DE1938318B2 - Piezoelektrischer koerper aus keramischem, ferroelektrischem material mit perowskitstruktur - Google Patents

Piezoelektrischer koerper aus keramischem, ferroelektrischem material mit perowskitstruktur

Info

Publication number
DE1938318B2
DE1938318B2 DE19691938318 DE1938318A DE1938318B2 DE 1938318 B2 DE1938318 B2 DE 1938318B2 DE 19691938318 DE19691938318 DE 19691938318 DE 1938318 A DE1938318 A DE 1938318A DE 1938318 B2 DE1938318 B2 DE 1938318B2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ceramic
piezoelectric body
pbzro
pbtio
bodies
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19691938318
Other languages
English (en)
Other versions
DE1938318C3 (de
DE1938318A1 (de
Inventor
Helmut Dipl.-Chem. Dr.rer. nat 8000 München Thomann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19691938318 priority Critical patent/DE1938318C3/de
Priority claimed from DE19691938318 external-priority patent/DE1938318C3/de
Priority to FR7026661A priority patent/FR2055350A5/fr
Priority to NL7010855A priority patent/NL7010855A/xx
Priority to US58098A priority patent/US3663440A/en
Priority to GB1251933D priority patent/GB1251933A/en
Publication of DE1938318A1 publication Critical patent/DE1938318A1/de
Publication of DE1938318B2 publication Critical patent/DE1938318B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1938318C3 publication Critical patent/DE1938318C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/50Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/51Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on compounds of actinides
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

