DE1945778A1 - Analysator zur Phasenanalyse von Objekten unter dem Mikroskop - Google Patents

Analysator zur Phasenanalyse von Objekten unter dem Mikroskop

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DE1945778A1 DE19691945778 DE1945778A DE1945778A1 DE 1945778 A1 DE1945778 A1 DE 1945778A1 DE 19691945778 DE19691945778 DE 19691945778 DE 1945778 A DE1945778 A DE 1945778A DE 1945778 A1 DE1945778 A1 DE 1945778A1
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Description

ZELLENTJN υ. LUYKEN
München 22
Zwaibrödtsnstr. i
Osoboje Konstruktorskoje 10. September 1969
Bjuro Ministerstva Geologii SSSR, Gp/fa
Leningrad / UdSSR P 21 475/1
ANALYSATOR ZUK PHASENANALYSE VON OBJEKTEN UNTER DEM
MIKROSKOP
Die Erfindung betrifft Vorrichtungen zur Ikikrοstrukturanalyse, insbesondere zur Ausscheidung einer vorgegebenen Phase (Komponente), Bestimmung der Anzahl von Körnern der gegebenen Phase und deren Verteilung nach der Korngröße in derselben Phase in einem zu untersuchenden Objekt (Präparat) sowie zur Bestimmung von Phasenreflexions- bzw. Phasendurchlässigkeit skoeffizienten.
Es ist ein Analysator zur Phasenanalyse von Objekten
eiern
unter fcikroekop (s. "Integrationsgerät1* von J.A» Gherkaaov, N.I. Volkov, A.A· Kulakov, Urheberschein in der UdSSR
einen
Nr, I0I330) bekannt, der hintereinander geschaltet Phasenzustandsgeber vom Objekt, Phasenzustandsselektor und Registriereinheit enthält.
Der bekannte Analysator hat aber eine geringe Leistung, gestattet es nicht, eine hohe Genauigkeit der Analyse zu er-
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reichen und weist eine unzureichend universelle Abstimmung auf.
Darüber hinaus eignet sich dieser Analysator nicht für eine Zusammensetzungsanalyse und JFotometrierung einer auszuscheidenden Phase des Objekts. Die Kachteile des bekannten Analysators hängen damit zusammen, daß dessen Phasenzustandsgeber und -selektor vom Objekt Relais elemente enthalten.
Die geringe Leistung des bekannten Analysators und dessen begrenzte Möglichkeiten schränken wesentlich dessen An-Wendungsbereich ein·
Zweck der Erfindung ist es, die genannten Nachteile zu überwinden. i
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Analy-
dem
sator zur Phasenanalyse von Objekten unter Iv.ikroskop zu schaffen, der es ermöglicht,eine quantitative Analyse nach den Komponenten und eine Korngrößenanalyse sowie eine Fotometrierung ohne Verwendung von Relais systemen und -verbindungen und ohne Vergrößerung der Zahl von Funktionseinheiten durchzuführen. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß in einem Analysa-
dem
tor zur Phasenanalyse von Objekten unter Mikroskop, der hinter-
einen ' eine*»
einander geschaltet Phasenzustandsgeber vom Objekt, Phasenzu-
efne
standsselektor und Registriereinheit enthält, der Phasenzustandsgeber erfindungsgemäß aus einem Mikroskop mit einem fotoelektrischen Umformer sowie einem Präparat träger mit einem Synchronisator besteht, während der Phasenzustandsselektor mindestens eine Formierungseinrichtung für extrem·... Spannungsbzw. Stromwerte enthält, deren Eingang an den Ausgang des fotoelektrischen Umformers angeschlossen und deiwAusgang mit dem
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Eingang des Amplitudendiskriminators über einen Modulator verbunden ist, der an den Ausgang des Synchronisators angeschlossen »st.
Es ist zweckmäßig, den Ausgang des fotoelektrischen Umformers mit dem Eingang der Formierungseinrichtung für extreme
Spannungs- bzw. Stromwerte über eine Anpassungsstufe zu verbinden.
Es ist erwünscht, den Synchronisator mit dem Modulator
über einen Impulsgenerator zu verbinden.
Es ist ebenfalls zweckmäßig, zusätzliche Verbindungen
der Registriereinheit mit dem Ausgang einer beliebigen Einheit des Analysators zur Realisierung der Abstimmung und der fotometrischen Lessungen zu ermöglichen.
