilweise mit Salz 17 gefüllt. Dadurch
kann das zu reinigende Gasgemisch (in den Fig. 2 und 3 durch einen Pfeil angedeu
tet) in den freien Porenraum 16 eindringen, wodurch sich eine sehr hohe, dem Gas zu
gängliche Salzoberfläche ergibt.
Die Fig. 3 zeigt im Gegensatz zur Fig. 2 eine schematische Darstellung eines voll
ständig mit Salz 17 gefüllten porösen Körpers 15. Der in der Fig. 2 dargestellte freie
Porenraum 16 ist durch die vollständige Befüllung mit Salz 17 nicht mehr vorhanden.
Das zu reinigende Gasgemisch kommt somit nur noch mit einer äußeren Oberfläche 19
des porösen Körpers 15 in Kontakt, wodurch sich die aktive Salzoberfläche wesentlich
verringert. Dadurch ergibt sich nur noch ein sehr geringes Reaktionsvolumen an Salz
17, da sich die Grenzfläche zwischen dem Gasgemisch und dem flüssigen Salz 17
schnell absättigt und keine weitere Gasdiffusion erlaubt.
Die Fig. 4 zeigt den Metallträger 18 mit dem daran angeordneten porösen Körper 15.
Der poröse Körper 15 ist entweder als solcher in dem Reaktor 3 angeordnet oder wird,
wie in dieser Figur dargestellt, mit dem Metallträger 18 verbunden in den Reaktor 3
eingebracht. Bei Einsatz des Metallträgers 18 kommt es über das sogenannte Wash-coat-Verfahren
zu einer Verbindung zwischen dem porösen Körper 15 und dem
Metallträger 18. Der poröse Körper 15 ist somit in dieser Anwendung als eine poröse
Schicht 21 ausgebildet, die an dem Metallträger 18 anhaftet. Das Salz 17 wird dann in
die poröse Schicht 21 eingebracht.
Die Erfindung wird weiterhin anhand folgender Ausführungsbeispiele näher erläutert.
Nach einem entsprechendem Verfahren wird eine Keramik mit einem freien Porenraum
von 40 bis 70 Vol-% erzeugt. Dann wird eine Siebfraktion mit 0,3 bis 0,5 mm von
Keramikbruchstücken gebildet, wobei etwa 10% des Porenvolumens mit
Na(NO₃)/K(NO₃) 50/50 gefüllt werden. Hierbei werden 50 g Granulat bei 350°C auf 5 g
flüssiges Salz geschüttet und innig während 3 h verrührt.
In einem Mikrofestbettreaktor werden 1,0 g der gefüllten Keramik einem Gasstrom von
0,25 l/min (Normliter) Luft mit 0,1 Vol-% CHCl₃ ausgesetzt. Der Reaktor wird mit
Temperaturschritten von 25°C/1 h von Raumtemperatur auf 500°C erhitzt. Bei 325°C
wird 50% CHCl₃ vernichtet, bei 350°C 80% und darüber 99%.
Eine MgO-Keramik mit einem freien Porenvolumen von etwa 40 bis 70 Vol-% wird
durch Zerstoßen und Sieben auf eine Fraktion von 0,5 bis 0,3 mm gebracht. Etwa 10 g
dieses Granulats wird in einem Uhrglas mit einer Lösung aus 50 g Wasser und 10 g
Na(NO₃), 10 g K(NO₃) und 6 g Ca(NO₃)₂*4H₂O bis kurz nach beginnender Feuchtigkeit
(incipient wetness), erkennbar durch Flüssigkeit zwischen den Granulatkörpern, mittels
Pipette tropfenweise getränkt. Nach einer Trocknung bei 200°C und 3 h an der
Atmosphäre werden 5 g dieses Granulats in einen Quarzreaktor mit einem Durchmesser
von 10 mm und einer Länge von 100 mm eingefüllt, wobei sich eine Dichte des
Schüttguts von ca. 1 g/cm³ einstellt.
Ein mit 1,0 Vol-% NF₃ beladener Stickstoffstrom von 5 cm³/min wird bei 350°C
Reaktortemperatur über das Schüttbett geleitet. Der Umsatz von NF₃ beträgt <99%.
Mittels einer on-line Gasanalytik wurde ausgeschlossen, daß weitere gasförmige
Fluorverbindungen wie N₂F2, N₂F₄, HF, F₂, NF₂*, usw. entstehen.
Hier wird eine ähnliche Präparation wie bei Beispiel 2 vorgenommen, wobei jedoch das
Granulat mit einer Lösung aus 50 g H₂O, 3 g K(NO₃), 3 g Na(NO₃) und 10 g Ca(NO₃)₂
getränkt ist. Die Reaktorbeschickung ist zu der aus Beispiel 2 identisch.
Es wird ein mit 0,1 Vol-% C₂F₆ beladener Stickstoffstrom bei einer hydrodynamischen
Raumgeschwindigkeit von 100 h-1 über das Reaktorbett geleitet. Bei 450°C wird etwa
20% und bei 600°C 85% umgesetzt. Es können dabei keine fluorhaltigen
Nebenprodukte nachgewiesen werden.
Bei einer gleichen Präparation wie in Beispiel 3 und einer gleichen
Raumgeschwindigkeit wird der Reaktor mit 1000 ppm (= 0,1% SF₆ in N₂) beschickt.