A\yund zfolgende Werte haben:
A-=0,465, 7=0,420, z=0,115.
3. Piezoelektrischer Körper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß neben den Anteilen an MnO2 und Al2O3 im Dreistoffsystem
A-PbTiO3-A-PbZrO3-zPb(Mg0,5Wo,5)03 x,yund zfolgende Werte haben:
a-=0,450, y=0,435, z=0,115.
4. Piezoelektrischer Körper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß neben den Anteilen an MnO2 und AI2O3 im Dreistoffsystem
xPbTiO3-yPbZrO3-zPb(Mg0.5W0,5)O3 A-,yund zfolgende Werte haben:
x=0,480, 7=0,420, z=0,100.
5. Piezoelektrischer Körper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß neben den Anteilen an MnO2 und AI2O3 im Dreistoffsystem
A-PbTiO3-7PbZrO3-zPb(Mg0,5 W0.5)O3 A-,yund zfolgende Werte haben:
a-=0,480, 7=0,435, Z= 0,085.
6. Piezoelektrischer Körper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß neben den Anteilen an MnO2 und AI2O3 im Dreistoffsystem
A-PbTi03-7PbZr03-zPb(Mgo,5W0.5)03 x,yund zfolgende Werte haben:
A-=0,465, 7=0,450, Z= 0,085. PbTiO3- PbZrO3- Pb(A1B)O3
unterstellt. Dabei können für A u. a. die chemischer Elemente Mn oder Mg vorhanden sein, während B u. a die chemischen Elemente Sb, Nb, Ta und Bi sowie V, darstellt.
Es wird dabei von der Vorstellung ausgegangen, daß hinsichtlich der Gesamtwertigkeit der im Perowskitgitter eingebauten Elemente die Wertigkeitssumme von A +B die Wertigkeit der durch sie ersetzten vierwertigen Elemente, Ti bzw. Zr kompensiert. Im Falle der Kombination Mn+ Sb ist es beispielsweise möglich, die Hälfte der Wertigkeit der substituierten Perowskitbildner durch Mn3+ und die andere Hälfte durch Sb^ + darzustellen, so daß ein Dreistoffsystem
PbTiO3-PbZrO3-Pb(Mn05Sb0-5)O3
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Körper, der aus keramischem, ferroelektrischem Material mit Perowskitstruktur besteht, dessen Bestandteile dem Dreistoffsystem
PbTiOj- PbZrO j - Pb(Mg0,5W0.5)O3
angehören und das neben MnOj weitere Zusatzstoffe enthält.
resultiert.
Es ist aber auch möglich, daß nur V3 der Wertigkeit der ersetzten Elemente durch Mangan und 2Z3 durch Antimon oder andere Elemente entsprechender Wertigkeit ersetzt wird, so daß ein Dreistoffsystem
PbTiO3- PbZrO3- Pb(Mn0,33Sb0.67)O3
resultiert.
Gleiches gilt für den Ersatz von Ti bzw. Zr durch Magnesium und Niob, so daß ein System
PbTiO3- PbZrO3- Pb(Mg0j3Sb0,67)O3 folgt.
Für dieses zuletzt genannte System ist es darüberhinaus bekannt, daß durch Zusatz von MnO2 in Mengen zwischen 0,2 und 3%, insbesondere bei 1% der elektromechanische Kopplungsfaktor /rund der mechanische Gütefaktor Q gleichzeitig erhöht werden. Entsprechendes läßt sich aus dem bekannten Stand der Technik auch für das System
PbTiO3- PbZrO3- Pb(Mgo.5 Wo,5)03
auf das sich die vorliegende Erfindung bezieht, ableiten. Bei der Betrachtung von Zusatzstoffen zu den oben erwähnten, bekannten Systemen ist in aller Regel davon auszugehen, daß für die Herstellung piezoelektrischer Körper besonders reine Ausgangssubstanzen verwendet werden müssen, deren Verunreinigungspegel so gering ist, daß Zusätze in kleinen Mengen die als Verunreinigung gegebenenfalls bereits vorhandenen Bestandteile in bezug auf die Auswirkung auf die elektrischen Eigenschaften noch erhöhen, d. h. daß von wenigstens chemisch reinen Ausgangssubstanzen auszugehen ist, so daß piezoelektrische und dielektrische Eigenschaften durch diese kleinen Mengen an Zusatzstoffen merklich variiert werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die an sich Dereits guten Werte der obengenannten Dreistoffsysteme, insbesondere des Systems
FbTiO3- PbZrO3- Pb(MgC5Wa5)O3
noch zu erhöhen, d. h. eine Verbesserung des elektromechanischen Kopplungsfaktors k und des mechanischen Gütefaktors Q sowie eine Erhöhung des ε-Wertes zu erzielen.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist der elektromechanische Körper, der aus keramischem, ferroelektrischem Material mit Perowskitstruktur besteht, dessen Bestandteile dem Dreistoffsystem
PbTiO3-PbZrO3-Pb(Mgo,5W0,5)03
angehören und das neben MnO2 weitere Zusatzstoffe enthält, erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten des Dreistoffsystems in den Grenzen PbTiO3 41 bis 49 Mol-%, PbZrO3 37 bis 49 Mol-% und Pb(Mgo,5Wo,5)03 5 bis 18 Mol-% liegen, daß der Gehalt an MnO2 bei 1 Gew.-%, bezogen auf das Gesamtgewicht der Bestandteile liegt, und daß ein Anteil von etwa 0,15 Gew.-% Al2O3, bezogen auf das Gesamtgewicht der Bestandteile, vorhanden ist.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele ergeben sich aus der nachfolgend aufgeführten Tabelle.
Materialwerte von Keramik des Dreistoffsystems
A-PbTiO3 - yPbZrO3 — zPb(Mgo,sWo,5)03
bei 0,4% PbO-ÜberschuReirAvaagc und 1% MnOs-Gehait:
In dieser Tabelle ist zunächst die Zusammensetzung des Dreistoffsystems
XPbTiO3, yPbZrO3, ^Pb(Mg0.5Wo.5)o3
angegeben.
Es folgen die Werte, die ohne Zusatz von Al2O3 erreicht werden, und dann die Werte, die mit einem Zusatz von 0,15% Al2O3 erzielt werden.
Ferner ist in der Tabelle davon ausgegangen, daß für die Herstellung der Piezomassen bzw. -körper die beim chemischen Umsatz und bei der Sinterung eintretenden Abdampfverluste an PbO durch Einwaage eines Überschusses von 0,4% PbO kompensiert werden.