Die Erfindung soll nachstehend an Hand eines Ausführungsbeispiels und beiliegender Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 eine Blockschaltung des Analysators gemäß der ."V-findung;
Fig. 2 Spannungslinien, die das Prinzip der Formierung
eines elektrischen Kanals des Phasenzustandsselektors mit Hilfe von hintereinander geschalteter Formierungseinrichtung für
extreme Spannungs- bzw. Stromwerte und Amplitudendiskriminator verdeutlichen;
Fig. 3 Spannungskurven an verschiedenen Stellen der
Blockschaltung gemäß der Lrfindung.
Der vorliegende Analysator enthält einen Phasenzustandsgeber 1 (Fig. 1), einen Phasenzustandsselektor 2 und eine Re-
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gistriereinlieit 3· Der Phasenzustandsgeber enthält ein Mikroskop 4 mit einem fotoelektrischen Umformer 5 sowie einen Präparatüräger 6 mit Synchronisator 7> der beispielsweise auf der Treibwelle β des Präparatträgers montiert ist. Im Präparatträ-
dem ger 6 ist ein Präparat (Objekt) 9 eingespannt, das unter Mikroskop betrachtet wird. Zur Begrenzung der zu fotometrierenden Oberfläche des Objekts dient eine Blende 10, die beispielsweise zwischen dem Likroskop 4 und dem fotoelektrischen Umformer 5 aufgestellt ist.
. Der Phasenzustandsselektor 2 enthält mindestens eine Formierungseinrichtung für extreme Spannungs- bzw. Stromwerte (Extremator 11), dessen Ausgang mit dem Eingang des Amplitudendiskriminators 12 über einen Modulator 13 verbunden ist. Bei einigen Extreinatoren 11 ist es möglich, eine ι, ehrkanalschaltung für die Phasenselektion aufzubauen.
Es ist möglich, zwischen dem Bxtremator 11 und dem Diskriminator 'id. zwecks Erleichterung der Lösung einer Teilaufgabe der Kornzusammensetzung (Bestimmung der Gesamtzahl der Iiörner unabhängig von deren Korngröße) eine zusätzliche Direktverbindung ' herzustellen.
Der Geber 1 und der Selektor 2 sind miteinander dermaßen verbunden, daß der Ausgang des fotometrischen Umformers 5 mit den, Eingang des Extremators 11, und der Ausgang des Synchronisators 7 mit dem Eingang des Modulators 13 gekoppelt sind.
Zur Verringerung der Trägheit und folglich zur Verbesserung des Auflösungsvermögens·des Analysators bei einer lierngrö-' ßenanalyse ist zwischen dem fotoelektrischen Umformer 5 und dem
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jiixtremator 11 eine Anpassungsstufe 14 geschaltet, als welche beispielsweise ein Katoden- bzw. Anodenfolger verwendet werden kann.
Zwecks Vergrößerung der Leistung von Synchronimpulsen und Erhöhung der Stabilität deren Form ist der Synchronisator 7. mit dem I- odulator 13 über einen Impulsgenerator 15 verbunden, der entweder in Form eines durch den Synchronisator 7 fremderregten Generators (Begrenzungsverstärkerbetrieb) oder eines selbsterregten Generators ausgeführt werden kann, dessen Schwingungen durch den Synchronisator 7 synchronisiert werden.
Die Registriereinheit 3» die elektrische Meßgeräte enthält, kann zusätzliche Verbindungen mit verschiedenen Einheiten des Änalysators zur Abstimmung, Betriebskontrolle u.dgl. aufweisen. Beispielsweise ist in der Fig. 1 eine zusätzliche Verbindung zwischen der Registriereinheit 3 und der Anpassungsstufe 14 gezeigt, die die Durchführung von fotometrischen Messungen (Bestimmung von Phasenreflexions- bzw. Phasendyrchlässigkeitskoeffizienten vom Objekt) ermöglicht.
Nachstehend wird das Prinzip der Formierung eines elektrischen Kanals vom Phasenzustandsselektor (Fig. 2) und danach die Arbeitsweise des Änalysators dargelegt.
Unter dem Fachwort "Kanal" wird hier und im weiteren ein Phasenzustandbereich des zu untersuchenden Objekts (Präparats) verstanden, in dessen Grenzen die Phasenzustände im Laufe von einem Zyklus der Analyse, d.h. der Abtastung der Oberfläche des Präparats, auszuscheiden und zu registrieren sind.
