DE19507625C2 - Festkörper-Laser hoher Leistung mit gekühltem Lasermedium - Google Patents
Festkörper-Laser hoher Leistung mit gekühltem LasermediumInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Festkörper-Laser, der vorzugsweise über mindestens
einen Halbleiter-Laser optisch gepumpt wird.
Ein derartiger Festkörper-Laser ist aus der DE 41 32 063 A1 bekannt. Dort ist ein
diodengepumpter Mikrokristalllaser beschrieben, dessen scheibenförmiges Lasermaterial
zusammen mit einer planen Diamantplatte in einer Fassung aufgenommen ist, welche Wärme
abführt, die beim Betrieb des Lasers anfällt.
In der EP 0 557 182 A1 ist ein Nd:YAG-Laser mit geringer Leistung, insbesondere zum
Einsatz in CD-Spielern, in Aufnahme- und in Wiedergabegräten erläutert. Dieser Laser
ermöglicht einen stabilen Betrieb bei nur geringem Laserrauschen. Er ist mittels einer
Laserdiode gepumpt und umfasst einen quaderförmigen Nd:YAG Laserstab. Der Nd:YAG
Laserstab hat eine reflektierende Endfläche, die zusammen mit einem konkaven Spiegel einen
Laserresonator bildet. Zur Frequenzverdopplung ist dem Nd:YAG Laserstab ein nichtlinearer
Kristall zugeordnet. Indem der Nd:YAG-Laserstab, der nichtlineare Kristall und der konkave
Spiegel auf einer aktiv temperaturstabilisierten Halterung angeordnet sind, wird eine hohe
Laserstabilität erzielt.
Aus der US 4,884,281 ist ein endgepumpter Festkörper-Laser bekannt, bei dem als
Pumpstrahlungsquelle ein oder mehrere Halbleiter-Laser bzw. Laser-Dioden verwendet
werden. Ein solcher Festkörper-Laser zeichnet sich insbesondere durch einen hohen
Wirkungsgrad aus, da durch die geeignete Wahl von entsprechend emittierenden
Pumpstrahlungsquellen eine effiziente optische Anregung des Lasermediums möglich ist.
Derart aufgebaute Festkörper-Laser erlangen zunehmend Bedeutung in Bereichen, wo eine
stabile Laseremission, ein gutes transversales Strahlprofil sowie eine Möglichkeit zur
longitudinalen Modenselektion gefragt sind. Hierunter fallen diverse medizinische
Anwendungen, beispielsweise in der Ophthalmologie.
Aus der o. g. US-Patentschrift ist desweiteren bekannt, im Laserresonator einen optisch
nichtlinearen Kristall anzuordnen, der als Frequenzvervielfacher-Element dient. Damit ist es
möglich, die Fundamentalwellenlänge des jeweiligen Lasermediums zu halbieren, dritteln etc.
Beispielsweise kann mit Hilfe eines KTP-Kristalles die Fundamentalwellenlänge 1,064 µm
eines Nd:YAG-Lasermediums halbiert werden, so daß dann Ausgangsstrahlung im grünen
Spektralbereich bei 532 nm resultiert.
Zudem ist aus dem Lehrbuch "Diodengepumpte Festkörperlaser" von P. Penser
und N. P. Schnitt, Springer Verlag, Berlin 1995, S. 162-163 ein longitudinal
gepumpter Festkörper-Laser hinreichend großer Leistung mit einem stabförmigen Lasermedium
bekannt.
Je höher nunmehr die gewünschten Leistungen eines derartigen Festkörper-Lasers liegen,
desto größere Probleme ergeben sich aufgrund thermischer Effekte im Lasermedium.
Hierunter fällt u. a. die Ausbildung sogenannter "Thermischer Linsen" im stabförmigen
Lasermedium mit den entsprechenden, negativen Folgen für die Effizienz und die
Strahlqualität des
Gesamtsystems. Großer Aufwand wird deshalb auf die Kühlung
einer derartigen Anordnung gelegt. So ist etwa aus der
WO 92/09127 A1 bekannt, das Lasermedium eines diodengepumpten
Festkörper-Lasers unmittelbar mit einer Kühlvorrichtung zu
versehen. Als nachteilig an der vorgeschlagenen Anordnung
erweist sich jedoch, daß damit nur relativ dünne Substrate
gekühlt werden können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die erwähnten
Nachteile des Standes der Technik zu vermeiden. Wünschenswert
ist ein endgepumpter Festkörper-Laser hoher Leistung bzw. hoher
Effizienz. Zusätzlich sollte optional die Möglichkeit zur
effizienten Frequenz-Vervielfachung gegeben sein.
Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Festkörper-Laser mit den
Merkmalen des Anspruches 1.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Festkörper-
Lasers ergeben sich aus den Merkmalen der abhängigen Ansprüche.
Erfindungsgemäß ist nunmehr innerhalb des Festkörper-Lasers ein
optisches Element vorgesehen, das eine Doppelfunktion erfüllt.
Zum einen steht das optische Element in thermischem Kontakt mit
einem Kühlelement und gewährleistet deshalb auf der Einkoppel
seite eine zusätzliche Wärmeabfuhr aus dem stabförmigen Laser
medium, das in thermischem Kontakt mit dem optischen Element
steht. Zur Kühlung des optischen Elementes sind hierbei eine
Reihe von Kühl-Konfigurationen realisierbar.
Desweiteren ist das gekühlte optische Element optisch so
dimensioniert, daß innerhalb des Laser-Resonators ein minimaler
Durchmesser des sich ausbildenden transversalen Modenprofiles
resultiert. Dies bedeutet, daß das in einer longitudinalen
Konfiguration zum stabförmigen Lasermedium angeordnete optische
Element auch als Endspiegel für den jeweiligen Laser-Resonator
dient.
Insgesamt ergibt sich somit ein einfacher Aufbau mit nur
wenigen Einzel-Elementen im Resonator des erfindungsgemäßen
Festkörper-Lasers. Es entfallen aufwendige Justierarbeiten
etc.. Daneben resultiert eine Reduzierung der üblicherweise
auftretenden thermischen Probleme im Lasermedium.
Weitere Vorteile sowie Einzelheiten des erfindungsgemäßen
Festkörper-Lasers ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der beiliegenden
Figur.
Diese zeigt eine schematische Darstellung einer bevorzugten
Ausführungsform des erfindungsgemäßen Festkörper-Lasers.
Der erfindungsgemäße Festkörper-Laser umfaßt hierbei ein
stabförmiges Lasermedium (1) mit planen Endflächen (1.1, 1.2).
Als Lasermedium dient im dargestellten Ausführungsbeispiel mit
Nd-Ionen dotiertes YAG (Yttrium-Aluminium-Granat). Die gewählte
Stablänge beträgt ca. 10 mm, der Stabdurchmesser ca. 3 mm.
Der Resonator des erfindungsgemäßen Festkörper-Lasers wird
durch einen teildurchlässigen Auskoppelspiegel (3) sowie einen
hochreflektierenden Endspiegel (2.1) gebildet, der in einem
optischen Element (2) integriert ist. Das optische Element (2)
wiederum ist unmittelbar benachbart zu einer Endfläche (1.1)
des stabförmigen Lasermediums (1) angeordnet. Mit dem
stabförmigen Lasermedium (1) steht das optische Element (2)
hierbei in thermischem Kontakt. Im dargestellten Ausführungs
beispiel sind das optische Element (2), ausgeführt als Linse,
und das stabförmige Lasermedium (1) über einen geeigneten Kitt
miteinander verbunden. Alternativ wäre es auch möglich, eine
Immersionsflüssigkeit zwischen der Linse (2) und dem stab
förmigen Lasermedium (1) vorzusehen. Desweiteren kann die Linse
(2) an das stabförmige Lasermedium (1) auch angesprengt werden.
Insbesondere im Fall des Ansprengens der Linse (2) an das
Lasermedium (1) läßt sich ein relativ geringer Brechungsindex-
Sprung zwischen den verwendeten Materialien realisieren.
Werden hingegen die beiden erstgenannten Möglichkeiten zur
Anordnung von Linse und Lasermedium (1) verwendet, so ist eine
sogenannte Kittreflex-Entspiegelung erforderlich. Je nach
verwendeter Kombination aus Lasermedium (1) und Linsenmaterial
muß eine entsprechende Antireflex-Schicht auf eine oder aber
auf beide Grenzflächen aufgebracht werden.