Der Umsatz bei 350°C ist größer als 99%, wobei keine Nebenprodukte festgestellt
werden können.
Claims (15)
1. Verfahren zum Entfernen von gasförmige Fluorverbindungen aus einem Gasgemisch
durch einen heterogenen Kontakt mit einem porösen Körper (15), der mit Salz (17) ge
füllt ist, das Calciumverbindungen enthält, wobei die Calciumverbindungen mit dem
Gasgemisch zu Fluorid umgesetzt werden,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Körper (15) nur teilweise mit Salz (17) gefüllt ist.
2. Verfahren nach Ansprüche 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Körper (15) vorzugsweise zu 10-50% des Porenvolumens mit Salz (17) gefüllt
ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Calciumverbindungen Calciumnitrat enthalten, das mit zumindest 5 Gew-% in dem
Salz (17) enthalten ist.
4. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Körper (15) eine hohe Porosität von vorzugsweise 40-70 Vol-% (Porenanteil) auf
weist.
5. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Körper (15) Metalloxide enthält, vorzugsweise Aluminiumoxid und/oder
Magnesiumoxid und/oder Siliciumoxid (Keramik).
6. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Betriebstemperatur des Körpers (15) überhalb der Schmelztemperatur des Salzes
(17) liegt.
7. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Salz (17) vorzugsweise Kalium/Natriumnitrat zu je 50 Gewichts-% ist.
8. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
dem Salz (17) ein Katalysator zugesetzt wird, vorzugsweise Vanadiumoxid und/oder
Braunstein und/oder Chromoxid zu jeweils weniger als 5 Gewichts-%.
9. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
einer oder mehrere der folgenden Stoffe in dem zu reinigenden Gasgemisch enthalten
sind: Stickstofftrifluorid, Schwefelhexafluorid, Bortrifluorid, FCKW′s, beispielsweise
Freone, saure Verbindungen, beispielsweise Fluorwasserstoff und Chlorwasserstoff.
10. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Körper (15) selbsttragend ist und/oder an einem Metallträger (18) angeordnet ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Verbindung zwischen dem Körper (15) und dem Metallträger (18) nach dem wash
coat-Verfahren hergestellt wird.
12. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 9 oder 11,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Metallträger (18) vorzugsweise einen korrosionsfesten, hochtemperaturbeständigen
und aluminiumhaltigen Stahl enthält, beispielsweise Nichromat und/oder Werkstoff
1.5746.
13. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 9 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Metallträger (18) eine Folie mit einer Dicke von vorzugsweise 30 µm aufweist und
durch einen Widerstandsheizvorgang erwärmt werden kann.
14. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 9 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Metallträger (18) eine Zellenzahl von vorzugsweise 200 Zellen/inch² (cpsi)
aufweist.
15. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach zumindest einem der
Ansprüche 1-14.
Priority Applications (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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ID=7767471
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19526737C2 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001008786A1 (en) * | 1999-07-28 | 2001-02-08 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for catalytic conversion of fluorinated compounds in gases |
US6689252B1 (en) | 1999-07-28 | 2004-02-10 | Applied Materials, Inc. | Abatement of hazardous gases in effluent |
US6824748B2 (en) | 2001-06-01 | 2004-11-30 | Applied Materials, Inc. | Heated catalytic treatment of an effluent gas from a substrate fabrication process |
US7160521B2 (en) | 2001-07-11 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Treatment of effluent from a substrate processing chamber |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7736599B2 (en) | 2004-11-12 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement |
EP1954926A2 (de) | 2005-10-31 | 2008-08-13 | Applied Materials, Inc. | Prozessunterdrückungsreaktor |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4426365A (en) * | 1972-06-16 | 1984-01-17 | Noxso Corporation | Method for removing nitrogen oxides from gas streams and regenerating spent sorbent |
DE3816768C1 (de) * | 1988-05-17 | 1989-10-12 | Steuler-Industriewerke Gmbh, 5410 Hoehr-Grenzhausen, De | |
DE4130035A1 (de) * | 1991-09-10 | 1993-09-23 | Megaceram Gmbh Ges Fuer Kerami | Absorber und verfahren zur entfernung von sauren schadstoffen aus einem abgasstrom |
-
1995
- 1995-07-21 DE DE1995126737 patent/DE19526737C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4426365A (en) * | 1972-06-16 | 1984-01-17 | Noxso Corporation | Method for removing nitrogen oxides from gas streams and regenerating spent sorbent |
DE3816768C1 (de) * | 1988-05-17 | 1989-10-12 | Steuler-Industriewerke Gmbh, 5410 Hoehr-Grenzhausen, De | |
DE4130035A1 (de) * | 1991-09-10 | 1993-09-23 | Megaceram Gmbh Ges Fuer Kerami | Absorber und verfahren zur entfernung von sauren schadstoffen aus einem abgasstrom |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001008786A1 (en) * | 1999-07-28 | 2001-02-08 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for catalytic conversion of fluorinated compounds in gases |
US6689252B1 (en) | 1999-07-28 | 2004-02-10 | Applied Materials, Inc. | Abatement of hazardous gases in effluent |
US6824748B2 (en) | 2001-06-01 | 2004-11-30 | Applied Materials, Inc. | Heated catalytic treatment of an effluent gas from a substrate fabrication process |
US7160521B2 (en) | 2001-07-11 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Treatment of effluent from a substrate processing chamber |
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