Zur Formierung des obengenannten Kanals genügt es, den
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Ausgang des Extremators II mit dem Eingang des Araplitudendiskriininators 12 (Fig. 2,a) zu verbinden· Bekanntlich, stellt der Extremator eine Vorrichtung zur künstliehen Formierung eines Extremums von Eingangsspannung oder —strom F(t) in einem vorgegebenen Punkt dar· Die Vorteile einer Verbindung des Extremator s II mit dem Diskriminator 12 bei der Selektion werden nur in dem Fall realisiert, wenn der Extremator es gestattet, am Ausgang immer einen Nullwert von Spannung oder Strom im Extremalpunkt unabhängig vom Eingangsspannungswert U(t) ^_^_ in demselben Punkt zu erhalten.
Dem Eingang eines derartigen Extremators II wird z.B. eine Spannung U(t) zugeführt, die sich nach der geraden IeN (Fig. 2,b) ändert. Es wird verlangt, mit Hilfe von einem Extremator II und einem Diskriminator 12 einen elektrischen Kanal derart zu formieren, daß die Kanalbreite durch die Werte Uj und U. der Eingangsspannung U(t) begrenzt wird, beispielsweise zu den Zeitmomenten tj und t^,, während die E.analmitte mit dem Wert U derselben Spannung zu dem Zeitpunkt t zusammenfällt. Zu diesem Zweck wird der Extremator II derart eingestellt, daß im Punkt to.Uo ein Extremum der Eingangs spannung IT(t) künstlich ausgebildet wird· Die Ausgangsspannung des Extremators ändert sich hierbei nach der VoILinie tj tQ tjj (Fig. 2,c) mit einem Extremum im Punkt t . Diese Spannung ist an den Eingang des Amplitudendiskriminators 12 gelegt, dessen. Ansprechschwelle durch die Spannung U5 bestimmt wird. Der tfert der Spannung Uc wird so gewählt, daß sie der erforderlichen Kanal-
4 er
breite nach Eingangsspannung entspricht. In der Tat erscheint
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das Signal, dessen Spannungsverlauf beispielsweise durch die gebrochene Linie tT t1 tA (Fig. 2,d) angedeutet ist, am Aus-
• ο ^
gang des Diskriminator 12 erst dann, wenn die Spannung an dessen Eingang den Schwellenwert U übersteigt.
Der Verlauf t!J t t]J der Ausgangsspannung des Extremators schneidet den Schwellenwert der Spannung U,- (Fig. 2,c) in den Punkten ti und t]J. Indem man durch die Punkte t^, tQ, t]· Geraden, die zur Achse U parallel sind, bis zur Schnittstelle mit der Geraden MIT der Eingangsspannung (Fig. 2,b) und mit der Zeitachse t (Fig. 2,d) zieht, überzeugt man sich da- wn, daß die Spannungswerte TJj und U^ Kanalgrenzen sind, während der Eingangsspannungswert U0 (Fig. 2,b) Kanalmitte ist, worauf es auch ankam. Dabei existiert das Signal am Ausgang des Amplitudendiskriminators 12 nur im Zeitintervall von ty bis t^ (Fig. 2,d), was der Eingangsspannung U^U/^^Uj des Extremators II entspricht. Die Form des Signals am Ausgang des Amplitudendiskriminators 12 ist von dessen Schaltung abhängig und kann beliebig sein.
Die Kanalbreite kann man ändern, indem man den Spannungsschwellenwert des Amplitudendiskriminators 12 reguliert. Bei-
oiar spielsweise wird die Kanalbreite nach Eingangsspannung bei Änderung des Spannungsschwellenwertes von U1- bis U^ (Fig.2,c) schmaler und durch die Grenzwerte von Uo bzw. U- der Eingangsspannung (Fig. 2,b) bei unveränderlicher Lage der Litte beschränkt , der die Spannung U entspricht.
Die Kanalbreite kann man auch ändern, indem man den Verstärkungskoeffizienten des Extremators regelt. So z.B., wenn
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man bei einem festgelegten Wert IL- (Fig. 2,c) den Verstärkungskoeffizienten des Extremators 11 verringert, ändert sich, der Ausgangsspannungsverlauf des Extremators, dem die Linie t^ t ti entspricht, zu einem Verlauf, dem die gebrochene Linie .