Im dargestellten Ausführungsbeispiel mit der aufgesprengten
Linse dient in Verbindung mit dem Nd:YAG-Stab als Linsen
material SF6 oder aber SFL 6. Derartige Gläser sind unter
diesen Handelsnamen z. B. von der Fa. Schott Glaswerke Mainz
erhältlich.
Als Pumpstrahlungsquelle (6) zur optischen Anregung des
erfindungsgemäßen Festkörper-Lasers ist im dargestellten
Ausführungsbeispiel ein bekanntes Laserdioden-Array vorgesehen,
das eine Pumpleistung von etwa 10-15 W bei einer Pump-Wellen
länge von 807 nm liefert. Derartige Laserdioden-Arrays sind
z. B. von der Firma SDL (Spectra Diode Labs) in großer Vielfalt
erhältlich.
Je nach erforderlicher Ausgangsleistung des Festkörper-Lasers
können aber auch mehr oder weniger leistungsstarke Halbleiter-
Laser-Konfigurationen als Pumpstrahlungsguelle(n) zum Einsatz
kommen.
Dem Laserdioden-Array (6) des dargestellten Ausführungs
beispieles vorgeordnet ist eine Strahlformungs-Optik (7), die
im wesentlichen die divergent emittierte Pumpstrahlung
kollimiert, bevor diese über das optische Element (2) auf das
anzuregende Lasermedium (1) gelangt.
Alternativ zum dargestellten Ausführungsbeispiel mit direkter
Übertragung der Pumpstrahlung, kann die Pumpstrahlung auch über
eine geeignete Faseroptik zur Einkopplung in das Lasermedium
übertragen werden, d. h. zwischen Pumpstrahlungsquelle und
Strahlformungs-Optik wäre in einer solchen Ausführungsform dann
eine entsprechende Faseroptik anzuordnen.
Das optische Element (2) in Form einer Linse ist zusammen mit
dem stabförmigen Lasermedium (1) in einer - schematisiert
angedeuteten - Fassung (4) gelagert. Die Fassung (4) dient
hierbei als Kühlelement, über das eine Wärmeabfuhr aus dem
Lasermedium (1) möglich ist. Die Wärmeabfuhr erfolgt somit
sowohl über die Oberfläche des Lasermediums (1) als auch über
die Linse (2) in Richtung der Fassung (4). Die Fassung (4)
wiederum dient im dargestellten Ausführungsbeispiel als
passives Kühlelement mit einer großen Oberfläche, über die die
resultierende Wärme an die Umgebung abgegeben wird. Als
Material für die Fassung (4) eignet sich hierbei etwa
beispielsweise Kupfer oder ein anderes Material mit hoher
Wärmeleitfähigkeit.
Neben einer rein passiven Ausführung des Kühlelementes wie
beschrieben, ist es ferner möglich, das Kühlelement, d. h. im
Ausführungsbeispiel der Fig. 1 die Fassung (4) des Laserstabes
(1) und der Linse (2), aktiv temperaturmäßig zu stabilisieren.
Dies kann etwa mit Hilfe eines bekannten Peltier-Elementes
erfolgen, das in thermischem Kontakt zum Kühlelement angeordnet
wird. Über eine entsprechende Temperatursteuerung des Peltier-
Elementes läßt sich das Kühlelement derart stets auf einer
konstanten, definierten Temperatur halten etc..
Der Aufwand der erforderlichen Kühlung ist jeweils abhängig von
der gewünschten Ausgangs-Leistung des erfindungsgemäßen
Festkörper-Lasers.
Neben der zusätzlichen Wärmeabfuhr gewährleistet das optische
Element (2) bzw. die Linse eine weitere wichtige Funktion
innerhalb des erfindungsgemäßen Festkörper-Lasers. So ist die
gekrümmte Außenfläche (2.1) der Linse (2), die als Resonator-
Endspiegel dient, optisch derart dimensioniert, daß innerhalb
des Resonators eine Einschnürung des sich ausbildenden
transversalen Modenprofils resultiert. Dies ist durch eine
entsprechende Formgebung der Außenfläche (2.1) der Linse in
asphärischer oder sphärischer Form möglich.