Die Herstellung der Körper kann sowohl durch Verwendung einzeln vorgebrannter Bleititanate, Bleizirkonate und Bleimagnesiumwolframate durch Sinterung der gepreßten Körper bei 11OO bis 1250°C für zwei Stunden erfolgen; vorteilhafter ist es. die einzelnen Komponenten in Oxidform oder in Oxide liefernder Form (Carbonate), anteilmäßig im Hinblick auf die gewünschten stöchiometrischen Verhältnisse eingesetzt, miteinander bei ca. 800 bis 100O0C zur Reaktion zu bringen und danach durch Sinterung der geformten Körper bei 1100° bis 125O0C für zwei Stunden das Endprodukt zu erhaiien, wobei für die Herstellung von Körpern aus Perowskitstruktur besitzenden Materialien hinreichend bekannte keramische Verfahrensschritte zur Anwendung gelangen.
X y 0,115 Ohne AbOi Jt Q Mit 0,15% AI2O3 O
0,115 ί 0,46 850 e A 1150
0,46:5 0,420 0,100 1600 0,43 1250 1870 0,62 1550
0,450 0,435 0,085 680 0,46 850 850 0,54 1270
0,480 0,420 0,085 1420 0,43' 800 1700 0,55 1100
0,480 0,435 1510 0,49 650 1760 0,58 800
0,465 0,450 1090 1360 0,61
Aus der Tabelle ist ersichtlich, daß durch den Zusatz relativ geringer Mengen AlO3 beträchtliche Verbesserungen hinsichtlich der elektromechanischen Kopplung, der mechanischen Güte und auch des e-Wertes erzielt werden. Dieses Ergebnis ist überraschend, denn bisher hat man Al2O3 lediglic'i als Sinterhilfsmittel betrachtet und an sich in größeren Mengen zugesetzt, während man zur Erhöhung der elektromechanischen und elektrischen Eigenschaften in das Perowskitgitter einbaufähige Materialien, wie sie oben in der Beschreibungseinleitung genannt sind, benutzt hat.
Die Erfindung führt somit zu dem überraschenden Ergebnis, daß durch den einfach zu handhabenden Zusatz von Al2O3 beträchtliche Verbesserungen erzielt werden. Es ist auch zu erwarten, daß bei den anderen in der Eteschreibungseinleitung genannten Dreistoffsystemen ähnliche Verbesserungen eintreten.
Im Dreistoff-Diagramm (Fi g. 1) für das System
PbTiO3- PbZrO3- Pb(Mgo,5Wo.5)03
ist der Bereich, bei dem durch die vorliegende Erfindung eine Verbesserung erzielt wird, durch das unregelmäßige Sechseck mit den Eckpunkten 1, 2, 3, 4, 5, 6 bezeichnet. Im einzelnen untersucht wurden die im unregelmäßigen Vieleck liegenden Massen, das durch
45 die Verbindung der Punkte 1, 7, 8, 9, 10, 11, 3, 4, 12, 13, 14, 15, 16, 17 umgrenzt ist. Besonders bevorzugte Zusammensetzungen sind der obigen Tabelle zu entnehmen.
Das Diagramm gemäß F i g. 2 zeigt die relative Dielektrizitätskonstante bei Körpern, die bei 1150° C gebrannt wurden.
Das Diagramm gemäß F i g. 3 zeigt den Gütefaktor Q für Körper, die bei 11500C gebrannt wurden.
Das Diagramm gemäß F i g. 4 zeigt den mechanischen Gütefaktor Q für Körper, die bei 12000C gebrannt wurden.
Das Diagramm gemäß F i g. 5 zeigt den elektromechanischen Kopplungsfaktor k für Körper, die bei 11500C gebrannt wurden und das Diagramm gemäß F; 5, 6 zeigt den elektromechanischen Kopplungsfaktor Hür Körper, die bei 12000C gebrannt wurden.
Bereiche gleicher*:-Werte sowie gleicher Werte für Q bzw. k bei den einzelnen Ergebnissen sind in den F i g. 2 bis 6 durch die mit den jeweiligen Werten bezifferten Linien dargestellt.
Die bevorzugten und in der Tabelle dargestellten Zusammensetzungen können natürlich noch um weitere Zusammensetzungen erweitert werden, die sich ohne Schwierigkeiten aus einem Vergleich der einzelnen
55
iagramme ergeben. Bei dieser Auswahl können die csichtspunkte unterschiedlich sein, je nachdem, ob ein )her F-Wert oder ?ine hohe mechanische Güte oder η hoher elcktromechanischer Kopplungsfaktor oder ich optimale Werte für alle drei Eigenschaften eichzeitig gewünscht sind.
Hierzu 6 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Piezoelektrischer Körper, bestehend aus keramischem, ferroelektrischem Material mit Perowskitstruktur, dessen Bestandteile dem Dreistofisystem
PbTiO3- PbZrO3- Pb(Mg0J Wa5)O3
angehören und das neben MnÜ2 weitere Zusatzstoffe enthält, dadurch gekennzeicl.net, daß die Komponenten des Dreistoffsystems in den Grenzen PbTiO3 41 bis 49 Mol-%, PbZrO3 37 bis 49 Mol-% und Pb(MgC5W0^)O3 5 bis 18 Mol-% liegen, daß der Gehalt an MnO2 bei 1 Gew.-%, bezogen auf das Gesamtgewicht der BestanJteile, liegt, und daß ein Anteil von 0,15 Gew.-% AI2O3, bezogen auf das Gesamtgewicht der Bestandteile, vorhanden ist
2. Piezoelektrischer Körper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß neben den Anteilen an MnO2 und Al2O3 im Dreistoffsystem In neuerer Zeit sind für piezoelektrische Körper zu Verwendung als Elemente zur Umwandlung elektri scher in mechanische Energie und umgekehrt (z. B. fü Frequenzfilter), piezoelektrische Körper bekanntge worden, die aus keramischem, ferroelektrischem Mate rial mit Perowskitstruktur bestehen und dessei Bestandteile kompliziert zusammengesetzten Dreistoff systemen angehören. Während man bislang solchi Körper auf der Grundlage von Blei-Titanat-Zirkonatei ίο aufgebaut hat, können diese neuen Materialien fü piezoelektrische Körper dadurch charakterisiert wer den, daß man die Bildung eines Dreistoffsystems
DE19691938318 1969-07-28 1969-07-28 Piezoelektrischer Korper aus keramischem, ferroetek Irischem Material mit Perowskitstruktur Expired DE1938318C3 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691938318 DE1938318C3 (de) 1969-07-28 Piezoelektrischer Korper aus keramischem, ferroetek Irischem Material mit Perowskitstruktur
FR7026661A FR2055350A5 (de) 1969-07-28 1970-07-20
NL7010855A NL7010855A (de) 1969-07-28 1970-07-22
US58098A US3663440A (en) 1969-07-28 1970-07-24 Piezoelectric structure composed of a ceramic ferro-electric material having a perovskite arrangement of components
GB1251933D GB1251933A (de) 1969-07-28 1970-07-27