I I der
*1 ^o "^4 entspricht, während der Kanal nach Eingangsspannung nicht durch die Werte von Up bzw. U- (Fig. 2,b), sondern durch die von U^ bzw. U^ begrenzt wird. Es ist dabei offensichtlich, daß die Kanalmitte, die der Eingangsspannung U entspricht, ihre Lage nicht ändert.
Das letztere Regelungsverfahren für die Kanalbreite ist
der
vorzuziehen, da es einen größeren Abstimmbereich nach Eingangsspannung gewährleistet: bei Änderung des Verstärkungskoeffizienten des Extremators 11 vom Null- bis zum Maximalwert ändert sich die Kanalbreite des Phasenzustandsselektors vom Unendlichen bis zum Minimum und umgekehrt. Der Verstärkungskoeffizient des Extremators 11 kann beispielsweise mit Hilfe eines Spannungsminderers geregelt werden, der an den Ausgang des .tactremators 11 angeschlossen ist (es ist nicht ratsam, den Spannungsminderer an den Eingang des Extremators zu schalten, v/eil hierbei nicht nur die Kanalbreite, sondern auch die Lage der Kanalmitte geändert wird).
Zur .Änderung der Lage der Kanalmitte ohne Änderung der Kanulbreite soll der Extremumausbildungspunkt verschoben werden, wobei der Extremator 11 unter Beibehaltung eines festgelegten Spannungsschwellenwertes des Amplitudendiskriminators 12 umgestellt wird. Aus der Fig. 2,c ist beispielsweise er-
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— 7 "~
T J
sichtlich, daß, wenn der Ausgangsspannungsverlauf t2 tQ t^ des Extremators 11 derart verschoben wird, daß die Spitze in den Punkt t~ kommt, die Spannung, die der kitte des elektrischen Kanals entspricht, sich vom Wert UQ bis zum Wert U~ (Fig. 2,b)
eier
ändert, während die Kanalbreite nach Eingangsspannung des Extremators unveränderlich bleibt:
/ u2 - U3 / = / uo - U4 /
Der Vorteil des dargelegten Verfahrens zur Formierung des .Kanals im Phasenzustandsselektor 2 besteht also darin, daß es gestattet, die Hauptparameter des elektrischen Kanals (Breite und Lage) unabhängig voneinander zu regeln.
Die dargelegte Arbeitsweise ist schaltungstechnisch einfach, exakt, zuverlässig und universell.
dem
Der Analysator zur Phasenanalyse von Objekten unter Mikroskop arbeitet wie folgt;
Der Präparatträger 6 (Fig. 1) verschiebt das Präparat 9 bezüglich des Iviüroskops 4. Der Lichtstrom, der der Flächenhelligkeit der Gebiete des Präparats 9 proportional ist, wirkt, indem er die Feldblende 10 passiert, auf den fotoelektrischen Umformer 5 ein. Die Feldblende 10 begrenzt die zu fotometrierende überfläche des Präparats 9» wodurch das Auflösungevermögen des Analysators nach der Korngröße gesteigert wird. In der Fig. 3 ist eine Zeileristrecke gezeigt, die durch die Abbildung der Pupille der Blende 10 auf der Oberfläche des Präparats 9 gebildet wird. Die genannte Zeilenstrecke überquert Gebiete (Körner) dee Präparats mit verschiedenen Reflexions- bzw. Durchlässigkeitekoeffizienten (d.h. verschiedene Phasen), beispielsweise R^, R2 und R.J.
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Am Ausgang des fotoelektrischen Umformers 5-(Fig. 1) und folglich am Ausgang der Anpassungsstufe 14 entstehen Spannungssprünge I, II und III (Fig. 3,b), wobei die'Sprunghöhe jeweils der Helligkeit (d.h. dem Reflexions- bzw. Durchlässigkeitskoeffizienten) des Kornes, und die Sprungzeit " der Länge der Strecke der Abtastzelle mit in gleicher Phase befindlichen Körnern proportional ist.
Die Phasenzustandsselektion des Objekts läuft also auf eine Selektion nach Amplituden- und Zeitmerkmälen der Spannungssprünge am Ausgang der Anpassungsstufe 14 (Fig. 1) hinaus.