Zur Realisierung des gewünschten transversalen Modenprofiles
innerhalb des Resonators ist bei der entsprechenden
Dimensionierung desweiteren selbstverständlich auch der
Krümmungsradius des Auskoppelspiegels (3) sowie die
Resonatorlänge zu berücksichtigen.
Bei einer möglichen Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Festkörper-Lasers mit einer Länge des stabförmigen Lasermediums
(1) von 10 mm und einem Durchmesser von 3 mm weist der
Krümmungsradius (R2) der Linse (2) einen Wert von R2 = 200 mm
auf. Der Krümmungsradius des Auskoppelspiegels (3) beträgt
hierbei R3 = 60 mm, die Gesamt-Resonatorlänge 128 mm.
Als weiterer wichtiger Vorteil des erfindungsgemäßen Aufbaus
ergibt sich somit die Möglichkeit, die Linse mit einem
Durchmesser von etwa 5-10 mm relativ problemlos in bekannter
Art und Weise bearbeiten zu können, damit die gewünschte
optische Wirkung erreicht wird. Im Fall der entsprechend
erforderlichen Dimensionierung der kleinen Stabendfläche (1.1)
ergäben sich zusätzliche fertigungstechnische Schwierigkeiten
bei der Anpassung. Die Verwendung kommerziell erhältlicher
Laserstäbe mit planen Endflächen ist somit problemlos möglich.
Die als Resonator-Endspiegel dienende Linsenfläche (2.1) ist
für die Fundamentalwellenlänge des Lasers hochreflektierend
beschichtet, d. h. im dargestellten Ausführungsbeispiel
hochreflektierend für die Wellenlänge 1.064 µm. Für die
Pumpstrahlung von 807 nm wiederum ist die Linse (2) möglichst
geringreflektierend ausgelegt, um einen hohen Transmissionsgrad
durch dieses Element zu gewährleisten.
Im Resonator des erfindungsgemäßen Festkörper-Lasers ist im
dargestellten Ausführungsbeispiel desweiteren an der Stelle der
maximalen Einschnürung des Modenprofiles ein Frequenzverviel
facher-Element (5) angeordnet. Hierfür kommt ein optisch nicht
linearer Kristall wie etwa KTP oder LBO in Betracht. Im Fall
des Nd:YAG-Lasermediums gewährleistet das Frequenzverviel
facher-Element (5) eine Halbierung der Fundamental-Wellenlänge
von 1,064 µm, d. h. es resultiert ein Ausgangsstrahl mit einer
Wellenlänge von 532 nm im grünen Spektralbereich, wie sie etwa
für eine Reihe von Anwendungen im ophthalmologischen Bereich
erforderlich ist.
Die Anordnung eines derartigen Frequenzvervielfacher-Elementes
(5) ist jedoch optional im erfindungsgemäßen Festkörper-Laser,
d. h. eine derartige Frequenzvervielfachung kann wahlweise
vorgesehen werden oder nicht.
Claims (20)
1. Festkörper-Laser hoher Leistung mit
einem in einem Resonator angeordneten Lasermedium (1),
einer außerhalb des Resonators angeordneten Pumpstrahlungsquelle (6),
einem optischen Element (2), das mit dem Lasermedium (1) in flächigem Kontakt steht und im Strahlengang der Pumpstrahlung auf der Seite des Eintritts der Pumpstrahlung in das Lasermedium (1) angeordnet ist, wobei
das Lasermedium (1) in einer als Kühlelement dienenden Fassung (4) derart gelagert ist, dass Wärme aus dem Lasermedium (1) über die zur Fassung (4) für das Lasermedium (1) weisende Oberfläche des Lasermediums (1) zu der Fassung (4) für das Lasermedium (1) und über die zum optischen Element (2) weisende Endfläche (1.1) des Lasermediums (1) zu dem optischen Element (2) effizient abgeführt wird, welches in thermischen Kontakt mit einem Kühlelement steht,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Lasermedium (1) stabförmig ist, und
eine dem Lasermedium (1) abgewandte Außenfläche (2.1) des optischen Elements (2) als ein Endspiegel des Resonators wirkt.