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691938318 DE1938318C3 (de) 1969-07-28 Piezoelektrischer Korper aus keramischem, ferroetek Irischem Material mit Perowskitstruktur

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1938318A1 DE1938318A1 (de) 1971-02-11
DE1938318B2 true DE1938318B2 (de) 1976-09-23
DE1938318C3 DE1938318C3 (de) 1977-05-05

Family

ID=

Also Published As

Publication number Publication date
US3663440A (en) 1972-05-16
FR2055350A5 (de) 1971-05-07
NL7010855A (de) 1971-02-01
GB1251933A (de) 1971-11-03
DE1938318A1 (de) 1971-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2552127A1 (de) Keramikhalbleiter
DE68923579T2 (de) Ferroelektrisches keramisches Material.
DE3445153C2 (de)
DE69607119T2 (de) Piezoelektrische keramische Zusammensetzung
DE1646823C2 (de) Piezoelektrischer Keramikmaterial
DE1938318C3 (de) Piezoelektrischer Korper aus keramischem, ferroetek Irischem Material mit Perowskitstruktur
DE1938318B2 (de) Piezoelektrischer koerper aus keramischem, ferroelektrischem material mit perowskitstruktur
DE1928595C3 (de) Polarisierbare ferroelektrische Keramik mit gesteigerten elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und erhöhten Dielektrizitätskonstanten
DE2200787A1 (de) Piezoelektrische Keramikzusammensetzungen
DE1671166C2 (de) Piezoelektrisches Keramik-Material
DE2008775A1 (de) Piezoelektrisches Oxidmaterial
DE2001290B2 (de) Piezoelektrische keramik
DE976609C (de) Elektrischer Isolierkoerper und Kondensatordielektrikum
DE973780C (de) Elektrischer Isolierkoerper mit hoher Dielektrizitaetskonstante und niedrigem dielektrischen Verlustwinkel
DE2634146C3 (de) Dielektrische Keramikmassen
DE1646776B1 (de) Piezoelektrischer keramikstoff
DE2121689C3 (de) Piezoelektrische Keramiken
DE1646814C2 (de) Ferroelektrlsche Keramik und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE1671170B1 (de) Piezoelektrisches keramik material
DE1935216A1 (de) Piezoelektrisches Keramikmaterial
DE1298038B (de) Keramisches piezoelektrisches Material und Verfahren zu seiner Herstellung
DE1116589B (de) Verfahren zum Herstellen einer gesinterten keramischen dielektrischen Masse
DE2747473C2 (de) Piezoelektrische keramische Masse
DE2164403C3 (de) Ferroelektrische keramische Zusammensetzungen
DE1646525C3 (de) Piezoelektrische Keramik

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8339 Ceased/non-payment of the annual fee