Nehmen wir an, daß es notwendig ist, die Körner der Phase Eo (Fig· 3»&) nach der Korngröße auszuscheiden, auszuzählen und auszusortieren. Der Phase des Objekts entspricht der Eingangsspannungssprung II (Fig. 3fb).
Die Kanalbreite und -lage beim Selektor werden so gewählt, daß in den Bereich des Kanals nur die Eingangsspannungssprünge II gelangen, die durch die Spannungen U,. bzw. V1, bestimmt werden. Wenn dabei die Kanalmitte, die durch die Spannung U bestimmt wird, mit dem Pegel des Eingangsspannungssprunges II zusammenfällt, nimmt der Sprung II am Ausgang des Extremators 11 einen Extrem^ wert (Nullwert) in Bezug auf die Spannungssprünge I und III (Fig. 3,c) an, die den anderen Phasen des Objekts 9 (Fig. 1) entsprechen·
Zur Bewertung der Dauer von jedem Sprung werden diese im Modulator 13 durch Standardimpulse moduliert, die durch den Generator 15 erzeugt werden,.
Die Arbeit des Impulsgenerators 15 wixd mit der des Prä-
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paratträgers 6 mit Hilfe des Synchronisators 7 synchronisiert, wonach, auf die Längeneinheit der Verschiebung (Zelle) die gleiche Impulszahl unabhängig von der Verschiebungsgeschwindigkeit (Abtastgeschwindigkeit) des Präparats 9 kommt.
Zum Ausgang des Jta^litudendiskriminators 12 (Fig. 1) kommt ein Impulspaket (Fig. 3,e) durch, das dem Eingangsspannungssprung II des Erfcremators 11 (Pig· 1) entspricht. Dieses Impulspaket (Fig. 3se) wird in die Registriereinheit 3 (Fig.i) geschickt«
Die Registriereinlieit 3 kann, beliebiger Art (beispielsweise mehufcanalig) unter der Bedingung sein, daß sie in der Lage ist, die Impulspakete des ^ynchronisators 7 auf die Kanäle je nach der Inipulszahl des Pakets zu verteilen, die Paket zahl in jedem Kanal und die Gesamtzahl von Impulsen aller Pakete zu zählen.
Die Registriereinheit muß schnellwirkend genug sein und ein zureichendes Fassungsvermögen der Zähler haben· JSs ist z.B. zweckmäßig, daß das Fassungsvermögen der Zähler der Zahl von Impulsen gleich, ist, die durch den ßynchronisator 7 für die Abtastzeit der zu. untersuchenden Oberfläche des Objekts erzeugt werden· Wenn diese Zahl durch zehn teilbar ist, so wird der Analysenbefund durch den Zähler unmittelbar in Prozent angezeigt, was die Zeit für die Bearbeitung des Analysenbefundes verkürzt.
Bei einer quantitativen Analyse * erfolgt in der Registriereinheit 3.eine Suransierting von Impulsen aller Pakete, die zu
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deren Eingang durchgekommen sind, worauf die Registriereinheit den Wert des Prozentgehaltes der ausgeschiedenen Phase des Objekts angibt.
Bei einer Korngrößenanalyse wird in der Eegistriereinheit 3 eine Verteilung und Summierung von Impulspaketen nach einzelnen Korngruppen je nach der Zahl von Impulsen in jedem Paket durchgeführt, worauf die Registriereinheit am Ausgang eine Verteilungskurve für die Längen von zufälligen Schnitten der Körner nach Abtastzeilen angibt.
ψ Diese Kurve wird nach einer einfachen mathematischen
Verarbeitung, die auf der Wahrscheinlichkeitstheorie und der mathematischen Statistik beruht, in eine wahre Verteilungskurve der Kornzahl als Funktion deren Korngröße verwandelt.
Zur Lösung einer Teilaufgabe der Kornzusaiiimensetzung —
s nämlich zur Bestimmung der Gesamtzahl der Körner der auge schiedenen Phase-sind die Kornzahlen nach Korngruppen zu addieren. Dieselbe Aufgabe kann bedeutend schneller gelöst werden, wenn der Extremator 11 mit dem Amplitudendiskriminator 12 direkt, in Umgehung des Modulators 13» gekoppelt wird.
Ifachdem die Schwelle des Diskriminators 12 in Übereinstimmung mit dem erforderlichen Spannungssprung uv (Fig. 3,c) eingestellt worden ist, können die unmodulierten Spannungssprünge II (Fig. 3if) ausgeschieden werden, die den Körnern der zu analysierenden Phase des Objekts entsprechen.