einem in einem Resonator angeordneten Lasermedium (1),
einer außerhalb des Resonators angeordneten Pumpstrahlungsquelle (6),
einem optischen Element (2), das mit dem Lasermedium (1) in flächigem Kontakt steht und im Strahlengang der Pumpstrahlung auf der Seite des Eintritts der Pumpstrahlung in das Lasermedium (1) angeordnet ist, wobei
das Lasermedium (1) in einer als Kühlelement dienenden Fassung (4) derart gelagert ist, dass Wärme aus dem Lasermedium (1) über die zur Fassung (4) für das Lasermedium (1) weisende Oberfläche des Lasermediums (1) zu der Fassung (4) für das Lasermedium (1) und über die zum optischen Element (2) weisende Endfläche (1.1) des Lasermediums (1) zu dem optischen Element (2) effizient abgeführt wird, welches in thermischen Kontakt mit einem Kühlelement steht,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Lasermedium (1) stabförmig ist, und
eine dem Lasermedium (1) abgewandte Außenfläche (2.1) des optischen Elements (2) als ein Endspiegel des Resonators wirkt.
2. Festkörper-Laser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das optische
Element (2) in einer als Kühlelement dienenden Fassung derart gelagert ist, daß
Wärme aus dem Lasermedium (1) durch das optische Element (2) zu der Fassung (4)
für das optische Element (2) effizient abgeführt wird.
3. Festkörper-Laser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in dem
Resonator ein Freqenzvervielfacherelement (5) vorgesehen ist, das von dem
Lasermedium (1) und der Fassung (4) für das Lasermedium (1) räumlich getrennt
angeordnet ist.
4. Festkörper-Laser nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass als Frequenz
vervielfacher-Element (5) ein optisch nichtlinearer Kristall vorgesehen ist.
5. Festkörper-Laser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als optisch
nichtlinearer Kristall KTP oder LBO vorgesehen ist.
6. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das
optische Element als Linse (2) ausgeführt ist.
7. Festkörper-Laser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Linse (2) plan
konvex ausgeführt ist und die plane Seite der Linse (2) einer planen Endfläche (1.1)
des Lasermediums (1) zugewandt ist.
8. Festkörper-Laser nach Anspruch einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, dass die Spiegelfläche des optischen Elements (2) eine an eine
Fundamental-Mode des Resonators angepasste Krümmung aufweist.
9. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, dass die Spiegelfläche des optischen Elements (2) für die
Pumpstrahlung gering reflektierend wirkt.
10. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die
Spiegelfläche des optischen Elements (2) asphärisch gekrümmt ist.
11. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass
das Material des optischen Elementes (2) und des Lasermediums (1) einen weitgehend
ähnlichen Brechungsindex aufweisen.
12. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass
das optische Element (2) und das Lasermedium (1) über einen Kitt miteinander
verbunden sind und an der Grenzfläche eine Schicht zur Kittreflex-Entspiegelung
vorgesehen ist.
13. Festkörperlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass
zwischen dem optischen Element (2) und dem Lasermedium (1) eine
Immersionsflüssigkeit vorgesehen ist.
14. Festkörperlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das
optische Element (2) an das Lasermedium (1) angesprengt ist.
15. Festkörperlaser nach einem der Ansprüche 2 bis 14, soweit die Ansprüche 3 bis 14 auf
Anspruch 2 zurückbezogen sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Fassung des
optischen Elements (2) gekühlt ist.
16. Festkörperlaser nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Fassung des
optischen Elements aktiv oder passiv temperaturstabilisiert ist.
17. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass
die Fassung (4) des Lasermediums (1) gekühlt ist.
18. Festkörper-Laser nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Fassung (4) des
Lasermediums aktiv und/oder passiv temperaturstabilisiert ist.
19. Festkörper-Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass
als Pumpstrahlungsquelle (6) mindestens ein Halbleiter-Laser vorgesehen ist.
20. Festkörper-Laser nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem
Halbleiter-Laser und dem Lasermedium (1) eine Faseroptik zur Übertragung der
Pumpstrahlung angeordnet ist.
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