Diese Sprünge II werden in der Registriereinheit 3 (Fig. 1) summiert, worauf die letztere die Gesamtzahl von . zufälligen Schnitten der Körner liefert, die in eine wahre
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Kornsähl der ausgeschiedenen Phase umgerechnet wird·
Lit Hilfe von Elektromeßgeräten der Registriereinheit 3, die an die Anpassungsstufe 14 angeschlossen sind, kann man den Reflexions- bzw. Durchlässigkeitskoeffizienten der zu untersuchenden Phase messen, was deren Beurtelung bei einer qualitativen Analyse erleichtert.
Im vorliegenden Analysator wird das Prinzip einer Phasenselektion' mit Hilfe eines Jäxtremators und Amplituaendiskriminatorsverwendet, die über einen Modulator in Serie geschaltet sind, was es ermöglicht, eine quantitative Analyse nach Komponenten und eine Korngrößenanalyse ohne Vergrößerung der Anzahl von Funktionseinheiten durchzuführen. Darüber hinaus gibt die Verteilung des Lichtstroms von der zu fotometrierenden Oberfläche des Objekts auf die gesamte Katodenfläche des fotoelektrischen Umformers bei der Abtastung eine Möglichkeit, das Auflösungsvermögen des Geräts durch Mitteln der Zonenungleichiuäßigkeit der Emfpindlichkeit der lotokatode des Umformers sowie der Ungleichmäßigkeit der Beleuchtung des zu untersuchenden Objekts wesentlich'zu erhöhen·
Der Analysator ist einfach in der Konstruktion, zuverlässig und exakt bei der Arbeit, bequem bei der Abstimmung.
Die Anwendung des Analysators zur MikrοStrukturanalyse (beispielsweise in der Mineralogie, Biologie, Metallurgie u. dgl. m) gestattet es, die Arbeitsproduktivität wesentlich zu erhöhen und die Häufigkeit der subjektiven Fehler bei einer Analyse zu verkleinern.
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Claims (4)

  1. IG. September 1969 Patenunwim· GP^fa
    ZELLENTIN u. LUYKEN P 21 475/1
    " OQO München 22 -If- 1
    LLENTIN u. L 75
    BOQO München 22 -If- 1945778
    ZweiDrüd-c-nstr. 6
    PATENTilSPfiÜCHEi
    ' . ■ dem
    Λ) Analysator zur Phasenanalyse von Objekten unter Mik-
    einen
    roskop, der hintereinander geschaltet Phasenzustandsgeber vom
    eie
    Objekt, Phasenzustandsselektor und Registriereinheit enthält, dadurch gekennzeichnet, daß der Phasenzustandsgeber (1) aus einem Mikroskop (4) mit einem fotoelektrischert Umformer (5) sowie einem Präparatträger (6) mit einem Synchronisator (7) besteht, während der Phasenzustandsselektor (2) mindestens eine Formierungseinrichtung ,(11) für extreme Spannungs- bzw. Stromwerte enthält, deren Eingang an den Ausgang des fotoelektrischen Umformers (5) angeschlossen, und deren Ausgang mit dem Eingang eines Amplitudendiskrimi nator s (12) des Selektors über einen Modulator (13) verbunden ist, der an den Ausgang des Synchronisators (7) angeschlossen ist.
  2. 2. Analysator nach Anspruch 1, dadurch gekennz e ichnet, daß der fotoelektrische Umformer (5) und die Formierungseinrichtung (11) für extreme Spannungsbzw. Stromwerte über eine Anpassungsstufe (14) miteinander verbunden sind.
  3. 3. Analysator nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennz e ichnet, daß der Ausgang des Synchronisators
    (7) des Präparatträgers (6) an den Eingang des Modulators (13) über einen Impulsgenerator (15) angeschlossen ist.
    109815/1657
  4. 4. Analysator nach Anspruch 1 bis 3» dadurch g e kennz eich.net, daß an den Ausgang von mindestens einer Einheit mindestens eine Registriereinheit (3) zum Abstimmung des Analysator« xind zur Ausführung von fotometrischen Messungen angeschlossen ist.
    109815/1657
    Lee r. seife
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CN110520780A (zh) * 2017-04-26 2019-11-29 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 具有传输函数的相衬成像
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